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Les Capteurs
Les Capteurs
Les Capteurs
Christophe HÉRAIL
À Roselyne,
Pour sa patience
Trop rares sont ceux qui regroupent ces deux approches ou alors ils ne se préoccupent
que d’une partie des grandeurs physiques.
C’est ce constat qui m’a incité et motivé à rédiger ce document afin de présenter
l’ensemble des grandeurs physiques mesurables par des capteurs, en développant à la
fois les phénomènes physiques mis en jeu et les technologies employées.
Il est intéressant de noter que toutes les grandeurs physiques ne sont pas forcément
mesurables par un capteur, par exemple le temps ou la chaleur. Dans ce cas-là, on
mesure leur conséquence, comme la variation de température pour la chaleur.
Chaque chapitre présentera une grandeur physique mesurable. Pour chacune de ces
grandeurs les principes physiques employés ainsi que les techniques et technologies
associées seront détaillés avec au minimum un exemple industriel illustratif et ses
principales caractéristiques.
Tous les principes physiques et toutes les technologies ne seront pas systématiquement
détaillés à cause de leur complexité et du niveau élevé de connaissance scientifique
nécessaire à leur compréhension. Ils seront cependant cités dans les tableaux de
synthèse à la fin de chaque chapitre.
J'espère que vous aurez autant de plaisir à consulter et à utiliser ce document que j'ai
eu à le réaliser.
Christophe Hérail
Agrégé de Génie Électrique
Docteur en Physique
NOTATIONS, CONSTANTES ET CONVERSIONS
CHAPITRES
= 0. r = permittivité (isolant)
0 =
1 -12
.10 9 8,84.10 F/m (air) Capteurs de température 1
36.
r = permittivité relative > 1 Capteurs magnétiques 15
F constante de Faraday = 96 485 C⋅mol-1 Capteurs de courant 34
= µ0.µr = perméabilité (magnétique)
µ0 = 4..10-7 H/m (air) Capteurs d’onde électromagnétique 47
µr = perméabilité relative > 1 Capteurs optiques 68
-9
= résistivité (conducteur) 17.10 /m à 300K pour le cuivre
Capteurs de position et de déplacement 81
ou T = température (°C, K) Capteurs de proximité 122
R = constante universelle des gaz parfaits 8,314462 J⋅mol-1⋅K -1
Capteurs et détecteurs de niveau 137
viii ix
XXVI Capteurs biologiques 421 Ouvrages spécifiques : grandeurs mesurées 455
Généralités 421 Multi grandeurs 455
Bio récepteurs 422 Composants 456
MEMS 456
Définition et rôle 422
Température 457
Catalyse (Métabolique) 423 Magnétique 458
Affinité 425 Courant 458
Matière vivante 426 Antenne 459
Hybridation 426 Optoélectronique 460
Classification 427 Piézoélectrique 460
Position et déplacement 461
Transducteurs 428
Proximité 461
Association Bio récepteurs – Transducteurs 429 Vitesse d’un solide 461
Exemples de capteurs 433 Vitesse d’un fluide 462
Capteur de taux de glucose 433 Débit 462
Capteurs d’ADN 435 Déformation 463
Domaines et applications 437 Force 463
Couple 463
Pression 464
Microphone 464
Bibliographie 439 Accélération et chocs 465
Vibration 465
Radiation et rayonnement 465
Ouvrages généraux 439
Chimique 466
Chimique en phase aqueuse 466
Ouvrages spécifiques : domaines physiques 441 Chimique en phase gazeuse 467
Multi domaines 441 Humidité 468
Thermique 441 Vide 468
Magnétique 442 Biolologique 469
Onde électromagnétique 443
Optique 443
Optoélectronique 444
Piézoélectricité 445
Mécanique 445
Vitesse d’un solide 446
Vitesse d’un fluide 446
Débit 446
Déformation 446
Force et couple 447
Pression 447
Voix humaine et électroacoustique 448
Accélération et chocs 448
Vibration 448
Radiation et rayonnement 449
Chimie 450
Humidité 450
Vide 451
Biologie et médecine 451
Nanotechnologie 452
xi
x
I) CAPTEURS DE TEMPÉRATURE
RT = R0.F(T)
n
k
Métaux : F(T) = A .(T - T )
k= 0
i 0
Ex Pt100 :
-b 1 1
T β. T T0
Thermistance CTN : F(T) = .e
T0
Ex K164/100 : R0 = 100, T0 = 300K, b = 0, = 2000K
Comparaison
I> 0 M étal A
T0 T
A
M étal B
T0 M étal A
T
U>0 V
M étal B
Effet Seebeck
U = SAB.(T – T0) = (SA – SB).(T – T0) Tableau récapitulatif des thermocouples standards
Type S
(µV/K)
Nickel - Chrome 25 C B 8
625 C
+
E 60
12,2mV
- J 51
Nickel - Aluminium K 40
N 38
Exemple R 12
S 11
T 40
Exemple de fabrication
Thermocoup le
Ray onnement
T0 M étal A thermique
T
U>0 V
M étal B
b) En courant Absorbeur
Thermop ile
VEB1 = VEB2 I CQ1 = IC Q2 I T = 2.I
U .ST .(T 4 - T04 )
+
IT VBE3 + R.I = VBE4 + R’.I = émissivité IR de l’objet
ST = sensibilité de la thermopile
Q1 Q2 I/n I
VT . Ln + R.I = VT . Ln + R'.I
I
S IS
I I
VT 2.k
IT = 2. . Ln(n) = .Ln(n).T IT
R - R' q.(R- R')
Q3n Q32 Q3 1 Q4
Exemple : AD590 (Analog Devices)
,
R R
n = 8, R = 358 , R’ = 0
Principe de la mesure
Gamme = [-80, 250] C
S = qq kHz/°C
Précision = 0,02°C
a) Principe
. .T 4
Utilise une conversion luminance d’un corps L = en température à
l’intérieur d’une cellule de mesure, température mesurée au moyen d’un
thermocouple, d’une thermistance ou d’un bolomètre.
Fixe (Optron)
Appelé parfois ‘thermomètre laser’ quand un laser est intégré pour aider à la
visée.
11 12
10°) Applications
Thermocouple Four
Quartz Laboratoire
SAW Télémesure
RQN Laboratoire
14
II) CAPTEURS MAGNÉTIQUES b) Différence entre la mesure de champ et de flux magnétique
a) Organigramme
3°) À bobine
a) Principe
dH
e(t) = - 0 . r .n.S.
.cos( )
dt
n = nombre de spire
S = surface d'une spire
H = angle entre le champ H et la perpendiculaire
à la surface
n dH
Vdet = . .g(H)
S dt
g(H) est la fonction flux gating
(vanne de flux)
b) Chronogrammes
c) Exemple industriel (Brockhaus)
S = 10mV/µT
= ±0,1%
4°) Fluxgate
a) Principe
Le capteur fluxgate le plus simple se compose d’un noyau fait d’un matériau
magnétique doux, le plus souvent un alliage ferromagnétique, et d’au moins
deux bobinages : un d’excitation et un de détection.
17 18
c) Conditionneur f) Exemples industriels
1 Axes (Autonix)
S = 3,3mV/µT
= ±1%
3 axes (Wuntronic)
d) Mode différentiel
Pour améliorer la linéarité le capteur, on utilise une structure Gamme = [10µG, 1G]
différentielle :
S = ±4V/G
= ±0,1%
a) Coupe
19 20
6°) À effet Hall (1855 – 1938)
b) Vue de dessus
a) Principe de l’effet Hall
Phénomène de Hall
= ±5nT
I I.B
VH = kH.B = .B = RH.
q.n.e e
q = 1,6.1019C
n = concentration des porteurs 1010 cm3 (Si)
e = épaisseur
21 22
b) Exemples industriels
S = ±60mV/kG
= ±1%
S = 58mV/mT
= ±0,5%
= ±0,1%
Synoptique général
23 24
7°) À effet magnétorésistif b) Capteur en pont
Caractéristique et linéarisation
b) Effet Josephson
S = 16mV/V/kA/m
= ±1%
Principe Caractéristique
27 28
d) SQUID o ≠0
Le squid est le détecteur de champ magnétique le plus sensible qui existe. Il se crée un courant d’écrantage (screening current) Ié qui va aller vers
Il convertit le flux en tension en combinant deux phénomènes physiques : le bas dans la jonction 1 et vers le haut pour la 2 :
SQUID DC
R
V = .
L
SQUID RF
o =0
32
10°) Applications III) CAPTEURS DE COURANT
33 34
HF (Newtons4th)
Imax = 10kA
Imax = 2,5A
n2 1
V = 100mV à Imax =
n1 100000
fc = 1MHz
f = 50 ou 60Hz
= ±0,1%
= ±0,15%
a) Principe
n1 I2
= U m = 0 .n.A.
di
n2 I1 dt
I2
n1 = 1 I2 = n = nombre de spires
n2
A = Surface du la bobine
b) Exemples industriels
b) Électronique de conditionnement
Imax = 25A
Pour récupérer le courant, il suffit d'intégrer :
n2 1
=
n1 1000
f= 1Hz à 40kHz
(Datatronic) = ±0,3%
35 36
c) Limites utilisation
e) Technologie PRIME (LEM)
Principe
S = 13mV/A S = 1V/A
37 38
4°) À effet Hall c) Capteur de type ETA
Avantage : précision
39 40
e) Exemples industriels Closed Loop C Type (LEM)
S = 100mV/A
I max = 900A f = DC à 50kHz
S = 45mV/A
< ±0,1%
f = DC à 50kHz
= ±1%
I max = 950A
f = DC à 100kHz
= ±0,2%
Principe du capteur
ETA (LEM)
Imax = 100A
S = 25mV/A
f = DC à 100kHz
< ±1%
Synoptique
41 42
b) Exemple industriel (Sensitec) b) Différents types
I max = 150A
S = 16,7mV/A c) Conditionneur
f = DC à 400kHz
= ±0,8%
6°) À fluxgate
a) Principe du capteur
Il reprend le principe du capteur à effet Hall dans lequel la cellule de Hall est
remplacée par un fluxgate. d) Exemple industriel (PREMO)
S = 100mA/A
f = DC à 100kHz
< ±0,01%
43 44
8°) Applications
46
IV) CAPTEURS D’ONDES ÉLECTROMAGNÉTIQUES d) Gain
Prayonnée
1°) Principe G= antenne
Prayonnée
Energieélectrique Energieélectromagnétique
sourceisotopique
Rr
Coefficient d’efficacité =
R r + Rp
b) Bande passante
Pmax
Intervalle de fréquence pour lequel la puissance est supérieure à
2
soit -3dB en tension (ou courant).
c) Polarisation
Orientation du champ E dans la direction du rayonnement maximum. Il
existe :
Polarisation horizontale
Polarisation verticale
Polarisation circulaire
Polarisation elliptique
Polarisation croisée
47 48
En pratique on normalise en divisant par la puissance rayonnée maximale
mesurée et l’on trace 2 diagrammes de rayonnement en coordonnées
polaires :
Exemples
i
Exemple : Antenne de récepteur PO-GO
H
49 50
b) Grande boucle
Longueur de la boucle
a) Principe
En théorie :
L
d0
e 0
d
Z = Rr + jXa
En théorie :
L = /2 Z = 73
d) Polarisation /4
Dipôle théorique
53 54
7°) Antennes Yagi
Sens de propagation
G = 12 dB
Sens de propagation
G = 24dB
55 56
GSM 3G
8°) Paraboles
Soit = diamètre de la parabole
2
a) À foyer primaire ou centré
Il faut > 10. G 3.
λ
Wi-Fi
57 58
c) À foyer décalé (offset antenna)
b) Cassegrain
Réémetteur TV
TV satellite
59 60
d) Grégorien (Gregory antenna) 9°) Antennes Patch
TV TNT
Wi-Fi
61 62
10°) Antenne GSM
Séparée
63 64
11°) Autres antennes
Hélicoïdale : VHF
Cornet : Bande S
65 66
12°) Tableau comparatif V) CAPTEURS OPTIQUES
1°) À semi-conducteur
Gain Impédance Fréquence
Méthode +/-
(dB) () (Hz)
a) Photorésistance
Insensible au
Boucle [0 , 10] [0, 2000] [100k , 3G] champ
Principe
électrique
Antenne de Les photons vont modifier résistivité du matériau et donc la résistance du
Dipôle 0 75 [50M , 10G]
référence composant.
Marconi 0 75 [50M , 10G] Plus courte
Dipôle Mesure
Marconi Automobile
Trombone Radio FM
67 68
Interaction Photon - Électron
Spectres de réponse
b) Photodiode
Principe
Les photons libèrent des électrons dans une jonction polarisée en inverse.
Du fait que la taille d’un électron est infiniment plus petite que celle de
l’atome, la probabilité qu’un photon heurte un électron et lui transmette
son énergie est statistiquement extrêmement faible Courant crée lui-
même très faible.
69 70
d) Caméra CCD (image)
Principe
c) Phototransistor
Principe
71 72
Pour obtenir une image en couleur, il faut 3 caméras CCD munies chacune
d’un filtre rouge ou vert ou bleu. o Matrice (Kodak)
Vitesse = 40Mpixel/s
Exemples industriels
o Linéaire (Fairchild)
p = 2048 pixels
S = 10µV/photon
Vitesse = 80Mpixel/s
73 74
2°) À vide : Photomultiplicateur Chaque dynode étant maintenue à une valeur de potentiel plus importante
que la précédente, la différence de potentiel entre la dynode et la dynode
a) Principe suivante accélère les électrons ainsi émis, qui acquièrent suffisamment
d'énergie pour générer un certain nombre d'électrons secondaires sur la
dynode suivante.
Il se produit donc, de dynode en dynode, un effet d'avalanche.
La position et la forme des dynodes sont optimisées de sorte que le temps de
transit des électrons soit minimisé.
Une anode collecte les électrons secondaires émis par la dernière dynode à
partir desquels elle génère un courant électrique, recueilli en sortie du
photomultiplicateur.
75 76
Vision nocturne (ITT Defense)
S = 1600µA/Lm
tr = 1ms
77
4°) Applications
Photodiode Luxmètre
Photodiode à
Fibre optique communication
avalanche
Phototransistor Opto coupleur
79 80
VI) CAPTEURS DE POSITION ET DÉPLACEMENT 2°) Inductif à réluctance variable
1°) Potentiomètres
a) Simple
La tension issue du montage potentiométrique est l'image linéaire du
déplacement rectiligne (translation) ou déplacement angulaire (rotation).
L 2.0 .N2 . S0
S= -
x l0
Potentiomètre 10k - = 30mm ( MCB) Potentiomètre 500 - = 11cm (CELESCO)
N = nb de spires, S 0 = section du noyau, l0 = longueur moyenne du noyau
θ = 350°, nl = 1% θ = 180°, nl = 0,15%
Avantage : mesure sans contact
a) Principe
xmax = 9mm
S = 500µH/mm
nl = ±0,1%
83 84
b) Conditionneurs
Par démodulation
vibration,
déplacement,
distance,
déformation, …
= 20mm,
xmax = 4mm
S > 50mV/µm
a) Principe et constitution
Court Long
Coupe
x Ls
Rp << .Lp uS (t) = u1 (t) - u2 (t) = . .Up .sin(.t)
xmax Lp
Câblage
87 88
c) Conditionneur 5°) Resolver (RVDT)
Coupes (2 pôles)
Électronique de conditionnement
= 9,5mm
xmax = ±6mm
S = 80mV/V/mm
nl = ±15µm
89 90
usin (t) = U.sin( .t).sin(p. m) et u cos (t) = U.sin(.t).cos(p. m )
p = nb paires de pôles b) Schéma électrique
Une détection synchrone permet de récupérer une tension proportionnelle à
m .
= 19mm
max = ±60°
2. .x 2. .x
S = 61mV/° usin (t) = U.sin( .t).sin( ) et ucos (t) = U.sin(.t).cos( )
xp xp
= ±0,2° Une détection synchrone permet de récupérer une tension proportionnelle à
x.
Remarque : le couplage entre la règle et le curseur étant très faible (pas de
matériau magnétique comme dans le resolver) il faut amplifier fortement U sin
et Ucos.
6°) Inductosyn linéaire
c) Exemple industriel (SME)
a) Principe
xmax = 3m
S = 2,5µV/µm
= ±1µm
91 92
7°) Inductosyn angulaire c) Exemple industriel (CTI)
a) Principe et coupe
= 40mm
max = ±180°
S = 2mV/°
= ±0,5” = ±0,14m
Ici aussi, le couplage est faible et donc Usin et Ucos doivent être amplifiés.
93 94
b) Exemple capteur seul (BAUMER) 9°) Capacitifs
a) Simple
c) Capteur circuit intégré (AMS)
Principe
2. . .L
.A Cylindrique : C =
Plan : C = r
D Ln( 2 )
r1
b) Double (différentiel)
Synoptique
Cylindrique
Plan
A 2 et A3 fixes, A1 mobile
Nécessite un conditionneur
95 96
c) Sonde capacitive
Principe de base
.A
C=
D
97 98
e) Exemple industriel (E2J) b) Codeur absolu angulaire
Principe
Principe
99 100
Exemple industriel (Fagor) Exemple industriel (Heidenhain)
= 90mm,
max = ±180°
Nb bits = 19
= ±3µm
101 102
Chronogrammes 0
1
INDX (Top Zéro)
Reset
Clk n
A Compteur vers controleur ou CNA
Up/Down
Clk
Q Sens de rotation
B D
= 200mm
max = ±180°
= ±2’’ = ±5,5m°
Électronique de décodage
103 104
11°) Magnétorésistif Évolution des résistances en fonction de la distance (l = 10mm)
Principe
Modèle électrique
Conditionneur
105 106
b) Codeur incrémental linéaire Exemple industriel (ASM)
Principe
= ±80µm/m
Signaux
= 30mm
max = ±180°
nl = ±0,1%
107 108
12°) À ultrasons c) Influence de la température
v.T.cos( )
d=
2
f0 = 40kHz ±5kHz
S = 10mV/Pa
109 110
d) Compensation de la température
b) Par déphasage
Il peut donc être nécessaire de corriger l’influence de la température pour
annuler l’erreur due à cette grandeur d’influence. On utilise une technique de modulation d’amplitude de la source d’émission
E
Electronique
de
Traitement
R
µC
Conditionneur
+
CAN
Capt eur
Synoptique avec
La puissance lumineuse d’émission vaut : PE = P0.[1 + m.sin(2.π.fm.t)] où fm est
Remarque : la vitesse du son dépend aussi de l’altitude et du taux d’humidité !!! la fréquence modulante.
111 112
c) Par triangularisation e) Comparaison des méthodes
b
z = f. 1 +
.sin( )
f) Exemples industriels
d = 8mm
= ±0,2µm
Principe
113 114
o 2D
o Militaire (Newcon)
d = 80mm
d [60, 25 000] m
= ±0,1µm
= ±5m
o Golf (Nikon)
d [5, 500] m
= ±0,2m
115 116
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118
15°) Applications
a) Linéaire
120
b) Angulaire VII) CAPTEURS DE PROXIMITÉ
1°) Interrupteurs
Méthode Domaines & Applications
a) Interrupteur à action mécanique
Potentiomètre Petit asservissement
Utilisé en détection de fin de course, butée, came, cible.
Resolver RVDT Volet avion
Existe en version simple, inverseuse, double, multi pôles …
Inductosyn Antenne radar
Gyroscope iPhone
Rectiligne Angulaire
Diverses sortes
121 122
b) Interrupteur à lame souple (ILS) – Reed switch Circuits de protection
Principe
ddétection max = 5mm à 3mT La cible métallique modifie le champ magnétique d'une bobine en
absorbant de l'énergie par courant de Foucault, ce qui entraîne une
Ron < 0,05 variation de l'amplitude du signal. On détecte donc cette variation
d’amplitude au moyen d’un comparateur.
Imax = 0,5A
tr = 0,1ms
Ampoule (Celduc)
Imax = 3A
tr = 0,5ms
Complet (Fargo)
123 124
c) Fonctionnement e) Influence du type de cible
= 20mm
d) Portée
d détection max = 10mm
tr = 1,5ms
125 126
g) Exemples d’applications industrielles 3°) À effet Hall
b) Modes d’utilisation
127 128
d) Exemple industriel (Chen Yang) b) Exemples d’applications industrielles
Imax = 200mA
a) Principe
5°) Capacitif
a) Principe
Influence de la cible
129 130
6°) À Ultrasons b) Différents types
f0sc = 224kHz
ddétection max = 3m
tr = 45ms
°) Optique
131 132
c) Exemples industriels
LED (Frago)
ddétection max = 1m
133
9°) Applications
135 136
VIII) CAPTEURS ET DÉTECTEURS DE NIVEAU b) Exemples industriels
= ±1%
Multiniveau (Nivelco)
hmin = 50cm
hmax = 150cm
= ±0,5%
137 138
2°) Capteur capacitif 3°) Capteur à ultrasons
a) Principe a) Principe
gaz hg
(g)
2. . 0 .( r1 .h1 + r2 .h2 )
C=
D
Ln
liquide hl
d
(l)
v. t
h = L max -
2 Deux possibilités de mesure
hmax = 5m
= ±0,5mm
139 140
4°) Capteur à hyperfréquence (Radar pulsé) 5°) Capteur à absorption gamma (Radiométrique)
a) Principe a) Principe
Même principe qu’en ultrason, mais avec une onde électromagnétique On mesure le signal transmis à travers le matériau, son atténuation est
hyperfréquence (GHz). fonction de la hauteur. On utilise du Cobalt 60 ou du Césium 137 !!!
c. t
h = L max -
2
b) Exemple industriel (Vega)
b) Exemple industriel (Thermo Scientific)
hmax = 35m
hmax = 5m
Smax = 100µV/mm (eau)
Smax = 10mV/m (eau)
= ±2mm
= ±1%
Émetteur
Détecteur
141 142
6°) Détecteur de niveau magnétique c) Exemple industriel : multi niveaux (Gems)
a) Principe
Hmax = 4m
1 à 6 détecteurs
= ±1mm
= ±5mm
Exemple d’utilisation
143 144
7°) Détecteur de niveau conductif 8°) Détecteur de niveau à ultrasons
a) Principe a) Principe
Pmax = 10Bar
b) Exemples industriels (Gems)
= ±1mm
Pmax = 5Bar
= ±1mm
145 146
9°) Détecteur de niveau optique 10°) Détecteur de niveau à absorption gamma (Radiométrique)
a) Principe Même principe que pour la mesure de niveau sauf que l’on met le détecteur
vertical.
L’émetteur envoie un signal vers un prisme qui le réfléchit vers un récepteur.
En présence d’un liquide, la quantité de lumière réfléchit change, et le
récepteur la détecte.
b) Exemples industriels
Pmax = 160Bar
= ±1mm
147 148
13°) Applications
Conductif Puits
Capacitif Silo
150
IX) CAPTEURS DE VITESSE D’UN SOLIDE
Le phénomène est connu par tous : le son du pimpon des pompiers change
quand leur camion se déplace. V < 0 fr > fs
V > 0 fr < fs
b) Radar hyperfréquence
Soit :
v = vitesse de déplacement,
151 152
Exemples : Contrôle routier
d) Doppler laser
Principe
.c
d= avec = déphasage de l'onde réfléchie
4. .f
c) Radar laser
Principe
153 154
Équations de fonctionnement Exemple industriel (Elovis)
vmax = 1500m/mn
Portée = 12cm
= ±0,1%
Conditionneur Capteur
e) Sonde Pitot
UG = k G .
S = 0,32mV/tr/mn
= ±1%
155 156
b) Génératrice à courant alternatif synchrone ou asynchrone c) À réluctance variable (VRS)
Principe Principe
Une tension sinusoïdale est appliquée en v r. On récupère aux bornes de la Constitué d'un aimant permanent placé à l'intérieur d'une bobine.
bobine en quadrature une tension en phase et dont l’amplitude est
proportionnelle à la vitesse de rotation. Lorsque l'on présente une pièce métallique devant l'aimant, le champ
magnétique varie (car on modifie la réluctance du circuit magnétique) ce
qui a pour effet de créer un courant induit dans la bobine :
Rotor Vq = Kg.r
vq
1 - Cible électrique.
3 - Aimant permanent.
S = 8mV/tr/mn
4 - Douille.
= ±0,2%
5 - Tige polaire.
6 - Bobinage.
7 - Fixation.
8 - Cible.
157 158
Exemples industriels d) À effet Hall et magnétorésistif
o Principe
dmax = 5mm Des aimants dont disposés sur un disque de manière alternée dans
le domaine de la polarité. Un capteur de champ magnétique (Effet
fmax = 200Hz Hall ou magnétorésistif) mesure cette alternance et délivre un signal
dont la fréquence vaut est l'image de la vitesse de rotation.
Existe en version bipolaire : on soustrait les signaux issus des deux pôles.
dmax = 10mm
Roue aimantée
fmax = 20000Hz
max = 3500tr/mn
À aimant intégré
o Principe
159 160
Cette variation de champ magnétique est mesurée par un élément f) Optique
sensible (Effet Hall ou magnétorésistif)
Fourche optique avec un disque
A : Cible métallique
o Principe
B : Élément sensible
Un disque métallique avec trous ou un disque plastique transparent
C : Aimant permanent avec alternance de zones transparentes et opaques est inséré entre
l’émetteur et le récepteur de la fourche optique.
D : Capteur à aimant intégré
On récupe ainsi une fréquence proportionnelle à la vitesse de
rotation et au nombre de trous.
o Exemple industriel (Rheintacho)
o Exemple industriel (Optel Thevon)
dmax = 15mm
fmax = 100 kHz
fmax = 50000Hz
= ±0,001%
Codeur incrémental
Capteur Cible
o Principe
e) Doppler laser On utilise soit la sortie index soit une des deux sorties phase du
codeur.
Même principe que pour la mesure de vitesse linéaire. On récupère aussi une fréquence proportionnelle à la vitesse de
rotation.
161 162
4°) Applications
Linéaire
Radar laser Sécurité routière
Angulaire
À effet Hall Automobile
Magnétoélectrique Automobile
164
X) CAPTEURS DE VITESSE D’UN FLUIDE 2°) Anémomètre à hélices
a) Principe Même principe qu’un anémomètre à coupelles : le fluide fait tourner une
hélice dont on mesure la vitesse de rotation au moyen d’un capteur de
On transforme la vitesse du fluide en vitesse de rotation d’un axe que l’on vitesse angulaire.
mesure par les techniques de mesure de vitesse angulaire d’un solide. 2.
Vh = vitesse des hélices = r. = . r.Vrot , en rd/s et V en m/s
60
V 2. .F N .R.N et
Vh = .Vvent avec max = 59%, limite de Betz
N = Nb de tours par seconde d'où
30.
R = rayon moyen du bras Vrot = .Vvent
. r
F(N) = fonction d’étalonnage
Ici aussi, un étalonnage en soufflerie est nécessaire.
Portable (Kestrel)
V max = 50m/s
Vmax = 60m/s
S = 0,5mA/m/s
Fluide = air
Fluide = air
= ±0,2%
= ±1%
165 166
3°) Anémomètre à fil chaud Équations de fonctionnement
Nu = a0 + b 0 . Re , a0 et b0 = cste
V.
Re = nombre de Reynolds =
vf
= diamètre du fil et v f = viscosité cinématique du fluide
Film
167 168
b) Conditionneur c) Exemple industriel (Dantec)
= ±1%
a) Principe
b) Équations de fonctionnement
L
T1 =
C-V
L
T2 =
Courbe C+V
Nécessite un étalonnage C = vitesse du son
L 1 1
V= -
2 T1 T2
169 170
c) Exemples industriels 5°) Vélocimètre Doppler à ultrasons
Vmax = 65m/s
Fluide = air C . fD
V=
2.fe .cos( )
= ±0.15%
C = vitesse de l'onde ultrasonore
fe = fréquence signal émis
fD = fréquence Doppler
V max = 45m/s
Fluide = air
= ±0.5%
171 172
6°) Vélocimètre laser Doppler
7°) Sonde Pitot
a) Principe
a) Principe
Même principe que pour le vélocimètre ultrasonore, mais avec une onde
lumineuse. Elle utilise le principe de Bernoulli (1700 - 1782) :
fD .
V=
Cette pression totale qui représente l'énergie totale contenue dans le fluide
2.sin( )
2 en mouvement est la somme de deux pressions distinctes :
= longueur d'onde du laser
la pression statique PS = la pression au sens commun du concept, la
fD = fréquence Doppler
pression atmosphérique autour de l'objet.
Une rapide mise en équation montre que cette pression dynamique PD issue
directement de la variation d'énergie cinétique vaut : P D = ρV²/2 où ρ est la
masse volumique du fluide (1kg/l pour de l’eau er 1,3 kg/m3 pour de l’air
dans les basses couches atmosphériques).
2.(PT - PS )
D'où V=
Vmax = 100m/s
Fluide = Liquide
= ±0.1%
173 174
b) Exemples industriels
Vmax = 288km/h
p = PD Fluide = air
= ±0.25%
Avion (Tales)
Pour faire un capteur de Pitot, on remplace le manomètre par un capteur de
pression relatif (voir capteurs de pression).
V max = 900km/h
Fluide = air
= ±0.5%
175 176
9°) Applications
178
XI) CAPTEURS DE DÉBIT D’UN FLUIDE b) Exemple industriel
Q m = . QV
2°) À turbine
a) Principe
Q max = 3000m3/h
f = KT .Q KT = 0,42 Hz/L/mn
179 180
3°) À tourbillons (effet vortex) Gros diamètre (Bopp & Rheuter)
a) Principe
= ±1%
f = K v .Q 5°) Électromagnétique
a) Principe
Qmax = 15L/mn
KV = 133Hz/L/mn
= ±2%
181 182
Pour pipeline (ABB)
= 2,5m
Fluide = liquide
Une charge électrique (électron, anion, cation), qui se déplace dans un = ±0,2%
champ magnétique, subit une force (force de Laplace) qui tend à faire
dévier cette charge de sa trajectoire initiale :
F=q.v∧B
q = charge de la particule,
v = vecteur vitesse U = D.B.V
6°) Ultrasonique à temps de transit
B = vecteur champ magnétique
a) Principe
b) Exemples industriels
En transmission
Fluide = liquide
Qmax = 60L/mn
= ±0,25%
183 184
L 1 1 En réflexion (Emerson)
On en déduit V = . -
2.cos( ) tAB tBA
d
Or cos( ) = où d est la distance horizontale entre les 2 capteurs
L
Et L2 = d2 + 2 , = diamètre du tube
d
2 1 1 = 1m
V= . 1 + . -
2
d t AB tBA
Fluide = gaz
. 2
On sait que Q = V.S = .V
4 Q max = 2.10 4 m 3/h
= ±0,1%
2
.d. 2 1 1 1 1
Q= . 1 + . - = Ku . -
8
d t AB tBA t
AB t
BA
Une électronique mesure les temps tAB et tBA . Le diamètre et la distance 7°) Ultrasonique Doppler
inter capteurs permettent de calculer Q.
a) Principe
n réflexion
Les capteurs sont du même côté, l’onde se réfléchit sur la paroi du tube,
elle parcourt donc une distance double.
Fluide = liquide Il est donc nécessaire de connaître C qui varie avec le fluide et sa
température.
Q max = 1300m3/h
Le capteur est fourni avec un tableau permettant l’étalonnage de
= ±0,5% l'électronique.
185 186
b) Exemple industriel (Dynasonics) Sonde complète
Fluide = liquide
Vmax = 12 m/s
= ±2%
a) À insertion
187 188
b) À capillarité Soit Qm le débit massique en entrée (et en sortie), QT le débit massique dans le
capteur et QL dans l’élément laminaire, on a :
Principe
Q m = QL + QT = QT . (1+ QL/ QT ) = k’. QT .
Le débit massique (Qm) d’un liquide est fonction de sa chaleur spécifique
(Cp) ainsi que de la différence de température (ΔT) mesurée aux bornes Q L/ QT est directement proportion au rapport des diamètres (connus).
du capteur : On en déduit :
T = k.Cp . Qm T
m K. P.
Cp
Un tube de mesure comprend deux sondes de température placées l’une
P = puissance de chauffage
en amont (T1) et l’autre en aval (T2) d’un élément chauffant qui amène le
fluide à une température fixée par le fabricant (souvent une trentaine de
Le capteur est fourni avec un tableau pour les différents liquides et gaz
degrés au-dessus de la température ambiante).
permettant l’étalonnage de l'électronique.
Lorsque le débit est nul, T2 = T1. Lorsque le débit augmente, T1 décroît
avec le débit de manière linéaire (pour les débits faibles) et T2 augmente
linéairement tant que le débit est limité. c) Exemples industriels
À insertion (Kobold)
= 20cm
Fluide = gaz
Sonde complète
Qmax = 9200 m3/h
On dérive une partie du liquide dans le tube de mesure.
= ±0,5%
189 190
À capillarité (Bronkhorst) b) Principe du débitmètre
= ±0,2%
a) Force de Coriolis
Schéma du capteur
Lorsqu'un objet est soumis à la fois à une rotation et à une translation, il subit
une accélération dite de Coriolis : aC = 2ω∧vT où ω est le vecteur de rotation
et vT le vecteur vitesse de translation.
FC = m.aC = 2.m.ω.v T
191 192
Vibration et déformation
Ce décalage temporel entre les deux signaux oscillatoires est directement lié
à l'angle de torsion, proportionnel à la force de Coriolis et donc au débit
massique.
=25cm
Fluide = gaz
= ±0,15%
193
11°) Applications
195 196
XII) CAPTEURS DE DÉFORMATION b) Constitution
a) Principe
R l A B
= kg . dans le domaine élastique
R l
C
Composition kg Coefficient E
Alliage
température ( °C-1) D
Manganin 84% Cu, 12% Mn, 4% Ni 0.47 6.10 -6
Monel 67% Ni, 33% Cu 1.9 10 -3
F
Armour D / Alchrome 70% Fe, 20% Cr, 10% Al 2 450.10 -6
Karma / Chromel R 74% Ni, 20% Cr, 3% Al, 3% Fe 2 10.10-6 G
Constantan / Copel 45% Ni, 55% Cu 2.1 6.10 -6 H
Nichrome V /Tophet 80% Ni, 20% Cr 2.5 220.10 -6
Isoelastic / Élinvar 55.5% Fe, 36% Ni, 8% Cr, 0.5% Mn 3.6 260.10 -6
Platine-Tungstène 92% Pt, 8% W 4.1 700.10 -6
Platine-Iridium 95% Pt, 5% Ir 5.1 700.10 -6 C, D = 1 axe A = 1 axe
Platine 100% Pt 6.1 700.10 -6
Semi-conducteur Si [50 , 200] -0.7 G = concentrique B = 1 axe à 45°
1 E L
Fosc = . . , L = longueur au repos, E = module de Young, = masse volumique
2.L L
e) Exemples industriels (Vishay & HBM)
199 200
b) Schéma d’un système complet Exemples industriels
Geokon
S = 1Hz/10µm
c) Utilisation
centrales nucléaires
ponts et viaducs
grands édifices
revêtements de tunnel
201 202
3°) Extensomètre capacitif
S = 1V/mm
= ±0,1%
Instron
203
XIII) CAPTEURS DE FORCE
a) Principe
Capteur simple
Matrice
b) Constitution
205 206
c) Exemples industriels (Interlink Electronics) 2°) Jauge résistive
= ±1% On colle directement la jauge sur la pièce où l’on veut mesurer la force
appliquée. La force est transformée en variation de longueur.
tr < 5µs
Multiples formes
207 208
Permets de mesurer des forces suivant plusieurs axes grâce à l'utilisation de c) Dynamomètre de pesage
jauges multiples :
FZ max = 500lb
Fmax = 250t
SX = SY = 1,5mV/V
L = 50cm & 1,3m
SZ = 0,75mV/V entre anneaux
= ±0,25% = ±0,1%
Futek
MSI
= ±1% S = 1,5mV/V
HBM
= 22mm
= ±0,1%
Futek
209 210
3°) Inductif (LVDT + ressort) 4°) Jauge capacitive
a) Principe La force appliquée fait varier la distance entre les armatures d’un condensateur
plan ou la longueur commune des armatures d’un condensateur cylindrique.
La force est transformée en déplacement.
a) Condensateur plan
S
Au repos En charge
x = k.F
Exemple de réalisation
b) Condensateur cylindrique
Anneau Amortisseur
c) Exemple industriel
Fmax = 100N
S = 20µm/N
= 10mm
= ±0,2%
Meas
211 212
c) 2 axes Par la suite, cette propriété a été trouvée sur le quartz (SiO 2) qui a l’avantage
d’être très répandu dans la nature.
d) Exemple industriel
Fmax = 10 klb
Cristal de quartz
Quartz naturel
S = 1mV/lb
Depuis plusieurs dizaines d’années de nombreux autres matériaux ont été
= 12,5mm
découverts :
= ±0,15%
Oxydes ferroélectriques : titanate de plomb PbTiO 3, titanate de
baryum BaTiO 3, niobate de potassium KNbO3, niobate de lithium
5°) Piézoélectrique LiNbO3, le tantalate de lithium LiTaO3, PZN-PT et PMN-PT.
a) Historique et matériaux
Pierres de tourmaline
213 214
Semi-conducteurs : nitrure d'aluminium (AlN) et oxyde de zinc (ZnO). Cette polarisation engendre une ddp qui utilisée pour transformer l'énergie
mécanique en énergie électrique (D).
Polymères ferroélectriques: polyvinylidene difluoride ou PVDF
(C 2H2F2)n.
b) Principe physique
A B C
215 216
d) Exemples industriels
Fmax = 10kN
S = 1,6pC/N
= 12,6mm
= ±1%
Klister
Fmax = 5MN
S = 0,1pC/N
= 19cm
= ±0,5%
HBM
217
219
XIV) CAPTEURS DE COUPLE 2°) Jauge résistive
Jauges de mesure
32.L.C
= où G est le module de rigidité
.d 4 .G
221 222
b) À bagues c) Sans bague
Il faut pouvoir récupérer le signal issu du pont alors que l’axe est en rotation Deux techniques permettent de s’affranchir de ces bagues :
d’où l’utilisation de bagues colleteurs (Slip ring).
Transformateur tournant
Schéma électrique
Schéma mécanique
Transmission HF - Télémesure
Exemple de réalisation
223 224
d) Exemples industriels 3°) Mesure de déphasage par roues dentées
C max = 500N.m Deux roues dentées (Toothed wheels) munies d’un capteur magnétique
(Pickups). sont montées à chaque extrémité de l’arbre
S = 10mV/N.m
= 48mm
= ±0,25%
max = 500tr/mn
C max = 11kN.m
S = 450mV/kN.m
Après mise en forme, on récupère deux signaux carrés déphasés. Ce
déphasage est directement proportionnel au couple et la distance entre les
= 16cm
deux roues.
Ce déphase est transformé en tension grâce à un comparateur de phase, avec
= ±0,05%
une OU exclusive par exemple.
C max = 500N.m
S = 5mV/N.m = ±0,25%
= ±0,5%
max = 10 000tr/mn
225 226
4°) Mesure de déphasage par disques optiques 5°) À transformateur différentiel
a) Principe a) Principe
Il est identique à la mesure par roues dentées. On remplace les roues par des Les bobines primaires sont alimentées en régime sinusoïdal.
marquages ou des disques munis de capteurs optiques, par exemple, des L’arbre est rattaché de part et d’autre à deux “cloches” en vis-à-vis dotées de
codeurs incrémentaux (voir VI-10). deux fenêtres rectangulaires.
Au centre du capteur, ces deux cylindres se chevauchent et deux bobines
fixes (traversées par un courant alternatif) les encerclent, à quelques
millimètres de distance.
Lorsque l’arbre est au repos, les fenêtres des deux cylindres ne coïncident
pas, aucun champ magnétique ne peut les traverser (effet de blindage).
Lorsqu'un couple est appliqué, les deux cylindres traduisent la déformation
qu'ils subissent en tournant en sens contraire l'un de l'autre, de telle sorte
que les fenêtres commencent à se chevauche, laissant passer le flux
magnétique.
Les bobines secondaires transforment ce flux en tension.
C max = 80kN.m
b) Exemple industriel (Magtrol)
S = 50mV/kN.m
C max = 20N.m
= 326mm S = 0,5V/N.m
= ±0,05% = 60mm
max = 50 000tr/mn
227 228
6°) À arbre magnétisé
a) Principe
C max = 500N.m
S = 5mV/N.m
= 50mm
= ±0,8%
229
8°) Applications
231 232
XV) CAPTEURS DE PRESSION Pression hydrostatique = pression exercée au-dessous de la surface d'un
liquide par le liquide situé au-dessus, quand le fluide est au repos.
1°) Définition et différents types de pression À l'intérieur d'une colonne de fluide se crée une pression due au poids de
la masse de fluide sur la surface considérée.
F
P= où S est la surface sur laquelle la force F est appliquée
S P = .g.h où = masse volumique, g 9,8 m/s2 et h = hauteur du liquide
Pression absolue = pression par rapport au vide parfait. Pression hydrodynamique : elle résulte de la vitesse du fluide en
Exemple : pression atmosphérique mouvement. Un fluide qui se déplace crée une pression supplémentaire :
Jauge de pression = pression mesurée par rapport à la pression ambiante 2°) Membranes ou diaphragmes
Exemple : pression sanguine
La pression est transformée en force ou déplacement grâce à la surface d’une
membrane élastique.
a) Métalliques
b) Céramiques
Tenue au vide absolu, car il s’agit d’une cellule sèche, aucun liquide de
remplissage.
Bonne tenue chimique, la céramique (AL2O 3) d’une pureté de 99,9% a une
tenue chimique équivalente à des métaux nobles tels que tantale ou le
titane
Robustesse à l’abrasion liée au matériau céramique et à l’épaisseur de la
membrane,
Tenue aux surpressions (rapport de 40)
Température de processus jusqu’à 150°C
Cellule ouverte, à éviter sur les fluides froids (< 5°C), risque de
condensation dans les ambiances chaudes et très humides
233 234
3°) À jauges
a) Principe
Constitution
S = 0,3mV/psi
= ±0,25%
La pression engendre une déformation de la membrane qui entraîne une b) Exemple industriel (Sensata)
variation de la capacité :
S = 6mV/psi
= ±0,6%
Principe
235 236
5°) Piézoélectrique 6°) À reluctance variable
a) Principe a) Principe
La pression exerce une force sur le quartz qui restitue une variation de charge La pression engendre une déformation du diaphragme, ce qui entraîne une
électrique. variation de l'entrefer et donc de l'inductance :
Principe de base
= ±1%
Conditionneur
Absolu Différentiel
237 238
b) Exemple industriel (Tavis Corporation)
S = 100µV/V/bar
= ±0,5%
7°) À LVDT
a) Principe
Pmax = 10 bar
S = 100µV/V/bar
= ±0,5%
239
XVI) CAPTEURS DE PRESSION ACOUSTIQUE
Les cordes vocales sont deux muscles qui se resserrent ou s'écartent plusieurs
centaines de fois par seconde, ce qui donne la fréquence de la vibration émise.
Les résonateurs sont la bouche, fosses nasales et tout l’intérieur du crâne.
Le son qui sort par la bouche est une vibration sous forme d’onde de pression.
242
2°) Microphone électrodynamique b) Exemple industriel (Shure)
S = –75dBV
a) Principe (0 dBV = 1 mV/µbar @ 1 kHz)
L’onde de pression fait vibrer une membrane solidaire d’une bobine mobile. BP = [50, 15k] Hz
Cette dernière sous l'effet des variations de pression acoustique oscille dans
un champ magnétique annulaire produit par un aimant permanent.
Z = 300
Principe
Principe et constitution
BP = [30, 15k] Hz
Z = 200
Constitution
243 244
4°) Microphone à condensateur (Électrostatique) 5°) Microphone Électret
a) Principe a) Principe
À la différence du micro dynamique, le microphone électrostatique ne met Les microphones à électret sont apparus bien après les microphones
pas en jeu un dispositif mobile solidaire d’une bobine. électrodynamiques et électrostatiques.
La membrane est un disque extrêmement léger faite de métal (Titanium) ou Le principe reprend celui du microphone électrostatique à ceci près que la
bien de Mylar ou de polyester rendu conducteur par un saupoudrage de tension de polarisation disparaît, car la membrane porte une charge
métal ou une diffusion de vapeur de métal sur sa surface. Cette membrane électrostatique permanente, c'est cet élément que l'on appelle électret.
est flottante et constitue l’une des armatures d’un condensateur.
Un préamplificateur à FET ou à MOS inséré dans le corps du micro fonctionne
avec une pile ou bien utilise l’alimentation fantôme.
Les variations de pression provoquée par l'onde sonore font varier la distance
entre les deux armatures et, donc la capacité. Cet effet est exploité dans un
circuit électrique de manière à récupérer un signal dont les variations sont à
l’image de celles de la pression acoustique.
Principe et constitution
b) Exemples industriels
S = 6,3mV/Pa
BP = [20, 20k] Hz
Principe et constitution
Z = 10
b) Exemple industriel (Brüel & Kjær)
MEMS
S = 1,4mV/Pa
BP = [4, 100k] Hz
C = 6,1pF
245 246
6°) Microphone magnétique (Guitare & basse)
a) Principe
Fender
S = 340mV
Z = 9k
Gibson
247 248
7°) Microphone piézoélectrique 9°) Directivité
a) Principe
Omnidirectionnel Bi directionnel
Principe et constitution
S = 2.2nC/Pa
BP = [1, 10k] Hz
C = 5,2nF
S = 10nV/Pa
BP = [10, 100k] Hz
251
XVII) CAPTEURS D’ACCÉLÉRATION ET DE CHOC
a) Principe de base
d2 x dx
forces = m. = m. dt2 + a.
dt
+ k.x
1 m
fr = . , fréquence de résonance
2. k
Par cisaillement
254
Par compression c) Force inertielle Fi transformée en déplacement
Par flexion
3°) À jauges
a) Principe
max = 2000g
S = 0,25mV/g
= ±2%
4°) Piézoélectrique
a) Principe
Coupe
max = 50g
S = 100mV/g
MEMS
= ±1%
5°) Capacitif
a) Principe
257 258
b) Exemples industriels Inclinomètre 2 axes (Sensorex)
En boîtier (ASC)
max = ±15°
max = ±200g
S = 30mV/°
S = 20mV/g
= ±0,5%
= ±0,5%
6°) Optique
a) Principe
MEMS (CETS)
Basé sur la réflexion de la lumière.
max = ±10g
S = 250mV/g
= ±0,2%
CI (Analog Devices)
max = ±18g
b) Exemple industriel (Phone-Or)
S = 100mV/g
max = ±10g
= ±1,5%
S = 100mV/g
= ±1,5%
ADLX22035
259 260
7°) Fibre optique à réseau de Bragg (FBG)
a) Réseau de Bragg
Courbe
b) Principe de l’accéléromètre
max = ±40g
Une masse subissant l'accélération va comprimer ou tendre la fibre, ce qui
va modifier la distance et, donc changer la longueur d'onde réfléchie. S = 10pm/g
= ±1,5%
a) Principe
Structure du capteur
261 262
b) Exemple industriel (Sensorex)
L’accéléromètre asservi peut prendre l'une des deux géométries de base
(linéaire et pendulaire).
max = ±0,05g
La géométrie pendule est la plus largement utilisée dans les modèles
commerciaux. Jusqu'à récemment, le mécanisme d'asservissement a été
S = 100mV/g
principalement fondé sur des principes magnétiques : courant à travers les
bobines.
= ±0,02%
Principe de l’asservissement
263 264
a) Exemple industriel à jauges (Endevco) CI et MEMS (Freescale)
S = 0,15mV/g S = 800mV/g
= ±2% = ±1%
max = ±2000g
S = 2,8pC/g
= ±1%
Synoptique
10°) Gyroscope
c) Exemples industriels capacitifs
a) Différence fondamentale
Boîtier (Silicon Designs) La différence entre un gyroscope et un accéléromètre est que le premier peut
mesurer une rotation, l’autre pas.
Un accéléromètre 3 axes possède la capacité à évaluer l'orientation d'une
plate-forme stationnaire par rapport à un référentiel.
max = ±200g Si le référentiel se retrouve à être en chute libre, l'accélération sera vue
comme nulle, car l'accélération n’est pas différente de l'accélération due à
S = 20mV/g l'attraction gravitationnelle de la Terre. Donc, un accéléromètre seul ne peut
pas être utilisé pour maintenir un avion, hélicoptère dans une orientation
= ±2% particulière.
Un gyroscope à d'autre part a la capacité de mesurer la vitesse de rotation
autour d'un axe particulier.
Une autre façon d'identifier la différence entre un gyroscope et un
accéléromètre est de comprendre qu'un gyroscope permet de mesurer ou de
maintenir l'orientation, en utilisant les principes de moment angulaire, tandis
qu'un accéléromètre mesure des vibrations.
265 266
Une dernière différence concerne le fait qu’un gyroscope donne une
indication de la vitesse angulaire, tandis qu’un accéléromètre mesure MEMS (Epson)
l'accélération linéaire.
Un gyroscope peut être utilisé pour la navigation, sur les drones et les v max = ±60°/s
hélicoptères radiocommandés.
De plus en dérivant on peut récupérer l’accélération angulaire. S = 25mV/°/s
b) Principe = ±0,5°/s
CI (Analog Devices)
v max = ±300°/s
S = 6mV/°/s
= ±0,1°/s
Schéma mécanique
c) Exemples industriels
Boîtier (Texsense)
vmax = ±150°/s
S = 1,3mV/°/s
= ±0,5°/s
267 268
12°) Applications
270
XVIII) CAPTEURS DE VIBRATIONS Les vibrations peuvent causer des dommages aux structures et aux machines,
ce qui entraîne un mauvais fonctionnement, une usure excessive, voire la
1°) Généralités rupture (destruction).
Elles peuvent aussi avoir des effets néfastes sur les humains comme le mal
a) Définition des transports, dommages sur les muscles et les nerfs, etc.
Une vibration est un mouvement oscillant d'une particule ou d’un corps En pratique on relève le spectre :
autour d'un point de référence fixe.
Elle peut être harmonique simple (sinusoïdale) ou complexe (non sinusoïdal)
et se produit dans divers modes, tels que les modes de flexion ou de
translation voire dans plusieurs modes à la fois.
Grandeur
Capteur + -
mesurée
Durée de vie
Simple
Potentiomètre D statique Faible gamme de
Coût
fréquences et dynamique
Surface vibrante
Sonde à courant Faible impédance de
D relatif conductrice
de Foucault sortie
Faible dynamique
Grande sensibilité Surface vibrante
Sonde capacitive D relatif Grande gamme de conductrice
fréquences Faible dynamique
Très faible gamme de
Simple fréquences et dynamique
Bobine mobile V
Coût Sensible aux champs
magnétiques
Pas de préparation de la
surface f(Hz)
Pas de masse rajoutée
Prix
Laser Doppler V relative Possibilité de scruter 4°) Exemples industriels
Plage de mesure
plusieurs centaines ou
milliers de points en des Vitesse (bobines mobiles) Accélération (Piézo
temps très réduits
Large gamme de mesure,
Accéléromètre fréquence et dynamique
A Fragile aux chocs
piézorésistif Sensible aux champs
magnétiques
Grande gamme de
mesure, fréquence et
dynamique
Accéléromètre Ne passe pas le DC
A absolue Durée de vie
piézoélectrique Conditionneur
Extrêmement compact et
d'un grand rapport
qualité-prix. S = 4mV/m/s S = 4mV/m/s
Ne passe pas le DC
Accéléromètre Faible impédance de
A absolue Dynamique un peu faible f = [4,5 , 2k] Hz f = [4,5 , 2k] Hz
piézo MEMS sortie
Limité en température
= ±3% = ±3%
Toutes les autres techniques de mesures de distance, vitesse et accélération
peuvent être utilisées. Sensonics VibraSens
273 274
5°) Sismomètre
Un sismomètre contient trois sismomètres qui mesurent chacun dans une des Cette page a été laissée intentionnellement blanche
directions des trois composantes orthogonales.
Sercel
275 276
XIX) CAPTEURS DE RADIATIONS ET RAYONNEMENTS NUCLÉAIRES Neutrons
1°) Radiation et radioactivité Les neutrons sont très pénétrants. Ils interagissent plus ou moins avec les
noyaux selon la substance traversée, provoquant d’autres réactions
a) Définition nucléaires et mais aussi par des chocs avec des noyaux légers (noyaux
d’Hydrogène, par exemple) ou par des chocs avec des noyaux lourds.
La radioactivité est le phénomène par lequel un noyau instable, dans l’état Ils ont en effet l'avantage d'être neutres, et donc de ne pas subir la
fondamental ou dans un état légèrement excité, émet spontanément une répulsion du noyau lors de leur approche.
particule ou un rayonnement :
Particules
Rayons
Il s'agit cette fois d'électrons, particules 1800 fois plus légers que les b) Modes de production
protons ou les neutrons. Ces rayons sont dus à la transformation à
l’intérieur du noyau de protons en neutrons ou de neutrons en protons. La fusion : deux nucléides légers de faible énergie de liaison qui
Leurs énergies se répartissent en un spectre continu et leur pouvoir de peuvent donner un nucléide plus lourd et possédant une plus grande
pénétration est plus grand. Il faut une épaisseur de 1 cm d’aluminium énergie de liaison (bombe H, le soleil, …)
pour les absorber.
On distingue la radioactivité - (électron) et la radioactivité + (positron La fission : un noyau très lourd bombardé par un projectile (neutron
ou antiparticule de l’électron) très souvent) est brisé en deux morceaux plus légers et plus stables
(bombe A, centrales nucléaires, …)
Rayons
277 278
c) Lois de désintégration (demi-vie)
Particules
On définit :
Rayons
d(N(t))
Activité = A(t) = = λ.N(t) = λ.N(0).e -λ.t = A(0).e -λ.t
dt
A(t) 1
Temps moyen (de vie) = τ = t .dt =
0 N(0)
Rayons
279 280
d) Unités
281 282
c) Information produite
1 dE
3°) Détection à ionisation Ni = . .d
W dx
où d est l’épaisseur du détecteur, x = longueur du chemin et W l’énergie
a) Principe
moyenne pour créer une paire d’électron-ion. Dans les gaz W 35 eV.
Ces détecteurs détectent le passage d’une particule chargée en mesurant la
charge totale des électrons et les ions produits dans l’ionisation du milieu b) Zones de fonctionnement
par la particule.
Le milieu peut être de gaz, liquide ou solide, chacun ayant ses avantages et Les charges détectées par l’amplificateur dépendent de plusieurs facteurs
ses applications. techniques, avant tout de la haute tension du champ électrique.
Pour récupérer les électrons et les ions avant qu’ils ne se recombinent en
atomes, il faut la présence d’un champ électrique qui les sépare et les fait
dériver vers les électrodes respectives.
283 284
Zone I (zone de recombinaison, V < 100V) : quand le champ électrique La décharge ne s’interrompt que lorsque la charge d’espace formée
(ou tension) entre les électrodes est trop faible, les électrons et les par la gaine d’ions positifs autour de l’anode diminue suffisamment le
ions peuvent se recombiner en atomes tout de suite après qu’ils sont champ électrique autour de celle-ci pour que le processus de la
produits. Seule une petite fraction des charges d'ionisation est multiplication ne puisse plus continuer. Pendant ce temps le
détectée. détecteur n’est plus sensible à toute ionisation primaire, jusqu’à ce
que les ions aient migré suffisamment loin de l’anode. C’est l’origine
Zone II (région ou chambre d’ionisation, 100 < V < 200V) : une fois que du temps mort dans le compteur de Geiger.
la tension est assez grande pour empêcher les recombinaisons, les Dans une décharge, le courant d’anode est saturé. L’amplitude du
charges d’ionisation dérivent presque intégralement vers les signal est donc indépendante des charges primaires. On ne peut pas
électrodes. utiliser les compteurs Geiger pour mesurer l’énergie, mais on peut les
On obtient un signal qui reflète la charge totale d’ionisation. utiliser pour mesurer le taux de radiation des particules, même de
faibles énergies. Le taux maximal est limité par le temps mort.
Zone III (région proportionnelle, 200 < V < 300V) : Apparition autour
du fil d'un processus interne d'amplification M (10 2 à 106), dû aux Zone VI (région de décharge) :
ionisations par chocs produits par les électrons fournis par les Augmenter le champ au-delà de la région Geiger (> 1000V) entraîne
ionisations (avalanche de Townsend). une décharge continue, le passage de la particule s’accompagne de
L’amplitude de l’impulsion est proportionnelle au nombre de paires l’apparition d’étincelles Un détecteur n’est plus utilisable s’il se trouve
d’ions produites par le passage de la particule détectée, c’est le mode dans cette région.
de fonctionnement des compteurs proportionnels.
Les détecteurs opérant dans la région proportionnelle sont à gaz.
L’avantage des chambres proportionnelles est qu’elles n’exigent pas
d’électroniques d’amplification low noise.
Zone V (région Geiger-Müller, 500 < V < 1000V) : pour une tension
supérieure à VG (seuil Geiger) la décharge électrique se propage sur
tout le fil.
Les énergies d'électrons d'ionisation primaires augmentent
rapidement et ils excitent ou ionisent tout de suite d'autres atomes.
Une avalanche d’électrons libres se produit. De plus, un grand
nombre de photons sont produits dans le processus par désexcitation
d’atomes. Ces photons initient aussi des avalanches d'ionisation par
effet photoélectrique tout du long du fil d'anode où le champ
électrique est le plus fort. Ces avalanches se développent très
rapidement et la décharge produite est audible. C’est le principe du
compteur Geiger.
285 286
c) Exemples industriels
Compteur Geiger (LND Inc)
À chambre d’ionisation (Camberra)
S (60CO) = 90 pulse/mn/Rem/h
D= [0,01, 1000] mGy/h
Temp mort = 90µs
S = 4,8.10-12 A/mGy/h
= 0,06%
= 7%
Proportionnel (EMS)
H= [10n, 1] Sv/h
E = [30k, 1,3M] eV
= 5%
287 288
4°) Détecteur à scintillations
a) Principe
Il existe également des scintillateurs à gaz (Xe, Ar, Ne), l'émission des
Certains milieux transparents émettent une petite quantité de lumière en
photons se fait plutôt dans l'ultraviolet.
désexcitation après avoir été excités par une particule chargée
(fluorescence). Ces photons peuvent être détectés par un dispositif
b) Récupération des photons
photosensible si le milieu est transparent dans le domaine de longueur
d’onde correspondant au moins à certains de ces photons. Il existe divers
On utilise un photomultiplicateur, voir chapitre V-2.
milieux qui satisfont à cette condition de transparence :
c) Système complet
Scintillateurs organiques (plastique, liquide, cristal)
Dans un cristal, les niveaux d'énergie sont répartis dans une bande de valence
et dans une bande de conduction, en général vide de tout électron. Dans un
cristal ionisé, ces deux bandes sont très éloignées d'un point de vue
énergétique et sont séparées par une bande dite interdite (cristal non
conducteur).
Principe
289 290
5°) Détecteur à semi-conducteur
a) Principe
Courbe de réponse
291 292
La technologie utilisée a pour but de minimiser l'épaisseur de semi-
conducteur à traverser avant d'atteindre la zone utile et d'augmenter au
contraire la largeur de la zone de déplétion à l'interface, ce qui sera obtenu
via un matériau peu dopé et une tension inverse élevée.
b) Exemples industriels
Eurorad
E = [60k, 1,5M] eV
293
XX) CAPTEURS CHIMIQUES
1°) Généralités
X + Sa ↔ XSa
3°) Principe général
La formation de ce complexe entraîne la modification d'un paramètre
physique de la partie de reconnaissance (masse, charge électrique,
Un transducteur chimique (ou biochimique, physicochimique) permet la
propriétés optiques, ...) qui peut être facilement transformée en signal
traduction de la concentration d'une espèce chimique en une grandeur
électrique. Les techniques reposant sur ce principe sont par exemple,
physique.
les capteurs électrochimiques (électrodes spécifiques ISE ou transistors
Ce dispositif est constitué d’une partie de reconnaissance (détecteur) couplée à
ISFET).
un système de transduction, qui transforme le processus de reconnaissance en
un signal électrique.
Les systèmes catalytiques sont représentés par les réactions :
X + Sc ↔ XSc → Sc + P
295 296
5°) Capteurs électrochimiques 6°) Arbre des méthodes de mesure
etc
297 298
XXI) CAPTEURS CHIMIQUES EN PHASE AQUEUSE b) Classification des ISE
1°) Potentiométrie Un métal recouvert d’un de ses sels peu solubles, l’ensemble
plongeant dans un électrolyte contenant l’anion correspondant au sel
Le terme de potentiométrie ou potentiométrique se rapporte à potentiel !!!
Un métal plongé dans une solution d’un de ses sels
a) Principe
Une électrode de métal inaltérable (Pt par exemple) plongeant dans
Il constitue l’essentiel des capteurs à électrodes sélectives une solution de sels d’un élément possédant deux nombres
(ISE = Ion Selective Electrode) qui utilisent la propriété des matériaux qui les d’oxydation différents
constituent à pouvoir échanger des éléments chimiques (ioniques ou
moléculaires) avec le milieu analysé. c) Types de membranes
On mesure à courant nul la différence de potentiel qui apparaît entre l'ISE et
un point (électrode) de référence : Membranes en verre (vitreuses)
Membranes polymères
Cela permet d’en déduire la concentration en ion X, aX = a(X) en mg/L ou en
mol/L, parfois exprimée en échelle log : Membranes en polymères organiques (PVC, polysiloxanes,
polyuréthanes, …). L'utilisation de polymères spécifiques permet la
pX = - log(aX) réalisation d'électrodes sélectives pour des dizaines d’ions différents, à
la fois simple ou multi atomes. Elles sont les plus répandues pour les
anions. Toutefois, ces électrodes ont une faible durée de vie
Le développement complet de la méthode est détaillé au paragraphe 3. physicochimique.
299 300
d) Principaux ions détectés 2°) Potentiométrie miniature (ISFET)
- - - - - - 2-
Cations : Br , Cl , Cl04 , CN , F , NO3 , S a) Principe
Anions : Ag+, Ca2+, Cd2+, Cu2+, K+, Li+, Na+, NH4+, Pb2+ L’ISFET, appelé aussi ChemFET, a été inventé par Bergveld en 1970, est un
dispositif à semi-conducteurs qui combine une membrane chimiquement
e) Exemples et applications sensible et un transistor MOS. La membrane joue le rôle de filtre et ne laisse
passer que les ions X.
Domaine Ions Utilisation Grâce à sa petite taille, on obtient une réponse rapide et robuste.
Agriculture Cl -, CN-, F-, I-, NO3-, Ca2+, K+, NH4+ Sols, engrais
Alimentation Ca 2+ Produits laitiers et bière
Alimentation Cl- Teneur en sel
Alimentation F- Eau potable et boissons
Alimentation K+ Jus de fruits et vin
Conservateur viande,
Alimentation NO 2-, NO 3-
boîte de conserve
Environnement F-, Ba 2+, Ca2+ Détergent
Environnement Cl-, F-, NO3- Explosif
Environnement Cl-, S2- Pâte et recyclage papier
Environnement Cl-, CN-, F-, NO3-, S2- Pollution eau
Bains de décapage et
Industrie Cl-, F-, S2-
d’anodisation
Médical Cl, Ca 2+, K+ Analyse fluides corporels
Médical F- Dentaire et autopsie 1
Pour un MOS en zone ohmique, on a ID = K.[VDS.(VGS-VTH) - . V2DS]
2
Les ions qui traversent la membrane vont modifier la tension de seuil :
f) Exemple industriel (Nico2000)
V TH(ISFET) = VTH(MOS) - VTH(X)
301 302
b) Membranes
c) Exemple industriel
Loi de Nernst
aK - [40.10-4 , 40] mg/L
(E s - EX ).F
pH(X) = pH(S) +
S = 58mV/pK R.T.Ln(10)
303 304
Échelle des pH Cette électrode est appelée électrode Ag/AgCl. Elle transporte le courant
à travers la réaction de demi-cellule. Le potentiel entre l'électrode et la
solution dépend, de la concentration en ions chlorure, mais comme elle
est constante, le potentiel d'électrode est également constant.
b) Sonde pH électrochimique
Principe
305 306
c) Sonde pH ISFET
Le matériau de la membrane est choisi pour ne laisser passer que les ions H+.
Courbes
S = 59mV/pH
tr = 10s
= ±0,1%
307 308
Exemple industriel (Jumo)
S = 50mV/pH
tr = 0,2s
= ±0,1%
d) Fibre optique
4°) Conductivité
a) Principe
.S
G=
d
G = conductance (S)
: conductivité (S.m-1)
Influence de la compensation en température S = surface des électrodes (m2)
d = distance entre les deux électrodes (m)
k = d/S = constante de la cellule (m-1)
309 310
Soit = conductivité molaire = /a X où a X est la concentration molaire en
ions (mg/L ou mol/L).
Il suffit donc de mesurer R = 1/G = V/I pour en déduire ax. c) Exemples de conductivité de solutions
Cette mesure ne s'effectue pas en courant continu, car les électrodes se
polariseraient comme en potentiométrie et cela fausserait les résultats : on Type de solution Conductivité (µS/cm)
utilise donc un courant alternatif (50Hz à quelque 10kHz). Eau pure 0,055
Pour avoir de bons résultats, il faut adapter la fréquence à la solution à Eau déionisée 1
analyser : plus la conductivité est élevée, plus la fréquence doit l'être aussi. Eau de pluie 50
Pour des solutions à conductivité faible, on choisit une surface grande par Eau potable 500
Eau de rejet industrielle 5.103
rapport à la distance inter-électrodes et l'inverse pour des conductivités
Eau de mer 50.103
élevées. Il existe beaucoup de capteurs différents, mais cette différence NaCl 1 mol/l 85.103
repose quasi uniquement sur leur géométrie, leur choix est donc orienté en HCl 1 mol/l 332.103
fonction du milieu à mesurer.
d) Utilisations et choix de la cellule
b) Types de cellules
2 pôles
4 pôles
Dans une cellule à 4 pôles, un courant est imposé aux deux anneaux
externes (1 et 4) de façon à créer une différence de potentiel constante
entre les anneaux internes (2 et 3). Comme le potentiel va être mesuré
en présence d’un courant négligeable, les deux électrodes ne sont pas
polarisées. La conductivité est directement proportionnelle au courant
imposé.
311 312
e) Conductimètre 5°) Ampérométrie
a) Principe
fr = 94 Hz pour les gammes 4,000μS et 40,00μS L'intensité est fonction de la tension imposée mais aussi des espèces
fr = 46,9 kHz pour les gammes 400,0mS et 2,000S chargées présentes dans la solution. La détermination de la concentration
d'un élément est possible après un étalonnage si l'on connaît les autres
Principe de la mesure de la conductivité
éléments présents dans la solution et leur participation à l'électrolyse.
L'intensité traversant la solution est alors proportionnelle à la concentration
f) Exemple industriel dudit élément :
2 pôles (ABB)
I = n.F.m0.S.a X = K.ax
[10 , 20000] µS
m0 = coefficient de transfert de la solution
K = 0,1
F = constante de Faraday = 96 485 C⋅mol-1
= ±0,5%
K=1
= ±0,2%
313 314
c) Type d’ions mesurés
Exemple de mesure
b) Cellule de Clark
d) Chambre d’injection
Principe
315 316
Exemple
e) Exemples industriels
K = 30 µA/mg/L
= ±0,05%
K = 5 µA/mg/L
= ±0,5%
317
XXII) CAPTEURS CHIMIQUES EN PHASE GAZEUSE b) Principe commun
1°) Généralités
a) Choix de la méthode
CI = Interface chimique
TI = transducteur
Principe général
319 320
2°) Ampérométrie à électrolyte liquide
a) Principe
Types de gaz mesurés : H2, O 2, O3, CO, H2S, SO2, NOx , NH3 , N2 H3 (hydrazine ou
diazine)
O 2 concentration [0 , 100] %
S = 2,5mV/%
= ±1%
322
3°) À électrolyte solide Exemple industriel (Figaro Engineering)
a) Potentiométrie ou pile
CO 2 [350 , 5.104] ppm
Principe
S = 3µV/ppm
Reprend le principe du capteur de pH potentiométrique (XXI-3).
Le capteur travaille d'une manière similaire à une pile. Lorsque le gaz = ±10%
cible est présent, une petite charge électrique est générée chimiquement
entre les deux électrodes. La tension recueillie est proportionnelle à la
concentration : équation de Nernst à l'équilibre. b) Ampérométrie
Principe
Types d’électrolyte : YSZ, -Alumine, Nasicon, Nafion Principe de base (alcool) Exemple de réalisation (oxygène)
Types de gaz mesurés : O2, H2, CO2, CO, NOx, SOx, H2S, Cl2, H2 O, HCs, HCI,
HCN
Exemple : capteur O2 Types de gaz mesurés : OH, O 2, H2, CO, NOX, SO2, H2S
323 324
Exemple industriel (Winsen) b) Exemple industriel (DETCON)
4°) GasFET
Constitution
325 326
On utilise un pont de Wheatstone pour récupérer une tension.
Types de gaz détecté : NH3, CH4, C xH Y, CXH 6O, composé organique volatile Conditionneur en pont
(COV)
c) Exemple industriel (General Monitors)
b) Conditionneur
CH 4 [0, 10000] ppm
Un capteur complet comprend toujours 2 perles :
S = 3µV/ppm
Élément actif (avec catalyseur)
= ±5%
Élément passif (sans catalyseur)
327 328
6°) Catharométrique est mesurée au moyen de la résistance électrique de l'élément (point
rouge), en général en platine ou en tungstène.
c) Principe Souvent, un élément compensateur dans le gaz de référence est présent
pour réduire l’influence des fluctuations de la température extérieure.
C’est la méthode de mesure la plus ancienne (1880). Elle repose sur la
variation de la conductivité thermique k du mélange gazeux qui entoure le Cette méthode est aussi appelée « méthode à fil chaud ».
capteur.
Vue 3D Coupe
329 330
d) Exemple industriel (Oldham)
H2 concentration [0 , 100] %
S = 2/%
= ±1%
Schéma électrique
a) Principe
Constitution
Principe
331 332
b) Loi de variation
333
d) Type de gaz détecté
335 336
e) Exemple industriel (SYNKERA)
S = 2k/ppm
= ±5%
337 338
340
c) Conditionneur d) Exemple industriel (MSA)
Conditionneur
341 342
Cette augmentation de la masse modifie la fréquence de résonance du quartz : c) Exemple industriel (QCM Research)
-2.f02
Δf = .Δm CH 4 [10-2, 100] ppm
S. ρ.μ
f0 = 3Mhz
f0 = fréquence d’oscillation à vide = [1, 30] MHz
S = surface active
S = 2.10-7 (Hz/g).cm3
= densité du cristal
= module de cisaillement du cristal = ±2%
a) Principe
Cs = εpoly.S /e
Coupe
Lorsque le capteur est exposé au gaz cible, le polymère l’absorbe ce qui
provoque un gonflement (augmentation de e) et une augmentation de la
permittivité :
343 344
avec : 11°) Optique
Les effets de gonflement du polymère et le changement de la permittivité sur Interactions entre le rayonnement et la matière du type spectroscopie
la variation de la capacité du capteur peuvent mutuellement s’annuler. d’absorption ou d’émission.
Pour éviter cette situation, le polymère est soigneusement choisi de telle sorte
que le gonflement est maximisé pour le gaz cible. Modifications du rayonnement par son passage à travers différents
La permittivité du polymère sélectionné doit être aussi petite que possible milieux. Il n’y a pas alors directement interaction entre le rayonnement
pour une sensibilité maximale. et l’espèce chimique à analyser.
b) Fibre optique
Principe
La partie principale est constituée par une fibre optique. Celle-ci est
classiquement constituée d’un cœur en silice d’indice optique n1 ,
entourée d’une gaine d’indice légèrement inférieur n2, le milieu ambiant
ayant un indice n0. Les conditions de guidage de la lumière sont définies
par :
2 2 2 2
n 0 .sin (max) = n1 - n2
Principe et réalisation
S = 0.1pF/ppm
À l’interface cœur-gaine, une faible partie de la puissance lumineuse est
= ±5%
perdue dans la gaine, c’est l’onde évanescente. La puissance perdue
dépend en particulier de l’indice de la gaine.
Les capteurs chimiques à fibres optiques sont de deux types :
345 346
Les capteurs extrinsèques ou optrodes, où l’élément sensible
(matériau spécifique) se trouve au bout de la fibre, celle-ci ne Types de gaz mesurés : O2, H2O 2, C XHY , C2H 6O 2, CH2Cl2
sert donc qu’à la transmission du rayonnement :
Il existe aussi des capteurs de pH fonctionnant sur ce principe.
Instrumentation
347 348
c) Détecteur à infrarouge L’exemple ci-dessous montre à gauche la lumière recueillie à travers un
filtre en l’absence de gaz et à droite l’influence des molécules de gaz qui
Principe atténuent la lumière transmise.
La mesure de cette atténuation A permet d’en déduire la concentration en
De nombreux gaz possèdent des bandes d’absorption dans la zone gaz a X.
infrarouge du spectre lumineux électromagnétique. Le principe de
détection repose sur l'interaction entre un rayonnement
électromagnétique infrarouge et le gaz. Celui-ci absorbe de l'énergie à
une longueur d'onde bien déterminée (liaisons C-H), qui dépend de
l'énergie de vibration de ses molécules. L'atténuation d'énergie du
rayonnement infrarouge est mesurée, elle est fonction de la
concentration de gaz présente sur le trajet optique, suivant la loi de
Lambert Beer :
Types de gaz mesurés : CXH Y, CO 2
A = e-α(λ).aX .L
Constitution
() = coefficient d’absorption du gaz
aX = concentration du gaz
L = longueur du trajet optique
Exemple d'absorption
349 350
12°) Photo-ionisation (PID)
a) Principe
Une pompe prélève le gaz à mesurer. Le flux est amené dans une chambre
d'ionisation équipée d'une lampe ultraviolette et de 2 électrodes soumises
à une forte différence de potentiel (production d'un champ électrique E).
Sous l'effet du rayonnement, les molécules dont le potentiel d'ionisation PI
est inférieur à l'énergie de la lampe sont ionisées. Les ions ainsi obtenus
sont collectés sur la cathode et un courant est créé, directement
proportionnel au nombre d'ions formés et donc aux molécules ionisées.
S = réglable
= ±1%
351 352
Exemple de potentiel d’ionisation
353
c) Exemple industriel (Alphasense) Lorsqu'un mélange gazeux est placé dans un champ magnétique, celui-ci
n'agit pratiquement que sur les gaz paramagnétiques.
= ±1% d) Magnétodynamique
13°) Paramagnétique
a) Principe
dF = .dV.grad(B2 )
2. 0
µ0 = perméabilité du vide
V = volume de gaz
355 356
jusqu'à ce que la force ainsi exercée soit équilibrée par le couple de Lorsque le gaz analysé est chauffé à l'intérieur même d'un champ
torsion. Un rayon lumineux réfléchi sur le miroir transmet la position magnétique, l'oxygène chaud devenant moins magnétique est chassé
angulaire de l'équipage tournant. par le flux d'oxygène froid qui s'échauffe à son tour, il y a création d'un
"vent magnétique".
La position, image de la concentration en O2, est récupérée au moyen
d’un capteur optique. Un petit tube parfaitement horizontal réunit les deux branches de la
chambre. Deux filaments chauffants en platine, faisant partie d'un
pont de Wheatstone entourent ce conduit. Les pôles d'un aimant
permanent sont placés de part et d'autre d'une de ces résistances.
Le pont est équilibré tant que la cellule est traversée par un gaz inerte.
Lorsque le gaz analysé contient de l'oxygène, celui-ci est attiré par le
champ magnétique dans le conduit central, il s'échauffe, sa
susceptibilité magnétique diminue et il est remplacé par du gaz plus
froid.
b) Exemples industriels
Magnétodynamique
Électronique associée
O 2 concentration [0 , 100] %
S = 10mV/%
= ±0,1%
357 358
À convection thermomagnétique
O 2 concentration [0 , 100] %
S = 25mV/%
= ±1%
359
361
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363
16°) Applications
366
XXIII) CAPTEURS D’HUMIDITÉ e) Diagramme de l’air humide
a) Humidité absolue
meau
HA = (g/m3 )
Vtotal
b) Humidité saturante
meau max
HS = (g/m3 )
Vtotal
c) Humidité relative ou RH
HA
HR = .100 (%)
HS
d) Point de rosée
À pression atmosphérique
367 368
2°) À variation d’impédance
a) Résistif
Principe
Céramique
Polymère
Sel
Principe
Exemple de réalisation
370
Exemple industriel (Ohmic)
HR [20 , 90] %
R50% = 55k
= ±2%
Constitution
Principe
211 48.PS . .S
r = 1 + .(P + .HR).106 C = 0 r = C(HR)
T T e
T = température en Kelvin
S = surface électrodes
e = épaisseur du diélectrique
371 372
Coupe Constitution
Exemple de courbe de réponse (pF)
Exemples industriels
HR [0 , 100] %
S = 0,6pF/%RH
= ±2%
HR [0 , 100] %
Exemple de réalisation en MEMS
S = 30mV/%RH
= ±3,5%
373 374
MEMS (Sensirion) b) Exemple industriel (Hygrosens Instrument)
HR [0 , 100] %
HA [0 , 130] g/m3
Sortie série 12bits
S = 0,15mV/g/m3
= ±0,04%
= ±20%
Compensé en température
b) Principe du capteur
375 376
5°) À oxyde métallique
a) Principe
= ±0,15°C
Coupe
377 378
b) Exemple industriel (General Eastern) La vapeur d’eau contenue dans le gaz est absorbée par l’anhydride
phosphorique qui se transforme en acide phosphorique.
Une tension continue appliquée entre les électrodes provoque l’électrolyse de
l’eau avec dégagement d’hydrogène et d’oxygène, et régénération de
TRosé [-90 , 20] °C l’anhydride phosphorique.
I = K.Dm.HA
HA [0 , 2000] ppm-vol
S = 100µA/ppp-vol
= ±2%
379 380
7°) Psychromètre La mesure de l'humidité relative est déterminée au moyen de la formule de
Sprung (1976), et se fait en deux étapes. Tout d'abord par :
a) Principe
e(TF) - ea = .(T T - TF) = A.P.(TT - TF)
Le psychromètre électronique à aspiration est un appareil qui peut être utilisé
pour des mesures ponctuelles ou en continu. Il a remplacé le psychromètre e(TF) : pression de saturation de l'air à TF (Pa)
mécanique à base de thermomètres à mercure (Ernst Ferdinand August en ea = pression partielle de la vapeur d'eau dans l'air (Pa)
1825). = coefficient psychrométrique (Pa.K-1)
P = pression atmosphérique l'air (Pa)
A = constante psychrométrique (°C-1)
TT = température sèche (°C)
TF = température humide (°C)
130 90 75 71 67
(Pa.K-1)
Vitesse ventilation
0,12 0,5 1 2 4
(m.s-1)
ea e(TF ) - A.P.(TT - TF )
Principe de base HR = =
e(TT ) e(TT )
Une des deux sondes thermométriques (TF) est maintenue humide au moyen
d'un tissu de coton (B) relié au réservoir d'eau situé sous le tube d'aspiration e(TT) = pression de saturation de l'air à la température TT (Pa)
(W), mesure le point de rosée, c'est-à-dire le froid dû à l'évaporation. L’autre
sonde (TT ) mesure la température normale de l'air du local. La mise en œuvre de cette relation exige la connaissance avec une
Le refroidissement par évaporation du capteur humidifié (FF) est assuré par le approximation suffisante des pressions de saturation de la vapeur en fonction
ventilateur (M+V), commandé électriquement, faisant circuler l'air à la vitesse de la température.
préconisée par le constructeur. Deux équations permettent de calculer la pression de saturation de l'air e(TF) à
la température TF :
Régression polynomiale
17 ,27.TF
TF + 273,3
Coupe du capteur e(TF ) = 6,102.e (Mbar)
381 382
Les calculs sont effectués par un microcontrôleur pour les modèles Électronique (Ahlborn)
portables.
b) Exemples industriels
= ±1%
HR [0 , 100] %
HR [0 , 100] %
HR = ±3%
T [-20 , 50] °C
T = ±1%
383 384
8°) Synthèse
385
10°) Applications
388
XXIV) DÉTECTEURS DE FUMÉE, DE FLAMME ET D’INCENDIE Lorsque la fumée est aspirée dans la chambre d'ionisation et passe entre les
plaques, ses particules absorbent le rayonnement , réduisant ainsi
1°) À ionisation l'ionisation de l'air et donc i.
a) Principe
On utilise des particules et non ou car elles sont bien moins pénétrantes
dans le corps humain et plus facilement absorbées par le boîtier !!!
Les particules émises l'élément radioactif ont une énergie d'environ 5 MeV,
soit suffisamment d’énergie pour casser les molécules en ions chargés
positivement et négativement. Les ions chargés et les électrons sont attirés
par le champ électrique dans les directions opposées : électrons vers la plaque
positive et ions vers la plaque mise à la terre. Il en résulte un petit courant
électrique i, indiquant La faible tension électrique indique l’absence de fumée
dans la chambre d'ionisation.
389 390
En utilisant une seule chambre : l’avantage est la réduction de l’activité Ce détecteur est très efficace pour les fumées blanches. Il l'est un peu moins
totale des sources ionisantes du détecteur. pour les fumées noires, à cause de leur faible réflectivité.
Cela nécessite une géométrie de la chambre spécifique ainsi qu’une
tension de polarisation bien particulière afin de s’affranchir des Ils sont particulièrement adaptés à la détection des feux couvants.
variations lentes des conditions atmosphériques.
On peut également mémoriser un état moyen de la chambre pendant b) Exemple industriel (Notifier)
quelques dizaines de minutes afin d’élaborer un signal de référence.
b) Exemple industriel
a) Principe
391 392
4°) Détecteur de flamme
a) Flamme
b) Exemple industriel
393 394
b) Principe de mesure Infra-rouge seul
Multi IR
UV seul
395 396
c) Synthèse d) Exemples industriels
IR (DEF)
Multi IR (Simtronics)
UV (Honeywell)
Capteur seul
397 398
UV + IR (SensWARE)
b) Exemple industriel (Cooper Safety)
d
= 8°C/min
dt
a) Principe
Il donne en revanche beaucoup plus de fausses alarmes s'ils sont mal placés
comme l’élévation rapide de la température due à l'ouverture d'un four
dans une cuisine industrielle ou à la mise en route d'une chaudière.
399 400
8°) Applications
402
XXV) CAPTEURS DE VIDE
1°) Le vide
a) Définition
Le meilleur « ultravide » obtenu sur terre (10-14 mbar, soit 10-17 atmosphère ou
270 molécules/cm3) est encore très supérieur au vide interstellaire (de l’ordre
de 10-16 mbar, soit environ 10 molécules/cm3) et un vide intergalactique
(environ 10-22 mbar ou 10-25 atmosphère).
Les raisons de faire le vide sont multiples : il peut s’agir de réduire l’effet de
certains gaz actifs comme l’oxygène, de favoriser le dégazage, de réduire les
interactions d’un échantillon avec son environnement et en microscopie
électronique, de réduire les interactions avec le faisceau d’électrons.
Pour obtenir le vide, on utilise des pompes.
b) Unités
403 404
c) Types de vide
d) Pompes
405
2°) Jauge Pirani (1906) Le principal inconvénient est que la conductivité thermique varie énormément
d’un gaz à l’autre. Un étalonnage est donc nécessaire, la plupart des jauges
a) Principe sont calibrées pour l'air, on utilise un abaque pour les autres gaz.
Le filament est parcouru par un courant I qui provoque par effet Joule son
échauffement.
À l'équilibre thermique la puissance Joule PJ = R.I2 compense les pertes par
rayonnement PR, par conduction au travers du support du filament PS et par
conduction avec le gaz de l'enceinte PG soit PJ =PR + PS + PG
S = 10mV/Torr
= ±10%
407 408
3°) Jauge capacitive 4°) Jauge à thermocouple
a) Principe a) Principe
Elle est constituée d’une membrane déformable donc mobile (voir chapitre Un courant constant chauffe le filament. La conductivité thermique du gaz
XV-2) qui sert d’armature à un condensateur plan. La variation de pression dépendant directement de la pression, la température mesurée par le
provoque une déformation de la membrane et donc une variation de capacité. thermocouple est donc l’image fidèle de la pression.
Principe – Relatif
S = 67mV/Torr
= ±0,25%
Principe du capteur
409 410
Comme pour la jauge de Pirani, la nature du gaz modifie la réponse de la 5°) Jauge piézorésistive
jauge, on utilise donc un abaque.
a) Principe
Pont
Intégration
b) Exemple industriel (MDC) b) Exemple industriel (Hasting Instruments)
S = 20mV/Torr
= ±15%
S = 5mV/Torr
= ±0,25%
6°) Jauge ionisation Penning (cathode froide)
411 412
6°) Jauge à ionisation Penning (cathode froide) trajectoires hélicoïdales ce qui augmente fortement leur probabilité de
rencontrer de molécules et donc le rendement d'ionisation.
a) Généralité
413 414
7°) Jauge à ionisation Bayard–Alpert (cathode chaude)
a) Principe
Exemple de réalisation
S = 20µA/µTorr
= ±10%
Principe
415 416
On retrouve :
un filament, chauffé à haute température (environ 800°C), relié au
potentiel de la terre, qui constitue l’émetteur d’électrons (Ie = N.e)
Courbe de réponse
Les ions sont essentiellement produits à l’intérieur de la grille qui sert alors de = ±3%
repousseur et pousse les ions vers le collecteur.
417 418
9°) Applications
420
XXVI) CAPTEURS BIOLOGIQUES Les contraintes sont sévères :
a) Définition et rôle
421 422
b) Catalyse (Métabolique)
Catalyse enzymatique
Il existe cinq classes principales d'enzymes. Parmi les enzymes les plus
utilisées, citons les oxydoréductases et les hydrolases, qui catalysent
respectivement des réactions d’oxydoréduction et d’hydrolyse spécifiques.
Exemples
423 424
c) Affinité Un antigène est une substance isolée ou portée par un micro-organisme
(molécule, hormone, virus, bactérie), qui déclenche la production
L'affinité décrit la force d'une interaction non covalente entre une d’anticorps avec lesquels il réagit spécifiquement.
macromolécule biologique, acide nucléique ou protéine, et un ligand qui se Ainsi, l’un peut jouer le rôle de biorécepteur spécifique de l’autre.
fixe à sa surface : c'est la somme des forces de liaison et de répulsion.
Elle se mesure quantitativement par le biais de la constante d'équilibre Ce type de récepteur est plutôt utilisé pour des détections « one-shot » ou
association-dissociation, appelée parfois constante d'affinité. Cette affinité pour la détection de très faibles concentrations (10-9 à 10-6 mol).
repose sur la nature, la géométrie et le nombre des interactions physiques
entre le ligand et sa cible (interactions électrostatiques, liaisons Les acides nucléides (ARN et ADN) et la lectine (protéine qui se lie avec les
hydrogènes, liaisons hydrophobes ou interactions de Van der Waals). glucides) sont aussi utilisés.
425 426
C’est le cas lorsque deux brins séparés d’une molécule d’ADN interagissent 3°) Transducteurs
pour reformer la double hélice de départ, ou lorsqu’une molécule d’ARN
messager s’hybride avec la séquence du gène dont il est transcrit. Les transducteurs reprennent des principes présentés dans les capteurs
chimiques. On se référera donc aux chapitres XX, XXI et XXII.
On tente aujourd’hui de réaliser des capteurs à protéines, en utilisant des
biorécepteurs à base d’anticorps dans le but d’analyser la composition en
protéines de cellules ou de protéines d’une cellule pour en étudier les
propriétés.
f) Classification
427 428
Comparaison
Combinaisons
430
Combinaisons
Exemples
431 432
Assemblage
Constitution
Gamme = |1, 60] mmol/l
Basé sur la catalyse enzymique. Le sang arrive à la zone réactive par
capillarité. Son transducteur est souvent un ISFET.
= ±1mmol/l
Constitution
433 434
b) Capteurs d’ADN
Constitution
Constitution et hybridation
Exemples
435 436
Deux exemples de réalisations
437 438
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Capteurs optique et ultrasonore. Mesure de débit. Mesure de transfert de
Applications en bâtiments et industries. Vision de nuit.
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Déformation
Mécanique
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Je vous remercie d’être arrivé jusqu’à cette dernière page,
vous avez fait preuve de curiosité et de motivation
C.H.
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