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BE603001A - Procédé et appareil pour la mesure de la résistivité et de l'épaisseur des matériaux semiconducteurs. - Google Patents

Procédé et appareil pour la mesure de la résistivité et de l'épaisseur des matériaux semiconducteurs.

Info

Publication number
BE603001A
BE603001A BE603001A BE603001A BE603001A BE 603001 A BE603001 A BE 603001A BE 603001 A BE603001 A BE 603001A BE 603001 A BE603001 A BE 603001A BE 603001 A BE603001 A BE 603001A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
resistivity
measurement
thickness
semiconductor materials
semiconductor
Prior art date
Application number
BE603001A
Other languages
English (en)
Inventor
George Lincoln Allerton
James Roger Seifert
Leon Theodore Stark
Original Assignee
Western Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Western Electric Co filed Critical Western Electric Co
Publication of BE603001A publication Critical patent/BE603001A/fr

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/041—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2648—Characterising semiconductor materials

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BE603001A 1960-04-27 1961-04-25 Procédé et appareil pour la mesure de la résistivité et de l'épaisseur des matériaux semiconducteurs. BE603001A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US24949A US3211999A (en) 1960-04-27 1960-04-27 Method and apparatus for measuring semiconductor volume resistivity by transmission loss in a resonant cavity

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Publication Number Publication Date
BE603001A true BE603001A (fr) 1961-08-16

Family

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Family Applications (1)

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BE603001A BE603001A (fr) 1960-04-27 1961-04-25 Procédé et appareil pour la mesure de la résistivité et de l'épaisseur des matériaux semiconducteurs.

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US (2) US3211999A (fr)
JP (1) JPS387682B1 (fr)
BE (1) BE603001A (fr)
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US3211999A (en) 1965-10-12
US3212000A (en) 1965-10-12
JPS387682B1 (fr) 1963-05-31
GB987613A (en) 1965-03-31
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