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ATE54293T1 - Verfahren zur herstellung von siliciumimid und dessen weiterberarbeitung zu siliciumnitrid. - Google Patents

Verfahren zur herstellung von siliciumimid und dessen weiterberarbeitung zu siliciumnitrid.

Info

Publication number
ATE54293T1
ATE54293T1 AT85308944T AT85308944T ATE54293T1 AT E54293 T1 ATE54293 T1 AT E54293T1 AT 85308944 T AT85308944 T AT 85308944T AT 85308944 T AT85308944 T AT 85308944T AT E54293 T1 ATE54293 T1 AT E54293T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
silicon
imide
produce
silicon nitride
production
Prior art date
Application number
AT85308944T
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Isoda
Mikiro Arai
Original Assignee
Toa Nenryo Kogyo Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toa Nenryo Kogyo Kk filed Critical Toa Nenryo Kogyo Kk
Application granted granted Critical
Publication of ATE54293T1 publication Critical patent/ATE54293T1/de

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    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
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    • C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
    • C01B21/087—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more hydrogen atoms
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    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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    • C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
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AT85308944T 1985-12-09 1985-12-09 Verfahren zur herstellung von siliciumimid und dessen weiterberarbeitung zu siliciumnitrid. ATE54293T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP85308944A EP0225412B1 (de) 1985-12-09 1985-12-09 Verfahren zur Herstellung von Siliciumimid und dessen Weiterberarbeitung zu Siliciumnitrid

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE54293T1 true ATE54293T1 (de) 1990-07-15

Family

ID=8194469

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT85308944T ATE54293T1 (de) 1985-12-09 1985-12-09 Verfahren zur herstellung von siliciumimid und dessen weiterberarbeitung zu siliciumnitrid.

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EP (1) EP0225412B1 (de)
AT (1) ATE54293T1 (de)
DE (1) DE3578581D1 (de)

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Also Published As

Publication number Publication date
EP0225412A1 (de) 1987-06-16
EP0225412B1 (de) 1990-07-04
DE3578581D1 (de) 1990-08-09

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