TW200834613A - Inductor devices - Google Patents

Description

200834613 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明概言之係關於電感元件，尤指具有改良的品質 因素之嵌入型電感結構。 【先前技術】 電感已廣泛地使用於例如振盡器、濾波器、阻抗轉換 器等之電路中。傳統的電感係使用表面黏著技術(surface f) mounting technique，SMT)或其他複雜的製程而黏著於電路 板上’而會在電路板上佔有不期望的大面積或展現不期望 的高度。為了減少尺寸，已發展出嵌入型電感。圖1A及 圖1B為先前技術中的欲入型螺旋型電感（embedded spiral-type inductor)之示意圖。圖1A為先前技術中的螺旋 型電感10的俯視圖。參考圖1A，螺旋型電感1〇係形成於 多層基板11上，且包含從終端1A透過形成於該多層基板 11之不同基板層内的導電路徑14而延伸至終端2a之導電 〇 線圈13。圖1B係沿著圖1A中所示的線A1之螺旋型電感 10的剖面圖。如圖1B所示，螺旋型電感1〇之導電線圈 13係形成於多層基板11之基板層in上，且導電路彳曼14 係形成於基板層112上，基板層112係透過導電孔Vi〗及 vi2而與基板層m電連接。 電感之品質因素(Q-factor)可主要地決定通訊品質。舉 例來説，具有低品質因素之電感會在濾波器之帶通中導致 明顯的插入損耗，且會增加該濾波器之頻寬，其使得該系 200834613 、=易又雜影響。再者，具有低品質因素之電感會在振盪 如中$致不期望的相位雜訊，其會使通訊系統的品質惡化。 、斗夕電感結構已被提出，以提供改良的品質因素。電 感結構的範例可在以下的先前技術中找到。美國專利第 ，’ll]號，申凊人為Kamimura，發明名稱為 tilayered wiring board having printed inductor」，，其 揭路一種具有透過插入於接地層或電源供應層間之介電層 0 而形成於接地層或電源供應層上之印刷的電感之多層線路 板，其中僅在該接地層或電源供應層内形成一移除的部 份’該移除的部份係位於該印刷的電感下方及該鄰近區 内，且於該介電層内沒有形成移除的部份。美國專利第 6，175,727號’申請人為M〇st〇v及Letzion，發明名稱為

Suspended printed inductor and LC-type filter constructed therefrom」，及美國專利第6,448,873號，申請人為Mostov 及 Letzion ’ 發明名稱為「lc filter with suspended printed q inductor and compensating interdigital capacito」，其介紹一 種懸掛結構的印刷電感，以增加電感之品質因素。美國專 利苐6,800,936號，申請人為K〇semura等人，發明名稱為 「High-frequency module device」，其揭露一種元件，其中 形成於發展多層基板上之電感下的金屬導電部份處係藉由 姓刻而被移除以降低寄生效應，以增加該電感之品質因 素。然而，上述之先前技術結構或製程在某些應用中較為 複雜。因此，在某些架構下需要具有改良的品質因素之電 感，及可容易地以半導體製程或PCB製程來製造之結構。 6 200834613 【發明内容】 本發明之範例可包含一種略 具有至少一Α板岸.j币电感兀件，包含：一基板， 之其中一者上，該導1圓且+也成於该至少一基板層 電線圈之至少孔洞’該區係由該導 Ο Ο 本發仅-絲财可包含—種 基板，具有至少一其把思·措； —導電路徑，於該基板層上方 七入板層之—表面，料電路徑具有兩個終端 ^複數轉電繞組；及於該基板層之該表面上的該 區，於該區設有穿透該表面之至少一孔洞，該區係實質上 由泫％複數個導電繞組之至少一者所圍繞。 _本發明之範例可進一步包含一種電感元件，包含：— 第一&電圖案’於一基板之第一基板層上；一第二導電圖 f ’於該基板之第二基板層上；及介於該第-基板層及該 =-基板層之間的_區域，至少一孔洞係透過該區域而轉 =於該第-基板層及該第二基板層間，其中於該區域之該 第電圖案或該第二導電圖案的至少一者所感應的磁場 較該第-導電層及該第二導電層之間的一不同區域之該第 —導電_或該第二導電圖案的至少一者所感應的磁場為 強。 — 本發明之範例可包含一種電感元件，包含：一第一導 笔、泉圈，弟一 電線圈；及一^區域，透過該區域係設有 200834613 其中於該區域之該第—導電線圈或該第 者所感應的磁場較於一不同區域之哕# 第二導電線_至少—者所感應的磁^為

至少〜孔洞， 琶線圈的至少 導電線圈或該 強0 點，2彳3朗帽赌提丨本發_料特點與優 實施本㈣帽瞭解本發明其卜雜，或者藉由 出'亦可習得。藉崎附之ί請專娜圍中特別列 、元件與組合將可瞭解且達成本發明的特點與優點。 應該瞭解的係，上文的概要說明以及下文的詳細說明 都僅供作例示與解釋，其並未限制本文所主張之發明。 Ο 8 200834613 【實施方式】 現將詳細參照於本發明具體實施例，其實施例圖解於 附圖之中。盡其可能，所有圖式中將依相同元件符號以代 表相同或類似的部件。 圖2A、圖2B、及圖2C為根據本發明之一範例的嵌 入型螺旋型電感的示意圖。圖2A為根據本發明之一範例 的螺旋型電感20之俯視圖。參考圖2A，形成於多層基板 ^ 上之螺叙型笔感20可包含從終端iB透過導電路經24 延伸至終端2B之導電線圈23。於·範例中，導電線圈23 可在終端1B及2B間包含複數個連接的螺線。於目前的範 例中，導電線圈23及終端1B及2B可形成於多層基板21 之頂表面上。於其他範例，例如圖2C所示之範例，導電 線圈23及終端1B及2B可形成於多層基板21之中間基板 層内。螺旋型電感20之導電路徑24可形成於多層基板21 之不同基板層中的頂表面下。導電線圈23可在多層基板 U 21上的一區包圍孔洞29。孔洞29包含導電孔、凹孔及通 孔之其中一者。於一範例中，可將孔洞29設於多層基板 21内之一區或一區域，其中由導電線圈23所感應之磁場 或力較強。本發明所屬技術領域中熟悉此項技術者將了 解··導電路徑之圖案可決定一基板層上之一區，其係孔洞 所在處。如線圈結構23之一範例，線圈23之中央區或眼 邛可頌現較該基板層之其他區為強的磁場。於一範例中， 邊等連接的螺線可具有不同形狀，包含實質上矩形、方形、 圓形、及橢圓形之至少一者。 200834613 圖2Β為根據本發明之一範例的螺旋型電 面圖。夹去Θ m 之剖 一 j考圖2B，螺旋型電感20-1可類似於沿著圖2a

所示線A2剖視之螺旋型電感2〇。如圖2B 2ιι敏2 1之導電線圈23可形成於多層基板21之基板層 211上，且導電路徑24可形成於基板層212上。 二 24可透過導電孔V21及V22而電氣連接至 ι ^ 29可*丄培工 口 J孔洞 Ο Ο 層美才在由線圈23所感應之磁力較強之一區處穿透多 圖2C為根據本發明之另一範例的螺旋型電感扣2 =面圖。參考圖2C，螺旋型電感20_2可類似於顯示於二 之螺旋型電感綱，除了導電線圈23及導電路押圖 係刀別形成於多層基板21之基板層213及214上。^ =:由螺旋型電感2〇_2之導電線圈23所感應的： =、、泉。導電線圈23可具有圓形形狀(如圖2 =他範例I，具有矩形、多邊形、及橢圓形形狀之^ 於拉擬貫驗，相較於不具有孔洞 基板中或内的孔洞有助於增進螺旋型電感之感， 板2二til1、及爪2可包含—印刷的電感。多層基 二可包含印刷電路板(PCB)、峨 步包含堆疊的介電層。再者，多 ^ 1包含減低的介電損耗之材料，以增進該電感 來說’該等材料可具有小於⑽3或甚至小 m耗正切。基板21可包含她以、 她邊⑻層壓基板(兩者皆可從场n f_ 10 200834613

United States)取得）、GMLl 000 基板（其可從 GIL

Technologies (Tennessee，United States)取得）、Gigaver210 基板(其可從 Isola USA Corporation (Arizona，United States) 取付)之其中一者。再者，於根據本發明之一範例中，孔 洞29設於一基板層内之處的一區可具有小於該基板層上 之其他區的介電損耗正切。 於另一範例，孔洞29可以具有較高的導磁率之材料來 〇 填滿，以增加電感值(inductance)。於另一範例，孔洞29 之側壁表面可以具有較高的導磁率之材料來電鍍或塗覆。 於另範例’孔洞29可以具有較南的導磁率之材料被電鑛 或塗覆，接著填滿，以進一步增加電感。舉例來說，該等 材料可具有大於1·1的導磁率，且可選自鐵(Fe)、鈷(Co)、 或鎳(Νι)中之其中一者。於另一範例，孔洞29可以銅來填 滿，以增進基板穩健性。再者，螺旋型電感2〇、Μ」、及 20-2之孔洞29可包含一剖面形狀，該剖面形狀具有實質 〇 上圓形、二角形、矩形、多邊形、橢圓形、或其他適合形 狀之至少一者。 圖3A、圖3B及圖3C為根據本發明之一範例的嵌入 型蜿蜒型電感之示意圖。圖3A為根據本發明之一範例的 蜿蜒型電感30之俯視圖。參考圖3A，形成於多層基板31 上之蜿蜒型電感30，其包含從終端ic彎折地或彎曲地延 伸至終端2C之蜿蜒型導電路徑33，蜿蜒型導電路徑33 為具有複數個繞組之圖案（未編號）。複數個孔洞、 3^2、及39-3可設於由蜿蜒型導電路徑33之該等複數個 200834613 繞組所定義之區。具體而言，各孔洞39-1、39-2可設於一 基板層上之一區，於該處之磁場較強於該基板層之其他區。 圖3Β為根據本發明之一範例的蜿蜒型電感30-1之剖 面圖。參考圖3Β，蜿蜒型電感30-1可類似於沿著圖3Α中 線A3剖視之蜿蜒型電感30。蜿蜒型電感30-1之蜿蜒型導 電路徑33可形成於多層基板31之基板層311上。虛線圓 圈表示由婉挺型電感30-1之蜿蜒型導電路徑33所感應的

Ο 磁場之磁力線。孔洞39-1、39-2、及39-3可在由蜿蜒型導 電路控33所感應之磁場較強之區處穿透多層基板μ。於 根據本發明之一範例，設有孔洞39-1、39-2、及39-3之 該等區可具有小於該基板層之其他區的介電損耗正切。 圖3C為根據本發明之另一範例的婉蜒型電感如之 剖面圖。參考圖3C，蜿蜒型電感3〇_2可類似於沿著圖3 Β 中之蜿蜒型電感30-1，除了蜿蜒型電感3〇_2之蜿蜒型導電 路I 33可被肷入於多層基板31之中間基板層μ]内。 二:久闺4X3两很稞本發明之一範例的螺旋狀的電感 示w圖目4Α為根據本發明之一範例的螺旋狀的電 之透視圖。參考圖从，螺旋狀的電感40可形成於包 :弟-基板層丨、第二基板層2、及第三基板層3之多層基 反未編號)上。螺旋狀的電感4G可包含形成於第 廣 1上之第一導電圖案、 Λ 心成於弟一基板層2上之第二 ¥电圖木43-2、形成於第二其^思 433处山^ 罘一基板層3上之第三導電圖案 4夂3、終端1D及終端2 彳电 導兩:?丨ν/π工不尸 令私圖案43-1可藉由第〆 W孔ν41而電氣連接至第二導電圖案43_2,而第二導 12 200834613 電圖案43-2可藉由第二導電孔V42而電氣連接至第三導 電圖案43-3。與二基板層1、2、及3連通之孔洞49可設 於由三個導電圖案43-1、43-2、及43-3所定義之區域中。 於一範例，各第一、第二、及第三導電圖案43_1、43-2、 及43_3可包含圓形、矩形、多邊形、及橢_形狀之其中 一者。於另一範例，設有孔洞49之處的該區域可具有小於 該多層基板中之其他區域的介電損耗正切。 圖4B為顯示於圖4A中之螺旋狀的電感4〇的剖面 圖。參考圖4B，螺旋狀的電感4〇之第一導電圖案幻巧、 第二導電圖案43_2、及第三導電_似可分別形成於 多層基板之第-基板層卜第二基板層2、及第三基板層3 的各表面上。虛線圓圈表示由螺旋狀的電感4〇之導電圖案 43-1、43-2、及43-3所感應的磁場之磁力線。 圖5A及圖5B為各符合本發明之—範_電感之示意 圖。圖5A為婉蜒型電感5G之示意圖。參考圖5A，婉蜓 型電感50可類似於顯示於圖3A之婉蜒型電感％，除了設 於磁場較強之處的最倾的孔洞从卜敗、及以外，

29以外，還可設有至少一 孔洞59-2。儘管各至少一孔洞 其仍有助於增進品質因素。 59-2係設於有別於最佳區 素。再者，線圈23可包含 13 200834613 數個_或彎曲部分，而至少一 曲間之區。 孔而59-3可設於該等圈或彎 _ 6Α及圖6Β為各篇人太 t® 〇 60 蜒型電感60可類似於續示於 $考圖 琬 孔洞叫以外，還可^有至圖丨、3Α之婉埏型電感料了 Ο Ο ㈣。至少一狭長孔可設於磁場較強之處的最佳區^ ，6B為婉蜒型電感61之示意圖。參考^ 6β，㈣ 顯示於!6A之碗_感60,除了至 h A X 以外’通可設有至少-狹長孔洞69-2。 I 69_2可設於有別於該等最佳區之區。再 於另-_，可設有至少1長孔洞69_3，其可連接 至少一狹長孔洞69-1。 立各符合本發明之另—範例的電感之示 :圖。圖7A為螺旋型電感70之示意圖。參考圖7A，螺 70可類似於顯示於圖2A之螺旋型電感2〇,除了 至> -狹長孔洞79]可設於感•場較強之處的最佳區。 ^為螺旋型電感71之示意圖。參考圖π，螺旋 ^感71可類似於顯示於圖7A之螺旋型電感％，除了至 長孔洞W可連接至至少—孔洞79小以形成一線 ，8A、圖8B、及圖8C為各符合本發明之另一範例 ::之不意圖。在圖8A卜電感8i形成於一基板85 之一基板層上，該基板可以是多層或層壓基板。參考圖 14 200834613 8A，電感81可包含第一線圈8M及第二線圈81-2。孔洞 89可設於基板層85上之一區，於該處由第一線圈81-1或 第二線圈81-2所感應之磁場較強。孔洞89可包含穿透該 基板而形成之通孔、形成於該基板中之凹孔、或嵌入該基 板中之導電孔。再者，孔洞89可包含一剖面形狀，該剖 面形狀具有狹長形、圓形、三角形、矩形、多邊形、及橢 圓形形狀之至少一者。第一線圈8M可作為一轉換器之一 主要繞組，同時第二線圈81-2可作為該轉換器之一輔助繞 組；反之亦然。於本範例，第一線圈81-1之至少一部份與 第二線圈81-2之至少一部份可彼此交錯。 圖8B為電感82之示意圖。參考圖8B，電感82可類 似於顯示於圖8A之電感81，除了第三線圈82-1及第四線 圈82-2。第三線圈82-1可作為一轉換器之一主要繞組，同 時第四線圈82-2可作為該轉換器之一輔助繞組；反之亦 然。於本範例，第四線圈82_2的至少一部分為第三線圈 82_1的至少一部分所圍繞。 圖8C為電感83之示意圖。參考圖8C，電感83可包 含形成於基板層85上之第五線圈83_丨及形成於該基板之 不同基板層（未圖示)上的第六線圈83_2。第五線圈83_丨可 作為轉換杰之一主要繞組，同時第六線圈83_2可作為該 轉換器之-輔助繞組；反之亦然。 之代表性具體實施例時，本說明書可將 + 之方法及/或製程表示為一特定之步驟次序；不過， ^方去或製程的範圍並^繫於本文所提tB之特定的步 200834613 驟次序，故該方法或製程不應受限於所 序。身為熟習本技藝者當會了解其 二：驟次 :了’不應將本說明書所提出的特定步驟序欠= =利範圍的限制。此外，亦不應將有關本發= 二版私的以專利範圍僅限制在以書面所載 序^貫施，熟習此項技藝者易於瞭解，該等次序亦可力^ 改交’亚且仍涵蓋於本發明之精神與範缚之内。 Ο 〜^此項技㈣應即瞭解可對上述各項具體實施例進 二、又化而不致悖離其廣義之發明性齡。因此，應瞭 =明亚稀於本揭之特定具體實施例，而係為涵蓋歸屬 Hh求項所定義之本發鴨神及範_的修飾。

16 200834613 Ο Ο 【圖式簡單說明】 前揭==同各隨_式㈣覽時，即可更佳瞭解本發明之 及上文詳細說明。為達本發明之說明目的，各 並^限二ί現屬較佳之各具體實施例。然應瞭解本發明 於轉之精麵置方式及設備褒置。 在各圖式中： 圖1Α為先前技術中螺旋型電感之俯視圖； ^為/口著圖1Α中線Α1之螺旋型電感的剖面圖； ^為根據本發明之一範例的螺旋型電感之俯視圖； ^ 2δ為根據本發明之一範例的螺旋型電感之剖面圖； 圖；回為根據本發明之另一範例的螺旋型電感之剖面 二為«本發明之一範例的婉蜒型電感之俯視圖； 二為根據本發明之—範例的婉蜒型電叙剖面圖； 剖面圖；4根據本發明之另一範例的婉蜒型電感12之 ㈤為根據本發明之_範例的螺旋狀的電感之透視 為顯示於圖从中之螺旋狀的電感的剖面圖； @ ； ㈣5Β為各符合本發明之-範例的電感之示意 圖6Α及圖犯為各符合本發明之另 圖； 意圖 範例的電感之示 17 200834613 圖7A及圖7B為各符合本發明之另一範例的電感之示 意圖；及 圖8A、圖8B及圖8C為各符合本發明之另一範例的 電感之示意圖。 【主要元件符號說明】 10 螺旋型電感 11 基板 13 導電線圈 14 導電路徑 20 螺旋型電感 20-1 螺旋型電感 20-2 螺旋型電感 21 多層基板 23 導電線圈 24 導電路徑 29 孔洞 30 婉蜓型電感 30-1 蜿蜒型電感 30-2 蜿蜒型電感 31 多層基板 33 蜿蜒型導電路徑 39-1 孔洞 39-2 孔洞 18 〇 ϋ 200834613

Ο 39-3 孔洞 40 螺旋狀的電感 43-1 第一導電圖案 43-2 第二導電圖案 43-3 第三導電圖案 49 孔洞 50 蜿蜒型電感 51 螺旋型電感 59-1 孔洞 59-2 孔洞 59-3 孔洞 60 蜿蜒型電感 61 蜿蜒型電感 69-1 狹長孔洞 69-2 狹長孔洞 69-3 狹長孔洞 70 螺旋型電感 71 螺旋型電感 79-1 狹長孔洞 79-2 狹長孔洞 81 電感 81-1 第一線圈 81-2 第二線圈 82 電感 19 200834613 82-1 第三線圈 82-2 第四線圈 83 電感 83-1 第五線圈 83-2 弟六線圈 85 基板層 89 孔洞 111 基板層 112 基板層 211 基板層 212 基板層 213 基板層 214 基板層 215 基板層 311 基板層

312 313 基板層 基板層 20

Claims (2)

1. 200834613 、申請專利範圍： 一種電感元件，包含·· -基板，具有至少—基板層； 上，線圈，形成於該至少一基板層之其中一者 複數個=的個終端間包含 Ο Ο 該表:=層:二表面上的-區’於該區設有穿透 螺線所圍繞。Λ °糸由该導電線圈之至少-連接的 2· 剖面::利:二第1項之電感元件，其中該孔洞具有- 3. ^夕达办及橢圓形之至少一者。 :=m圍第〜感元件，其中在該 才貝耗正切係小於在該基柘 損耗正切。 g之该表面上的其他區之介電 4' 有相對導磁率大於約㈣。 7.如申請專利範圍第丨項之命 土後 之該表面的-不同區，於^感凡件’更包含於該基板層 其中該不同區鱼該導電^不冋區中設有-不同孔洞， 、办电線圈被間隔開。 200834613 8. 如申請專利_第1項之诚元件，其中該孔洞的形式 包含通孔、導電孔及凹孔之其中一者。
2. 9. IIS利範圍第1項之電感元件’其中該等連接的螺 、、泉匕3貫質上矩形、方形、圓形及橢圓形之至少一者。 10· —種電感元件，其包含： ‘丞板 具有至少一基板層； ❹ ❹ :導電路徑，於該基板層上方延伸謂繞該基板層 人福=上的—區捲繞，該導電路徑具有兩個終端且包 含複數個導電繞組；及 於錢板層之該表面上的該區，於該區設有穿透該 少―孔洞’該區係實質上由該等複數個導電繞 、、且之至少_者所圍繞。 圍第10項之電感元件，其中在該區之介電 損耗正Γ切在職㈣之絲面上的其他區之介電 且::範圍第10項之電感元件，其中該至少-孔洞 : 拍她，制㈣狀具有f ¥上狹長形、圓形、 二角形、矩形、多邊形及_形之至少一者。 範圍第10項之電感元件，其中該至少-孔洞 H.如申杜專:系提供有具有相對導磁率大於約1.1的材料。 之圍第1〇項之電感元件，更包含於該基板層 心通表面上的一不同區， ^ , j-乂 於5玄不同區中設有一不同孔 15.如申•專利、與切複數個導電繞組相間隔。 ^專利簡第1〇項之電感元件，其中該至少-孔洞 22 200834613 的形式包含通孔、導電孔及凹孔之其中—者。 16· —種電感元件，其包含： —第一導電圖案，該第一導電圖案位於一基板之第 一基板層上； —第二導電圖案，該第二導電圖案位於該基板之第 二基板層上；及 Ο. Ο 一區域，其介於該第一基板層及該第二基板層之 間，至少一孔洞係透過該區域而耦合於該第一基板層及 該第二基板層間，其中於該區域之該第_導電圖案或該 第二導電圖案的至少一者所感應的磁場較該第一基板層 及該第二基板層之間的一不同區域之該第一導電圖案戈 17咸第二導電圖案的至少一者所感應的磁場為強。 5 $申凊專利範圍第16項之電感^件，其中於該區域之介 ΐδ•，損耗正切係小於於該不同區域之介電損耗正切。 〇申請專利範圍第16項之電感元件，其中該至少一孔洞 具有-剖面形狀，該剖面形狀具有實質上狹長形、圓形/β、 b〜角形、矩形、多邊形及橢圓形之其中至少一者。 .^申請專利範圍第16項之電感元件，其中該至少一 2〇.如者係提供有具有相對導磁率大於約u的材料。 項之電感元件’其中至少-孔洞係 如申睛專利範圍第16項之電成元件，1由 22·二肜式包含通孔、導電孔及凹孔之其中一者。 〜種電感元件，其包含： 23 200834613 一第一導電線圈； 一第二導電線圈；及 一區域，其透過該區域係設有至少一孔洞，其中於 該區域之該第一導電線圈或該第二導電線圈的至少一者 所感應的磁場較於一不同區域之該第一導電線圈或該第 二導電線圈的至少一者所感應的磁場為強。 23·如申請專利範圍第22項之電感元件，其中該第一導電線 圈及該第二導電線圈係形成於一基板之一基板層上。 24·如申請專利範圍第23項之電感元件，其中該區域係位於 該基板層之一表面上。 25·如申請專利範圍第23項之電感元件，其中該第一導電線 圈的至少一部分及該第二導電線圈的至少一部分係彼此 交錯。 26. 如申請專利範圍第23項之電感元件，其中該第一導電線 圈的至少一部分係實質上為該第二導電線圈的至少一部 分所圍繞。 27. 如申請專利範圍第22項之電感元件，其中該至少一孔洞 具有一剖面形狀，該剖面形狀具有實質上狹長形、圓形、 三角形、矩形、多邊形及橢圓形之至少一者。 28. 如申請專利範圍第22項之電感元件，其中該至少一孔洞 的其中一者係提供有具有相對導磁率大於約U的材料。 29. 如申請專利範圍第28項之電感元件，其中該材料包含 鐵、钻或鎳之至少一者。 30. 如申請專利範圍第22項之電感元件，其中該第一導電線 24 200834613 圈係形成於一基板之第一基板層上，且該第二導電線圈 係形成於該基板之第二基板層上。 31，如申請專利範圍第3〇項之電感元件，其中該區域係位於 該第一基板層及該第二基板層之間。 32·如申請專利範圍第3〇項之電感元件，其中該第一基板層 及该第二基板層係透過該至少一孔洞而彼此連通。 33·如申請專利範圍第22項之電感元件，其中在該區域之介 電損耗正切係小於在不同區域之介電損耗正切。 〇 25