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WO2009066732A1 - 放射線検出器及びその製造方法 - Google Patents

放射線検出器及びその製造方法 Download PDF

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WO2009066732A1
WO2009066732A1 PCT/JP2008/071128 JP2008071128W WO2009066732A1 WO 2009066732 A1 WO2009066732 A1 WO 2009066732A1 JP 2008071128 W JP2008071128 W JP 2008071128W WO 2009066732 A1 WO2009066732 A1 WO 2009066732A1
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moisture
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Katsuhisa Homma
Hitoshi Chiyoma
Shinetsu Fujieda
Keiko Sakai
Masakuni Ikagawa
Akiko Suzuki
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Toshiba Electron Tubes & Devices Co., Ltd.
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Abstract

　本発明の一例に係る放射線検出器（11）は、光電変換素子（21）を有する基板（12）と、この基板（12）上に形成され、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層（13）と、少なくとも前記シンチレータ層（13）を包含する深さを有するとともに周辺に鍔部（33）を有する防湿体（15）と、前記基板（12）と前記防湿体（15）の鍔部（33）とを接着封止する接着層（34）とを具備している。
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Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200880117506.3A CN101861528B (zh) 2007-11-20 2008-11-20 放射线检测器及其制造方法
EP08852316.2A EP2224265B1 (en) 2007-11-20 2008-11-20 Radiation detector and method for producing the same
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JP2007-300029 2007-11-20

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102667525A (zh) * 2009-12-18 2012-09-12 株式会社东芝 放射线检测器及其制造方法
CN102918419A (zh) * 2010-05-31 2013-02-06 富士胶片株式会社 放射线摄影装置

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5004848B2 (ja) * 2007-04-18 2012-08-22 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
JP5650898B2 (ja) * 2009-09-07 2015-01-07 株式会社東芝 放射線検出器及びその製造方法
JP5791281B2 (ja) * 2010-02-18 2015-10-07 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
JPWO2011125312A1 (ja) 2010-04-01 2013-07-08 株式会社東芝 放射線画像検出器及びその駆動方法
JP5629593B2 (ja) 2011-02-01 2014-11-19 株式会社東芝 放射線検出器
JP5905672B2 (ja) * 2011-06-28 2016-04-20 株式会社東芝 放射線検出器及びその製造方法
US8415628B1 (en) * 2011-10-31 2013-04-09 General Electric Company Hermetically sealed radiation detector and methods for making
KR101965259B1 (ko) * 2012-07-27 2019-08-08 삼성디스플레이 주식회사 엑스선 검출기
US9935152B2 (en) 2012-12-27 2018-04-03 General Electric Company X-ray detector having improved noise performance
JP6200173B2 (ja) * 2013-03-21 2017-09-20 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
JP6114635B2 (ja) * 2013-06-06 2017-04-12 東芝電子管デバイス株式会社 放射線検出器およびその製造方法
JP6226579B2 (ja) 2013-06-13 2017-11-08 東芝電子管デバイス株式会社 放射線検出器及びその製造方法
JP2015021898A (ja) * 2013-07-22 2015-02-02 株式会社東芝 放射線検出器及びその製造方法
JP2015096823A (ja) * 2013-11-15 2015-05-21 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器、及び放射線検出器の製造方法
US9917133B2 (en) 2013-12-12 2018-03-13 General Electric Company Optoelectronic device with flexible substrate
US9257480B2 (en) * 2013-12-30 2016-02-09 General Electric Company Method of manufacturing photodiode detectors
EP3117204B1 (en) 2014-03-13 2021-06-16 General Electric Company Curved digital x-ray detector for weld inspection
JP6373624B2 (ja) * 2014-04-07 2018-08-15 東芝電子管デバイス株式会社 アレイ基板、放射線検出器、および放射線検出器の製造方法
JP6523620B2 (ja) * 2014-06-16 2019-06-05 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出器及びその製造方法
JP6487263B2 (ja) * 2015-04-20 2019-03-20 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器及びその製造方法
JP6598518B2 (ja) * 2015-06-04 2019-10-30 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出器
JP6523803B2 (ja) 2015-06-10 2019-06-05 キヤノン電子管デバイス株式会社 アレイ基板、および放射線検出器
JP6549950B2 (ja) 2015-09-15 2019-07-24 浜松ホトニクス株式会社 シンチレータパネル、及び、放射線検出器
US20170168165A1 (en) * 2015-12-15 2017-06-15 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Scintillation device with moisture barrier
JP6725288B2 (ja) 2016-03-30 2020-07-15 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器の製造方法
JP6715055B2 (ja) 2016-03-30 2020-07-01 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器及びシンチレータパネル
WO2017171387A1 (ko) * 2016-03-31 2017-10-05 주식회사 아비즈알 신틸레이터 패널 및 그 제조 방법
CN107783169A (zh) * 2017-09-28 2018-03-09 摩瑞尔电器（昆山）有限公司 便携式伽马射线检测设备
CN107728186A (zh) * 2017-09-28 2018-02-23 摩瑞尔电器（昆山）有限公司 便携式伽马射线检测系统及检测方法
CN107728187A (zh) * 2017-10-09 2018-02-23 摩瑞尔电器（昆山）有限公司 采用复合结构壳体的伽马射线检测系统
CN107703534A (zh) * 2017-10-09 2018-02-16 摩瑞尔电器（昆山）有限公司 伽马射线传感器
JP2019174365A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 シャープ株式会社 撮像パネル
CN110323235A (zh) * 2018-03-29 2019-10-11 夏普株式会社 摄像面板
JP7261919B2 (ja) 2018-11-06 2023-04-20 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出器
JP7240998B2 (ja) 2018-11-13 2023-03-16 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出モジュール、放射線検出器、及び放射線検出モジュールの製造方法
WO2020100809A1 (ja) 2018-11-13 2020-05-22 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出モジュール、放射線検出器、及び放射線検出モジュールの製造方法
JP7199332B2 (ja) 2019-10-07 2023-01-05 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出モジュールの製造方法
WO2021132396A1 (ja) * 2019-12-27 2021-07-01 富士フイルム株式会社 放射線画像撮影装置の製造方法
JP7353191B2 (ja) * 2020-01-14 2023-09-29 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出モジュール、および放射線検出器
JP2022081177A (ja) 2020-11-19 2022-05-31 キヤノン電子管デバイス株式会社 放射線検出パネル

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05242841A (ja) 1991-08-29 1993-09-21 General Electric Co <Ge> 防湿シール構造を有する平面ｘ線イメージャ
JP3077941B2 (ja) 1997-02-14 2000-08-21 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出素子及びその製造方法
WO2001051951A1 (fr) * 2000-01-13 2001-07-19 Hamamatsu Photonics K.K. Capteur d'image radiologique et panneau de scintillateur
JP2002148395A (ja) * 2000-11-14 2002-05-22 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線発光パネル
JP2003279656A (ja) * 2002-01-09 2003-10-02 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc 固体ｘ線検出器用の改良型シンチレータ封止

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2883360B2 (ja) 1989-08-21 1999-04-19 富士写真フイルム株式会社 感光材料の処理方法
JP4289913B2 (ja) 2003-03-12 2009-07-01 キヤノン株式会社 放射線検出装置及びその製造方法
WO2005055317A1 (ja) * 2003-12-05 2005-06-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. パッケージされた電子素子、及び電子素子パッケージの製造方法
US7067817B2 (en) * 2004-01-29 2006-06-27 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation image sensor and making method of same
JP4594188B2 (ja) * 2004-08-10 2010-12-08 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
US7514686B2 (en) * 2004-08-10 2009-04-07 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detecting apparatus, scintillator panel, their manufacturing method and radiation detecting system
JP4886245B2 (ja) * 2005-08-26 2012-02-29 株式会社東芝 放射線検出器
JP4921180B2 (ja) * 2006-01-25 2012-04-25 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線撮像システム

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05242841A (ja) 1991-08-29 1993-09-21 General Electric Co <Ge> 防湿シール構造を有する平面ｘ線イメージャ
JP3077941B2 (ja) 1997-02-14 2000-08-21 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出素子及びその製造方法
WO2001051951A1 (fr) * 2000-01-13 2001-07-19 Hamamatsu Photonics K.K. Capteur d'image radiologique et panneau de scintillateur
JP2002148395A (ja) * 2000-11-14 2002-05-22 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線発光パネル
JP2003279656A (ja) * 2002-01-09 2003-10-02 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc 固体ｘ線検出器用の改良型シンチレータ封止

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2224265A4

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102667525A (zh) * 2009-12-18 2012-09-12 株式会社东芝 放射线检测器及其制造方法
CN102918419A (zh) * 2010-05-31 2013-02-06 富士胶片株式会社 放射线摄影装置
CN102918419B (zh) * 2010-05-31 2014-10-29 富士胶片株式会社 放射线摄影装置

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