<Desc/Clms Page number 1>
EMI1.1
Es sind mehrstufige Diffusionspumpen bekannt geworden, die aus Metall bestehen und sieh daher für technische Anwendung in rauheren Betrieben eignen. Diese Pumpen, wie sie beispielsweise in der österr. Patentschrift 96919 beschrieben sind, arbeiten in drei übereinander angeordneten Stufen, deren oberste als Hochvakuumpumpe wirkt, während die beiden unteren Stufen als Vorpumpen wirken. Diese Vorpumpen bedingten die Anordnung von je einer Dichtung im Innern des Pumpenzylinders, da sie als Düsenkörper ausgebildet sind, durch die die einzelnen Stufen der Pumpe voneinander getrennt werden.
Als Dichtung wurde bisher eine Ledermanschette zwischen Düsenkörper und Gehäusewand mit darüber liegender Quecksilberrilme benutzt. Diese Dichtungen müssen aber nicht nur den luftdichten Abschluss zwischen zwei Stufen bewirken, sondern das über der Ledermanschette ruhende Dichtungsquecksilber muss auch die gute Wärmeleitung von dem erhitzten Düsenkörper nach der gekühlten Gehäusewand übernehmen, damit die Staudüse kühl bleibt. Diese beiden Dichtungen im Pumpeninnern sind von aussen nicht zu überwachen und können daher leicht zu Störungen Anlass geben. Ferner müssen sie beim Einbau und beim Überprüfen mit Sorgfalt und Sachkenntnis behandelt werden. Deshalb ist die Betriebssicherheit dieser Pumpe für technische Zwecke nicht genügend, so dass z.
B. Grossgleichriehteranlagen in abgelegenen Gegenden mit ungeschulter Bedienungsmannschaft bei geringfügigen Störungen den Betrieb unterbrechen müssten.
Beim Gegenstande der Erfindung werden die genannten Nachteile vermieden, indem Dichtungen im Innern des Pumpengefässes überhaupt fortfallen und an Stelle der bisher verwendeten einfachen Düsen in einer'bei Glaspumpen bekannten Weise auf allen Stufen Ringdüsen angeordnet werden. Um nun jeder Düse das ihr zukommende Druckgefälle zuordnen zu können, wird gemäss der Erfindung jeder von ihnen der Arbeitsdampf durch ein besonderes Rohr zugeführt, so dass jede Ringdüse ohne Beeinflussung der andern eingestellt werden kann.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Das Pumpengehäuse ist ein zylindrisches Rohr a, das im Wirkungsbereich mit dem Kühlmantel b umgeben ist. Sein unterer geschlossener Teil enthält das Arbeitsquecksilber c, das mittels der Heizspule d geheizt wird. In dieses hinein tauchen drei gleichachsige Rohre e, f, g, durch deren Inneres der Quecksilberdampf hochsteigt.
Bei h ist das zu entlüftende Gefäss, bei i die Vorvakuumpumpe angeschlossen. Das innere Rohr e ist das längste und durch die ringförmige Düse/c abgeschlossen. Diese oberste Stufe arbeitet wie bei der bekannten Vorrichtung rein nach dem Diffusionsprinzip. Die am tiefer gelegenen Ende des mittleren Rohres t angeordnete zweite Ringdüse In wirkt ebenso wie die ebenso ausgebildete Ringdüse n am Ende des
EMI1.2
bzw. p und der Gehäusewand a, gebildeten Staudüsen. Zwischen Expansions- und Stau düsen dringt die Luft in den Dampfstrahl ein und wird mechanisch mitgerissen.
In der nachfolgenden Staudüse, die aussen unmittelbar vom Mantel b gekühlt wird, steigt der Druck im Dampfstrahl wieder, auf Kosten seiner Geschwindigkeit. Das an den Wänden sich verdichtende Quecksilber sammelt sich in der Rinne q und fliesst dem Vorrat c wieder zu.
<Desc / Clms Page number 1>
EMI1.1
Multistage diffusion pumps are known which are made of metal and are therefore suitable for technical use in harsher operations. These pumps, as described, for example, in Austrian patent specification 96919, work in three stages arranged one above the other, the top of which acts as a high vacuum pump, while the two lower stages act as backing pumps. These backing pumps each required the arrangement of a seal inside the pump cylinder, since they are designed as nozzle bodies through which the individual stages of the pump are separated from one another.
Up to now, a leather sleeve between the nozzle body and the housing wall with a mercury ring above it has been used as a seal. These seals not only have to provide an airtight seal between two stages, but the mercury seal resting over the leather sleeve must also take over good heat conduction from the heated nozzle body to the cooled housing wall so that the nozzle stays cool. These two seals inside the pump cannot be monitored from the outside and can therefore easily give rise to malfunctions. They must also be handled with care and expertise during installation and checking. Therefore, the operational safety of this pump is not sufficient for technical purposes, so that z.
B. Large leveling systems in remote areas with untrained operators would have to interrupt operation in the event of minor disruptions.
In the subject matter of the invention, the disadvantages mentioned are avoided in that seals in the interior of the pump vessel are omitted altogether and, instead of the simple nozzles previously used, ring nozzles are arranged on all stages in a manner known from glass pumps. In order to be able to assign the pressure gradient to each nozzle, according to the invention each of them is supplied with the working steam through a special pipe, so that each ring nozzle can be adjusted without influencing the others.
An exemplary embodiment of the invention is shown in the drawing. The pump housing is a cylindrical tube a, which is surrounded by the cooling jacket b in the effective area. Its lower closed part contains the working mercury c, which is heated by means of the heating coil d. Three coaxial tubes e, f, g plunge into this, through the interior of which the mercury vapor rises.
At h the vessel to be vented is connected, at i the backing pump is connected. The inner tube e is the longest and terminated by the annular nozzle / c. As in the known device, this uppermost stage works purely according to the diffusion principle. The second ring nozzle In located at the lower end of the central tube t acts in the same way as the ring nozzle n, which is also designed, at the end of the
EMI1.2
or p and the housing wall a, formed stagnation nozzles. The air penetrates the steam jet between the expansion and storage nozzles and is mechanically entrained.
In the downstream nozzle, which is cooled directly from the outside by the jacket b, the pressure in the steam jet rises again at the expense of its speed. The mercury that condenses on the walls collects in channel q and flows back to reservoir c.