JPS59207835A - 金属二ホウ化物微粉末の製造方法 - Google Patents
金属二ホウ化物微粉末の製造方法Info
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- JPS59207835A JPS59207835A JP59079301A JP7930184A JPS59207835A JP S59207835 A JPS59207835 A JP S59207835A JP 59079301 A JP59079301 A JP 59079301A JP 7930184 A JP7930184 A JP 7930184A JP S59207835 A JPS59207835 A JP S59207835A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の背景〉
この発明は、焼成して耐火性材料として用いるのに好適
な金属ホウ化物粉末の製造に関し、さらに詳しくは、直
接化学合成によりサブミクロンおにび無定形の金属ホウ
化物粉末の製造に関りる。
な金属ホウ化物粉末の製造に関し、さらに詳しくは、直
接化学合成によりサブミクロンおにび無定形の金属ホウ
化物粉末の製造に関りる。
二ホウ化チタンや二ホウ化ジル１ニウムのごとぎある種
のホウ化物は、それらの顕著な耐火性のために、物理的
浸食、化学的腐食および非常な高温を伴う状況で用いら
れる製品の製造に極めて望ましい材料である。二ホウ化
チタンを製造するために最も広く用いられている商業的
方法は、カーボサーミック法あるいはその変法である。
のホウ化物は、それらの顕著な耐火性のために、物理的
浸食、化学的腐食および非常な高温を伴う状況で用いら
れる製品の製造に極めて望ましい材料である。二ホウ化
チタンを製造するために最も広く用いられている商業的
方法は、カーボサーミック法あるいはその変法である。
この方法においては、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化
ホウ素（Ｂ２Ｏ３）および炭素を電弧中あるいは高周波
加熱炉中で加熱して二ホウ化チタンを生成Ｊる。この方
法の変法では、ホウ素源としてＢ２Ｏ３に変えてＢ４Ｃ
を用いる。これらの方法で得られた二ホウ化チタン製品
は機械的に細砕されて粉砕される。微粉砕された製品を
得るためには、かなりの粉砕処理が必要とされるが、長
時間の粉砕処理を施しでも約２．０００−１０，０００
ｎｍ（２−１０ミクロン）以下の粒径の製品を得ること
はできない。ざらに、かような製品は細砕および粉砕機
の装置材料の摩耗による不純物や、周囲人気からの酸素
による粒子の表面酸化によって生成されたチタンおＪび
ホウ素の酸化物によって汚染される。
ホウ素（Ｂ２Ｏ３）および炭素を電弧中あるいは高周波
加熱炉中で加熱して二ホウ化チタンを生成Ｊる。この方
法の変法では、ホウ素源としてＢ２Ｏ３に変えてＢ４Ｃ
を用いる。これらの方法で得られた二ホウ化チタン製品
は機械的に細砕されて粉砕される。微粉砕された製品を
得るためには、かなりの粉砕処理が必要とされるが、長
時間の粉砕処理を施しでも約２．０００−１０，０００
ｎｍ（２−１０ミクロン）以下の粒径の製品を得ること
はできない。ざらに、かような製品は細砕および粉砕機
の装置材料の摩耗による不純物や、周囲人気からの酸素
による粒子の表面酸化によって生成されたチタンおＪび
ホウ素の酸化物によって汚染される。
らう一つの粉末直接製造方法は、酸素の不存在下で水素
プラズマ加熱器により生成された熱水素カス流の存在下
て蒸気相中で四ハロゲン化チタンとホウ素源（水素化ホ
ウ素またはへロゲン化ホウ素）とを反応させることから
なる（米国特許第４．２８２，１９５号）。生成された
固体ホウ化物は急冷され（ｑｕｅｎｃｈ）て微粒子収集
装置に回収される。この方法で得られる製品は、実質的
にすべて（少なくとも９０％）の粒子は１ミクロン以下
の公称断面直径を有し、１ミクロン以下の粒子の大半（
５０％以上）が０．０５−０．７ミクロン（５０−７０
０ｎｍ）の範囲の粒径を有している。粉末製品は０．２
５重量％以下の酸素および０．２０重量％以下の塩素を
含有している。
プラズマ加熱器により生成された熱水素カス流の存在下
て蒸気相中で四ハロゲン化チタンとホウ素源（水素化ホ
ウ素またはへロゲン化ホウ素）とを反応させることから
なる（米国特許第４．２８２，１９５号）。生成された
固体ホウ化物は急冷され（ｑｕｅｎｃｈ）て微粒子収集
装置に回収される。この方法で得られる製品は、実質的
にすべて（少なくとも９０％）の粒子は１ミクロン以下
の公称断面直径を有し、１ミクロン以下の粒子の大半（
５０％以上）が０．０５−０．７ミクロン（５０−７０
０ｎｍ）の範囲の粒径を有している。粉末製品は０．２
５重量％以下の酸素および０．２０重量％以下の塩素を
含有している。
上述した方法はきわめて吸熱的であって、反応を進行さ
せるためには外部熱源からのエネルギーを供給してやら
なければならない。従って、二ホウ化チウン粒子が生成
されるや否や、その表面は輻射線からのエネルギーを吸
収し、それ故二次粒子生長のシードとして動くことにな
ろう。これによって、得られる粒径の下限値を与え、こ
れは約〜０．０５ミクロン（５０ｎｍ）となる。しかし
ながら、より小さい粒径、好ましくは無定形状態に至る
までの微粉末を調製できることか望ましい。これにより
、緻密な形状に圧縮し焼成するのに都合のよい製品をも
たらすことができるのである。
せるためには外部熱源からのエネルギーを供給してやら
なければならない。従って、二ホウ化チウン粒子が生成
されるや否や、その表面は輻射線からのエネルギーを吸
収し、それ故二次粒子生長のシードとして動くことにな
ろう。これによって、得られる粒径の下限値を与え、こ
れは約〜０．０５ミクロン（５０ｎｍ）となる。しかし
ながら、より小さい粒径、好ましくは無定形状態に至る
までの微粉末を調製できることか望ましい。これにより
、緻密な形状に圧縮し焼成するのに都合のよい製品をも
たらすことができるのである。
〈発明の要旨〉
この発明は、サブミクロン単位および無定形の二ホウ化
チタン〈ＴｉＢ２）または二ホウ化ジルコニウム（Ｚｒ
Ｂ２）粉末を直接化学合成するための新規な方法を提供
する。この方法は２つの基本的アプローチからなる。す
なわち、（１）ガス状三塩化ホウ素（ＢＣｌ３）とガス
状三塩化チタン（ＴｉＣｌ３）とを〜１３００℃の温度
で反応させて固体ＴｉＢ２とガス状四塩化チタン（Ｔｉ
Ｃｌ４）とを生成するこ、および（２）ガス状三塩化ホ
ウ素（ＢＣｌ３）と固体ハロゲン化チタン、例えばＴｉ
Ｃｌ２またはＴｉＣ３，チタン金属またはジルコニウム
金属とを昇温下で反応させて固体ＴｉＢ２またはＺｒＢ
２とガス状ＴｉＣｌ４とを生成することである。これら
の反応からの生成物ＴＩＢ２およびＺｒＢ２粉末は無定
形〜１００ナノメーＬ−ル（ｎｍ）の粒径範囲を有し、
これは他の既知方法により得られる粒径の大きさより数
オークー小さい大きさである。
チタン〈ＴｉＢ２）または二ホウ化ジルコニウム（Ｚｒ
Ｂ２）粉末を直接化学合成するための新規な方法を提供
する。この方法は２つの基本的アプローチからなる。す
なわち、（１）ガス状三塩化ホウ素（ＢＣｌ３）とガス
状三塩化チタン（ＴｉＣｌ３）とを〜１３００℃の温度
で反応させて固体ＴｉＢ２とガス状四塩化チタン（Ｔｉ
Ｃｌ４）とを生成するこ、および（２）ガス状三塩化ホ
ウ素（ＢＣｌ３）と固体ハロゲン化チタン、例えばＴｉ
Ｃｌ２またはＴｉＣ３，チタン金属またはジルコニウム
金属とを昇温下で反応させて固体ＴｉＢ２またはＺｒＢ
２とガス状ＴｉＣｌ４とを生成することである。これら
の反応からの生成物ＴＩＢ２およびＺｒＢ２粉末は無定
形〜１００ナノメーＬ−ル（ｎｍ）の粒径範囲を有し、
これは他の既知方法により得られる粒径の大きさより数
オークー小さい大きさである。
〈発明の好ましい実施態様についての説明〉この発明に
よるサブミクロンおよび無定形の耐火性ＴｉＢ２の新規
な製造方法は、ガス相における発熱反応を用いるもので
あり、複数の発熱反応の連続（シーケンス）によるガス
相におけろ反応体からの均質核形成によりで金属ホウ化
物が生成される。例えば、ガス状三塩化チタンと三塩化
ホウ素は次のような全正味反応を受ける： １０Ｔ’ｉＣ，Ｑ３＜ｏ）−＋−２ＢＣ，ｅ３（ｇ＞・
・・（１） この反応は、〜１３００℃以下の温度で事実上完結する
が、比較的低い温度が好ましい。三塩化チタンガスは次
の反応により生成される：３日ｉＣｆ、（！、ｌ）＝Ｔ
ｉ（ｓ） Ｎ１７００−〜］３００°Ｃ −一−−−−−−→’ｌＴｉＣ，＋２（ｇ）・・・（２
）この反応は、〜１２００−〜１３００℃の温度範囲で
円滑に起る。より低い温度では、二塩化チタンか生成し
、これが配管を目詰りさせることによつて物理的問題を
生ぜしめる。ガス状三塩化チクンは〜９００℃から〜１
３００℃の間の温度で反応器中でガス状三塩化ホウ素と
接触して反応（１）を起す。実験の結果、無定形から１
００ナノメートル（ｎｍ）の範囲の粉末が生成された。
よるサブミクロンおよび無定形の耐火性ＴｉＢ２の新規
な製造方法は、ガス相における発熱反応を用いるもので
あり、複数の発熱反応の連続（シーケンス）によるガス
相におけろ反応体からの均質核形成によりで金属ホウ化
物が生成される。例えば、ガス状三塩化チタンと三塩化
ホウ素は次のような全正味反応を受ける： １０Ｔ’ｉＣ，Ｑ３＜ｏ）−＋−２ＢＣ，ｅ３（ｇ＞・
・・（１） この反応は、〜１３００℃以下の温度で事実上完結する
が、比較的低い温度が好ましい。三塩化チタンガスは次
の反応により生成される：３日ｉＣｆ、（！、ｌ）＝Ｔ
ｉ（ｓ） Ｎ１７００−〜］３００°Ｃ −一−−−−−−→’ｌＴｉＣ，＋２（ｇ）・・・（２
）この反応は、〜１２００−〜１３００℃の温度範囲で
円滑に起る。より低い温度では、二塩化チタンか生成し
、これが配管を目詰りさせることによつて物理的問題を
生ぜしめる。ガス状三塩化チクンは〜９００℃から〜１
３００℃の間の温度で反応器中でガス状三塩化ホウ素と
接触して反応（１）を起す。実験の結果、無定形から１
００ナノメートル（ｎｍ）の範囲の粉末が生成された。
第２のアプローチにおいては、カス状三ハロゲン化ホウ
素を含む不均質反応を用いる。反応体の一方は、金属チ
タン、ジルコニウム、ハフニウム、またはこれらの低原
子価化合物、例えば固体三塩化チタンや固体二塩化チタ
ン等のごどき固体である。
素を含む不均質反応を用いる。反応体の一方は、金属チ
タン、ジルコニウム、ハフニウム、またはこれらの低原
子価化合物、例えば固体三塩化チタンや固体二塩化チタ
ン等のごどき固体である。
固体塩化チタンを用いた場合には、全正味反応は次のよ
うになる： １０ＴｉＣ１３（Ｓ）＋３８Ｃ，Ｃ３（ｇ）・・・（３
） 固体二塩化チタンを用いた場合には正味反応は次のよう
になる： ５ＴｉＣＪ２２（ｓ）＋２ＢＣ、Ｑ５（０’）〜６ｏｏ
−〜１１００℃ Ｔｉ’ｉ３（ｓ）−Ｌ４−１’ｉＣρ４（ｇ）・・・（
４） また、出発材料としてチタン金属を用いた場合には ２．５Ｔｉ（Ｓ＞）２ＢＣ郭（リ） ・・・（５） 反応（３）で粒径１ミクロン以上の固体三塩化チタン粉
末を用い、反応を６３０℃で行なった揚台、０．１ｎｍ
か５０ｎｍの範囲の粒径をもつ理論量の二ホウ化チタン
が得られた。
うになる： １０ＴｉＣ１３（Ｓ）＋３８Ｃ，Ｃ３（ｇ）・・・（３
） 固体二塩化チタンを用いた場合には正味反応は次のよう
になる： ５ＴｉＣＪ２２（ｓ）＋２ＢＣ、Ｑ５（０’）〜６ｏｏ
−〜１１００℃ Ｔｉ’ｉ３（ｓ）−Ｌ４−１’ｉＣρ４（ｇ）・・・（
４） また、出発材料としてチタン金属を用いた場合には ２．５Ｔｉ（Ｓ＞）２ＢＣ郭（リ） ・・・（５） 反応（３）で粒径１ミクロン以上の固体三塩化チタン粉
末を用い、反応を６３０℃で行なった揚台、０．１ｎｍ
か５０ｎｍの範囲の粒径をもつ理論量の二ホウ化チタン
が得られた。
反応（５）でチタン金属スポンジ（−４から＋４０メッ
シュ）を用い６３０℃で反応させたところ、１ｎｍから
１００ｎｍの範囲の粒径または粒子クラスター寸法をも
つ理論量の二ホウ化チタンが得られた。一方、−３２５
メッシニのチタン粉末を用いで６３０℃て反応させたと
ころ、粒径５０ｎｍ以下で無定形物質と混合している理
論量の二ホウ化チタン粉末が得られた。７００℃では反
応（５）により〜１ｎｍから１００ｎｍの範囲の粒径が
得られた。
シュ）を用い６３０℃で反応させたところ、１ｎｍから
１００ｎｍの範囲の粒径または粒子クラスター寸法をも
つ理論量の二ホウ化チタンが得られた。一方、−３２５
メッシニのチタン粉末を用いで６３０℃て反応させたと
ころ、粒径５０ｎｍ以下で無定形物質と混合している理
論量の二ホウ化チタン粉末が得られた。７００℃では反
応（５）により〜１ｎｍから１００ｎｍの範囲の粒径が
得られた。
反応（４）は独立しで試験しなかったが、反応（５）を
その完結に至る前に停止させた場合に中間生成物として
固体二塩化チタンが認められた。このことは、二塩化チ
タンは反応式（４）に従って反応することを示している
。
その完結に至る前に停止させた場合に中間生成物として
固体二塩化チタンが認められた。このことは、二塩化チ
タンは反応式（４）に従って反応することを示している
。
耐火性化合物類の微粉末を製造するために一連の発熱ガ
ス反応の連続を採用するという原理は、炭化物類や窒化
物類、および上述した以外のホウ化物類、さらにはこれ
らの混合物の製造にも拡張することができよう。
ス反応の連続を採用するという原理は、炭化物類や窒化
物類、および上述した以外のホウ化物類、さらにはこれ
らの混合物の製造にも拡張することができよう。
実施例１、
カス状ＴｉＣｌ４ヲ約１２３０℃に予備加熱し、黒鉛反
応器中で〜１２３０℃でチタン金属グラニコールを通し
て流した。生成したＴｉＣｌ３を〜ｌ２３０℃の黒鉛反
応器室中に導きＢＣｌ３ガスと混合した。ＢＣｌ３／Ｔ
ｉＣ３モル比は約１／３、すなわらＢＣｌ３を上記反応
式（１）に関して化学量論的に過剰とした。反応生成物
のＴｉＢ２とＴｉＣｌ４を室温でガラス容器中に集める
が、このとき微粒子ＴｉＢ２粉末は液体ＴｉＣｌ４に保
持されている。ＴｉＣｌ４は蒸留（減圧）によりＴｉＢ
２粉末から分離した。この粉末は、水レベル０．５ｐｐ
ｍおよび酸素レベル０．２ｐｐｍ以下の不活性雰囲気グ
ローブボックスへ送り、使用しないときは密閉容器に維
持した。この粉末は酸化して高温になりやすい性質（発
火性、ｐｙｒｏｐｈｏｒｉｃ）を示し、このことは試料
を空気中に曝すことによってわかる。Ｘ線回折分析の結
果はこの生成物がＴｉＢ２であることを示した。また、
高いバックグラウンドから、この生成物は無定形粒子を
含んでいると結論づけられ、さらにはラインの拡がりの
程度から、この結晶性部分は非常に微細（〜１００ｎｍ
以下）であることがゎがった。透過電子顕微鏡法（ＴＥ
Ｍ）による分析の結果は、この粉末が無定形物質とと〜
０．１ｎｍから〜１００ｎｍの範囲の結晶おにび結品集
合体との混合物から主どして構成されていることを示し
た。
応器中で〜１２３０℃でチタン金属グラニコールを通し
て流した。生成したＴｉＣｌ３を〜ｌ２３０℃の黒鉛反
応器室中に導きＢＣｌ３ガスと混合した。ＢＣｌ３／Ｔ
ｉＣ３モル比は約１／３、すなわらＢＣｌ３を上記反応
式（１）に関して化学量論的に過剰とした。反応生成物
のＴｉＢ２とＴｉＣｌ４を室温でガラス容器中に集める
が、このとき微粒子ＴｉＢ２粉末は液体ＴｉＣｌ４に保
持されている。ＴｉＣｌ４は蒸留（減圧）によりＴｉＢ
２粉末から分離した。この粉末は、水レベル０．５ｐｐ
ｍおよび酸素レベル０．２ｐｐｍ以下の不活性雰囲気グ
ローブボックスへ送り、使用しないときは密閉容器に維
持した。この粉末は酸化して高温になりやすい性質（発
火性、ｐｙｒｏｐｈｏｒｉｃ）を示し、このことは試料
を空気中に曝すことによってわかる。Ｘ線回折分析の結
果はこの生成物がＴｉＢ２であることを示した。また、
高いバックグラウンドから、この生成物は無定形粒子を
含んでいると結論づけられ、さらにはラインの拡がりの
程度から、この結晶性部分は非常に微細（〜１００ｎｍ
以下）であることがゎがった。透過電子顕微鏡法（ＴＥ
Ｍ）による分析の結果は、この粉末が無定形物質とと〜
０．１ｎｍから〜１００ｎｍの範囲の結晶おにび結品集
合体との混合物から主どして構成されていることを示し
た。
実施例２．
固体ＴｉＣｌ３粉末をニッケル金属反応器中に入れ、ガ
ス状ＢＣｌ３をこの粉末に通した。
ス状ＢＣｌ３をこの粉末に通した。
ＴｉＣｌ４の発生によって示されるように。このＴｉＣ
ｌ３とＢＣｌ３は〜６００℃で急速に反応した。
ｌ３とＢＣｌ３は〜６００℃で急速に反応した。
ＴｉＣｌ４は室温で液体として集めた。最終固体反応生
成物の重量は上記反応式（３）の通りであった。Ｘ線回
折およびＴＥＭ分析の結果、この生成物は〜０．１ｎｍ
がら〜５０ｎｍの範囲のＴｉＢ２粒子および粒子集合体
であることを示した。この粉末が発火性を示すことは、
試料を空気に曝すことによってわかった。
成物の重量は上記反応式（３）の通りであった。Ｘ線回
折およびＴＥＭ分析の結果、この生成物は〜０．１ｎｍ
がら〜５０ｎｍの範囲のＴｉＢ２粒子および粒子集合体
であることを示した。この粉末が発火性を示すことは、
試料を空気に曝すことによってわかった。
実施例３．
実験Ａ
チタン金属粉末（−４から＋４０メツシユ）をニッケル
金属反応器中に入れ、ガス状ＢＣｌ３をこの粉末に通し
た。ＴｉＣｌ４の発生によって示されるようにこの反応
は６３０℃でかなりの速度で進行した。ＴｉＣｌ４は室
温で液体として集めた。最終固体反応生成物の重量は上
記反応式（５）の通りであった。Ｘ線回折およびＴＥＭ
分析の結果、この粉末は〜１ｎｍから１０ｎｍの範囲の
ＴｉＢ２粒子および粒子集合体であることを示した。こ
の粉末は発火性であつた。
金属反応器中に入れ、ガス状ＢＣｌ３をこの粉末に通し
た。ＴｉＣｌ４の発生によって示されるようにこの反応
は６３０℃でかなりの速度で進行した。ＴｉＣｌ４は室
温で液体として集めた。最終固体反応生成物の重量は上
記反応式（５）の通りであった。Ｘ線回折およびＴＥＭ
分析の結果、この粉末は〜１ｎｍから１０ｎｍの範囲の
ＴｉＢ２粒子および粒子集合体であることを示した。こ
の粉末は発火性であつた。
実験Ｂ
チタン金属粉末（−３２５メツシコ）を実験Ａと同様に
しＣ処理した。最終反応生成物粉末の重量は上記反応式
（５）の通りであった。Ｘ線回折およびＴＥＭ分析の結
果、この粉末は粒径５０ｎｍ以下の結晶性ＴｉＢ２と無
定形物質との混合物であることを示した。この粉末は発
火性の強いものであった。
しＣ処理した。最終反応生成物粉末の重量は上記反応式
（５）の通りであった。Ｘ線回折およびＴＥＭ分析の結
果、この粉末は粒径５０ｎｍ以下の結晶性ＴｉＢ２と無
定形物質との混合物であることを示した。この粉末は発
火性の強いものであった。
実験Ｃ
チタン金属粉末（−３２５メツシユ）を実験Ａと同様に
して処理したが、反応を７００℃で行なつた。粒径が〜
１ｎｍから〜１００ｎｍの範囲であること以外は、実験
Ｂど同じ結果が得られた。このことは、無定形ＴｉＢ２
の結晶化は７００℃で起ることを示唆している。
して処理したが、反応を７００℃で行なつた。粒径が〜
１ｎｍから〜１００ｎｍの範囲であること以外は、実験
Ｂど同じ結果が得られた。このことは、無定形ＴｉＢ２
の結晶化は７００℃で起ることを示唆している。
ＴｉＢ２粉末についての焼成試験を圧力３５ＭＰ３で種
々の温度で行なった。１４００℃では若干の焼結が認め
られ、１６００℃では焼結ペレットの密度は理論値の９
６％に達した。
々の温度で行なった。１４００℃では若干の焼結が認め
られ、１６００℃では焼結ペレットの密度は理論値の９
６％に達した。
実施例４．
チタン金属粉末（−４から＋４０メツシユ）をニッケル
反応器中に入れ、実施例３の実験Ａど同様に処理した。
反応器中に入れ、実施例３の実験Ａど同様に処理した。
しかしながら、反応は完結する前に停止してしまい、中
間的な固体反応生成物を調べた。この反応生成物は、Ｔ
ｉＢ２−（ＴｉＢ２＋ＴｉＣｌ４）−（ＴｉＣｌ２＋Ｔ
ｉＢ２）−Ｔｉの順序で末同定化合物とともに層状を呈
していた。このことは、ＢＣｌ３がＴｉと反応した場合
にはＴｉＣｌ２が中間反応生成物であることを示してい
る。このことはまた、上記反応式（４）に従って、ＢＣ
ｌ３との直接反応によるＴｉＢ２粉末の合成の出発物質
としてＴｉＣ２が動くことを示している。
間的な固体反応生成物を調べた。この反応生成物は、Ｔ
ｉＢ２−（ＴｉＢ２＋ＴｉＣｌ４）−（ＴｉＣｌ２＋Ｔ
ｉＢ２）−Ｔｉの順序で末同定化合物とともに層状を呈
していた。このことは、ＢＣｌ３がＴｉと反応した場合
にはＴｉＣｌ２が中間反応生成物であることを示してい
る。このことはまた、上記反応式（４）に従って、ＢＣ
ｌ３との直接反応によるＴｉＢ２粉末の合成の出発物質
としてＴｉＣ２が動くことを示している。
実施例５．
ジルコニウム金属粉末（−５０メツシユ）をニッケルの
ボート形容器に入れ、これをニッケル燃焼管内に挿入し
て炉内でＢＣｌ３流通下６５０℃で２時間加熱した。こ
の金属の約８５％がサブミクロンのＺｒＢ３粉末に変換
した。このことはＸ線回折（ラインの拡がり）によって
確認された。ジルコニウムとハフニウムとの化学的類似
性を考えれば、この方法によってＨｆＢ２粉末も生成で
きるものと予想される。
ボート形容器に入れ、これをニッケル燃焼管内に挿入し
て炉内でＢＣｌ３流通下６５０℃で２時間加熱した。こ
の金属の約８５％がサブミクロンのＺｒＢ３粉末に変換
した。このことはＸ線回折（ラインの拡がり）によって
確認された。ジルコニウムとハフニウムとの化学的類似
性を考えれば、この方法によってＨｆＢ２粉末も生成で
きるものと予想される。
特許出願人 アメリカ合衆国
代理人 尾股行雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、チタン初末、ジルコニウム扮木、二塩化ヂタン粉末
、三塩化チタン粉末およびガス状三塩化チタンからなる
群から選ばれる物質を実質的に水素を含＝ない雰囲気中
でガス状三塩化ホウ素と接触させることを特徴とＪる二
ホウ化チタンおよび二ホウ化ジルコニウムからなる群か
ら選ばれる金属二ホウ化物微粉末の製造方法。 ２、ガス状三塩化ホウ素をガス状三塩化チタンど接触さ
せて二ホウ化チタン微粉末を生成ざける特許請求の範囲
第１項記載の方法。 ３、ガス状三塩化ホウ素を三塩化チタン粉末と接触さＵ
て二ホウ化チタン微粉末を生成さける特許請求の範囲第
１項記載の方法。 ４、カス状三塩化ホウ素をチタン粉末と接触さゼて二ホ
ウ化チタン微粉末を生成させる特許請求の範囲第１項記
載の方法。 ５、ガス状三塩化ホウ素を二塩化チタン粉末と接触させ
て二ホウ化チタン微粉末を生成させる特許請求の範囲第
１項記載の方法。 ６、ガス状三塩化ホウ素をジルコニウム粉末と接触させ
て二ホウ化ジル１ニウム微１末をＺ成させる特許請求の
範囲第１項記載の方法。
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