JPH08122246A - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
- Publication number
- JPH08122246A JPH08122246A JP25660794A JP25660794A JPH08122246A JP H08122246 A JPH08122246 A JP H08122246A JP 25660794 A JP25660794 A JP 25660794A JP 25660794 A JP25660794 A JP 25660794A JP H08122246 A JPH08122246 A JP H08122246A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- photodiode array
- measured
- light
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フォトダイオードセンサを用いた分光分析装
置において、温度変化によるドリフトの生じにくい装置
を提供する。 【構成】 フォトダイオードアレイ２１の温度を測定す
る温度センサ２２を設け、温度センサからの信号を用い
て暗電流を補正することでにより、ドリフトの影響を打
ち消す。
置において、温度変化によるドリフトの生じにくい装置
を提供する。 【構成】 フォトダイオードアレイ２１の温度を測定す
る温度センサ２２を設け、温度センサからの信号を用い
て暗電流を補正することでにより、ドリフトの影響を打
ち消す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分光光度計や高速液体
クロマトグラフ用検出器などの分光器を用いた分析装置
に関し、さらに詳しくは検出器に半導体フォトダイオー
ドアレイを用いた分光分析装置に関する。
クロマトグラフ用検出器などの分光器を用いた分析装置
に関し、さらに詳しくは検出器に半導体フォトダイオー
ドアレイを用いた分光分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に従来からの半導体フォトダイオー
ドアレイ検出器を用いた分光分析装置の構成図を示す。
このものは、光源１１、シャッタ１２、集光ミラー１
３、グレーティング１４からなる分光光学系１０と、フ
ォトダイオードアレイ２１からなる検出系２０と、解析
部３０とからなる。
ドアレイ検出器を用いた分光分析装置の構成図を示す。
このものは、光源１１、シャッタ１２、集光ミラー１
３、グレーティング１４からなる分光光学系１０と、フ
ォトダイオードアレイ２１からなる検出系２０と、解析
部３０とからなる。
【０００３】分光光学系１０は、集光ミラー１３とグレ
ーティング１４との間にサンプルセル１５が取り付けら
れ、光源１１からの白色光が集光ミラー１３を介してサ
ンプルセル内の試料に入射されるようになっている。そ
してサンプルセル１５を通過した透過光がグレーティン
グ１４により分光されるように構成されている。
ーティング１４との間にサンプルセル１５が取り付けら
れ、光源１１からの白色光が集光ミラー１３を介してサ
ンプルセル内の試料に入射されるようになっている。そ
してサンプルセル１５を通過した透過光がグレーティン
グ１４により分光されるように構成されている。
【０００４】ここで装置が高速液体クロマトグラフ装置
の場合には、サンプルセル１５（液体試料のためフロー
セルともいう）には図示しない高速液体クロマトグラフ
装置のカラムから溶出したサンプルが導入されるように
してある。装置が分光光度計の場合には、被測定サンプ
ルがサンプルセル位置に取り付けられる。いずれの場合
も、サンプルを透過した透過光の分光が得られるように
なっている。
の場合には、サンプルセル１５（液体試料のためフロー
セルともいう）には図示しない高速液体クロマトグラフ
装置のカラムから溶出したサンプルが導入されるように
してある。装置が分光光度計の場合には、被測定サンプ
ルがサンプルセル位置に取り付けられる。いずれの場合
も、サンプルを透過した透過光の分光が得られるように
なっている。
【０００５】検出系２０には、フォトダイオードアレイ
２１が用いられ、グレーティング１４からの分光を波長
毎に同時に検出できるようにしてある。すなわち、フォ
トダイオードアレイ２１の各素子はそれぞれグレーティ
ング１４により分光されたひとつの波長成分を検出する
ように配列されてあり、たとえば波長５００〜５１０ｎ
ｍの光を素子番号λの素子が、波長５１０〜５２０ｎｍ
の光を素子番号λ＋１の素子が検出するようになってい
る。
２１が用いられ、グレーティング１４からの分光を波長
毎に同時に検出できるようにしてある。すなわち、フォ
トダイオードアレイ２１の各素子はそれぞれグレーティ
ング１４により分光されたひとつの波長成分を検出する
ように配列されてあり、たとえば波長５００〜５１０ｎ
ｍの光を素子番号λの素子が、波長５１０〜５２０ｎｍ
の光を素子番号λ＋１の素子が検出するようになってい
る。
【０００６】解析部３０はアンプやＡ／Ｄコンバータな
どを有する信号処理部３１と、コンピュータ３２からな
り、フォトダイオードアレイ２１からの波長毎の検出信
号を信号処理部３１を介して波長毎の強度データに変換
し、コンピュータ３３に送り、ここで吸光度スペクトル
に変換されるようになっている。
どを有する信号処理部３１と、コンピュータ３２からな
り、フォトダイオードアレイ２１からの波長毎の検出信
号を信号処理部３１を介して波長毎の強度データに変換
し、コンピュータ３３に送り、ここで吸光度スペクトル
に変換されるようになっている。
【０００７】この装置による測定は以下の（１）から
（４）の手順を踏むことによりなされる。
（４）の手順を踏むことによりなされる。
【０００８】（１） シャッタ１２を閉じ、光が照射さ
れない状態でフォトダイオードアレイの暗電流の値Ｄ
（λ）を測定する。 （２） 次にシャッタ１２を開いて、サンプルをつけな
い状態のフォトダイオードの出力の値Ｒ（λ）を測定す
る。 （３） さらにシャッタを開いたまま、サンプルをサン
プルセル１５に導入した状態の出力の値Ｓ（λ）を測定
する。 （４） 吸光度Ａ（λ）を下記の１式により計算する。
ただし、λはフォトダイオードアレイの素子番号であ
る。
れない状態でフォトダイオードアレイの暗電流の値Ｄ
（λ）を測定する。 （２） 次にシャッタ１２を開いて、サンプルをつけな
い状態のフォトダイオードの出力の値Ｒ（λ）を測定す
る。 （３） さらにシャッタを開いたまま、サンプルをサン
プルセル１５に導入した状態の出力の値Ｓ（λ）を測定
する。 （４） 吸光度Ａ（λ）を下記の１式により計算する。
ただし、λはフォトダイオードアレイの素子番号であ
る。
【０００９】 Ａ（λ）＝−ｌｏｇ10｛（Ｓ（λ）−Ｄ（λ））／（Ｒ（λ）−Ｄ（λ））｝・ ・・・（１式）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記のような装置で吸
光度の測定をする場合に、フォトダイオード近辺の測定
環境の温度が変化すると、フォトダイオードアレイの暗
電流が温度変化によって大きく変化した。暗電流の測定
を行わずに、長時間連続して測定を行う場合、測定中に
温度変化の影響を受けて暗電流が変化し（１式のＤ
（λ）が変化）、測定データのドリフトが生じた。ま
た、得られた吸光度のデータはリニアリティの悪いもの
となってしまった。本発明は以上のような問題を解決
し、温度変化の影響によるドリフトを低減するようにし
た分光分析装置を提供することを目的とする。
光度の測定をする場合に、フォトダイオード近辺の測定
環境の温度が変化すると、フォトダイオードアレイの暗
電流が温度変化によって大きく変化した。暗電流の測定
を行わずに、長時間連続して測定を行う場合、測定中に
温度変化の影響を受けて暗電流が変化し（１式のＤ
（λ）が変化）、測定データのドリフトが生じた。ま
た、得られた吸光度のデータはリニアリティの悪いもの
となってしまった。本発明は以上のような問題を解決
し、温度変化の影響によるドリフトを低減するようにし
た分光分析装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明の分光分析装置は、分光光学系により
分光された測定光をフォトダイオードアレイにより各波
長ごと検出して信号処理し、測定光量の測定を行う分光
分析装置において、フォトダイオードアレイの温度を測
定する温度センサと、温度センサからの信号を用いて測
定光量の補正を行う補正手段とを備えたことを特徴とす
る。以下、この分光分析分析装置がどのように作用する
かを説明する。
になされた本発明の分光分析装置は、分光光学系により
分光された測定光をフォトダイオードアレイにより各波
長ごと検出して信号処理し、測定光量の測定を行う分光
分析装置において、フォトダイオードアレイの温度を測
定する温度センサと、温度センサからの信号を用いて測
定光量の補正を行う補正手段とを備えたことを特徴とす
る。以下、この分光分析分析装置がどのように作用する
かを説明する。
【００１２】
【作用】本発明の分光分析装置では、フォトダイオード
アレイの温度が測定され、解析部に送られる。解析部で
は温度変化による暗電流の変化分が演算され、演算結果
を用いて暗電流の値が補正される。したがって、温度変
化の影響が打ち消され、ドリフトが低減される。
アレイの温度が測定され、解析部に送られる。解析部で
は温度変化による暗電流の変化分が演算され、演算結果
を用いて暗電流の値が補正される。したがって、温度変
化の影響が打ち消され、ドリフトが低減される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図１は本発明の一実施例を示す分光分析装置の構成
図を示す。
る。図１は本発明の一実施例を示す分光分析装置の構成
図を示す。
【００１４】図１において、図２の従来装置と同じもの
は同一の符号を用いることにより説明を省略する。本発
明の装置では、フォトダイオードアレイ２１に温度セン
サ２２が接続され、フォトダイオードアレイ２１の温度
が測定されるようになっており、測定された温度信号は
解析部３０のコンピュータ３２に送られるようにしてあ
る。
は同一の符号を用いることにより説明を省略する。本発
明の装置では、フォトダイオードアレイ２１に温度セン
サ２２が接続され、フォトダイオードアレイ２１の温度
が測定されるようになっており、測定された温度信号は
解析部３０のコンピュータ３２に送られるようにしてあ
る。
【００１５】本装置での測定は以下のような手順でなさ
れる。 （１）初めに、シャッタ１２を閉じて暗電流とフォトダ
イオードアレイ２１の温度を測定し、解析部３０に採り
込む。このときの暗電流測定値をＤ0 （λ）、温度をＴ
0 とする。 （２）次に、シャッタ１２を開いて、サンプルのない状
態での光量を測定し、解析部３０に採り込む。このとき
の出力値をＲ（λ）とする。 （３）さらに、シャッタ１２を開いたままで、サンプル
を導入して光量を測定し、これと同時に測定時のフォト
ダイオード２１の温度を測定し、解析部３０に採り込
む。このときの出力値をＳ（λ）、温度をＴとする。 （４）次に、以下に示す計算式に基く演算を行うことに
より、解析部３０において暗電流の補正を行う。
れる。 （１）初めに、シャッタ１２を閉じて暗電流とフォトダ
イオードアレイ２１の温度を測定し、解析部３０に採り
込む。このときの暗電流測定値をＤ0 （λ）、温度をＴ
0 とする。 （２）次に、シャッタ１２を開いて、サンプルのない状
態での光量を測定し、解析部３０に採り込む。このとき
の出力値をＲ（λ）とする。 （３）さらに、シャッタ１２を開いたままで、サンプル
を導入して光量を測定し、これと同時に測定時のフォト
ダイオード２１の温度を測定し、解析部３０に採り込
む。このときの出力値をＳ（λ）、温度をＴとする。 （４）次に、以下に示す計算式に基く演算を行うことに
より、解析部３０において暗電流の補正を行う。
【００１６】フォトダイオードの温度がＴ0 のときの暗
電流値をＤ0 （λ）、Ｔであるとき暗電流値をＤ（λ）
とすると、半導体の性質からＤ（λ）は下記の２式によ
り表される。
電流値をＤ0 （λ）、Ｔであるとき暗電流値をＤ（λ）
とすると、半導体の性質からＤ（λ）は下記の２式によ
り表される。
【００１７】 Ｄ（λ）＝Ｄ0 （λ）ＫT-T0 ・・・（２式） この式でＫは素子の製造プロセスによって定まる定数で
あり、１．１０や１．１３のような値をとる。
あり、１．１０や１．１３のような値をとる。
【００１８】そこで、このＤ（λ）を式１に代入するこ
とにより、下記の式３が得られる。 Ａ（λ）＝−ｌｏｇ10｛（Ｓ（λ）−Ｄ0 （λ）ＫT-T0／（Ｒ（λ）−Ｄ0 （λ ）ＫT-T0｝ ・・・（３式） この式を用いて暗電流を計算することにより暗電流の温
度変化による影響が補正され、補正後の吸光度データが
得られる。
とにより、下記の式３が得られる。 Ａ（λ）＝−ｌｏｇ10｛（Ｓ（λ）−Ｄ0 （λ）ＫT-T0／（Ｒ（λ）−Ｄ0 （λ ）ＫT-T0｝ ・・・（３式） この式を用いて暗電流を計算することにより暗電流の温
度変化による影響が補正され、補正後の吸光度データが
得られる。
【００１９】したがって、長時間の測定により、フォト
ダイオードセンサが温度変化したとしても、暗電流補正
を行ったデータが得られるので、ドリフトが低減され、
リニアリティのよいデータが得られる。
ダイオードセンサが温度変化したとしても、暗電流補正
を行ったデータが得られるので、ドリフトが低減され、
リニアリティのよいデータが得られる。
【００２０】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
フォトダイオードアレイの温度を測定し、暗電流値を補
正するようにしたので、たとえ、長時間の連続測定など
のためにフォトダイオードアレイの温度が変化したとし
てもドリフトが生じず、リニアリティのよい吸光度測定
が実現できる。
フォトダイオードアレイの温度を測定し、暗電流値を補
正するようにしたので、たとえ、長時間の連続測定など
のためにフォトダイオードアレイの温度が変化したとし
てもドリフトが生じず、リニアリティのよい吸光度測定
が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である分光分析装置の構成
図。
図。
【図２】従来の分光分析装置の構成図。
１０：分光光学系 １１：光源 １２：シャッタ １４：グレーティング １５：サンプルセル ２０：検出系 ２１：フォトダイオードアレイ ３０：解析部 ３１：信号処理部 ３２：コンピュータ
Claims (1)
- 【請求項１】分光光学系により分光された測定光をフォ
トダイオードアレイにより各波長ごと検出して信号処理
し、測定光量の測定を行う分光分析装置において、フォ
トダイオードアレイの温度変化を測定する温度センサ
と、温度センサからの信号を用いて測定光量の補正を行
う補正手段とを備えたことを特徴とする分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25660794A JPH08122246A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25660794A JPH08122246A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122246A true JPH08122246A (ja) | 1996-05-17 |
Family
ID=17294988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25660794A Pending JPH08122246A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08122246A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004025448A1 (de) * | 2004-05-19 | 2005-12-15 | Bruker Optik Gmbh | Verfahren zum Messen eines Spektrums einer Messprobe mittels eines Infrarot-Spektrometers und derartiges Infrarot-Spektrometer |
| JP2009145182A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Shimadzu Corp | 分析システム |
| KR101425971B1 (ko) * | 2012-11-28 | 2014-08-05 | 주식회사 맥사이언스 | 광 측정장치 및 제어방법, 그리고 광 측정방법 |
| WO2014129305A1 (en) * | 2013-02-20 | 2014-08-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement apparatus and image forming apparatus |
| JP2020098165A (ja) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 株式会社トプコン | 分光計測装置 |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP25660794A patent/JPH08122246A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004025448A1 (de) * | 2004-05-19 | 2005-12-15 | Bruker Optik Gmbh | Verfahren zum Messen eines Spektrums einer Messprobe mittels eines Infrarot-Spektrometers und derartiges Infrarot-Spektrometer |
| JP2009145182A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Shimadzu Corp | 分析システム |
| KR101425971B1 (ko) * | 2012-11-28 | 2014-08-05 | 주식회사 맥사이언스 | 광 측정장치 및 제어방법, 그리고 광 측정방법 |
| WO2014129305A1 (en) * | 2013-02-20 | 2014-08-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement apparatus and image forming apparatus |
| JP2016513235A (ja) * | 2013-02-20 | 2016-05-12 | キヤノン株式会社 | 測定装置、および画像形成装置 |
| JP2020098165A (ja) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 株式会社トプコン | 分光計測装置 |
| WO2020130154A1 (ja) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 株式会社 トプコン | 分光計測装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4627008A (en) | Optical quantitative analysis using curvilinear interpolation | |
| US4531834A (en) | Fluorimeter | |
| JPH04218734A (ja) | 分光光度計の目盛づけ装置及び方法 | |
| JP2003513236A (ja) | 分光分析用内蔵型光学プローブ | |
| US5014216A (en) | Concentration determination with multiple wavelength flash photometers | |
| EP2183558A1 (en) | Noise cancellation in fourier transform spectrophotometry | |
| CA2452574C (en) | Emission spectrometer having charge coupled device detector | |
| JP2007218787A (ja) | 波長校正方法及び波長校正装置 | |
| JP2903457B2 (ja) | ガス分析計およびガス分析機構 | |
| US5013920A (en) | Infrared analyzer with improved calibration | |
| JPH0427494B2 (ja) | ||
| US5977546A (en) | Self normalizing radiant energy monitor and apparatus for gain independent material quantity measurements | |
| JPH08122246A (ja) | 分光分析装置 | |
| JPH0915048A (ja) | 分光光度計 | |
| JPH09203706A (ja) | 溶液中に含まれる複数成分の濃度分析方法 | |
| JPH04303768A (ja) | クロマトグラフ用データ処理装置 | |
| JP3212107B2 (ja) | 分光測定法 | |
| CN116106247B (zh) | 一种紫外可见分光光度计的校准方法 | |
| JP2005274143A (ja) | 多成分水溶液の分析方法 | |
| JP2751734B2 (ja) | 分光光度計 | |
| JP2002005831A (ja) | 吸光分析装置 | |
| JPH0829336A (ja) | 食味値測定装置 | |
| JPH04148829A (ja) | 吸光度測定装置 | |
| JPH10185816A (ja) | 赤外線分析計 | |
| JP2003185498A (ja) | 分光光度計 |