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ATE484101T1 - Verfahren zur herstellung einer akustischen oberflächenwellenvorrichtung - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer akustischen oberflächenwellenvorrichtung

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Publication number
ATE484101T1
ATE484101T1 AT04290930T AT04290930T ATE484101T1 AT E484101 T1 ATE484101 T1 AT E484101T1 AT 04290930 T AT04290930 T AT 04290930T AT 04290930 T AT04290930 T AT 04290930T AT E484101 T1 ATE484101 T1 AT E484101T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
producing
acoustic wave
surface acoustic
wave device
electrode layer
Prior art date
Application number
AT04290930T
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English (en)
Inventor
Osamu Nakagawara
Akinoro Shinoda
Original Assignee
Murata Manufacturing Co
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Filing date
Publication date
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Application granted granted Critical
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    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
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AT04290930T 2003-04-11 2004-04-08 Verfahren zur herstellung einer akustischen oberflächenwellenvorrichtung ATE484101T1 (de)

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