JPS59172731A

JPS59172731A - リ−ドフレ−ム搬送装置

Info

Publication number: JPS59172731A
Application number: JP4769283A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Kobayashi; 弘明小林
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1983-03-22
Filing date: 1983-03-22
Publication date: 1984-09-29
Also published as: JPH0439227B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、リードフレームの搬送装置に関するもので、
特にダイボンディング装置やワイヤボンディング装置に
おけるリードフレームの搬送に使用されるものである。

〔発明の技術的背景〕

半導体装置の製造においては、ウェーハプロセス終了後
の半導体チップ上の電極を引き出してパッケージのリー
ドとするため、リードフレームに半導体チップを固定す
るダイボンディング、チップ上の電極とリードフレーム
のリード間を配線するワイヤボンディング、樹脂でパッ
ケージを形成する樹脂封止などが行われる。これらの工
程および工程間ではリードフレームを単位として製造が
行われるため、リードフレームの搬送が重要である。

々ころで、リードフレームは半導体装置の形状、ピン数
等によりいろいろな種類がある。リードフレームは１枚
の板に複数個のチップが載ったまま搬送されるので、保
管や搬送を行い易いようにリードフレームの幅は標準化
がされているが、それでも数種の幅が存在する。同様に
、各装置においてリードフレームを収容するリードフレ
ームマガジンは、リードフレームの幅に応じた＠葎のも
のが用意されており、また工程間の搬送を行うリードフ
レーム搬送装置ではガイドレールの幅を可変できるよう
になっている。

第１図は、ワイヤボンディング工程におけるリードフレ
ーム搬送装置の一部を示したものであって、リードフレ
ームマガジ／ｌに収納さｎたリードフレーム２は送り爪
３によって１枚ずつ引き出され、ガイドレール４の上に
搭載され、別の送り爪３′、３“によって搬送されてガ
イドレールの他端に置かれたもう一つの空のフレームマ
ガジン５に収納される。このフレームマガジン１および
５はマガジンエレベータ６および７に載せられており、
マガジンエレベータ６−Ｊ６よび７はそれぞれモータ８
および９の回転により駆動されるリードスクリュー１０
および１１によって摺動軸１２と１３．１４と１５に沿
って上下する。また、ガイドレール４の中央部にはワイ
ヤボンディング装置１６が設けられており、アーム１７
が動くことによりその下にあるリードフレーム２のダイ
ボンディングされた半導体チップ１８上の電極とリード
フレーム上のリード間（こワイヤ１９が配線される。

ここでガイドレール４、マガジンエレベータ６．７、送
り爪３および図示されていない送り爪の駆動機構などは
リードフレーム搬送装置を構成する。

第２図は第１図におけるリードフレーム搬送装置のワイ
ヤボンディング装置下のレール部構造を示す断面図であ
って、ベース２１上にはリードフレームの幅方向に摺動
可能なガイドレール４ａおよび４ｂが設けられており、
これらの上部内側の切欠き部４１　ａとレールふた２２
＆と゛の間の空隙２３ａおよび切欠き部４１ｂとレール
ふた２２ｂとの間の空隙２３ｂにはリードフレーム２が
挿入されて支持される。このリードフレーム２には半導
体チップ１８がダイボンディングされている。ガイドレ
ール４ａおよび４ｂはそｎぞれボルト２３オよび２４に
よってベース２１に固定される。なお抛２図においては
、ガイドレール４ｂ側ではボルトおよびナツトは省略さ
れている。またガイドレール４ａおよび４ｂのほぼ中心
位置にはワイヤボンディング時（こリードフレーム２を
加熱するヒータブロック２５が設けられている。

このようなリードフレーム搬送装置においては、ガイド
レール４ａの切欠き部４１　ａの端とガイドレール４ｂ
の切欠き部４１ｂの端との距離がリードフレーム２の幅
よりもわずかに大きくなるようにガイドレール４ａおよ
び４ｂ間の距離りを調整しなければならない。

〔背景技術の問題点〕

ところが、このようなガイドレール間の距離を調整する
には、ガイドレールを固定しでいるボルトやナツトをゆ
るめ所定の位置に合イつせる人手による煩雑な作業を必
要とし、時間がかかる。この調整時間の間は設備の稼動
が停止するため、ＷＡ整待時間少ないほど望ましいので
あるが、リードフレームの幅が各種存在するため、この
稼動停止時間は無視できないものとなっている。このた
め、ガイドレール間の位置決めを谷筋にするために、第
２図に示すようなレール幅ゲージ２６を使用する等して
稼動停止時間の短縮を図る工夫がなされているが、稼動
停止時間は調整１回につき数時間に達している。特に、
最近のように多品種少量生産が主流になりつつある場合
においてはリードフレームの種類に応じてガイドレール
め幅を変更する際の稼動停止時間が多くなり１、問題で
ある。

〔発明の目的〕

そこで、本発明はガイドレールの幅をリードフレームの
種類に応じて人手の介在なしに迅速に変更できることの
できるリードフレーム搬送装置を提供することを目的と
する。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため、本発明においては、あらかじめリ
ードフレームの幅情報を記憶させた記憶部を有する制御
装置と、この記憶部からリードフレームの種類に応じて
読み出した幅情報をもとにこの制゛御装置によりリード
フレームの幅方向に駆動されるガイドレールとを具備し
ており、人手の介在なしに迅速にガイドレール幅の調整
が可能で稼動停止時間を最少にできるものである。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照しながら本発明の一実施例を説明する
。

第３図は本発明（こかかるリードフレーム搬送装置の機
構を示す平面図であって、リードフレーム、リードフレ
ームを移動させる機構、リードフレームの種類を入力し
てガイドレール幅を変更させる信号を発生する制御装置
は省略しである。

これによれば、ガイドレール５１ｍおよび５１ｂはボー
ルガイド５２ａと５３ａおよび５２ｂと５３ｂを介して
摺動軸５４および５５に摺動自在に取付けられている。

ガイドレール５１ａの下部には右ねじナツト５６ａが、
ガイ′１°レール５１ｂの下部には左ねじナツト５６ｂ
が取付けられており、これらとかみ合う右ねじおよび左
ねじを同一軸に有するリードスクリュー５７がかみ合っ
ている。このリードスクリュー５７はパルスモータ５８
と連結されている。

ガイドレールの両端部にはフレームマガジン５９．６０
を丑下させるマガジンエレベータ６１　、６２が設けら
れている点は従来と同様であるが、この実施例において
は、リードフレームマガジン５９゜６０を所定位置（こ
位置決めできるよう、マガジンガイド６５ａ　、　６６
ａ　、　６５ｂ　、　６６ｂを連結部材６３ａ。

６４ａ　、　６３ｂ　、　６４ｂによってガイドレール
５１ａ。

５１ｂに取付けている。

第４図はガイドレールを駆動する制御装置と駆動部との
関係を示したブロック図であって、制御装置１００は制
御部１０１、記憶部１０２、駆動部１０３から成ってお
り、キーボード等の入力部１０４は制御部１０１に、パ
ルスモータ等の機構部１０５は駆動部１０３にそれぞれ
接続されている。

第５図は第３図の機構部１０５を駆動させる制御装置１
００をこ旧けるガイドレール開帳を変更させるステップ
を示したものであって、リードフレームの種類を表わす
データが制御装置１００に入力部１０４から入力される
（ステップ１）と、このデータによって制御装置ｉｏｏ
内にある記憶部１０２内の番地が指定され、ガイドレー
ル幅情報が読出される（ステップ２）。このガイドレー
ル幅情報は、ガイドレールの基準位置に対するパルスモ
ータ駆動パルス量である。次に制御部１０１で現在のガ
イドレール幅に対するガイドレール幅情報と新しいガイ
ドレール幅情報との比較を行って駆動量を算出しくステ
ップ３）、この駆動量により駆動部１０３から機構部１
０５に対する駆動パルスが出力される（ステップ４）。

この結果、第３図（こおいでは、パルスモータ５８が回
転することによりリードスクリュー５７が連動して回転
する。リードスクリュー５７は右ねじと左ねじの部分が
あるからこれをこかみ合ったねじ５６ａおよび５７ａは
パルスモータ５８の回転方向によって互いに近ずくか離
れるかいずれかの運動を行う。したがってねじ５６ａお
よび５７ａΦ（こ取付けられたガイドレール５１ａ＃よ
び５１ｂは中心線６７に対し常に対称位置にあるよう昏
こ移動する。

この際、摺動軸とポールガイドの作用でガイドレール５
１ａおよび５１ｂは常に平行を保ったまま移道し幅ｔの
リードフレームを支持するようにＬの間隔を有する位置
で停止Ｖる。なお、マガジンガイド６５ａ　、　６５ｂ
　、　６６ａ　、　６６ｂもガイドレールに連動して動
き、幅ｔのリードフレームに対して幅ｔｍのリードフレ
ームマガジン５９　、６０が安定して支持できるように
なる。また、上述のような右ねじと左ねじを組合わせた
移動機構では中心位置が変動しないため、例えばダ・イ
ボンデイングやワイヤボンディングにおけるボンディン
グ位置はリードフレームの幅に関係なく一定となり都合
が良い。

以上の実施例においてリードフレームの位置決め機構を
必要に応じて付加することができ、リードフレーム送り
機構は送り爪によるもの、ローラによるもの等任意のも
のが使用できる。

また、実施例においてはガイドレールは中心線から対称
に双方向に移動するものであったが、これに限るもので
はなく、Ｌ方が固定で一方のみが可動であってもよい。

さらにガイドレールの駆動手段としては実施例のような
リードスクリューのみでなく、リニアパルスモータやリ
ンク機構の使用が可能であり、また、これら駆動手段の
個数、ガイドレールの支持方法を問うものではない。

また、マガジンガイドはガイドレールと連動している必
要は必ずしもなく、別個に位置決めできるものでもよい
。

さらに、ガイドレールの駆動は実施例のように現在位置
を基準にする方法だけでなく、一旦基準位置に戻り、新
たな゛リードフレームに対するガイドレール駆動を行う
ようにしてもよい。

オタリードフレームの種類の入力は手入力に限ラス、フ
レームマガジン上に設けられた識別標識を検出して入力
するようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上のような本発明にかかるリードフレーム搬送装置に
よれば、リードフレームの種類ごとに幅情報を記憶させ
た制御装置内の記憶部からリードフレームの種類に応じ
て読出した幅情報によって・ガイドレール幅の調整を行
うようにしているので、人手によるガイドレール幅の調
整が不要で、かつ短時間にガイド幅調整が正確に行え、
設備の稼動停止時間を最小にできる。

また、ガイドレールが中心線に対し対称位置にあるよう
に駆動される実施態様では、リードフレーム中心が常に
一定であるため、設備に対する位置決めが不要となる。

さらにガイドレールにリードフレームマガジンの位置決
め部材を連結した実施態様では、リードフレームマガジ
ンの位置決めも同時に行えるため、設備の効率を上げる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のワイヤボンディング装置用のリードフレ
ーム搬送装置を示す斜視図、第２図はその構造を示す断
面図、第３図は本発明にかかるリー　ドフレーム搬送装
置の機構を示す平面図、第４図は本発明にかかるリード
フレーム搬送装置の制御装置と駆動部との関係を示すブ
ロック図、第５図は制御装置におけるガイドレール変更
動作を示すフローチャートである。１　、５　、５９　、６０・・・フレームマガジン、２
・・・リードフレーム、３．３’、３“・・・送り爪、
４，５１・・・カイトレール、６，７，６１，６２・・
・マガジンエレベータ、５６・・・ねじ、５７・・・リ
ードスクリュー、５８・・・モータ、６５．６６・・・
マガジンガイド。出願人代理人　　猪　股　　　　清

Claims

【特許請求の範囲】

１．２本のガイドレールでリードフレームを保合支持し
つつ送り手段により前記リードフレームの長手方向に移
送する搬送機構を有し、前記２本のガイドレールのうち
少なくとも一方を前記リードフレームの幅方向曇こ可動
として幅の異なる複数種類のリードフレームの搬送を可
能としたリードフレーム搬送装置において、あらかじめリードフレームの種類毎に幅情報を記憶させ
た記憶部を有する制御装置を具備し、前記制御装置によ
って前記記憶部からリードフレームの種類に応じて読み
出した前記幅情報をもとに前記ガイドレールを前記リー
ドフレームの幅方向に駆動するようにしたリードフレー
ム搬送装置。
２．２本のガイドレールがこれらの中心位置を基準に常
に対称位置にあるよう沓こ駆動されるものである特許請
求の範囲第１項記載のリードフレーム搬送装置。３、　ガイドレールがリードフレームマガジンの位置決
め部材を連結したものである特許請求の範囲第１項記載
のリードフレーム搬送装置。