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ATE395652T1 - System und verfahren zur herstellung und verwendung einer massenströmungseinrichtung - Google Patents

System und verfahren zur herstellung und verwendung einer massenströmungseinrichtung

Info

Publication number
ATE395652T1
ATE395652T1 AT02778519T AT02778519T ATE395652T1 AT E395652 T1 ATE395652 T1 AT E395652T1 AT 02778519 T AT02778519 T AT 02778519T AT 02778519 T AT02778519 T AT 02778519T AT E395652 T1 ATE395652 T1 AT E395652T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
fluid
restrictor
mass flow
parameters
producing
Prior art date
Application number
AT02778519T
Other languages
English (en)
Inventor
William White
Daniel Mudd
Christopher Davis
Benjamin Fontaine
Original Assignee
Horiba Stec Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Stec Inc filed Critical Horiba Stec Inc
Application granted granted Critical
Publication of ATE395652T1 publication Critical patent/ATE395652T1/de

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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Paper (AREA)
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AT02778519T 2001-10-12 2002-10-11 System und verfahren zur herstellung und verwendung einer massenströmungseinrichtung ATE395652T1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US32903101P 2001-10-12 2001-10-12
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Publications (1)

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ATE395652T1 true ATE395652T1 (de) 2008-05-15

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AT02778519T ATE395652T1 (de) 2001-10-12 2002-10-11 System und verfahren zur herstellung und verwendung einer massenströmungseinrichtung

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EP (1) EP1442343B1 (de)
JP (1) JP5069839B2 (de)
KR (1) KR100937726B1 (de)
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AT (1) ATE395652T1 (de)
DE (1) DE60226626D1 (de)
WO (1) WO2003032101A1 (de)

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