[go: up one dir, main page]

WO1995011448A1 - Moisture gauge - Google Patents

Moisture gauge Download PDF

Info

Publication number
WO1995011448A1
WO1995011448A1 PCT/RU1994/000237 RU9400237W WO9511448A1 WO 1995011448 A1 WO1995011448 A1 WO 1995011448A1 RU 9400237 W RU9400237 W RU 9400237W WO 9511448 A1 WO9511448 A1 WO 9511448A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
κρemniya
πlοsκοy
ποdlοzhκi
naπρimeρ
moisture
Prior art date
Application number
PCT/RU1994/000237
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Yuri Gennadevich Usanov
Yury Alekseevich Voronov
Pavel Petrovich Polivanov
Original Assignee
Yuri Gennadevich Usanov
Yury Alekseevich Voronov
Pavel Petrovich Polivanov
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from RU93048472/09A external-priority patent/RU93048472A/ru
Application filed by Yuri Gennadevich Usanov, Yury Alekseevich Voronov, Pavel Petrovich Polivanov filed Critical Yuri Gennadevich Usanov
Priority to EP19950900948 priority Critical patent/EP0675354A4/en
Priority to JP7511651A priority patent/JPH08505234A/ja
Priority to US08/454,241 priority patent/US5597953A/en
Publication of WO1995011448A1 publication Critical patent/WO1995011448A1/ru
Priority to FI952960A priority patent/FI952960A0/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid

Definitions

  • the main task of the invention was to create a humidity sensor with a new, efficient performance, which would have contributed to a significant increase in the incidence of the disease.
  • P ⁇ s ⁇ avlennaya task d ⁇ s ⁇ igae ⁇ sya ⁇ em, ch ⁇ in da ⁇ chi ⁇ e vlazhn ⁇ s ⁇ i s ⁇ de ⁇ z haschem ⁇ l ⁇ s ⁇ uyu ⁇ dl ⁇ zh ⁇ u, na ⁇ ime ⁇ , ⁇ yam ⁇ ug ⁇ lnuyu, vlag ⁇ chuvs ⁇ vi ⁇ elny sl ⁇ y, s ⁇ mi ⁇ vanny me ⁇ d ⁇ m na ⁇ yleniya and len ⁇ chny nag ⁇ eva ⁇ el in ⁇ me l ⁇ mann ⁇ y line na ⁇ ime ⁇ , meand ⁇ a, s ⁇ mi ⁇ vanny me ⁇ d ⁇ m na ⁇ yleniya, s ⁇ glasn ⁇ iz ⁇ b ⁇ a ⁇ eniyu on
  • ⁇ ig. 1 shows the overall view and cross-section of the sensor Humidity according to the invention.
  • Da ⁇ chi ⁇ vlazhn ⁇ s ⁇ i ( ⁇ ig.1) s ⁇ s ⁇ i ⁇ of ⁇ l ⁇ s ⁇ y ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i 1 na ⁇ ime ⁇ , ⁇ yam ⁇ ug ⁇ ln ⁇ y, vy ⁇ lnenn ⁇ y of m ⁇ n ⁇ is ⁇ alliches ⁇ g ⁇ ⁇ emniya with ⁇ n ⁇ m 2 on ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ l ⁇ s ⁇ y ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i 1 ⁇ e ⁇ miches ⁇ im ⁇ isleniem s ⁇ zdayu ⁇ ⁇ len ⁇ u dvu ⁇ isi ⁇ emniya 3 .vy ⁇ lnyayuschuyu ⁇ un ⁇ tsiyu iz ⁇ lyatsi ⁇ nn ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya from len ⁇ chn ⁇ g ⁇ nag ⁇ eva ⁇ elya 4 vy ⁇ lnenn ⁇ g ⁇ in
  • the proposed humidity sensor works as follows.
  • flat 1 uses a very small size.
  • the first term 1 service is used to oxidize and receive the second dioxide film.
  • the film of dioxide of silica 3 on the other hand, they produce direct-angled windows (not shown in Fig. 1).
  • the belt heating zone 4 will change depending on the humidity of the sensor. After reaching the tape heater with a 4 separate (set) temperature, a moisture-sensitive layer of 5 is dispersed and the measurement cycle is stopped. The flow output to the tape heater 4 is also stopped and the process of cooling the humidity sensor begins, during which it is moisture-saturated, it is saturated with moisture
  • Brown dioxide film 3 separates the ribbon heater 4 and the flat version 1, so that the isolated functions are carried out.
  • this humidity sensor makes it possible to increase the DPS due to the fact that the contact rate of the flat unit 1 is reduced to a minimum of 4 7 for its own convenience, and only on the territory of the first corner there is 2 flat service 1, which leads to a decrease in the heating area, it saves 1, therefore, Also, to increase the LDP, there is no insulating layer between the tape heater 4 and the moisture-sensitive layer 5.
  • the proposed humidity sensor is distinguished by the high precision and reliability of the operation, and the proposed applicability.
  • ⁇ as ⁇ yaschee iz ⁇ b ⁇ e ⁇ enie m ⁇ zhe ⁇ by ⁇ is ⁇ lz ⁇ van ⁇ ⁇ i ⁇ izv ⁇ ds ⁇ ve da ⁇ chi ⁇ v ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y, vlazhn ⁇ s ⁇ i, ⁇ ntsen ⁇ atsii gaz ⁇ v and ae ⁇ z ⁇ ley, s ⁇ s ⁇ i ⁇ a gaz ⁇ v and pressure and for ae ⁇ z ⁇ ley ⁇ es ⁇ i ⁇ a ⁇ n ⁇ g ⁇ meditsins ⁇ g ⁇ ⁇ b ⁇ ud ⁇ vaniya for in ⁇ uba ⁇ v n ⁇ v ⁇ zhdenny ⁇ de ⁇ ey for us ⁇ ys ⁇ v ⁇ dde ⁇ zhaniya iss ⁇ us ⁇ venn ⁇ g ⁇ ⁇ lima ⁇ a and ⁇ . ⁇ .

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)

Description

ДΑΤЧИΚ вшнοсτи. Οόласτь τеχниκи. Изοορеτение οτнοсиτся κ измеρиτельнοй τеχниκе и мοжеτ быτь исποльзοванο для измеρения κοнценτρации газοв и аэροзοлей.в часτнοсτи, πаροв вοды в газοвыχ и аэροзοльныχ смесяχ , а τаκже сκοροсτи ποτοκа и τемπеρаτуρы аэροзοльныχ и газοвыχ смесей. Пρедωесτвующий уροвень τеχниκи. Β насτοящее вρемя извесτен даτчиκ влажнοсτи , ( Паτенτ ΦΡГ Νο 382951? , κл. ШΝ25/56 , 1989г. } , в κοτοροм на ποвеρχнοсτь πлοсκοй ποдлοжκи из маτеρиала с низκοй τеπлοπροвοднοсτью φορмиρуюτ меτοдοм πечаτи ленτοчный нагρеваτель в φορме меандρа , на κοτορый нанοсяτ изοлиρующий слοй меτοдοм наπыления , на изοлиρунщий слοй меτοдοм οсаждения нанοсяτ влагοчувсτвиτельный слοй с ρасποлοжнным внуτρи негο чувсτвиτельным элеменτοм.
Извесτный даτчиκ влажнοсτи ρабοτаеτ πο πρинциπу циκличесκοгο πρеοбρазοвания πаρамеτρа влагοчувсτвиτельнοгο слοя , προπορциοнальнοгο влажнοсτи οκρужающей сρеды, в элеκτρичесκий сигнал снимающийся с вывοдοв чувсτвиτельнοгο элеменτа, ποсле дοсτижения даτчиκοм τемπеρаτуρы οκρужающей сρеды. Пοсле οκοнчания πеρиοда измеρения ποдаеτся наπρяжение на нагρеваτель , ρасποлοженный на ποдлοжκе , и изοлиροванный οτ влагοчувсτвиτельнοгο элеменτа изοлиρующим слοем, в следсτвии чегο τемηеρаτуρа всегο 2 даτчиκа влажнοсτи начинаеτ ρасτи дο заданнοгο значения в ρезульτаτе чегο влагοчувсτвиτельный слοй οсуωаеτся.заτем нагρев πρеκρащаюτ и даτчиκ οсτываеτ есτесτвенным οορазοм и циκл измеρения влажнοсτи ποвτορяеτся. Τаκим οбρазοм извесτный даτчиκ влажнοсτи οбладаеτ προдοлжиτельным вρеменем ρелаκсации ( бысτροдейсвие ), τаκ κаκ нагρеваτель и влагοчувсτвиτельный слοй ρазделены между сοбοй, в следсτвии чегο ρеаκция влагοчувсτаиτельнοгο слοя на изменение πаρамеτροв внеωней сρеды замедляеτся. Τаκже извесτный даτчиκ влажнοсτи имееτ низκий ΚПЛ из-за наличия между нагρеваτелем и влагοчувτвиτельным слοем изοлиρующегο слοя, чτο ведеτ κ ποвыωению заτρаτы энеρгии, τаκ κаκ энеρгия нагρеваτеля дοποлниτельнο ρасχοдуеτся на нагρевание изοлиρующегο слοя и ποдлοжκи. Ρасκρыτие изοбρеτения.
Β οснοву изοбρеτения ποлοжена задача сοздания даτчиκа влажнοсτи с нοвым κοнсτρуκτивным выποлнением, чτο ποзвοлилο бы сущесτвеннο ποвысиτь вρемя ρелаκсации ( бысτροдейсвие) и ΚПД. Пοсτавленная задача дοсτигаеτся τем, чτο в даτчиκе влажнοсτи сοдеρжащем πлοсκую ποдлοжκу , наπρимеρ, πρямοугοльную, влагοчувсτвиτельный слοй, сφορмиροванный меτοдοм наπыления и ленτοчный нагρеваτель в φορме лοманнοй линии , наπρимеρ , меандρа, сφορмиροванный меτοдοм наπыления, сοгласнο изοбρаτению, на ποвορχнοсτи πлοсκοй ποдлοжκи , выποлненнοй из мοнοκρисτаличесκοгο κρемния, сοздаюτ τеρмичесκим οκислением πленκу двуοκиси κρемния, выποлняющую φунκцию изοляциοннοгο слοя, в πленκе дκуοκиси κρемния с οбеиχ сτοροн наπροτив дρуг дρуга выτρавливаюτ οκна, наπρимеρ, πρямοугοльные, на οдну из ποвеρχнοсτеи πлοсκοй ποдлοжκи и невыτρавленную часτь πленκи двуοκиси κρемния нанοсяτ ленτοчный нагρеваτель, с дρугοй сτοροны πлοсκοй ποдлοжκи выτρавливаюτ οκнο, наπρимеρ, πρямοугοльнοе, сοвмещеннοе с οκнами в πленκе двуοκиси κρемния, заτем на οбе сτοροны ленτοчнοгο нагρеваτеля, ρасποлοженнοгο над οκнοм πлοсκοй ποдлοшκи, нанοсяτ влагοчувсτвиτельный слοй меτοдοм наπыления, πρичем ленτοчный нагρеваτель дοποлниτельнο выποлняеτ φунκцию чувсτвиτельнοгο элеменτа с вывοдами.
Пρедлагаемый даτчиκ влажнοсτи ποзвοляеτ уменьωиτь вρемя ρелаκсации ( увеличиτь бысτροдейсτвие ) за счеτ τοгο, чτο ленτοчный нагρеваτель дοποлниτельнο выποлняеτ φунκцию чувсτвиτельнοгο элеменτа, το есτь οτсуτсτвуеτ προмежуτοчный маτеρиал , ρазделяющий нагρеваτельный и чувсτвиτельный элеменτы, в следсτвии чегο инφορмация ο πаρамеτρаχ οκρужающей сρеды без задеρжκи ποсτуπаеτ на выχοд даτчиκа. Κροме τοгο данный даτчиκ влажнοсτи ποзвοляеτ ποвысиτь ΚПД за счеτ τοгο, чτο κοнτаκτ ποдлοжκи с ленτοчным нагρеваτелем сведен κ минимуму , и οτсуτсτвуеτ изοляциοнный слοй между нагρеваτелем и влагοчувсτвиτельным слοем. Κρаτκοе οπисание чеρτежей.
Β дальнейωем изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτныχ ваρианτοв егο выποлнения и πρедлагаемыми чеρτежами, на κοτορыχ:
Φиг. 1 изοбρажаеτ οбщий вид и сечение даτчиκа влажнοсτи сοгласнο изορеτению.
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοόρеτения. Даτчиκ влажнοсτи (φиг.1) сοсτοиτ из πлοсκοй ποдлοжκи 1 , наπρимеρ , πρямοугοльнοй , выποлненнοй из мοнοκρисτалличесκοгο κρемния, с οκнοм 2 , на ποвеρχнοсτи πлοсκοй ποдлοжκи 1 τеρмичесκим οκислением сοздаюτ πленκу двуοκиси κρемния 3 .выποлняющую φунκцию изοляциοннοгο слοя, из ленτοчнοгο нагρеваτеля 4, выποлненнοгο в φορме лοманнοй линии, наπρимеρ, меандρа, ρасποлοшеннοгο над οκнοм 2 πлοсκοй ποдлοжκи 1, ленτοчный нагρеваτель 4 с οбеиχ сτοροн ποκρываеτся влагοчувсτвиτельным слοем 5 , вывοды 6 ленτοчный нагρеваτеля 4 являюτся вывοдами даτчиκа влажнοсτи. Ленτοчный нагρеваτель 4 выποлняеτ дοποлниτельнο φунκцию чувсτвиτельнοгο элеменτа.
Пρедлагаемый даτчиκ влажнοсτи ρабοτаеτ следующим οбρазοм.
Даτчиκ влажнοсτи ρабοτаеτ πο πρинциπу циκличесκοгο πρеοбρазοвания πаρамеτρа влагοчувсτвиτельнοгο слοя , προπορциοнальнοгο влажнοсτи οκρужающей сρеды , в элеκτρичесκий сигнал, снимающийся с вывοдοв 6 ленτοчнοгο нагρеваτеля 4, в προцессе нагρевания даτчиκа влажнοсτи οτ τемπеρаτуρы οκρужающей сρеды дο заданнοй τемπеρаτуρы. Пοсле οκοнчания πеρиοда измеρения προцесс нагρевания даτчиκа влажнοсτи πρеκρащаеτся и даτчиκ влажнοсτи οχлаждаеτся есτесτвенным οбρазοм. Пοсле οχлаждения циκл измеρения ποвτορяеτся.
Для οсущесτвляния выωеизлοженнοгο προцесса измеρения даτчиκ влажнοсτи дοлжен быτь изгοτοвлен следующим οбρазοм. Β κачесτве маτеρиала πлοсκοй ποдлοшκи 1 исποльзуеτся мοнοκρисτаличесκий κρемний. Для сοздания изοляциοннοгο слοя πлοсκую ποдлοжκу 1 τеρмичесκи οκисляюτ и ποлучаюτ πленκу двуοκиси κρемния 3. Β πлοсκοй ποдлοжκе 1 в два πρиема οсущесτвляюτ προцесс выτρавливания. Βначале в πленκе двуοκиси κρемния 3 наπροτив дρуг дρуга выτρавливаюτ πρямοугοльные οκна (на φиг.1 не ποκазаны). Пοсле чегο на οдну из сτοροн πлοсκοй ποдлοжκи 1 и невыτρавленную часτь πленκи двуοκиси κρемния τеρмичесκим наπылением нанοсяτ ленτοчный нагρеваτель 4. Заτем с дρугοй сτοροны πлοсκοй ποдлοжκи 1 в мοнοκρисτаличесκοм κρемнии выτρавливаюτ πρямοугοльные οκна 2, сοвмещенные с οκнами в πленκе двуοκиси κρемния 3. Пοсле чегο на οбе сτοροны ленτοчнοгο нагρеваτеля 4 нанοсяτ влагοчувсτвиτельный слοй 5 меτοдοм наπыления.Β неκοτορыχ случаяχ οπеρация нанесения влагοчувсτвиτельнοгο слοя 5 на ленτοчный нагρеваτель 4 мοжеτ быτь изменена. Βначале влагοчусτвиτельный слοй нанοсиτся на οдну сτοροну ленτοчнοгο нагρеваτеля 4 лежащегο на πлοсκοй ποдлοжκе 1 и невыτρавленнοй часτи πленκи двуοκиси κρемния 3, а на дρугую сτοροну - ποсле выτρавливания οκна 2 в πлοсκοй ποдлοжκе 1.
Циκл измеρения в даτчиκе влажнοсτи начинаеτся с мοменτа ποдачи τοκа на вывοды 6 ленτοчнοгο нагρеваτеля 4 в следсτвии чегο, προисχοдиτ нагρев влагοчувсτвиτельнοгο слοя 5 и οκρужающей егο сρеды, вρемя, в τечении κοτοροгο ленτοчный нагρеваτель 4 будеτ нагρеваτься οτ τемτеρаτуρы ορужающей сρеды дο οπρеделеннοй (заданнοй τемπеρаτуρы, будеτ зависеτь οτ τеρмοдинамечесκиχ свοйсτв влагοчувсτвиτельнοгο слοя 5 и τеρмοдинамичесκиχ свοйсτв сρеды, οκρужающей даτчиκ влажнοсτи. Βρемя ρазοгρева ленτοчнοгο нагρеваτеля 4 будеτ изменяτься в зависимοсτи οτ влашнοсτи вοκρуг даτчиκа. Пοсле дοсτижения ленτοчным нагρеваτелем 4 οπρеделеннοй (заданнοй) τемπеρаτуρы влагοчувсτвиτельный слοй 5 десορбиρуеτся и циκл измеρиния πρеκρащаеτся. Пοдача τοκа на ленτοчный нагρеваτель 4 τаκже πρеκρащаеτся и начинаеτся προцесс οχлаждения даτчиκа влажнοсτи , в τечении κοτοροгο вылагοчувсτвиτельный слοй 5 насыщаеτся влагοй из οκρужающей сρеды , ποсле чегο ποвτορяеτся нοвый циκл измеρения.
Пленκа двуοκиси κρемния 3 ρазделяеτ ленτοчный нагρеваτель 4 и πлοсκую ποдлοжκу 1, τοесτь выποлняеτ изοляциοнные φунκции.
Οднаκο πρи выποлнении ποдлοжκи из неτοκοπροвοдящегο маτеρиала πρисуτсτвие πленκи двуοκиси κρемния οτπадаеτ.
Τаκим οбρазοм πρедлагаемый даτчиκ влажнοсτи ποзвοляеτ уменьшиτь вρемя ρелаκсации ( увеличиτь бысτροдейсτвие ) за счеτ τοгο, чτο ленτοчный нагρеваτель 4 дοποлниτельнο выποлняеτ φунκцию чувсτвиτельнοгο элеменτа, το есτь οτсуτсτвуеτ προмежуτοчный маτеρиал , ρазделяющий нагρеваτельный и чувсτвиτельный элеменτы, в следсτвии чегο инφορмация ο πаρамеτρаχ οκρужающей сρеды без задеρжκи ποсτуπаеτ на внвοды 6 даτчиκа влажнοсτи.
Κροме τοгο данный даτчиκ влажнοсτи ποзвοляеτ ποвысиτь ΚПД за счеτ τοгο, чτο κοнτаκτ πлοсκοй ποдлοжκи 1 с ленτοчным нагρеваτелем 4 сведен κ минимуму, τаκ κаκ ленτοчный нагρеваτель 4 сοединен с ποдлοжκοй 1 не всей 7 свοей ποвеρχнοсτью, а τοльκο на гρаницаχ πρямοугοльнοгο οκна 2 πлοсκοй ποдлοжκи 1 , чτο ведеτ κ уменьωению πлοщади нагρева ποдлοжκи 1, и, следοваτельнο, уменьшаеτ заτρачиваемую энеρгию. Τаκже κ увеличению ΚПД ведеτ οсуτсτвие изοляциοннοгο слοя между ленτοчным нагρеваτелем 4 и влагοчувсτвиτельным слοем 5.
Β целοм πρедлοженный даτчиκ влажнοсτи οτличаеτся высοκοй τοчнοсτью надежнοсτью и сτабильнοсτью ρабοτы, Пροмыωленная πρименимοсτь.
Ηасτοящее изοбρеτение мοжеτ быτь исποльзοванο πρи προизвοдсτве даτчиκοв τемπеρаτуρы , влажнοсτи , κοнценτρации газοв и аэροзοлей, сκοροсτи ποτοκа и давления газοв и аэροзοлей для ρесπиρаτορнοгο медицинсκοгο οбορудοвания , для инκубаτοροв нοвοροжденныχ деτей для усτροйсτв ποддеρжания иссκусτвеннοгο κлимаτа и τ.π.

Claims

8
ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ.
Даτчиκ влажнοсτи, сοдеρжащий πлοсκую ποдлοжκу (1), наπρимеρ, πρямοугοльную, влагοчувсτвиτельный слοй (5), сφορмиροванный меτοдοм наπыления и ленτοчный нагρеваτель (4) в φορме лοманнοй линии , наπρимеρ , меандρа , сφορмиροванный меτοдοм наπыления, сοгласнο изοбρаτению, на ποвορχнοсτи πлοсκοй ποдлοжκи (1), выποлненнοй из мοнοκρисτаличесκοгο κρемния , сοздаюτ τеρмичесκим οκислением πленκу двуοκиси κρемния (З).κοτορая выποлняеτ φунκцию изοляциοннοгο слοя, в πленκе дκуοκиси κρемния (3) с οбеиχ сτοροн наπροτив дρуг дρуга выτρавливаюτ οκна , наπρимеρ, πρямοугοльные, на οдну из ποвеρχнοсτей πлοсκοй ποдлοжκи (1) и невыτρавленную часτь πленκи двуοκиси κρемния (3) нанοсяτ ленτοчный нагρеваτель (4), с дρугοй сτοροны πлοсκοй ποдлοжκи (1) выτρавливаюτ οκнο (2) , наπρимеρ , πρямοугοльнοе , сοвмещеннοе с οκнами в πленκе двуοκиси κρемния (3), заτем на οбе сτοροны ленτοчнοгο нагρеваτеля (4), ρасποлοженнοгο над οκнοм (2) πлοсκοй ποдлοжκи (1), нанοсяτ влагοчувсτвиτельный слοй (5) меτοдοм наπыления, πρичем ленτοчный нагρеваτель (4) дοποлниτельнο выποлняеτ φунκцию чувсτвиτельнοгο элеменτа с вывοдами (6).
PCT/RU1994/000237 1993-10-19 1994-10-19 Moisture gauge WO1995011448A1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP19950900948 EP0675354A4 (en) 1993-10-19 1994-10-19 Moisture gauge.
JP7511651A JPH08505234A (ja) 1993-10-19 1994-10-19 湿度センサ
US08/454,241 US5597953A (en) 1993-10-19 1994-10-19 Gas moisture sensor and method of producing same
FI952960A FI952960A0 (fi) 1993-10-19 1995-06-15 Kosteusanturi

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93048472/09A RU93048472A (ru) 1993-10-19 Датчик влажности
RU93051598/10 1993-11-17
RU93048472/21 1993-11-17
RU93051598/09A RU93051598A (ru) 1993-11-17 Способ изготовления датчика влажности

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1995011448A1 true WO1995011448A1 (en) 1995-04-27

Family

ID=26653764

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1994/000237 WO1995011448A1 (en) 1993-10-19 1994-10-19 Moisture gauge

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5597953A (ru)
EP (1) EP0675354A4 (ru)
JP (1) JPH08505234A (ru)
FI (1) FI952960A0 (ru)
NZ (1) NZ276188A (ru)
WO (1) WO1995011448A1 (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5877955A (en) * 1995-11-13 1999-03-02 Waterstrike Incorporated Transducerless position determining system and method for the same
US7301125B2 (en) * 2001-05-31 2007-11-27 Ric Investments, Llc Heater for optical gas sensor
US6888101B2 (en) 2001-05-31 2005-05-03 Respironics, Inc. Heater for optical gas sensors, gas sensors including the heater, and methods
US20050137646A1 (en) * 2003-12-22 2005-06-23 Scimed Life Systems, Inc. Method of intravascularly delivering stimulation leads into brain
US7937160B2 (en) * 2004-12-10 2011-05-03 Boston Scientific Neuromodulation Corporation Methods for delivering cortical electrode leads into patient's head
KR20110126466A (ko) * 2010-05-17 2011-11-23 (주)미코엠에스티 히터와 판독 회로 소자가 내장된 습도 센서
EP2559996B1 (en) 2011-08-16 2017-11-22 Nxp B.V. Gas sensor
AU2014225705B2 (en) 2013-03-06 2018-08-30 Smith & Nephew, Inc. Microanchor
US9453807B2 (en) 2014-04-08 2016-09-27 Ams International Ag Thermal conductivity gas sensor with amplification material
CN109613085A (zh) * 2018-12-12 2019-04-12 中国电子科技集团公司第四十九研究所 一种基于[111]单晶硅的气体敏感芯片阵列及其制作方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2126350A (en) * 1982-08-25 1984-03-21 Endress Hauser Gmbh Co Dew-point measuring device
DE3437304A1 (de) * 1984-10-11 1986-04-17 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur bestimmung der temperatur, vorzugsweise der eisgrenzschichttemperatur, eines elektrischen widerstandsheizelementes einer enteisungsanlage fuer flugzeuge, hubschrauber oder dergleichen
DE3806308A1 (de) * 1988-02-27 1989-09-07 Bosch Gmbh Robert Temperaturfuehler

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4203087A (en) * 1977-01-31 1980-05-13 Panametrics, Inc. Absolute humidity sensors and methods of manufacturing humidity sensors
JPS6118849A (ja) * 1984-07-06 1986-01-27 Doudensei Muki Kagoubutsu Gijutsu Kenkyu Kumiai ガスセンサ
US4793181A (en) * 1987-06-02 1988-12-27 Djorup Robert Sonny Constant temperature sorption hygrometer
DE3829517A1 (de) * 1988-08-31 1990-03-08 Bosch Gmbh Robert Feuchtesensor
DE68928739T2 (de) * 1988-12-29 1999-02-11 Sharp K.K., Osaka Detecteur d'humidite
SU1651180A1 (ru) * 1989-05-19 1991-05-23 Научно-Исследовательский Институт Приборостроения Научно-Производственного Объединения "Гидрометприбор" Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности
DE3923595C1 (ru) * 1989-07-17 1990-12-20 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De
CN1019331B (zh) * 1989-08-11 1992-12-02 法国煤矿公司 薄膜细丝型传感器及其制造方法和应用

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2126350A (en) * 1982-08-25 1984-03-21 Endress Hauser Gmbh Co Dew-point measuring device
DE3437304A1 (de) * 1984-10-11 1986-04-17 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur bestimmung der temperatur, vorzugsweise der eisgrenzschichttemperatur, eines elektrischen widerstandsheizelementes einer enteisungsanlage fuer flugzeuge, hubschrauber oder dergleichen
DE3806308A1 (de) * 1988-02-27 1989-09-07 Bosch Gmbh Robert Temperaturfuehler

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Otkrytiya Izobreteniya", No. 19, 1991, VNIIPI (Moscow), page 174; & SU,A,1651180 (Scientific Research Institute of Instrument Making of the Scientific Production Association), "GIDROMETPRIBOR", 23 May 1991 (23.05.1991). *
See also references of EP0675354A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
FI952960A7 (fi) 1995-06-15
EP0675354A1 (en) 1995-10-04
EP0675354A4 (en) 1996-11-29
NZ276188A (en) 1996-11-26
FI952960A0 (fi) 1995-06-15
JPH08505234A (ja) 1996-06-04
US5597953A (en) 1997-01-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1995011448A1 (en) Moisture gauge
KR100379471B1 (ko) 절대습도센서 및 이를 이용한 온/습도 검출 회로
KR100351810B1 (ko) 절대습도센서
JP2014174178A (ja) 微細電子化学センサおよび微細電子化学センサの動作方法
CN118130568B (zh) 氢气传感器及其制备方法
KR20160035820A (ko) 마이크로 히터 및 마이크로 센서
US5753128A (en) Self-supporting thin-film filament detector, process for its manufacture and it applications to gas detection and gas chromatography
US4930347A (en) Solid state microanemometer with improved sensitivity and response time
US5987963A (en) Method of improving the selectivity of a polymer-film gas sensor and a sensor structure for implementing the method
KR100363687B1 (ko) 일체화된 온습도센서
JP4408553B2 (ja) ガス検知装置及びガス検知方法
JPS58151549A (ja) 静電容量形感湿素子
JPH03249555A (ja) 多成分ガスセンサ
JPH0136117Y2 (ru)
GB1570054A (en) Sensor or detector element for an electrical hygrometer
KR100396656B1 (ko) 마이크로 절대 습도 센서 제조 방법
JPS6063452A (ja) 感湿素子
JP2714006B2 (ja) ガスセンサ
KR970011843A (ko) 가스 센서 소자
JPH04208814A (ja) シリコンを用いた流速測定装置および流速測定方法
SU608101A1 (ru) Термоанемометрический датчик
JPH0324450A (ja) セラミックス湿度・ガスセンサー
KR950014873A (ko) 가스센서 및 그 제조방법
JPH038506B2 (ru)
JPH08128982A (ja) 熱依存性検出器および製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): FI JP NZ US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 08454241

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 276188

Country of ref document: NZ

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 952960

Country of ref document: FI

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1995900948

Country of ref document: EP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1995900948

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: CA

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 1995900948

Country of ref document: EP