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Verfahren zum Kontaktieren von Halbleiterbauelementen
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in der Figur nicht mehr dargestellten beheizbaren Unterlage liegenden Halbleiterbauelement, beispielsweise einem Mesa-Transistor 1, mit den Kontaktflächen 3 und 4 wird durch eine mit der Kapillare 25 versehene Düse 5 aus Glas oder einem andern geeigneten Werkstoff der Golddraht 6 zu- geführt. Der Drahtdurchmesser beträgt ungefähr 20 J. L. Der Kontakt 7 auf der Fläche 4 ist durch Aufpressen des Drahtes 6 mit Hilfe der Düse 5 unter Wärmeeinwirkung. hergestellt. Anschliessend wird der Draht 6 unter Herausziehen aus der Düse 5 zur Drahtdurchführung 22 geführt, wo in entsprechender Weise ein Kontakt 27 erzeugt wird.
Nach der Kontaktierung wird der Draht 6 durch die aus den Scherblättern 8 und 9 bestehende Abschneidevorrichtung unterhalb des Düsenrandes 10 abgeschnitten und gleichzeitig zur Vorbereitung für die nächste Kontaktierung umgebogen. Die Dicke der Scherblätter beträgt 50-100 J. L.
In den Fig. 2-4 sind verschiedene Phasen des Abschneidevorganges mit einer bisher üblichen Abschnei- devorrichtung dargestellt. Das Umbiegen des aus der Düse 5 herausragenden Drahtes 6 geschieht durch Überschneiden der Scherblätter 8 und 9.
InFig. 2 ist dieSchneidevorrichtung zu Beginn des Schneidevorganges gezeigt. Durch Zusammenführen der Scherblätter wird der Draht 6, wie in Fig. 3 angedeutet, abgeschnitten und das aus derDüse ragende Drahtende umgebogen und bildet, wie in Fig. 4 dargestellt, den Haken 11. Die Länge des umgebogenen Drahtendes von der Schnittfläche 12 bis zur Achse der Kapillare 25, entsprechend dem Abstand sl in der Figur, ist dabei im günstigsten Fall gleich der Summe aus Drahtdurchmesser d und Scherblattdicke r.
In denFig. 5-7 sind die entsprechendenphasen desAbschneidevorga ges mit eÚ1erAbschneidevorrich- tung dargestellt, wie sie beispielsweise gemäss der Erfindung ausgebildet sein kann.
In Fig. 5 ist die Abschneidevorrichtung zu Beginn des Schneidevorganges dargestellt. Die Schneide- fläche des oberen Scherblattes 8 ist mit der Abschrägung 13 versehen, durch die die Schneidenfläche des Scherblattes eine stumpfwinkelige Ausbildung erhält. Zur Erhöhung der mechanischen Stabilität ist
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vorliegendenAusführungsbeispiel die Verstärkungnachbarten Teil des Scherblattes 8 freilässt.
In Fig. 6 ist die gleiche Vorrichtung unmittelbar nach dem Abschneiden zu Beginn des Umbiegevorganges dargestellt. Wie aus der Figur zu ersehen ist, ist in diesem Fall die Länge des aus der Düse herausragenden Drahtendes nicht von der Dicke des oberen Scherblattes abhängig, sondern wird durch den Abstand der Schneide 15 vom Düsenrand 10 bestimmt. Die Länge des Drahtendes ist demnach kleiner als die Summe von Scherblattdicke und Drahtdurchmesser. Durch genügend starkes Abschrägen des vor- deren Teiless desScherblattes 8 ist es möglich, die Länge des abgeschnittenen und umgebogenen Drahtendes auf Werte herabzusetzen, die nur wenig grösser sind als der Durchmesser d des Drahtes 6.
In Fig. 7 ist die Endstellung der Abschneidevorrichtung, die bei dem Verfahren gemäss der Erfindung Verwendung findet, dargestellt. Durch Überschneiden der Scherblätter 8 und 9 ist der Draht 6 abgeschnitten und zum Häkchen 11 umgebogen worden. Die Länge des Drahtendes beträgt bei Verwendung dieser Anordnung beispielsweise ungefähr 40 ze PATENTANSPRÜCHE :
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zumKontaktieren vonHalbleiterbauelementen, insbesondere solcher mit extrem kleinenKontaktflächen, bei der der zum Kontaktieren vorgesehene Draht durch eine Düse geführt und mittels Thermokompression an der Kontaktfläche befestigt und auf eine bestimmte Länge mittels verschränkter Scherblätter abgeschnitten wird, wobei das aus der Düse herausragende Ende des Drahtes'zur Vorbereitung
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der aus elastischem Material bestehenden Scherblätter verwendet wird, dass die Länge des aus der Düse herausragenden Drahtendes auf einen Wert herabgesetzt wird, der kleiner ist als die Summe aus Drahtdurchmesser und Dicke des oberen Scherblattes, ohne Herabsetzung der mechanischen Stabilität,
indem die Schneidenfläche des oberen Scherblattes stumpfwinklig ausgebildet ist und das obere Scherblatt mit einer die mechanische Stabilität erhöhenden Verstärkung versehen ist.