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KR890014163A - 잔류 가스내에 존재하는 히드라이드의 파괴방법 및 그것을 위한 촉매 - Google Patents

잔류 가스내에 존재하는 히드라이드의 파괴방법 및 그것을 위한 촉매 Download PDF

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KR890014163A
KR890014163A KR1019890003952A KR890003952A KR890014163A KR 890014163 A KR890014163 A KR 890014163A KR 1019890003952 A KR1019890003952 A KR 1019890003952A KR 890003952 A KR890003952 A KR 890003952A KR 890014163 A KR890014163 A KR 890014163A
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residual gas
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gas
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KR1019890003952A
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Inventor
세레쏠 마크
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원본미기재
레르 리뀌드 소시에떼 아노닐 뿌르 레뛰드 에 렉스쁠로와따씨옹 데 프로세드 죠르쥬 끌로드
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Abstract

내용 없음.

Description

잔류 가스내에 존재하는 히드라이드의 파괴방법 및 그것을 위한 촉매
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따라서 히드라이드를 제거하는 방법을 수행하는 장치에 대한 도식도이다.
제 2 도는 본 발명에 따른 방법을 수행하기 위한 바람직한 산화관을 보여주는 단면도이다.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문 내용을 수록하지 않았음

Claims (15)

  1. 반응제 및 반응촉진제를 함유한 고체 산화 촉매와 접촉되어 있어 거의 모든 히드라이드가 파괴된 가스가 대기로 배출되는, 적충화 결정(epitaxy)오븐 흑은 CVD 증기상 화학적 침전관 내에서 형성된 가스와 같은 잔류가스에 존재하는 히드라이드를 파괴하는 방법에 있어서, 상기 고체 촉매는 반응제로서 산화구리(CuO)의 10 내지 50중량% 및 반응 촉진제로서 이산화망간(MnO2) 50 내지 90중량%를 포함하며 상기 잔류 가스에 내포된 히드라이드가 반응 촉진제를 통하여 반응제와 반응하여 불활성 산화종을 생성하는 방법에 의해 상기 촉매의 표면에 흡착되고, 상기 잔류 가스 흐름은 상기 잔류가스가 흐르는 촉매의 양에 따라 조절되어 상기 잔류 가스에 존재하는 모든 히드라이드를 거의 산화시키는 것을 특징으로 하는 파괴방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고체 촉매가 CuO 10 내지 30중량% 및 MnO2, 70 내지 90중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 산화촉매가 Al2O3, ZnO, SiO2, Cr2O3, MnCO3로부터 선택된 성분을 상기 촉매 총 중량의 30%까지 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 잔류가스가 수소 및 불활성 가수중에서 선택된 가스 및 파괴될 히드라이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 불활성 가스가 질소, 아르곤 및 헬륨으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 촉매가 촉매 베드를 형성하며, 산화 온도는 150℃ 미만 및 바람직하게는 100℃ 미만으로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 불활성 가스가 수소일때, 상기 산화 온도가 실온보다 거의 높지않게 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 산화 온도가 상기 산화 베드 주위로 배치된 유체를 사용한 냉각 작용에 의해 미리 결정된 온도 이하로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상기 산화 촉매를 구성하는 촉매 베드가 바람직하게는 튜브형인 관내에 배치된 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기관이 산화촉매로 충진되고, 나란히 배열된 다수의 튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 튜브 사이에 공간을 제공하여, 물, 기름, 용액한제 및/혹은 냉각 가스와 같은 냉각 유체가 공간 사이를 순환하도록 하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 관이 서로 평행하게 장치된 1 내지 30개의 튜브 및 바람직하게는 10 내지 20개의 튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. CuO 10 내지 50중량% 및 MnO250 내지 90중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화에 의해 히드라이드를 파괴하기 위한 촉매.
  14. 제13항에 있어서, CuO 10 내지 30중량% 및 MnO270 내지 90중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉매.
  15. 제13항 또는 14항에 있어서, Al2O3, ZnO, SiO2, Cr2O3, MnCO3로부터 선택된 성분을 30중량%까지 부가적으로 포함하는 촉매.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890003952A 1988-03-30 1989-03-29 잔류 가스내에 존재하는 히드라이드의 파괴방법 및 그것을 위한 촉매 KR890014163A (ko)

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FR8804109 1988-03-30

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