Author Affiliations

D. Knoll,^(1),* S. Lischke,⁽¹⁾ L. Zimmermann,⁽¹⁾ B. Heinemann,⁽¹⁾ D. Micusik,⁽¹⁾ P. Ostrovskyy,⁽¹⁾ G. Winzer,⁽¹⁾ M. Kroh,⁽¹⁾ R. Barth,⁽¹⁾ T. Grabolla,⁽¹⁾ K. Schulz,⁽¹⁾ M. Fraschke,⁽¹⁾ M. Lisker,⁽¹⁾ J. Drews,⁽¹⁾ A. Trusch,⁽¹⁾ A. Krüger,⁽¹⁾ S. Marschmeyer,⁽¹⁾ H.H. Richter,⁽¹⁾ O. Fursenko,⁽¹⁾ Y. Yamamoto,⁽¹⁾ B. Wohlfeil,⁽²⁾ K. Petermann,⁽²⁾ A. Beling,⁽³⁾ Q. Zhou,⁽³⁾ and B. Tillack^(1),(2)

⁽¹⁾IHP, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder), Germany

⁽²⁾Technical University Berlin, Institut für HF- und HL-Systemtechnologien, Einsteinufer 25, 10587 Berlin, Germany

⁽³⁾University of Virginia, Department of Electrical and Computer Engineering, 351 McCormick Rd., Charlottesville, VA 22904, USA

^*Corresponding author: knoll@ihp-microelectronics.com