AT527530A2 - Prüfsystem - Google Patents

Abstract

Bereitgestellt wird ein Prüfsystem, das eingerichtet ist, eine Prüfung der elektrischen Eigenschaften an einem Prüfling vorzunehmen, wobei das System aufweist: eine Halterung, an der der Prüfling montiert werden soll; einen Fördermechanismus, der eingerichtet ist, die Halterung zu befördern; einen Prüfkopf, der eine Messschaltung zum Durchführen der Prüfung der elektrischen Eigenschaften aufweist; einen Messfühler, der eingerichtet ist, eine Elektrode des Prüflings mit der Messschaltung zu verbinden; einen Anhebe/Absenk-Mechanismus, der eingerichtet ist, die Halterung entlang einer ersten Richtung derart zu bewegen, dass die Elektrode und der Messfühler in Kontakt miteinander oder voneinander beabstandet sind; und einen Ausrichtungsmechanismus, der an dem Prüfkopf vorgesehen ist, wobei der Ausrichtungsmechanismus eingerichtet ist, den Messfühler in einer Ebene zu bewegen, die die erste Richtung schneidet, um ein Ausrichten des Messfühlers an der Elektrode in der Ebene durchzuführen.

Description

Technischer Hintergrund

Aus dem Stand der Technik ist ein Prüfsystem bekannt, das eine Vorrichtung testet, beispielsweise einen Leistungshalbleiter. Patentliteratur 1 beschreibt beispielsweise ein Messfühlersystem, das aufweist: eine Spannfutter-Bühne, die eine Vorrichtung festhält, sowie einen Messfühler, der einen Anschluss eines Testers mit einer Elektrode der Vorrichtung verbindet. Bei dem Messfühlersystem ist die Spannfutter-Bühne um drei Achsen bewegbar sowie um die Z-Achse drehbar, und der Messfühler ist an einem festen Tester-Standfuß befestigt. In einem Fall, bei dem die Vorrichtung mit der Spannfutter-Bühne untersucht wird, wird die an der Spannfutterbühne gehaltene Vorrichtung erfasst, und die Spannfutter-Bühne dreht und bewegt sich in einer XAchsenrichtung und einer Y-Achsenrichtung derart, dass die Elektrode der Vorrichtung an der Vorderend-Position des Messfühlers ausgerichtet ist. Danach hebt das Spannfutter entlang einer Z-Achsenrichtung an, um den Messfühler in

Kontakt mit der Elektrode zu bringen. Liste der Bezugnahmen Patentliteratur

Patentschrift 1: Nicht geprüfte, japanische Patentveröffentlichung Nr. 2006-317346.

Technische Aufgabe

Da die Spannfutter-Bühne jedoch einen triaxialen

Bewegungsmechanismus und einen Drehmechanismus aufweist, ist

das Gewicht der Spannfutter-Bühne hoch. Somit ist die Zeit,

die die Spannfutter-Bühne benötigt, um sich in eine Beladungsposition, eine Testposition und eine Abladeposition

zu bewegen, und die Zeit, die die Spannfutter-Bühne benötigt,

um an der Testposition anzuheben und abzusenken, lang, so

dass die Möglichkeit besteht, dass sich die Effizienz der Untersuchung verschlechtert. Im Gegensatz hierzu wird angenommen, dass der +riaxiale Bewegungsmechanismus und der Drehmechanismus an dem Messfühler bereitgestellt werden. In der Ausgestaltung besteht Bedarf, ein Stromkabel zum Verbinden des Messfühlers mit einer Messschaltung zu

verlängern, so dass sich der Messfühler bewegen kann. Somit

nimmt die Induktivitätskomponente im Stromkabel zu, so dass

eine Möglichkeit besteht, dass sich die Genauigkeit der

Messung verschlechtert.

Im vorliegenden technischen Gebiet ist es erwünscht, dass die

Förderzeit verkürzt wird, ohne dass sich die Messgenauigkeit

verschlechtert.

Lösung der Aufgabe

Ein Prüfsystem gemäß einem Aspekt der vorliegenden Offenbarung führt einen Test der elektrischen Eigenschaften

an einem Prüfling (kurz: DUT, device unter test) durch. Das

Prüfsystem weist auf: eine Halterung, an der der Prüfling

.. .. so ... ® 0008

montiert werden soll; einen Fördermechanismus, der eingerichtet ist, die Halterung zu befördern, einen Prüfkopf, der eine Messschaltung zum Durchführen der Prüfung der elektrischen Eigenschaften aufweist; einen Messfühler, der eingerichtet ist, eine Elektrode des Prüflings mit der Messschaltung zu verbinden; einen Anhebe/Absenk-Mechanismus, der eingerichtet ist, die Halterung entlang einer ersten Richtung zu bewegen, so dass die Elektrode und der Messfühler in Kontakt miteinander oder voneinander beabstandet sind; sowie einen Ausrichtungsmechanismus, der an dem Prüfkopf bereitgestellt ist, wobei der Ausrichtungsmechanismus eingerichtet ist, den Messfühler in einer Ebene zu bewegen, die die erste Richtung schneidet, um ein Ausrichten des

Messfühlers an der Elektrode in der Ebene durchzuführen.

Gemäß dem Prüfsystem wird die Position des Messfühlers an der Position der Elektrode des Prüflings ausgerichtet, indem der Messfühler in der Ebene bewegt wird, die die erste Richtung schneidet. Dann bewegt der Anhebe/Absenk-Mechanismus die Halterung, an der der Prüfling montiert ist, entlang der ersten Richtung, so dass die Elektrode des Prüflings mit dem Messfühler in Kontakt ist. Diese Anordnung ermöglicht die Durchführung des Tests der elektrischen Eigenschaften an dem Prüfling mit der Messschaltung. Die Elektrode des Prüflings wird durch Bewegen der Halterung entlang der ersten Richtung von dem Messfühler beabstandet. Weil die Halterung, an der der Prüfling montiert werden soll, mit keinem Bewegungsmechanismus und keinem Drehmechanismus zum Ausrichten der Elektrode und des Messfühlers versehen ist, kann das Gewicht der Halterung verglichen mit jenem einer Halterung, die mit einem dreiachsigen Bewegungsmechanismus

und einem Drehmechanismus versehen ist, verringert werden.

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Diese Anordnung ermöglicht eine verkürzte Beförderungszeit. Die Halterung bewegt sich entlang der ersten Richtung, um die Elektrode des Prüflings und den Messfühler in Kontakt zu bringen oder voneinander zu beabstanden, wohingegen sich der Messfühler nicht entlang der ersten Richtung bewegt. Somit besteht kein Bedarf, die Länge eines Stromkabels zum elektrischen Verbinden des Messfühlers und der Messschaltung mehr als notwendig zu verlängern, da verhindert wird, dass sich der Abstand zwischen dem Messfühler und der Messschaltung in der ersten Richtung während des Betriebs des Prüfsystems verändert. Diese Anordnung ermöglicht die Verkleinerung der Induktivitätskomponente in dem Stromkabel verglichen mit jener eines Messfühlers, der mit einem triaxialen Bewegungsmechanismus und einem Drehmechanismus versehen ist. Im Ergebnis kann die Beförderungszeit ohne

Verschlechterung der Messgenauigkeit verkürzt werden.

In einer Ausführungsform kann der Fördermechanismus die Halterung nacheinander an eine erste Station zum Montieren des Prüfling an der Halterung, eine zweiten Station zum Durchführen des Tests der elektrischen Eigenschaften, und eine dritten Station zum Ausbringen des Prüflings aus der Halterung befördern. In diesem Fall ermöglicht die Verwendung von drei Halterungen, einen Prüfling gleichzeitig zu befestigen, eine Prüfung der elektrischen Eigenschaften

durchzuführen, und einen Prüfling zu entnehmen.

Das Prüfsystem gemäß einer Ausführungsform kann ferner aufweisen: eine erste Bildgebungsvorrichtung, die eingerichtet ist, den Prüfling, der an der Halterung montiert ist, an der ersten Station aufzunehmen. Der

Ausrichtungsmechanismus kann die Ausrichtung auf Grundlage

Zeit, die die Halterung zum Anhalten benötigt, verringert

werden kann.

Das Prüfsystem gemäß einer Ausführungsform kann ferner aufweisen: einen Messfühler-Halter, der eingerichtet ist, den Messfühler lösbar zu halten, sowie eine zweite Bildgebungsvorrichtung, die eingerichtet ist, den Messfühler aufzunehmen. Der Ausrichtungsmechanismus kann die Ausrichtung auf Grundlage eines Bildes durchführen, das von der zweiten Bildgebungsvorrichtung aufgenommen wird. In diesem Fall kann der Messfühler ausgetauscht werden, weil der Messfühler lösbar ist. Beispielsweise kann sich aufgrund der Genauigkeit des Halterns des Messfühlers durch den Messfühler-Halter die Position des Messfühlers an dem Messfühler-Halter mit jedem Austausch des Messfühlers ändern. Im Gegensatz dazu, da die Position des Messfühlers basierend auf dem Bild des

Messfühlers erlangt werden kann, kann das Ausrichten der

Elektrode des Prüflings und des Messfühlers genauer erfolgen.

.. .. .. ... 2 00628

In einer Ausführungsform kann der Ausrichtungsmechanismus in der Lage sein, den Messfühler in einer die Ebene definierenden, zweiten Richtung und dritten Richtung zu bewegen, und kann in der Lage sein, den Messfühler um die erste Richtung zu drehen. In diesem Fall wird dadurch, dass der Messfühler in der zweiten Richtung und der dritten Richtung bewegt wird, und der Messfühler um die erste Richtung gedreht wird, die Position des Messfühlers an der

Position der Elektrode des Prüflings ausgerichtet.

Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung

Gemäß jedem Aspekt und jeder Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung kann ein Prüfsystem bereitgestellt werden, dass die Beförderungszeit ohne Verschlechterung der

Messgenauigkeit verbessert. Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Figur 1 ist eine Außensicht, die schematisch ein Prüfsystem gemäß einer ersten Ausführungsform veranschaulicht;

Figur 2 ist eine Querschnittsansicht, aufgenommen entlang der Linie II-II aus Figur 1;

Figur 3 ist eine Draufsicht auf das Prüfsystem aus Figur 1;

Figur 4 (a) ist ein Schaubild, das schematisch einen Messfühler-Halter zeigt, der eine Messfühlereinheit festhält. Figur 4(b) ist ein Schaubild, das schematisch den MessfühlerHalter zeigt, aus dem der Messfühler entfernt wurde.

Figur 5 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Betriebsablauf

in dem Prüfsystem aus Figur 1 zeigt;

7755

Figur 6 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Betriebsablauf bei einem Austausch einer Messfühlereinheit veranschaulicht; Figur 7 ist eine Draufsicht, die schematisch ein Prüfsystem gemäß einer zweiten Ausführungsform darstellt; Figur 8 ist eine Querschnittsansicht, aufgenommen

entlang der Linie VIII-VIITI aus Figur 7. Beschreibung von Ausführungsformen

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Es wird angemerkt, dass bei der Beschreibung der Zeichnungen die gleichen Elemente mit den gleichen Bezugszeichen

bezeichnet sind, und wiederholte Beschreibungen dieser

entfallen.

Figur 1 ist eine Außenansicht, die ein Prüfsystem gemäß einer ersten Ausführungsform schematisch veranschaulicht. Figur 2 ist eine Querschnittsansicht, aufgenommen entlang der Linie

II1-II aus Figur 1. Figur 3 ist eine Draufsicht des

Prüfsystems aus Figur 1. Figur 4(a) ist ein Schaubild, das

schematisch einen Messfühler-Halter darstellt, der eine Messfühlereinheit festhält. Figur 4(b) ist ein Schaubild, dass schematisch den Messfühler-Halter darstellt, aus dem die Messfühlereinheit entfernt wurde. Das in den Figuren 1 bis 3 gezeigte Prüfsystem führt eine Prüfung der elektrischen

h um

Eigenschaften an einem Prüfling 2 durch, bei dem es sic

eine zu prüfende Vorrichtung handelt.

Beispiele des Prüflings 2 umfassen einen blanken Chip eines

Halbleiterelements und ein Halbleitermodul. Beispiele des in

dem Prüfling 2 enthaltenen Halbleiterelements umfassen einen

.. .. ... .... ® 0800

Bipolartransistor mit isoliertem Gate (IGBT) und einen Feldeffekttransistor (FET). Die Anzahl der Typen des Prüflings 2, bei dem es sich um ein in dem Prüfsystem 1 zu prüfendes Objekt handelt, ist nicht auf eins beschränkt und kann somit zumindest 2 betragen. Der Prüfling 2 weist eine Vielzahl von Elektroden auf. Die Anzahl der Elektroden und die Position der Elektroden können abhängig vom Typ des Prüflings 2 variieren. An der oberen Fläche 2a des Prüflings 2 ist eine Ausrichtungsmarkierung vorgesehen. Die Ausrichtungsmarkierung hat eine nicht-rotationssymmetrische Form. An der oberen Fläche 2a des Prüflings 2 können zumindest 2 Ausrichtungsmarkierungen vorgesehen sein. In diesem Fall sind die Ausrichtungsmarkierungen bezüglich ihrer

Form nicht beschränkt.

Die Prüfung der elektrischen Eigenschaften umfasst eine Prüfung der statischen Eigenschaften (Gleichstromtest, DCTest) sowie eine Prüfung der dynamischen Eigenschaften (Wechselstromtest, AC-Test) an dem Prüfling 2. Als Prüfung der statischen Eigenschaften können Eigenschaften wie etwa ein Kollektor-Ausschaltstrom, eine Gate-Emitter-Grenzspannung, ein Gate-Emitter-Leckstrom und eine Kollektor-EmitterSättigungsspannung gemessen werden. Als Prüfung der dynamischen Eigenschaften werden beispielsweise eine Schaltmessung und eine Messung der Kurzschlussfähigkeit (SCMessung bzw. Kurzschlussmessung) durchgeführt. Konkret können Eigenschaften wie eine insgesamte Gate-Ladung, eine AnschaltVerzögerungszeit, eine Anschalt-Anstiegszeit, eine AusschaltVerzögerungszeit, eine Ausschalt-Abfallzeit, eine Sperrverzögerungszeit, eine Sperrverzögerungsladung, und eine

Emitter-Kollektor-Spannung gemessen werden.

Prüflings 2 erfolgen soll. Die Stationen ST1 bis ST3 sind

entlang einer X-Achsen-Richtung (zweiten Richtung) in dieser

Reihenfolge angeordnet.

Das Prüfsystem 1 weist auf: eine Halterung 11, einen Fördermechanismus 12, einen Prüfkopf 13, eine

Messfühlereinheit 14, einen Messfühler-Halter 15, einen

Ausrichtungsmechanismus 16, einen Hebe- und Senkmechanismus

17, eine Bildgebungsvorrichtung 18 (erste

Bildgebungsvorrichtung), eine Bildgebungsvorrichtung 19 (zweite Bildgebungsvorrichtung) und eine

Steuerungsvorrichtung 20. Es wird angemerkt, dass die

Darstellung des Messfühler-Halters 15 in Figur 2 entfällt,

damit die Figur vereinfacht wird.

Die Halterung 11 ist ein Standfuß, auf dem der Prüfling 2 befestigt werden soll. Die Halterung 11 umfasst einen Sockel

11a und einen Vorsprung 11lb. Der Sockel 1la ist ein Element

mit einer plattenartigen Form, das Element hat eine

isolierende Eigenschaft. Der Sockel 1la hat eine obere Fläche

11lc und eine untere Fläche 11d. Die obere Fläche ist eine

Fläche, die eine Z-Achsenrichtung (erste Richtung) schneidet,

auf der der Prüfling 2 befestigt ist. Der Prüfling 2 wird

durch einen (nicht gezeigten) Montageroboter an einer zuvor bestimmten Position an der oberen Fläche 11b montiert. Ein (nicht gezeigtes) Saugloch ist an der Position bereitgestellt. Der an der Halterung 11 montierte Prüfling 2 wird durch das Saugloch angesaugt, so dass die Position des Prüfling 2 fixiert ist. Es wird angemerkt, dass beispielsweise aufgrund der Montagegenauigkeit des Montageroboters die Position des

Prüflings an der oberen Fläche 11c bei jedem Prüfling 2

anders ist.

Die untere Fläche 11d ist eine Fläche, die die XAchsenrichtung kreuzt, wobei die Fläche der oberen Fläche 11c gegenüberliegt. Der Vorsprung 11b ist ein stabförmiger Vorsprung, der sich von der unteren Fläche 11ld entlang der ZAchsenrichtung nach unten erstreckt. In der vorliegenden Ausführungsform sind nacheinander zwei Vorsprünge 11lb in der X-Achsenrichtung vorgesehen. Der Sockel 11a und die

Vorsprünge 11b können durchgehend oder getrennt ausgebildet

sein.

Der Fördermechanismus 12 ist ein Mechanismus, der die Halterung 11 befördert. Der Fördermechanismus 12 befördert die Halterung 11 (Prüfling 2) nacheinander zur Station ST1, zur Station ST2 und der Station ST3. Der Fördermechanismus 12 stoppt den Halter 11 mit hoher Genauigkeit an einer zuvor bestimmten Position an jeder der Stationen ST1 bis ST3. Die Stoppabweichung des Fördermechanismus 12 beträgt ungefähr + 2 um. Der Fördermechanismus 12 ist beispielsweise ein Linearmotor-Fördermechanismus. Der Fördermechanismus 12 kann ein Bandförderer-Fördermechanismus sein. Der Fördermechanismus 12 umfasst eine Förderspur 21 und eine

Förderbühne 22. In einem Fall, bei dem es sich bei dem

Fördermechanismus 12 um den Linearmotor-Fördermechanismus handelt, sind entweder die Förderspur 21 oder die Förderbühne

22 ein bewegliches Element, und die jeweils andere ist ein

ortsfestes Element bzw. Stator.

Die Förderspur 21 erstreckt sich linear entlang der XAchsenrichtung. Die Förderspur 21 definiert den Förderweg der Halterung 11 (Prüfling 2). Die Förderspur 21 liegt über den Stationen ST1 bis ST3. Der Querschnitt der Förderspur 21, die die X-Achsenrichtung schneidet, hat eine U-Form. Die Förderspur 21 hat eine Bodenwand 21a und ein Paar Seitenwände 21b. Die Bodenwand 21a ist ein plattenförmiges Element, das sich in X-Achsenrichtung erstreckt. Bei dem Paar von Seitenwänden 21b ist jedes ein plattenförmiges Element, das sich in der X-Achsenrichtung erstreckt, der Querschnitt des plattenförmigen Elements kreuzt die X-Achsenrichtung und hat eine L-Form. Das Paar von Seitenwänden 21b steht entlang beider Enden in einer Y-Achsenrichtung (dritte Richtung) der Bodenwand 21a. Die oberen Enden des Paars von Seitenwänden 21b biegen sich in Richtungen, in denen die oberen Enden nahe beieinander liegen. Es wird angemerkt, dass die Förderspur 21 ferner einen Weg aufweisen kann, über den die Halterung 11

von Station ST3 zu Station ST1 zurückkehrt.

Die Förderbühne 22 ist eingerichtet, die Halterung 11 zu lagern und entlang der Förderspur 21 zu bewegen. Die Förderbühne 22 weist einen Sockel 23 und einen Vorsprung 24 auf. Der Sockel 23 ist ein plattenförmiges Element, das die Halterung 11 lagert. Der Sockel 23 hat eine obere Fläche 23a und eine untere Fläche 23b. Die obere Fläche 23b ist eine Fläche, die die Z-Achsenrichtung kreuzt, an der die Halterung

11 montiert ist. Die untere Fläche 23b ist eine Fläche, die

die Z-Achsenrichtung kreuzt, wobei die Fläche gegenüberliegend der oberen Fläche 23a ist. Der Sockel 23 ist mit Durchgangslöchern 23h versehen, die den Sockel 23 in ZAchsenrichtung durchdringen. Die Innendurchmesser der Durchgangslöcher 23h sind im Wesentlichen gleich den Außendurchmessern des Vorsprungs 11b. Die Vorsprünge 11b der Halterung 11 werden von der Fläche 23a der oberen Seite durch die Durchgangslöcher 23h eingesteckt. Das vordere Ende von jedem Vorsprung 11b steht von der unteren Fläche 23b nach

unten vor.

Der Vorsprung 24 ist ein Vorsprung, der sich von der unteren Fläche 23b entlang der Z-Achsenrichtung erstreckt. Der Querschnitt des Vorsprungs 24, der die X-Achsenrichtung quert hat eine T-Form. Das untere Ende des Vorsprungs 24 steht zu beiden Seiten entlang der Y-Achsenrichtung vor. Die Form ermöglicht es, dass der Vorsprung 24 in Eingriff mit einer Nut gelangt, die von der Bodenwand 21a und dem Paar von

Seitenwänden 21b der Förderspur 21 gebildet wird.

Der Fördermechanismus 12 umfasst ferner eine Antriebseinheit (nicht dargestellt). Wird ein Bewegungsbefehl von der Steuerungsvorrichtung 20 empfangen, bewegt die Antriebseinheit die Förderbühne 22 zur nächsten Station und stoppt die Förderbühne 22 an der nächsten Station an der zuvor bestimmten Position. Es wird angemerkt, dass der Fördermechanismus 12 eine Vielzahl von Förderbühnen 22 aufweist. Hält eine Förderbühne 22 in Station ST1, hält eine weitere Förderbühne 22 in Station ST2, und noch eine weitere Förderbühne 22 hält in Station ST3. Diese Anordnung ermöglicht das Durchführen paralleler Bearbeitung in den

Stationen.

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13

Der Prüfkopf 13 ist ein Messinstrument, das die elektrischen Eigenschaften des Prüflings 2 misst. Der Prüfkopf 13 beinhaltet eine Messschaltung 31 zum Durchführen der Prüfung der elektrischen Eigenschaften an dem Prüfling 2. Der in Station ST2 vorgesehene Prüfkopf 13 ist oberhalb der Förderspur 21 angeordnet. Bei Erhalt eines Messbefehls von der Steuerungsvorrichtung 20 misst der Prüfkopf 13 die

elektrischen Eigenschaften des Prüflings 2.

Die Messfühlereinheit 14 ist eine Einheit, die die Elektroden des Prüflings 2 und den Prüfkopf 13 elektrisch verbindet. Für unterschiedliche Arten von Prüflingen 2 wird die Messfühlereinheit 14 zuvor für jeden Typ von Prüfling 2 vorbereitet, weil die Anzahl von Elektroden und die Position der Elektroden unter den Prüflingen variieren kann. Die Messfühlereinheit 14 ist mit einer Markierung versehen, etwa einem Strichcode oder einer Funkfrequenzkennung (Radio

frequency identification, RFID), die Messfühlerinformationen

speichert. Die Messfühlerinformationen umfassen Informationen, die den Typ des Prüflings 2 angeben, bei dem es sich um ein mit der Messfühlereinheit 14 zu messendes Objekt handelt, sowie die Kennnummer der Messfühlereinheit 14. Die

Messfühlereinheit 14 weist einen Messfühler 41 und eine

Nadelkarte 42 auf.

Der Messfühler 41 ist ein Element, der die Elektroden des Prüflings 2 elektrisch mit der Messschaltung 31 des Prüfkopfs 13 verbindet. Der Messfühler 41 beinhaltet eine Vielzahl von Kontaktnadeln. Der Messfühler 41 kann eine Scrub-Sonde, eine Feder-Sonde, oder eine Drahtsonde sein. Der Messfühler 41

wird gemäß der Anzahl und Position der Elektroden des

Prüflings 2 angeordnet, bei dem es sich um das zu messende

Objekt handelt.

Die Nadelkarte 42 ist ein Element, dass den Messfühler 41 derart befestigt, dass der vordere Endabschnitt des Messfühlers 41 hervorsteht. Die Nadelkarte 42 umfasst einen ersten Abschnitt 42a und einen zweiten Abschnitt 42b. Der erste Abschnitt 42a und der zweite Abschnitt 42b sind plattenförmige Elemente, die entlang der X-Achsenrichtung aufgeschichtet sind. In Z-Achsenrichtung betrachtet ist die Fläche des ersten Abschnitts 42a größer als die Fläche des zweiten Abschnitts 42b, und die Außenkante des ersten Abschnitts 42a befindet sich außerhalb der Außenkante des zweiten Abschnitts 42b. Der an dem zweiten Abschnitt 42b vorgesehene Messfühler steht an der gegenüberliegenden Seite des ersten Abschnitts 42a vor. Die Fläche 42c des zweiten Abschnitts 42b an der gegenüberliegenden Seite zum ersten Abschnitt 42a ist mit einer Ausrichtungsmarkierung versehen. Die Ausrichtungsmarkierung hat eine nichtrotationsymmetrische Form. Es sollen mindestens zwei Ausrichtungsmarkierungen an dem zweiten Abschnitt 42b (Fläche A2c) vorgesehen sein. In diesem Fall sind die

Ausrichtungsmarkierungen bezüglich ihrer Form nicht

beschränkt.

Der Messfühler-Halter 15 ist ein Element, das die Messfühlereinheit 14 (Messfühler 41) lösbar haltert. Der Messfühler-Halter 15 ist an einer Bühne 62 (wird später beschrieben) des Ausrichtungsmechanismus 16 vorgesehen. Der Messfühler-Halter 15 umfasst einen Sockel 51, ein Paar von Antriebseinheiten 52, und ein Paar von Spannfuttern 53. Der

Sockel 51, bei dem es sich um ein plattenförmiges Element

handelt, ist an der Bühne 62 befestigt. Der Sockel 51 ist mit einem Einsteckloch (nicht gezeigt) zum Einstecken eines Stromkabels versehen, um die Messschaltung 31 des Prüfkopfs 13 und die Sonde 41 elektrisch zu verbinden. Es wird angemerkt, dass ein flexibles Kabel als Stromkabel verwendet wird, um die Messschaltung 31 und die Sonde 41 elektrisch zu verbinden. Das Paar von Antriebseinheiten 52 ist am Sockel 51 vorgesehen, so dass die Antriebseinheiten 52 einander in XAchsenrichtung zugewandt sind. Beispielsweise können ein Stellglied, wie etwa eine Kugelspindel, ein Luftzylinder und ein Solenoid jeweils als Antriebseinheit 52 verwendet werden. Das Paar von Antriebseinheiten 52a hat jeweils einen Stab 52, der sich in X-Achsenrichtung erstreckt, wobei der Stab 52 in

der Lage ist, sich reziprok in X-Achsenrichtung zu bewegen.

Das Paar von Spannfuttern 53 hat jeweils einen Befestigungsabschnitt 53a und eine Spannklaue 53b. Der Befestigungsabschnitt 53a ist am vorderen Ende des Stabs 52 befestigt. Die Spannklaue 53b, die an dem unteren Ende des Befestigungsabschnitts 53a vorgesehen ist, erstreckt sich derart, dass die Spannklaue 53b zur gegenüberliegenden Seite des Stabs 52a in X-Achsenrichtung vorsteht. Der MessfühlerHalter 15 hat einen Aufnahmeraum V, der zur Aufnahme der Messfühlereinheit 14 vorgesehen ist. Der Aufnahmeraum V ist ein durch den Sockel 51 und das Paar von Spannfuttern 53

definierter Raum.

Wie in Figur 4(a) dargestellt, greift dann, wenn ein Befehl zum Festhalten der Messfühlereinheit 14 von der Steuerungsvorrichtung 20 empfangen wird, der MessfühlerHalter 15 die Nadelkarte 42 der Sondeneinheit 14, um die

Messfühlereinheit zu sichern (zu befestigen). Konkret wird

.. .. .m. ann ® aM098

16

die Messfühlereinheit 14 durch einen Auswechselroboter (nicht gezeigt) in dem Aufnahmeraum V untergebracht, so dass der erste Abschnitt 42a an dem Sockel 51 anliegt und das vordere Ende des Messfühlers 41 nach unten vorsteht. Der Auswechselroboter ist ein Roboter, der die Messfühlereinheit 14 auswechselt, beispielsweise ein automatischer Werkzeugwechsler. Wenn sich jeder Stab 52a des Paars von Antriebseinheiten 52 in dem Zustand zu der anderen Antriebseinheit 52 bewegt, kommen die Spannklauen 53b des Paars von Spannfuttern 53 in X-Achsenrichtung in engen Kontakt miteinander. Diese Anordnung ermöglicht es dem Sockel 51 und den Spannklauen 53b den ersten Abschnitt 42a in der ZAchsenrichtung zu befestigen und ermöglicht es den Spannklauen 53b beide Seiten des zweiten Abschnitts 42b in XAchsenrichtung greifen. Auf diese Weise wird die Messfühlereinheit 14 an dem Messfühler-Halter 15 befestigt. Es wird angemerkt, dass beispielsweise aufgrund der Befestigungsgenauigkeit des Messfühler-Halters 15 die Position des Messfühlers 41 an dem Messfühler-Halter 15 mit

jedem Austausch der Messfühlereinheit 14 variieren kann.

Indessen löst, wie in Figur 4(b) gezeigt, der MessfühlerHalter 15 die Befestigung der Messfühlereinheit 14 bei Empfang eines Entnahmebefehls für die Messfühlereinheit 14 aus der Steuerungsvorrichtung 20. Konkret bewegen sich die Spannklauen 53b des Paars von Spannfuttern 53 weg voneinander in Y-Richtung weg, wenn sich jeder Stab 52a des Paars von Antriebseinheiten 52 von der anderen Antriebseinheit 52 wegbewegt. Diese Anordnung ermöglicht es dem Sockel 51 und den Spannklauen 53b die Fixierung der Nadelkarte 42

freizugeben, und der (nicht dargestellte) Austauschroboter

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17

entfernt die Messfühlereinheit 14 aus dem Messfühler-Halter

15.

Der Ausrichtungsmechanismus 16 ist ein Mechanismus, der den

Messfühler 41 (Messfühlereinheit 14) in einer X-Y-Ebene bewegt, um ein Ausrichten (Ausrichtung) des Messfühlers 41 und der Elektroden des Prüflings 2 an der X-Y-Ebene durchzuführen. Bei der X-Y-Ebene handelt es sich um eine Ebene, die von der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung definiert wird. Der Ausrichtungsmechanismus 16 ist am Prüfkopf 13 bereitgestellt. Der Ausrichtungsmechanismus 16 ist in der Lage, die Sonde 41 in X-Achsenrichtung zu bewegen und der Y-Achsenrichtung zu bewegen, die die XY-Ebene

definiert, und ist in der Lage, den Messfühler 41 um die Z-

Achse zu drehen. Der Ausrichtungsmechanismus 16 umfasst eine

Sockelplatte 61 und die Bühne 6€2.

Die Sockelplatte 61 ist ein plattenförmiges Element, das an der unteren Fläche des Prüfkopfs 13 befestigt ist. Die Bühne 62, die an der unteren Fläche der Sockelplatte 61 bereitgestellt ist, ist in X-Achsenrichtung und in YAchsenrichtung bewegbar und ist um die Z-Achsenrichtung drehbar, hin zur Sockelplatte 61. Der Bewegungsmechanismus in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung und der Drehmechanismus um die Z-Achsenrichtung können durch gemeinhin bekannte Mechanismen erreicht werden. Der Bewegungsmechanismus in der X-Achsenrichtung und der

Bewegungsmechanismus in der Y-Achsenrichtung können

beispielsweise mit einer Kugelspindel in X-Achsenrichtung und einer Kugelspindel in Y-Achsenrichtung erreicht werden, und der Drehmechanismus wird mit einem Motor erreicht, der eine

sich in Z-Achsenrichtung erstreckende Welle aufweist. Der

Bewegungsmechanismus in der X-Achsenrichtung und YAchsenrichtung und der Drehmechanismus um die ZAchsenrichtung können mit drei Stellgliedern erreicht werden,

die in der XY-Ebene bereitgestellt sind. Die Bühne 62 hat

eine untere Fläche 62a. Die untere Fläche 62a ist eine Fläche,

die die Z-Achsenrichtung quert. Der Sockel 51 des Messfühler-

Halters 15 ist an der unteren Fläche 62a befestigt. Die Sockelplatte 61 und die Bühne 62 sind jeweils mit einem

Einsteckloch (nicht gezeigt) versehen, zum Einstecken des

Stromkabels zum elektrischen Verbinden der Messschaltung 31

des Prüfkopfs 13 und des Messfühlers 41.

Bei Empfang eines Ausrichtungsbefehls, der die Bewegungsmenge

in der X-Achsenrichtung, die BewegungSmenge in der Y-

Achsenrichtung und den Drehwinkel um die Z-Achsenrichtung

enthält, von der Steuerungsvorrichtung 20, bewegt der

Ausrichtungsmechanismus 16 die Bühne 62 um die empfangenen

Bewegungsmengen in der X-Achsenrichtung und der Y-

Achsenrichtung und dreht die Bühne 62 um den empfangenen

Drehwinkel um die Z-Achse.

Der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 ist ein Mechanismus, der die

Halterung 11 entlang der Z7-Achsenrichtung bewegt. Der in der

Station ST2 bereitgestellte Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 ist

unterhalb der Förderspur 21 bereitgestellt. Konkret hebt und

senkt der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 die in der Station STZ2 stehende Halterung 11 entlang der Z-Achsenrichtung. Der

Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 hebt die Halterung 11 an, so

dass die Elektroden des Prüflings 2 und der Messfühler 41 in

Kontakt sind. Der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 senkt die

Halterung 11 ab, so dass die Elektroden des Prüflings 2 und

der Messfühler 41 beabstandet sind. Der Anhebe/Absenk-

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19

Mechanismus 17 umfasst eine Antriebseinheit 71 und eine

Schubplatte 72.

Als Antriebseinheit 71 werden beispielsweise ein Stellglied

wie etwa eine Kugelspindel, ein Luftzylinder und ein Solenoid

verwendet. Die Antriebseinheit 71 weist eine Stange 71a auf,

die sich in Z-Achsenrichtung erstreckt, wobei die Stange 71a

in der Lage ist, sich reziprok in Z-Achsenrichtung zu bewegen.

Die Schubplatte 72 ist ein plattenförmiges Element, das an

der vorderen Kante der Stange 71a vorgesehen ist, wobei sich

das plattenförmige Element entlang der Z-Achsenrichtung

aufgrund der reziproken Bewegung der Stange 71a anhebt und

absenkt. Die Schubplatte 72 hat eine obere Fläche 72a. Die

obere Fläche 72a ist eine Fläche, die die Z-Achsenrichtung

kreuzt, wobei die Fläche dazu dient, an den vorderen Enden

der Vorsprünge 11b der Halterung 1L1 anzuliegen, die von dem

Sockel 23 der Förderbühne 22 nach unten ragen, wenn sich die

Halterung 11 hebt und senkt. Wenn die Schubplatte 72 die

vorderen Enden der Vorsprünge 11b nach oben schiebt bzw.

drückt, werden die obere Fläche23a des Sockels 23 und die

untere Fläche 11d des Sockels 11a voneinander beabstandet, SO

dass sich die Halterung 11 hebt. Wenn sich die Schubplatte 72

in einem Zustand, bei dem der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17

die Halterung 11 nach oben geschoben hält, senkt sich die

Halterung 11 ab. Auf diese Weise hebt und senkt der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 die Halterung 11.

Bei Empfang eines Anhebe/Absenkbefehls, der die

Bewegungsmenge in die Z_Achsenrichtung umfasst, von der

Steuerungseinheit 20, bewegt der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17

die Stange 71a um die empfangene Bewegungsmenge in die Z-

Achsenrichtung. Es wird angemerkt, dass der Anhebe/Absenk-

< .. .. ° . ® ° .. .. .. ... .° u...

20

Mechanismus 17 die Halterung 11 in der Z-Achsenrichtung im

Längenbereich der Vorsprünge 11lb anheben und absenken kann,

die von der unteren Fläche 23b des Sockels 23 nach unten

ragen. Die Länge in der 7-Achsenrichtung von der unteren

Fläche 23b zum vorderen Ende von jedem Vorsprung 1lb ist

länger als die Länge in der Z-Achsenrichtung von der oberen

Fläche 2a des Prüflings 2 zum vorderen Ende des Messfühlers A1 in einem Fall, bei dem die Halterung 1L von der

Förderbühne 22 gelagert wird.

Die Bildgebungsvorrichtung 18 ist eine Vorrichtung, die den

Prüfling 2, der an der Halterung 11 in Station ST1 montiert

ist, aufnimmt (abbildet). Bei der Bildgebungsvorrichtung 18 handelt es sich beispielsweise um eine Kamera. Die

Bildgebungsvorrichtung 18, die in der Station ST1

bereitgestellt ist, ist oberhalb der Förderspur 21 angeordnet.

Die Bildgebungsvorrichtung 18 mit einer nach unten weisenden

Linse nimmt den Prüfling 2, der an der oberen Fläche 11c des

Sockels 1la montiert ist, von oben auf. Der Aufnahmebereich

der Bildgebungsvorrichtung 18 wird vorab festgelegt, so dass

zumindest die Ausrichtungsmarkierung des Prüflings 2

aufgenommen wird. Bei Empfang eines Aufnahmebefehls von der

Steuerungsvorrichtung 20 führt die Bildgebungsvorrichtung 18

ein Aufnehmen durch, um ein Bild zu erlangen (nachfolgend als

„Vorrichtungsbild“ bezeichnet“). Die Bildgebungsvorrichtung 18 sendet das erlangte Vorrichtungsbild an die Steuerungsvorrichtung 20.

Die Bildgebungsvorrichtung 19 ist eine Vorrichtung, die den

Messfühler 41 in der Station sST2 aufnimmt (abbildet). Bei der

Bildgebungsvorrichtung 19 handelt es sich beispielsweise um

eine Kamera. Die Bildgebungsvorrichtung 19, die in der

® .. .. ° . ® ° ee. .. ..[ 2. ° ....

21

Station ST2 vorgesehen ist, ist unterhalb des Prüfkopfs 13

vorgesehen. Die Bildgebungsvorrichtung 19, die eine dem

Messfühler 41 zugewandte Linse aufweist, nimmt den Messfühler

41, der von dem Messfühler-Halter 15 gehalten wird, von unten

auf. Der Aufnahmebereich der Bildgebungsvorrichtung 19 wird

vorab festgelegt, so dass zumindest die Ausrichtungsmarkierung der Messfühlereinheit 14 aufgenommen

wird. Bei Empfang eines Befehls aus der Steuerungsvorrichtung

20 führt die Bildgebungsvorrichtung 19 das Aufnehmen vor, um

ein Bild zu erlangen (nachfolgend als

„Messfühlerbild“ bezeichnet). Die Bildgebungsvorrichtung 18 sendet das erlangte Messfühlerbild an die

Steuerungsvorrichtung 20.

Die Steuerungsvorrichtung 20 ist ein Controller, der das

gesamte Prüfsystem 1 steuert. Beispielsweise ist die

Steuerungsvorrichtung 20 als Computersystem bereitgestellt,

das aufweist: einen Prozessor, wie etwa einen Hauptprozessor (CPU), einen Speicher, wie etwa einen Schnellzugriffsspeicher (RAM) und einen Nur-Lese-Speicher (ROM); eine Eingabevorrichtung, wie etwa ein Berührfeld, eine Maus, und

eine Tastatur, eine Ausgabevorrichtung wie etwa eine Anzeige;

und eine Kommunikationsvorrichtung mit einer Netzwerkkarte. Die Funktion der Steuerungsvorrichtung 20 wird durch Bedienung von jedem Teil der Hardware gesteuert durch den

Prozessor auf Grundlage eines in dem Speicher gespeicherten

Computerprogramms vorgenommen.

Die Steuerungsvorrichtung 20 speichert die Anzahl von

Messungen, die die Anzahl von Malen angeben, mit denen ein

Messbefehl an den Prüfkopf 14 gesendet wird, in dem nicht

gezeigten Speicher. Die Anzahl von Messungen wird bei Versand

ab Werk auf null gesetzt. Die Anzahl der Messungen wird auf

null zurückgesetzt, indem die Messfühlereinheit 14

ausgetauscht wird. Die durch die Steuerungsvorrichtung 20

durchzuführende Verarbeitung wird unten ausführlich

beschrieben.

Als nächstes wird der Betrieb des Prüfsystems 1 unter

Bezugnahme auf Figur 5 beschrieben. Figur 5 ist ein das einen Ablauf eines Betriebs in dem

Der Ablauf des in

Ablaufdiagramm, Prüfsystem aus Figur 1 veranschaulicht.

Figur 5 gezeigten Betriebs beginnt mit dem Abschluss der

Bearbeitung in jeder Station als Auslöser. Nun wird unter

Fokussierung auf eine Halterung il ein Prozessablauf an die

eine Halterung 11 beschrieben.

Zunächst sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Bewegungsbefehl an den Fördermechanismus 12. Bei Erhalt des

Bewegungsbefehls bewegt der Fördermechanismus 12 die

Halterung 11 an Station sST1 (Schritt S11). Konkret bewegt die

(nicht dargestellte) Antriebseinheit in dem Fördermechanismus

12 die Förderbühne 22 zu Station ST1 und stoppt die

Förderbühne 22 an der zuvor bestimmten Position in Station

ST1. Dann sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Montagebefehl an den nicht gezeigten Montageroboter. Diese

Anordnung ermöglicht es dem Montageroboter, n ST1 stehenden

einen zu

testenden Prüfling 2 an der in Statio

Halterung 11 zu montieren (Schritt S12). Dann veranlasst die

Steuerungsvorrichtung 20, dass der Prüfling 2, der an der

Halterung 11 montiert ist, durch das Saugloch hindurch

angesaugt wird. Diese Anordnung ermöglicht das Befestigen des

Prüflings 2 an der oberen Fläche 1lc der Halterung 11.

° .. ® ° e 0008 * ° .. .. ° ° . ° .. .. .. ... 2 0009

23

Im Anschluss daran sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Aufnahmebefehl an die Bildgebungsvorrichtung 18. Dann, wenn

der Aufnahmebefehl von der Steuerungsvorrichtung 20 empfangen

wird, führt die Bildgebungsvorrichtung 18 ein Aufnehmen durch,

um ein Vorrichtungsbild zu erlangen, und sendet das erlangte

Vorrichtungsbild an die Steuerungsvorrichtung 20 (Schritt

S13). Dann erlangt die Steuerungsvorrichtung 20 auf Grundlage

des Vorrichtungsbildes die Position des Prüflings 2 und

berechnet die Abweichungsmenge des Prüflings 2 (Schritt S14).

Konkret detektiert die Steuerungsvorrichtung 20 zuerst die

Ausrichtungsmarkierung des Prüflings 2 in dem Vorrichtungsbild, beispielsweise mit Musterabgleich oder

Kantendetektion. Dann detektiert die Steuerungsvorrichtung Z0

die Abweichungsmenge der Ausrichtungsmarkierung aus einer

Referenz-Ausrichtungsmarkierung, in dem Vorrichtungsbild. Die

Abweichungsmenge umfasst die Abweichungsmenge in der X-

Achsenrichtung, die Abweichungsmenge in der Y-Achsenrichtung,

und die Abweichungsmenge in der Rotationsrichtung um die Z-

Achsenrichtung herum (im Folgenden als „die Menge der

Rotationsbewegung“ bezeichnet). Die

Referenzausrichtungsmarkierung, bei der es sich um eine

Ausrichtungsmarkierung handelt, die einem Referenz-Prüf£fling

bereitgestellt wird, wird zuvor für jeden Typ von Prüfling 2

festgelegt. Der Referenz-Prüfling ist ein Prüfling, der an

der Halterung 11 derart montiert ist, bei der der bei einer

Referenzposition und einem Referenz-Drehwinkel angeordnete

Messfühler 4 die elektrischen Eigenschaften des Prüflings

messen kann. Der Referenz- Prüfling wird im Vorfeld für jeden

Typ von Prüfling 2 festgelegt. Das heißt, dass in einem Fall,

bei dem die Referenz-Ausrichtungsmarkierung und die

Ausrichtungsmarkierung zueinander ausgerichtet in dem

Vorrichtungsbild positioniert sind, die Abweichungsmenge des

Prüflings 2 null beträgt.

Dann berechnet die Steuerungsvorrichtung 20 aus der detektierten Bewegungsmenge die Bewegungsmenge in X-

die Bewegungsmenge in Y-Achsenrichtung, und

so dass die Haltung

Achsenrichtung, den Drehwinkel um die Z-Achsenrichtung,

des Referenz- Prüflings identisch mit der Haltung des

Prüflings 2 an der Halterung 11 ist. Beispielsweise

konvertiert die Steuerungsvorrichtung 20 die Bewegungsmengen

in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung in dem Vorrichtungsbild in die Abweichungsmengen in der XAchsenrichtung und der Y-Achsenrichtung an der Halterung 11 ild als die

da

und gibt die Abweichungsmenge in dem Vorrichtungsb

Menge von Rotationsabweichung an der Halterung 11 aus,

zwischen den Längen in X-Achsenrichtung und der Y-

Achsenrichtung in dem Vorrichtungsbild und den Längen in X-

Achsenrichtung in der Y-Achsenrichtung an der Halterung 11

konstante Verhältnisse vorliegen. Dann berechnet die

Steuerungsvorrichtung 20 die Bewegungsmenge in der X-

Achsenrichtung, die Bewegungsmenge in der Y-Achsenrichtung

und den Drehwinkel um die Z_Achsenrichtung derart, dass die

Abweichungsmengen in der X-Achsenrichtung und der Y-

Achsenrichtung und die Menge von Rotationsabweichung null

sind. Dann überträgt die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Ausrichtungsbefehl, der die Bewegungsmenge in X-

Achsenrichtung, die Bewegungsmenge in Y-Achsenrichtung und

den Drehwinkel um die Z-Achsenrichtung beinhaltet, an den

Ausrichtungsmechanismus 16.

Nachfolgend, bei Empfang des Ausrichtungsbefehls von der

Steuerungsvorrichtung 20, bewegt der Ausrichtungsmechanismus

° ee. .. ° » ° . s. .. .. ... . ....

25

16 die Bühne 62 um die empfangenen Bewegungsmengen in X-

Achsenrichtung und Y-Achsenrichtung, und dreht die Bühne 62

um den empfangenen Drehwinkel um die Z-Achsenrichtung. Diese

Anordnung ermöglicht das Positionieren der Sonde 41 und der

Elektroden des Prüflings 2 auf zueinander ausgerichtete Weise

(Schritt 515).

Danach sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Bewegungsbefehl an den Fördermechanismus 12. Bei Erhalt des

Bewegungsbefehls bewegt der Fördermechanismus 12 die

Halterung 11, die in Station ST1 steht, zu Station ST2

(Schritt S16). Konkret bewegt die (nicht dargestellte)

Antriebseinheit in dem Fördermechanismus 12 die Förderbühne

22, die in Station sT1 steht, zur Station ST2 und stoppt die

Förderbühne 22 an der zuvor bestimmten Position in Station

sT2. Dann sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Anhebe/Absenk-Befehl zum Anheben der Halterung 11 an den

Anhebe/Absenk-Mechanismus 17. Es wird angemerkt, dass die

Länge in Z-Achsenrichtung von der oberen Fläche 2a des Prüflings 2 zum vorderen Ende des Messfühlers 41 einen festen Wert hat, der für jeden Typ von Prüfling 2 bestimmt wird,

wenn die Halterung 11 von der Förderbühne 22 gelagert wird.

Somit sendet die Steuerungsvorrichtung 20 den Anhebe/Absenk-

Befehl mit der Bewegungsmenge, die einen Abhub für den festen

Wert enthält, an den Anhebe/Absenk-Mechanismus 17.

Dann bewegt der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 bei Empfang des

Anhebe/Absenk-Befehls von der Steuerungsvorrichtung 20 die Stange 71a in Z-Achsenrichtung um die BewegungSmenge, die

empfangen wurde. Diese Anordnung ermöglicht es, dass die obere Fläche 72a der Schubplatte 72 an den vorderen Enden der

Vorsprünge 11lb der Halterung 1l anliegt. Wenn sich die

... .. .. e.. ® 0...

26

Schubplatte 72 weiter nach oben bewegt, drückt die obere Fläche 72a die vorderen Enden der Vorsprünge 11b nach oben. Dann werden die obere Fläche 23a des Sockels 23 und die untere Fläche 11d des Sockels 1l1la voneinander beabstandet, so dass sich die Halterung 11 anhebt (S17). Dann bewegt der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 die Halterung 11 an der der Prüfling 2 montiert ist, entlang der Z-Achsenrichtung, bis das vordere Ende des Messfühlers 41 in Kontakt mit den Elektroden des Prüflings 2 kommt. Diese Anordnung ermöglicht es, dass die Elektroden des Prüflings 2 elektrisch mit der

Messschaltung 31 des Prüfkopfs 13 verbunden werden.

Im Anschluss daran sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen Messbefehl an den Messkopf 13. Zu diesem Zeitpunkt steigert die Steuerungsvorrichtung 20 den Anzahl von Messungen um 1. Dann, wenn der Messbefehl von der Steuerungsvorrichtung 20 empfangen wird, misst der Prüfkopf 13 die elektrischen Eigenschaften des Prüfling 2 mit der Messschaltung 31 (Schritt S18). Wenn die Messung der elektrischen Eigenschaften abgeschlossen ist, sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen Anhebe/Absenk-Befehl zum Absenken der Halterung 11 an den Anhebe/Absenk-Mechanismus 17. Die in dem Anhebe/Absenk-Befehl enthaltene BewegungSmenges ist die Bewegungsmenge, die ein Absenken für den oben

beschriebenen festen Wert angibt.

Dann, wenn der Anhebe/Absenk-Befehl von der Steuerungsvorrichtung 20 empfangen wird, bewegt der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 die Stange 71a um die empfangene Bewegungsmenge in Z-Achsenrichtung. Diese Anordnung ermöglicht es der Schubplatte 72, sich nach unten zu bewegen,

so dass sich die Halterung 11 absenkt (Schritt S19). Die

27755

Elektroden des Prüflings 2 sind dann von dem vorderen Ende

des Messfühlers 41 beabstandet, ssschaltung 31 des Prüfkopfs 13

und die Elektroden des

Prüflings 2 werden von der Me

elektrisch getrennt. Die Schubplatte 72 bewegt sich weiter

so dass die untere Endfläche 11b des Sockels 1la t. Auf

nach unten,

in Kontakt mit der oberen Fläche 23a des Sockels 23 is

diese Weise erfolgt erneut der Zustand, bei dem die Halterung

11 von der Förderbühne 22 gelagert wird.

Nachfolgend sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Bewegungsbefehl an den Frördermechanismus 12. Bei Erhalt des

Bewegungsbefehls bewegt der Fördermechanismus 12 die

Halterung 11, die in der Station ST2 steht, an Station ST3

(Schritt S20). Konkret bewegt die Antriebseinheit die Förderbühne 22, die in

(in dem Fördermechanismus

12 nicht gezeigte)

der Station ST2 steht, zur Station ST3 und stoppt die

Förderbühne 22 an der zuvor bestimmten Position in der

Station ST3. Dann gibt die Steuerungsvorrichtung 20 die

Ansaugung durch das Saugloch frei. tung 20 einen Ausbringungsbefehl an einen

Dann sendet die

Steuerungsvorrich

nicht gezeigten Ausbringungsroboter. Diese Anordnung erlaubt

üfling 2, der bereits (Schritt

es dem Ausbringungsroboter, den Pr

begutachtet wurde, aus der Halterung 11 auszubringen

S21). Auf diese Weise ist der Betriebsablauf des Testsystems

1 zu einer Halterung 11 fertiggestellt. Nach dem Ende der

Verarbeitung in Schritt 521 kann die Verarbeitung zu Schritt

sS11 zurückkehren und der Verarbeitungsablauf kann wiederholt

werden.

Wie oben beschrieben wird in dem Prüfsystem 1 ein

Vorrichtungsbild erlangt, nachdem ein zu begutachtender

Prüfling 2 eingebracht wird und an einer Halterung 11 in der

eine Prüfung der elektrischen

eführt,

Station ST1 gehaltert wird, Eigenschaften an dem Prüfling 2 in Station ST2 durchg

und der bereits begutachtete Prüfling 2 wird aus der

Halterung 11 in die Station ST3 ausgebracht.

Es wird angemerkt, dass nicht mehr als drei Halterungen 11

von dem Fördermechanismus 12 befördert werden, und eine

Halterung 11 in jeder Station anhält. Dann, wenn die

Verarbeitung in jeder Station anhält, steuert die

Steuerungsvorrichtung 20 den Fördermechanismus 12, um die

Halterungen 11 (Förderbühnen 22) zu den nächsten Stationen zu

bewegen. Somit wird die Verarbeitung in den Schritten S11 bis

S15 an eine Halterung 11, die Verarbeitung bei den Schritten

S16 bis S19 zu einer anderen Halterung 11, und die

Verarbeitung in den Schritten S20 und S21 an noch eine

weitere [Halterung] 11 parallel durchgeführt. In diesem Fall

erfolgt die Verarbeitung in Schritt S15 nach Abschluss der

Verarbeitung in Schritt S18.

Als nächstes wird unter Bezugnahme auf Figur 6 die

Austauschbearbeitung einer Messfühlereinheit beschrieben.

Figur 6 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Betriebsablauf bei

dem Austausch einer Messfühlereinheit zeigt. Beispielsweise

beginnt der Betriebsablauf, der in Figur 6 veranschaulicht

ist, mit der Durchführung [der Prüfung] der elektrischen

Eigenschaften eines Prüflings 2 oder der Eingabe eines

Befehls von einem Bediener durch die Eingabevorrichtung als

Auslöser. Die Messfühlereinheit 14 kann mit derselben Art von Messfühlereinheit 14 ersetzt werden oder kann durch eine

andere Art von Messfühlereinheit 14 ersetzt werden.

Zuerst bestimmt die Steuerungseinheit 20, ob die

Austauschbedingung der Messfühlereinheit 14 erfüllt ist

(Schritt 5S31). Beispielsweise bestimmt die

Steuerungsvorrichtung 20, dass die Austauschbedingung erfüllt

in einem Fall, bei dem die Anzahl von Messungen eine

wurde,

zuvor bestimmte Anzahl erreicht hat. Die Steuerungseinheit 20

bestimmt, dass die Austauschbedingung erfüllt wurde, in einem

Fall, bei dem ein Bediener einen Austauschbefehl eingegeben

hat. Der Austauschbefehl wird beispielsweise ausgegeben, In einem Fall,

um

zwischen Arten von Prüflingen 2 umzuschalten.

bei dem bestimmt wird, dass die Austauschbedingung nicht

erfüllt wurde (Schritt S3L1, NEIN), beendet die Steuerungsvorrichtung 20 die Austauschverarbeitung einer

Messfühlereinheit.

m Fall, bei dem in Schritt S31 bestimmt (Schritt 531;

Indessen wird in eine

wird, dass die Austauschbedingung erfüllt ist

JA), die Messfühlereinheit ausgetauscht (Schritt 32). Genauer

gesagt sendet die Steuerungsvorrichtung 20 zuerst einen

Befehl zur Entfernung für die Messfühlereinheit 14 an den

Austauschroboter und den Messfühler-Halter 15. Dann, bei

Empfangen des Befehls zur Entfernung für die

Messfühlereinheit 14 aus der Steuerungsvorrichtung 20, gibt

der Messfühler-Halter 15 die Befestigung der

Messfühlereinheit 14 frei und der (nicht gezeigte)

Austauschroboter entfernt die Messfühlereinheit 14 aus dem

Messfühler-Halter 15.

Im Anschluss sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Aufgreif-Befehl an den Austauschroboter, der

Klassifizierungsinformationen enthält, die die Art einer

neuen, anzubringenden Messfühlereinheit 14 angeben. Dann,

wenn der Aufgreif-Befehl aus der Steuerungsvorrichtung 20

empfangen wird, erlangt der Austauschroboter eine Art der

Messfühlereinheit 14, die durch die

Klassifizierungsinformationen im Aufgreif-Befehl angegeben

wird, aus einem Aufbewahrungsort, in dem ungebrauchte

Messfühlereinheiten 14 aufbewahrt werden. Zu diesem Zeitpunkt

1liest der Austauschroboter die den Messfühlereinheiten 14

bereitgestellten Markierungen (eng.: „tags“) aus den

ungebrauchten Messfühlereinheiten 14 aus, um die Art von

Messfühlereinheit 14 auszuwählen, die durch die

Klassifizierungsinformationen in dem Aufsammelbefehl

angegeben werden. Dann nimmt der Austauschroboter die

Messfühlereinheit 14 in den Gehäuseraum V auf, so dass der

erste Abschnitt 42 der Nadelkarte 42 am Sockel 51 anliegt und

das vordere Ende des Messfühlers nach unten ragt.

Dann sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Festhaltebefehl für die Messfühlereinheit 14 an den

Messfühlerhalter 15. Dann, wenn der Festhaltebefehl für die

Messfühlereinheit 14 von der Steuerungsvorrichtung 20

empfangen wurde, greift der Messfühlerhalter 15 die

Nadelkarte 42 der Messfühlereinheit 14, um die

Messfühlereinheit 14 festzuhalten (zu befestigen). Auf diese

Weise wird die Messfühlereinheit 14 ausgetauscht. Dann setzt

die Steuerungsvorrichtung 20 die Anzahl der Messungen auf

null.

schluss daran sendet die Steuerungsvorrichtung 20 einen

Dann, bei

Im An Aufnahmebefehl an die Bildgebungsvorrichtung 19.

Erhalt des Aufnahmebefehls aus der Steuerungsvorrichtung 20,

führt die Bildgebungsvorrichtung 19 ein Aufnehmen durch, um

ein Messfühlerbild zu erlangen, und sendet das erlangte

Mess£fühlerbild an die Steuerungsvorrichtung 20 (Schritt S33).

Dann erlangt die Steuerungsvorrichtung 20 auf Grundlage des

Messfühlerbilds die Position der Sonde 41 und errechnet die

Abweichungsmenge des Messfühlers 41 (Schritt 5S34). Konkret

detektiert die Steuerungsvorrichtung 20 zuerst die

Ausrichtungsmarkierung der Messfühlereinheit 14 in dem

Messfühlerbild, beispielsweise durch Musterabgleich oder

Kantendetektion. Dann detektiert die Steuerungsvorrichtung 20

die Abweichungsmenge der Ausrichtungsmarkierung von einer

Referenz-Ausrichtungsmarkierung in dem Messfühlerbild. Die

Abweichungsmenge umfasst die Abweichungsmenge in der X-

Achsenrichtung, die Abweichungsmenge in der Y-Achsenrichtung und das Ausmaß an Rotationsabweichung. Die ReferenZ-

Ausrichtungsmarkierung, bei der es sich um eine

Ausrichtungsmarkierung handelt, die einem Referenzmessfühler

bereitgestellt wird, wird zuvor [für] jede Messfühlereinheit

14 festgelegt. Der Referenzmessfühler, bei dem €5S sich um

einen an einer Referenzposition festgelegten Messfühler

handelt, wird zuvor [für] jede Art von Messfühlereinheit 14

festgelegt. Das bedeutet, dass in einem Fall, bei dem die

Referenz-Ausrichtungsmarkierung und die

Ausrichtungsmarkierung zueinander fluchtend bzw. ausgerichtet

in dem Messfühlerbild positioniert sind, das Ausmaß einer

Abweichung des Messfühlers 41 null beträgt.

Dann berechnet die Steuerungsvorrichtung 20 aus der

detektierten Abweichungsmenges die Bewegungsmenge in der X-

Achsenrichtung, die BewegungSsmenge in der Y-Achsenrichtung

und den Drehwinkel um die Z-Achsenrichtung, zu der Haltung des

so dass die

Haltung des Messfühlers 141 identisch

Referenz-Messfühlers ist. Beispielsweise konvertiert die

Steuerungsvorrichtung 20 die Bewegungsmengen in der X-

Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung in dem

ie Abweichungsmengen in der X-

ichtung an der Halterung 11

Vorrichtungsbild in d

Achsenrichtung und der Y-Achsenr htungsbild als die

da

und gibt die Abweichungsmenge in dem Vorric Menge von Rotationsabweichung an der Halterung 11 aus, gen in X-Achsenrichtung und der Y-

chtungsbild und den Längen in X-

zwischen den Län

Achsenrichtung in dem Vorri

Achsenrichtung in der Y-Achsenrichtung an der Halterung 11

konstante Verhältnisse vorliegen. Dann berechnet die

orrichtung 20 die Bewegungsmenge in der X-

SteuerungsSvV Achsenrichtung, die Bewegungsmenge in der Y-Achsenrichtung und den Drehwinkel um die 7-Achsenrichtung derart, dass die

Abweichungsmengen in der X-Achsenrichtung und der Y-

Achsenrichtung und die Menge von Rotationsabweichung null

sind. Dann überträgt die Steuerungsvorrichtung 20 einen Ausrichtungsbefehl, der die Bewegungsmenge in X-

Achsenrichtung, die BewegungSmeng®e in Y-Achsenrichtung und

den Drehwinkel um die Z-Achsenrichtung beinhaltet, an den

Ausrichtungsmechanismus 16.

Nachfolgend, bei Empfang des Ausrichtungsbefehls von der

Steuerungsvorrichtung 20 bewegt der Ausricht

16 die Bühne 62 in X-Achsenrichtung und Y-Achsenrichtung, und dreht die Bühne 62 um

ungsmechanismus

um

die empfangenen Bewegungsmengen,

den empfangenen Drehwinkel um die Z-Achsenrichtung. Diese

«& Messfühlers 41 an der

(Schritt

Anordnung ermöglicht das Einstellen de Referenzposition und unter dem Referenzdrehwinkel 525). Auf diese Weise endet der Betriebsablauf bei der Austauschverarbeitung der Messfühlereinheit 14.

Wie oben beschrieben wird in dem Prüfsystem 1 dann, wenn die Austauschbedingung der Messfühlereinheit 14 erfüllt ist, die

Messfühlereinheit 14 ausgetauscht und dann wird die

Ausrichtung des ausgetauschten Messfühlers 41 durchgeführt.

Es wird angemerkt, dass die Verarbeitung in Schritt sS33 und

334 bei jeder Prüfung der elektrischen Eigenschaften

durchgeführt werden kann, sowie bei Austausch der

Messfühlereinheit 14. In diesem Fall wird die Verarbeitung in

el zur Verarbeitung bei den

+. Bei Schritt S15 können

Schritt S33 und S34 parall

Schritten S13 und S14 durchgeführ

der Messfühler 41 und die Elektroden des Prüflings 2

zueinander £luchtend positioniert werden, mit der

gsmenge des Messfühlers 41 und der Abweichungsmenge

Abweichun

des Prüflings 2. In diesem Fall kann Schritt S35 entfallen.

Wie oben beschrieben bewegt sich in dem Prüfsystem 1 der

Messfühler 41 (Messfühlereinheit 14) in der X-Y-Ebene, so

dass die Position des Messfühlers 41 mit der Position der

Elektroden des Prüflings 2 ausgerichtet ist. Konkret wird die

Position des Messfühlers 41 an der Position von Elektroden

der Prüflings 2 ausgerichtet, indem der Messfühler 41 in der

X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung bewegt wird, und

der Messfühler 41 um die Z-Achsenrichtung gedreht wird. Dann

bewegt der Anhebe/Absenk-Mechanismus 17 die Halterung 11, an

der der Prüfling 2 montiert ist, entlang der Z-Achsenrichtung,

bis das vordere Ende des Mess£fühlers 41 in Kontakt mit den

Elektroden des Prüflings 2 gelangt. der Prüfung der elektrischen

Diese Anordnung

ermöglicht das Durchführen

Eigenschaften an dem Prüfling 2 mit der Messschaltung 31.

Nach der Durchführung der Prüfung der elektrischen

Eigenschaften werden die Elektroden des Prüflings 2 von dem

Messfühler 41 beabstandet, indem die Halterung 11 entlang der

g bewegt wird. Da die Halterung 11, an der der

Z-Achsenrichtun

Prüfling 2 montiert werden soll, mit keinem

Bewegungsmechanismus und keinem Drehmechanismus zum

Ausrichten der Elektroden des Prüflings 2 und des Messfühlers

Al versehen ist, kann das Gewicht der Halterung 11 verglichen

mit dem einer Halterung, die mit einem dreiachsigen

Bewegungsmechanismus und einem Drehmechanismus versehen ist,

verringert werden. Diese Anordnung ermöglicht eine verkürzte

Beförderungszeit der Halterung 1l durch den Fördermechanismus

12. Sie ermöglicht ebenfalls eine Verkürzung der

Anhebe/Absenk-Zeit der Halterung 11, durch den Anhebe/Absenk-

Mechanismus 17.

Die Halterung 11 bewegt sich (hebt sich an oder senkt sich

ab) entlang der 7-Achsenrichtung, um die El lings 2 und den Messfühler 41 miteinander in Kont

neinander zu beabstanden, wohingegen sich der

ektroden des

Prüf akt zu

bringen oder vo

Messfühler 41 nicht entlang der Z-Achsenrichtung bewegt

(anhebt oder absenkt). Somit besteht kein Bedarf daran, die

Länge des Stromkabels zum elektrischen Verbinden des

ers 41 und der Messschaltung 31 mehr als notwendig zu

Messfühl da der Abstand in Z- Richtung zwischen dem

ltung 31 während des Betriebs

verlängern,

Messfühler 41 und der Messscha

des Prüfsystems 1 nicht variiert. Diese Anordnung erlaubt die

Verkleinerung der Induktivität in dem Stromkabel verglichen

mit der eines Messfühlers, der mit einem triaxialen

Bewegungsmechanismus und einem Drehmechanismus versehen ist.

Im Ergebnis kann die Beförderungszeit ohne Verschlechterung

der Messgenauigkeit verkürzt werden.

Bei dem Prüfsystem 1 bewegen sich die Messfühlereinheit 14

und der Messfühler-Halter 15 in der X-Achsenrichtung und der

Y-Achsenrichtung, und drehen sich um die Z-Achsenrichtung.

Daher wird verhindert, dass die Messschaltung aufgrund von

’ ve. € ® >» US ° s .. . ° 5 0D00 *

* .. .. s ® * * er«r .. as ... + e...

35

Schwingungen ausfällt, weil der Prüfkopf fixiert ist und sich

nicht bewegt.

Der Fördermechanismus 12 befördert eine Halterung 11

nacheinander an die Station ST1 zum Montieren eines zu

untersuchenden Prüflings 2 an der Halterung 11, an die

on ST2 zum Durchführen der Prüfung der elektrischen

sowie an die Station ST3 zum Ausbringen

Stati des

Eigenschaften,

bereits untersuchten Prüflings 2 aus der Halterung. Die

Verwendung von mindestens drei Halterungen 11 ermöglicht das

rüflings 2, das

parallele Durchführen der Montage eines P haften, und

hren einer Prüfung der elektrischen Eigensc so dass die Effizienz der

Durch£fü

das Ausbringen eines Prüflings 2,

Inspektion verbessert werden kann.

Der Ausrichtungsmechanismus 16 führt auf Grundlage des

Vorrichtungsbildes, das durch die Bildgebungsvorrichtung 18

erlangt wurde, ein Ausrichten der Elektroden des Prüflings 2

ch. Das Erlangen des

und des Messfühlers 41 dur on ST1 durchgeführt, und

Vorrichtungsbilds wird in der Stati

die Prüfung der elektrischen Eigenschaften wird in der

station ST2 durchgeführt. Das bedeutet, dass das Ausrichten

des Messfühlers Al in der Station ST2 auf Grundlage des

Vorrichtungsbilds in station ST1 durchgeführt wird. Somit ist

es erforderlich, dass die Halterung 11 exakt anhält, da die

Halterung 11 an den zuvor bestimmten Positionen in den

Stationen ST1 und ST2 anhalten muss. Wie oben beschrieben

wird die auf die Halterung wirkende Trägheitskraft verringert,

da die Vorrichtung gewichtsreduziert ist. Somit kann die

Beförderungszeit für die Halterung verkürzt werden, da die

Zeit, die die Halterung ZUM Anhalten benötigt, verringert

werden kann. Da das Vorrichtungsbild in der Station ST1

ee. * n. ... 6 e800

36

erlangt wird, kann das Ausrichtungen des Messfühlers 41

durchgeführt werden, bevor die Halterung 11 zu der Station

ST2 befördert wird. Diese Anordnung ermöglicht es, dass die

Effizienz der Begutachtung zunimmt.

Da der Messfühler-Halter 15 den Messfühler (Messfühlereinheit

14) lösbar haltert, kann der Messfühler 41 ausgetauscht

weise kann sich aufgrund der Genauigkeit des

werden. Beispiels

Haltens des Messfühlers 41 durch den Messfühlerhalter 15 die

Position des Messfühlers 41 an dem Messfühlerhalter mit jedem

Austausch des Messfühlers 41 verändern. Im Gegensatz dazu

führt der Ausrichtungsmechanismus 16 ein Ausrichten der

Elektroden des Prüflings 7? und des Messfühlers 41 auf

Grundlage des durch die Bildgebungsvorrichtung 19 erlangten

Messfühler-Bildes durch. Diese Anordnung erlaubt das Erlangen

der Position des Messfühlers 41 auf Grundlage des Messfühler-

Bildes, so dass die Elektroden des Prüflings 2 und des

nauer zueinander ausgerichtet werden können.

Messfühlers 41 ge die schematisch ein Prüfsystem nschaulicht. Figur 8

g der Linie

Figur 7 ist eine Draufsicht,

mäß einer zweiten Ausführungsform vera

ge aufgenommen entlan

ist eine Querschnittsansicht,

VIITI-VIII aus Figur 7. Das in den Figuren 7 und 8

dargestellte Prüfsystem ist ein Rotationsprüfsystem. Das

h vom Prüfsystem 1

Prüfsystem 1A unterscheidet sSiC anismus 12A anstelle

hauptsächlich bezüglich eines Fördermech

des Fördermechanismus 12. Es wird angemerkt, dass die

g eines Messfühlerhalters 15 in Figur 8

Veranschaulichun ähnlich Figur 2.

entfällt, so dass die Figur vereinfacht ist,

Der Fördermechanismus 12A unterscheidet sich vom

Fördermechanismus 12 hauptsächlich bezüglich einer

Antriebseinheit 25 und eines Drehtellers 26, anstelle der

Förderspur 21, der Förderbühnen 22 und dem nicht gezeigten

Antrieb. Der Fördermechanismus 12A fördert einen Prüfling 2

(Halterung 11) kreisförmig nacheinander an Station STL1,

Station ST2, und eine Station ST3. Die Stationen ST1L bis ST3

sind nacheinander in einer Drehrichtung C um die Mittelachse

AX des Drehtellers 26 angeordnet.

Die Antriebseinheit 25 dreht den Drehteller 26 in die

Drehrichtung C um die Mittelachse AX des Drehtellers 26. In

der vorliegenden Ausführungsform ist die Drehrichtung C in

einer Draufsicht im Uhrzeigersinn, kann jedoch in einer

Draufsicht auch gegen den Uhrzeigersinn sein. Die

Antriebseinheit 25 kann beispielsweise einen Motor aufweisen.

Der Drehteller 26 ist ein plattenförmiges Element, das die

Halterung 11 lagert. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist

die Form des Drehtellers 26 in Z-Achsenrichtung betrachtet

sförmig. Die Mittelachse AX des Drehtellers 26 ist eine und ist in Z-

krei die sich in Z-Achsenrichtung erstreckt, eise in der Mitte des Drehtellers 26

Achse, Achsenrichtung beispielsw

betrachtet (der Mitte des Kreises) positioniert. ine untere

Der

Drehteller 26 hat eine obere Fläche 26a und e

Fläche 26b. Die obere Fläche 26a ist eine Fläche, die die Z-

Achsenrichtung kreuzt, an der die Halterung 11 montiert ist.

Die untere Fläche 26b ist eine Fläche, die die Z-

Achsenrichtung kreuzt, wobei sich die Fläche gegenüberliegend

der oberen Fläche 26a befindet. Durchgangslöcher 26h, die den

Drehteller 26 in Z-Achsenrichtung durchdringen, sind an dem

Drehteller 26 bereitgestellt. Die Innendurchmesser der

Durchgangslöcher 26h sind im Wesentlichen die gleichen wie

die Außendurchmesser der Vorsprünge 11b. Die Vorsprünge 11b

der Halterung 11 werden durch die Durchgangsöffnungen 26h von

der Seite der oberen Fläche 26a durchgesteckt, und das

vordere Ende von jedem Vorsprung 11lb steht von der unteren

Fläche 26b nach unten vor.

mus 12A einen Bewegungsbefehl von

dreht die

Wenn der Fördermechanis

einer Steuerungsvorrichtung 20 empfängt,

Antriebseinheit 25 den Drehteller 26. Die Antriebseinheit 25

dreht den Drehteller 26 in Drehrichtung C, so dass sich die

Halterung 11 zur nächsten Station bewegt und an einer Zuvor

bestimmten Position in der nächsten Station anhält. Es wird

angemerkt, dass an dem Fördermechanismus 12a drei Halterungen

11 montiert sind. Eine Halterung stoppt in Statio und die andere

n ST1, eine

rung 11 stoppt in Station ST2, so dass in diesen

weitere Halte

Halterung 11 stoppt in Station ST3,

Stationen eine parallele Bearbeitung erfolgen kann.

Das obenstehende Prüfsystem 1A hat eine Wirkung, die ähnlich

der des oben beschriebenen Prüfsystems 1 ist.

Es wird angemerkt, dass ein Prüfsystem gemäß der vorliegenden

Erfindung nicht auf die Ausführungs formen beschränkt ist.

Beispielsweise kann die Bildgebungsvorrichtung 18 in der

station ST2 bereitgestellt sein. In diesem Fall kann die

Abweichungsmenge des Prüflings 2, einschließlich dem Fehler

beim Anhalten der Halterung 11 (Förderbühne 22} durch den

Fördermechanismus 12 berechnet werden. Somit kann sich die

Genauigkeit beim Ausrichten des Messfühlers 41 und der

Elektroden 41 des Prüflings 2 verbessern.

stem 1 muss nicht unbedingt die ung 18 und/oder die Bildgebungsvorrichtung

Das Prüfsy Bildgebungsvorricht

.. .. .. ... ° ....

39

19 aufweisen. Beispielsweise können das Vorrichtungsbild und

das Messfühlerbild von außerhalb des Prüfsystems 1 erlangt

werden. Informationen, aus denen die Position des Prüflings 2

und die Position der Sonde 41 spezifiziert werden können,

können anstelle der Bildgebungsvorrichtung und des

Sondenbilds verwendet werden.

Wenn der Maximalwert der Abweichungsmenge des Prüflings 2

derart ist, dass die Elektroden des Prüflings 2 und der

Messfühler 41 nicht voneinander beabstandet sind, kann die

Ausrichtung auf Grundlage des Vorrichtungsbilds entfallen. In

diesem Fall muss das Prüfsystem 1 nicht unbedingt die

Bildgebungsvorrichtung 18 aufweisen. Wenn der Maximalwert der

Abweichungsmenge der Messfühlereinheit 14 (Messfühler 41)

derart ist, dass die Elektroden des Prüflings 2 und der

Messfühler 41 nicht beabstandet sind, kann die Ausrichtung

auf Grundlage des Messfühlerbilds entfallen. In diesem Fall

weist das Prüfsystem nicht notwendigerweise die

Bildgebungsvorrichtung 19 auf.

Wenn der Messfühler 14 nicht ausgetauscht wird, hält der

Messfühlerhalter 15 die Messfühlereinheit 14 nicht unbedingt

lösbar fest, und somit ist die Bildgebungsvorrichtung 19

nicht unbedingt bereitgestellt.

Die Anzahl von Stationen in dem Prüfsystem 1 ist nicht auf

drei beschränkt. Beispielsweise kann der Prüfling 2 in einer

station an einer Halterung 11 montiert werden, die Prüfung

der elektrischen Eigenschaften kann an dem Prüfling 2

erfolgen, und der Prüfling 2 kann aus der Halterung 11

ausgebracht werden. Die Station ST2 kann ferner in eine

station zum Durchführen der Prüfung der statischen

Eigenschaften und eine Station zum Durchführen der Prüfung

der dynamischen Eigenschaften unterteilt sein.

Bezugszeichenliste

1, 1A Prüfsystem

2 Prüfling bzw. DUT (Device Under Test)

11 Halterung

12, 12A Fördermechanismus

13 Prüfkopf

14 Messfühlereinheit

15 Messfühler-Halter

16 Ausrichtungsmechanismus

17 Anhebe/Absenk-Mechanismus

18 Bildgebungsvorrichtung (erste Bildgebungsvorrichtung)

19 Bildgebungsvorrichtung (zweite Bildgebungsvorrichtung)

20 Steuerungsvorrichtung

31 Messschaltung

41 Messfühler

eT1 Station (erste Station)

ST2 Station (zweite Station)

ST2 Station (dritte Station)

Claims (5)

Patentansprüche:

1. Prüfsystem, das eingerichtet ist, eine Prüfung von

elektrischen Eigenschaften an einem Prüfling durchzuführen,

wobei das Prüfsystem aufweist: eine Halterung, an der der Prüfling montiert werden

soll;

einen Fördermechanismus, der eingerichtet ist, die

Halterung zu befördern;

der eine Messschaltung ZUum Durchführen

einen Prüfkopf, ischen Eigenschaften aufweist;

der Prüfung der elektr eine Elektrode

einen Messfühler, der eingerichtet ist,

Prüflings mit der Messschaltung zu verbinden;

des der eingerichtet ist,

einen Anhebe/Absenk-Mechanismus,

die Halterung entlang einer ersten Richtung derart zu bewegen,

dass die Elektrode und der Messfühler in Kontakt miteinander

neinander beabstandet sind; und

oder vo der an dem Prüfkopf

einen Ausrichtungsmechanismus, Ausrichtungsmechanismus

vorgesehen ist, wobei der einer Ebene zu bewegen,

den Messfühler in

eingerichtet ist, um ein Ausrichten des

die die erste Richtung schneidet,

Messfühlers an der Elektrode in der Ebene durchzuführen.

2. Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei der Fördermechanismus

g nacheinander an eine erste Station zum

die Halterun eine zweite Station

s an der Halterung,

Montieren des Prüfling r elektrischen Eigenschaften,

zum Durchführen der Prüfung de

und an eine dritte station zum Ausbringen des Prüfling aus

der Halterung befördert.

3. Prüfsystem nach Anspruch 2, ferner aufweisend: eine

erste Bildgebungsvorrichtung, die eingerichtet ist, den

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Prüfling, der an der Halterung montiert ist, an der ersten Station aufzunehmen,

wobei der Ausrichtungsmechanismus die Ausrichtung auf

Grundlage eines Bildes des Prüflings durchführt, das von der

ersten Bildgebungsvorrichtung aufgenommen wird.

4. Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner aufweisend:

einen Messfühler-Halter, der eingerichtet ist, den Messfühler

1ösbar zu halten; und

eine zweite Bildgebungsvorrichtung, die eingerichtet ist, den

Messfühler aufzunehmen, wobei der Ausrichtungsmechanismus das Ausrichten auf

Grundlage eines Bildes des Messfühlers durchführt, das von

der zweiten Bildgebungsvorrichtung aufgenommen wird.

5. Prüfsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der

Ausrichtungsmechanismus in der Lage ist, die Sonde in einer

zweiten und dritten, die Ebene definierenden Richtung zu

bewegen, und in der Lage ist, die Sonde um die erste Richtung

zu drehen.

Anmelder durch:

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Wien, am 9. Juli 2019

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