JPH0699075B2

JPH0699075B2 - フィルム剥離方法及びその実施装置

Info

Publication number: JPH0699075B2
Application number: JP7126391A
Authority: JP
Inventors: 成夫住; 文雄濱村; 光博関; 一夫福田
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1990-04-06
Filing date: 1991-04-03
Publication date: 1994-12-07
Anticipated expiration: 2009-12-07
Also published as: JPH04223971A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、パネルに貼り付けられ
たフィルムを剥離し、この剥離されたフィルムを排出す
るフィルム剥離技術に適用して有効な技術に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器で使用される
プリント配線板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性
パネルの両面(又は片面)に形成されたものである。

【０００３】この種のプリント配線板は次の製造工程に
より製造することができる。まず、絶縁性パネルの表面
にある導電層上に感光性樹脂(フォトレジスト)層とそれ
を保護する透光性樹脂製カバーフィルム(以下、カバー
フィルムという)とからなる積層体を熱圧着ラミネート
する。次に、配線パターンフィルムを重ね、この配線パ
ターンフィルム及び前記カバーフィルムを通して、感光
性樹脂層を所定時間露光する。次に、配線パターンフィ
ルム及びカバーフィルムを剥離した後、露光された感光
性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形成す
る。この後、前記導電層の不必要部分をエッチングによ
り除去し、更に残存する感光性樹脂層を除去することに
より、所定の配線パターンを有するプリント配線板が形
成される。

【０００４】前述のプリント配線板の製造工程におい
て、前記カバーフィルムを自動的に剥離するフィルム剥
離装置の開発が行われている。このフィルム剥離装置
は、例えば特開平１−２７１３５６号公報に記載される
ように、パネルに貼り付けられたフィルムの一部を剥離
し、この剥離された一部からパネルの全面にわたってフ
ィルムを剥離する。又、フィルム剥離装置は、前記一部
剥離されたフィルムをベルトコンベアで挾持してパネル
からフィルムを剥離し、挾持した状態でフィルムをパネ
ルの表面側の上方向に搬送する第１フィルム搬送機構
と、該第１フィルム搬送機構で搬送されたフィルムに空
気を吹きつけて、剥離フィルム収容部まで搬送する第２
フィルム搬送機構とを備えている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記フ
ィルム剥離装置の剥離方法では、パネルに貼り付けられ
たフィルムの端部の一部の密着を緩める段階において、
パネルの搬送を一時停止するため、フィルムを剥離する
作業の能率が低いという問題があった。

【０００６】本発明は、前記問題点を解決するためにな
されたものであり、その第１の目的は、パネルに貼り付
けられたフィルムを剥離しながら搬送し且つ排出する際
に、パネルの搬送を停止することなく、フィルム端部の
パネルとの密着を緩めることができ、フィルムの剥離作
業の効率を向上させることができる技術を提供すること
にある。

【０００７】本発明の第２の目的は、比較的簡単な構成
で第１の目的を達成することができる技術を提供するこ
とにある。

【０００８】本発明の第３の目的は、パネルの搬送速度
を変えることなく、パネルに貼り付けられたフィルムを
高速で剥離しながら搬送し、かつ排出することができる
技術を提供することにある。

【０００９】なお、本発明の前記ならびにその他の目的
と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって
明らかになるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記第１の目的を達成す
るため、本発明の第１方法は、パネルに粘着されたフィ
ルムを剥離する方法であって、フィルムが粘着されたパ
ネルを、フィルムの先端部が剥離される位置に搬送し、
前記パネルの搬送速度とフィルム緩め手段の相対移動速
度を近づけて、パネルの搬送を停止すること無く、前記
フィルムの先端部をパネルから緩め、パネルと緩められ
たフィルム先端部との間の隙間に流体を吹きつけ、その
緩められたフィルムを剥離しながら排出することを主要
な特徴とする。

【００１１】又、前記第２の目的を達成するため、本発
明の第１装置は、フィルム剥離装置において、フィルム
が粘着されたパネルを搬送するパネル搬送手段と、該パ
ネル搬送手段上をパネルが前進して、フィルム剥離位置
より前の所定位置に到達したことを検知するパネルセン
タリング動作開始位置センサーと、該パネルセンタリン
グ動作開始位置センサーの出力により動作を開始して、
前記パネルを搬送手段の中心線部に移動させるパネルセ
ンタリングユニットと、該パネルセンタリングユニット
の動作終了時に、パネルの搬送速度を遅くするパネル減
速手段と、フィルム剥離位置で、パネルに粘着されたフ
ィルムの前端縁を検出するフィルムエッジ検出センサー
と、該フィルムエッジ検出センサーの出力により動作を
開始して前記パネルの搬送を停止することなく、前記フ
イルムの先端部をパネルから緩めるフィルム緩め手段
と、該フィルム緩め手段により密着が緩められたフィル
ム先端部とパネルとの間の隙間に流体を吹きつけてフィ
ルムをめくる流体吹き付け手段と、該めくられたフィル
ムが、フィルム排出経路上に立ち上がったことを検知す
るフィルム剥離検知センサーと、該フィルム剥離検知セ
ンサーの出力により、前記遅くしたパネルの搬送速度を
元の速度に戻す手段と、前記めくられたフィルムをつま
んでパネルから引き剥がしながら排出するフィルム挾持
手段とを具備したことを特徴とする。

【００１２】又、前記第３の目的を達成するため、本発
明の第２方法は、パネルに粘着されたフィルムを剥離す
る方法であって、フィルムが粘着されたパネルを、フィ
ルムの先端部が剥離される位置に搬送し、前記パネルの
搬送速度に同期した速度でフィルム密着緩め機構を所定
時間の間移動させながら、パネルの搬送速度を実質的に
変えることなく、前記フィルムの先端部の一部をパネル
から緩め、パネルと緩められたフィルム先端部の隙間に
流体を吹きつけ、その緩められたフィルムを剥離しなが
ら排出することを主要な特徴とする。

【００１３】又、前記第３の目的を達成するため、本発
明の第２装置は、フィルム剥離装置において、パネル搬
送用駆動ローラを含むパネル搬送手段と、パネルセンタ
リング動作開始位置センサーと、パネルセンタリングユ
ニットと、パネル先端位置検知センサーと、フィルム緩
め手段と、流体吹き付け手段と、前記フィルム緩め手段
及び流体吹き付け手段が配設されたパネルの進行方向に
移動可能な支持枠と、前記パネルの搬送速度がフィルム
緩め中に実質的に変化しないように、該支持枠をパネル
搬送用駆動ローラの回転に同期して一定時間の間移動す
る手段と、フィルム剥離検知センサーと、フィルム排出
手段とを具備したことを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明の第１方法においては、フィルムの先端
部をパネルから緩める際に、パネルの搬送速度とフィル
ム緩め手段の相対移動速度を近づけるようにしたので、
パネルの搬送を停止することなく、フィルムの端部とパ
ネルとの密着を緩めることができる。

【００１５】特に、前記フィルム先端部をパネルから緩
める前に、パネル搬送手段上の所定位置で前記パネルの
搬送を一時的に停止して、パネルの傾き補正とセンタリ
ングを行うようにした場合には、パネルの位置を正確に
位置決めして、フィルムの先端をパネルから緩める作業
を円滑に行うことができる。

【００１６】又、前記パネルがフィルムの先端部を剥離
する位置より前の所定位置まで搬送されて来たとき、パ
ネルの搬送速度を遅くして前記フィルムの先端部をパネ
ルから緩めるようにした場合には、比較的簡略な構成
で、該作業を円滑に行うことができる。

【００１７】又、前記フィルムを剥離しながらフィルム
の排出を行う際に、前記遅くしたパネルの搬送速度を元
の速度に戻すようにした場合には、フィルム排出時のパ
ネル搬送を迅速に行って、作業能率を向上させることが
できる。

【００１８】又、前記フィルムの先端が、パネルから緩
めるべき所定位置に到達したことを検出して、流体を吹
きつける手段をフィルム端部に斜めに向う位置にセット
し、流体誘導板をパネルに接近した位置にセットするよ
うにした場合には、流体の吹きつけによるフィルムの剥
離を円滑に行うことができる。

【００１９】更に、例えば上側ピンチローラの高さに応
じて、前記流体誘導板のパネル表面からの高さを所定範
囲に維持するようにした場合には、パネル板厚の変化に
かかわらず、流体の吹き付けによるフィルムの立ち上げ
を確実に行うことができる。

【００２０】又、フィルムスクラッチャーの円錐状先端
を、好ましくはパネル進行方向の斜め上方からフィルム
表面を当接させつつ軸方向に振動させて、フィルムに振
動エネルギーを与えることによって前記フィルムの先端
部をパネルから緩めるようにした場合には、パネルの搬
送を停止させることなく、前記作業を確実に行うことが
できる。

【００２１】特に、前記フィルムスクラッチャーを、フ
ィルム表面と当接させつつ、パネルの進行方向へ所定距
離だけパネルと相対移動させるようにした場合には、フ
ィルムの先端部をパネルから緩める作業を、一層確実に
行うことができる。

【００２２】又、前記フィルムの先端部をパネルから緩
める際に、パネルを強制的に搬送するようにした場合に
は、フィルムスクラッチャー等の作用力に拘らず、パネ
ルを停止させることなく、確実に搬送することができ
る。

【００２３】特に、例えばモジュール比の大きなギヤを
用いて、下側のパネル搬送用駆動ローラにより上側ピン
チローラを強制的に回転するようにした場合には、パネ
ル板厚の変化にかかわらず、パネルを確実に搬送するこ
とができる。

【００２４】又、前記流体の吹きつけを、前記隙間のフ
ィルムスクラッチャー接触部を狙う向きの流体噴射孔
と、その近傍のフィルム端を狙う向きの流体噴射孔とを
備えた流体吹き出しノズルを用いて、好ましくは該流体
吹き出しノズルを、前記パネルの搬送路とフィルムスク
ラッチャーとの間に、該フィルムスクラッチャーに近接
配置して行うようにした場合には、流体の吹きつけによ
るフィルムの剥離を確実に行うことができる。

【００２５】又、前記流体の吹きつけによってパネルか
ら剥離された、パネル搬送方向先端側のフィルムを、前
記流体圧で流体誘導板に付着させるようにした場合に
は、流体の吹きつけによるフィルムの剥離及び排出経路
への導入を円滑に行うことができる。

【００２６】又、前記フィルムの剥離された先端部が流
体誘導板に付着したことを検出してフィルム先端部の緩
め動作を停止させるようにした場合には、前記緩めを的
確に終了させることができる。

【００２７】又、前記パネルとの密着を緩めた部分に流
体を吹きつけてフィルムを剥離する段階から、フィルム
を剥離しながらフィルムの排出を行う段階に到達する
と、前記流体の吹きつけを停止するようにした場合に
は、流体の吹きつけを的確に終了させることができる。

【００２８】又、好ましくは固定搬送ベルト及び可動搬
送ベルトを用いて、前記緩められたフィルムを挾持し、
且つ剥離しながら排出するようにした場合には、フィル
ムの剥離を迅速に行うことができる。

【００２９】又、例えば導電性材料で構成された棒状の
剥離フィルムガイド部材及び又はイオン発生装置を用い
た場合には、剥離フィルムの排出経路でフィルムの静電
気を除去して、フィルムの排出を円滑に行うことができ
る。

【００３０】又、本発明の第１装置においては、パネル
搬送手段、パネルセンタリング動作開始位置センサー、
パネルセンタリングユニット、パネル減速手段、フィル
ムエッジ検出センサー、フィルム緩め手段、流体吹き付
け手段、フィルム剥離検知センサー、パネル減速解除手
段、フィルム挾持手段を設けるようにしたので、フィル
ムが粘着されたパネルを、フィルムの先端部が剥離され
る位置に搬送し、前記パネルの搬送を停止させることな
く、前記フィルムの先端部をパネルから緩め、パネルと
緩められたフィルムを剥離しながら排出することがで
き、フイルムの剥離を自動的に能率良く行うことができ
る。

【００３１】特に、前記パネル搬送手段の入口にパネル
が挿入されたことを検知して、パネルの搬送を開始する
ためのパネル挿入検知センサーを具備した場合には、パ
ネルの搬送を自動的に開始することができる。

【００３２】又、前記パネルの後端がフィルム剥離位置
を完全に通過したことを検知して、パネルやフィルムの
搬送を停止するためのパネル通り抜け検知センサーを具
備した場合には、パネルやフィルムの搬送を自動的に停
止することができる。

【００３３】又、パネルの先端が垂れ下がらないように
ガイドするパネル用ガイド手段を具備した場合には薄い
パネルであってもフィルムを円滑に剥離することができ
る。

【００３４】又、例えば、フィルムキャッチベルトから
なるフィルム挾持手段を通り抜けた剥離フィルムを誘導
する剥離フィルムガイド部材と、該剥離フィルムガイド
部材で誘導されたフィルムの排出する流体ダクトを具備
した場合には、剥離フィルムの排出を円滑に行うことが
できる。

【００３５】又、前記パネルセンタリングユニットの動
作終了を検知するための戻り検知センサーが、パネルセ
ンタリングユニットを駆動するアクチュエータの位置で
反応する磁気センサーである場合には、パネルセンタリ
ングユニットの動作終了を非接触で検出することができ
る。

【００３６】又、前記フィルムエッジ検出センサーが、
静電容量反応型センサーである場合には、静電容量の違
いを利用してフィルムのエッジを的確に検出することが
できる。

【００３７】又、本発明の第２方法においては、フィル
ムが粘着されたパネルを、フィルムの先端部が剥離され
る位置に搬送し、前記パネルの搬送速度に同期した速度
でフィルム密着緩め機構を移動させながら、パネルの搬
送速度を実質的に変えることなく、前記フィルム先端部
をパネルから緩め、パネルと緩められたフィルム先端部
間に流体を吹きつけ、その緩められたフィルムを剥離し
ながら排出するようにしたので、フィルムの剥離作業効
率を一層向上させることができる。

【００３８】又、本発明の第２装置において、パネル搬
送用駆動ローラを含むパネル搬送手段、パネルセンタリ
ング動作開始位置センサー、パネルセンタリングユニッ
ト、パネル先端位置検知センサー、フィルム緩め手段、
流体吹き付け手段、前記フィルム緩め手段及び流体吹き
付け手段が配設されたパネルの進行方向に移動可能な支
持枠、前記パネルの搬送速度がフィルム緩め中に実質的
に変化しないように該支持枠をパネル搬送用駆動ローラ
の回転に同期して一定時間の間移動する手段、フィルム
剥離検知センサー、フィルム排出手段を設けるようにし
たので、パネルをフィルムの先端部が剥離される位置に
搬送し、前記パネルの搬送速度に同期した速度で支持枠
を移動しながらパネルの搬送速度を実質的に変えること
なく前記フィルムの先端部をパネルから緩め、パネルと
緩められたフィルム先端部の間に流体を吹きつけ、その
緩められたフィルムを剥離しながら排出することがで
き、フィルムの剥離能率を一層向上させることができ
る。

【００３９】特に、前記パネル搬送手段が、パネルを押
圧搬送する上側ピンチローラを含み、前記パネル先端位
置検知センサーからの信号により前記上側ピンチローラ
を駆動させてパネルを押圧し、その押圧を所定時間後に
解除する機構を設けた場合には、緩め動作中であって
も、パネルを確実に同期搬送することができる。

【００４０】又、前記支持枠移動手段が、パネル搬送用
駆動ローラの回転と同期して駆動されるクランク機構を
含む場合には、支持枠を容易にパネル進行方向に移動す
ることができる。

【００４１】又、前記クランク機構が、一端が支持枠に
連結されたクランク状部材と、該クランク状部材の動き
と前記パネル搬送用駆動ローラの回転を、フィルムの緩
め動作中のみ同期させるためのワンウェイクラッチ機構
を含む場合には、支持枠の移動がパネル搬送用駆動ロー
ラの回転と干渉することがない。

【００４２】又、前記フィルムエッジ検出センサーの近
傍にパネル先端部検出センサーを並設した場合には、パ
ネルの表面一杯にフィルムがラミネートされていても、
パネルを確実に検出することができる。

【００４３】

【実施例】以下、本発明をプリント配線用パネルのカバ
ーフィルム(保護膜)剥離方法及びその実施装置に適用し
た実施例について図面を用いて具体的に説明する。

【００４４】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。

【００４５】図１は本発明の第１実施例であるプリント
配線用パネルのフィルム剥離装置の概略構成を示す斜視
図、図２Ａは図１のエアー式フィルム搬送ボックス周辺
のフィルム剥離装置の概略機構の細部を示す図である。

【００４６】図１に示すように、第１実施例のフィルム
剥離装置は、プリント配線用パネルの搬送機構として、
装置本体１００にパネル進行方向Ａの前後にパネル搬送
用駆動ローラからなる前コンベア１０１、パネル搬送用
駆動ローラからなる後コンベア１０２のそれぞれを設け
ている。この前コンベア１０１の上方にはエアーダクト
載置台１０３が設けられ、エアーダクト載置台１０３の
一端は装置本体１００に固定されている。

【００４７】前記エアーダクト載置台１０３の上には、
透明な材料で形成されたエアーダクト１０４が載置され
ている。このエアーダクト１０４のパネル進行方向Ａか
ら見た左側面には、複数の減圧孔１０５Ａを有する剥離
フィルム排出ダクト１０５の上端開口部が連結されてい
る。また、パネル進行方向Ａの右側面には複数の通気孔
１０４Ｄが設けられている。

【００４８】前記エアーダクト１０４の構造は、上面部
と前側面部を一体に形成した蓋部１０４Ａが蝶番１０４
Ｂで本体部１０４Ｃに開閉自在に取付けられている。

【００４９】図２Ａに示すように、前記エアーダクト１
０４の右端の内部には、剥離フィルムの静電気帯電を除
去するためのイオン発生装置(除去装置)１１０と送風用
ファン１０９Ａ、１０９Ｂ及びフィルムの送り出しエア
ーノズル(図示せず)が設置されている。

【００５０】前記剥離フィルム排出ダクト１０５の排出
口は、図１に示すように、剥離フィルムを収容する剥離
フィルム収容器１０６に誘導されている。剥離フィルム
収容器１０６は、複数の減圧孔を有する収容台部材１０
６Ａ、ネット部材１０６Ｂ及びキャスタ１０６Ｃからな
っている。また、装置本体１００の側部には操作パネル
１０７が設けられ、装置本体１００の最上端には警報灯
１０８が取付けられている。

【００５１】前記パネル搬送機構は、図２Ａに示すよう
に、パネル搬送経路Ａ−Ａにフィルム浮上装置(例え
ば、空気振動ペン型フィルムスクラッチャー等)のフィ
ルム浮上部材３、流体吹付装置のエアー吹き出しノズル
４、エアー誘導板(流体誘導板)５及びフィルム搬送装置
(フィルム排出装置)６を設けている。

【００５２】プリント配線用パネル１は、絶縁性パネル
の両面(又は片面)に銅等の導電層が形成されたものであ
る。このプリント配線用パネル１の導電層上には、感光
性樹脂層(フォトレジスト)とカバーフィルム(保護用フ
ィルム)とからなる積層体が熱圧着ラミネートされてい
る。感光性樹脂層は、所定の配線パターンフィルムが重
ねられ露光された後の状態にある。プリント配線用パネ
ル１は、図２Ａに示す矢印Ａ方向に前コンベア１０１、
後コンベア１０２の夫々のパネル搬送用駆動ローラ２で
搬送されるように構成されている。

【００５３】パネル押圧搬送ローラ(上側ピンチロ−ラ)
２Ａは、プリント配線用パネル（以下、パネルという）
１が通過し、フィルムを剥離する過程において、パネル
１がセンタリングされた状態から位置ずれしないように
設けられている。この上側ピンチローラ２Ａは、図２Ｂ
（図２Ａの上側ピンチローラ周辺を拡大して示す部分分
解図）に詳細に示すが如く、ローラ押圧板３１７により
上からパネル表面に押圧され、上側ピンチローラ２Ａの
回転により確実にパネルが送られるように構成されてい
る。前記ローラ押圧板３１７の下端のローラ押圧部３１
７Ａは、上側ピンチローラ２Ａの下方への移動を許容す
る逆Ｕ字形状とされている。

【００５４】図２Ｂにおいて、ローラ押圧板支持レバー
３１８は該ローラ押圧板３１７を支持するレバーであ
る。このローラ押圧板支持レバー３１８はＵ字形状の連
結部材受入部３１８Ａを有する。この連結部材受入部３
１８Ａには、押圧ローラ昇降用エアーシリンダ３２１の
ロッドの先端に固定された連結部材３１９が係合されて
いる。

【００５５】従って、エアーシリンダ３２１のロッドを
伸縮すると、ローラ押圧板支持レバー３１８が、その支
点３１８Ｂを中心として回動し、ローラ押圧板３１７が
上下移動する。該ローラ押圧板３１７には、エアー誘導
板５が設けられているので、パネル板厚の変化に応じた
上側ピンチローラ２Ａ(即ちローラ押圧板３１７)の上下
位置変化に合わせて、エアー誘導板５の上下位置も変化
する。従って、パネル板厚が変化しても、エアー誘導板
５とパネル表面の間隔をフィルム立ち上げに適したエア
ーの流れを確保できる所定範囲(例えば０．５〜１．５m
m)に自動的に維持することができる。なお、エアー誘導
板５の上下方向位置を板厚に応じて手動で調整可能とし
てもよい。

【００５６】前記上側ピンチローラ２Ａは、図２Ｃ（図
２Ａの上側ピンチローラ駆動用ギヤを示す図）に詳細に
示すが如く、下側のパネル搬送用駆動ローラ２と上側ピ
ンチローラ２Ａの同じ側の端部にそれぞれ固定された互
いに噛合うモジール比の大きなギヤ４０１と４０２によ
り強制的に駆動されている。ここで、モジール比の大き
なギヤを用いた理由は、パネル１の板厚が変化すると上
側ピンチローラ２Ａと下側のパネル搬送用駆動ローラ２
との間隔が変化するためである。このようにモジール比
が大きく歯の長いギヤを用いれば、ギヤ間の間隔が開い
ても、ギヤ間の噛合わせの許容範囲が広いので、パネル
板厚の変化によるギヤ間の間隔の変化に対応でき、上側
ピンチローラ２Ａを確実に駆動できる。本実施例では、
上側ピンチローラ２Ａが接触した時に、２つのギヤのピ
ッチ円が一致するようにしており、パネル板厚略０〜４
ｍｍに対応できる。

【００５７】このように、下側のパネル搬送用駆動ロー
ラ２の回転と同期して上側ピンチローラ２Ａを強制的に
回転駆動することにより、スクラッチ中であっても、パ
ネル１を確実に搬送してスクラッチャーとパネルを相対
移動させることができる。従って、スクラッチ中にスク
ラッチャーに引張られてパネルが動いてしまうことがな
く、フィルムの緩めを確実に行うことができる。

【００５８】図３Ａはパネル進行方向の後方から見たフ
ィルム緩め機構部分の図、図３Ｂは図３Ａに示す矢印Ｌ
方向から見た側面図、図３Ｃは図３Ｂの斜視図、図３Ｄ
は流体吹付装置の斜視図、図３Ｅは図３Ｅの平面図、図
３Ｆはフィルム端部検出機構の斜視図である。

【００５９】前記フィルム浮上装置は、図２Ａ、図３
Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃに示すように、パネル搬送面の上
下に設けてある浮上部材支持回転軸９のそれぞれに少な
くとも１個以上の浮上部材支持部材１０を固定してい
る。この浮上部材支持部材１０には、摺動ブロック１３
が取付けられている。更に、摺動ブロック１３には、そ
れぞれ上下動作が自在にできるガイドレール１４が設定
されている。ガイドレール１４には、浮上部材保持ブロ
ック１６が固定されていて、この浮上部材保持ブロック
１６に、フィルム浮上部材３がパネル搬送面に対して傾
斜を持った状態で設けられている。

【００６０】前記浮上部材支持部材１０の上面には貫通
孔が設けられている。貫通孔には、この貫通孔より若干
細い長ねじ１５が貫通している。この長ねじ１５の他端
はスプリング１７が設けられ、他端は浮上部材保持ブロ
ック１６に固定されている。

【００６１】前記フィルム浮上部材３の先端部(ペン先)
は円錐形状で形成され、空気式振動装置により振動する
構造で構成されている。空気式振動装置は、例えば１分
間に２０００〜３０００ストロ−クの振動をフィルム浮
上部材３のペン先に与えるように構成されている。

【００６２】前記フィルム浮上部材３の先端部は、感光
性樹脂層とカバーフィルムからなる積層体フィルムの端
部を振動押圧するように(即ちエネルギーを与えるよう
に)構成されている。エネルギーが与えられた積層体の
端部は、感光性樹脂層からカバーフィルムが浮上(剥離)
するようになっている。エネルギーが与えられた積層体
の端部において、カバーフィルムのみが剥離されるの
は、カバーフィルムは感光性樹脂層に比べて展伸性があ
ることと、パネル１上の感光性樹脂層と導電層との接着
力が前記感光性樹脂層とカバーフィルムとの接着力に比
べて強いためによるものと推定される。

【００６３】前記流体吹付装置は、図３Ｂ及び図３Ｃに
示すように、パネル搬送面に対して上下に設けてある固
定支持部材７のそれぞれに固定されているエアー吹き出
しノズル取付板１８の一端に取付けられたエアー吹出し
ノズル部材４で構成され、該エアー吹出しノズル部材４
から圧力を加えた流体例えば空気、不活性ガス等の気体
又は水等の液体が吹出すように構成されている。本実施
例は流体として空気を使用している。

【００６４】前記エアー吹出ノズル部材４はフィルム浮
上部材３の先端部の近傍に位置し、しかもノズル先端が
パネルに貼付されたレジストフィルムの先端の方向に向
けて構成され、パネル１の端部において、前記フィルム
浮上部材３によって感光性樹脂層からカバーフィルムを
浮上させた両者間の隙間に流体を直接吹き付けるように
構成されている。

【００６５】前記エアー吹出ノズル部材４の先端は、図
３Ｄ及び図３Ｅに示すように、複数個のエアー噴射孔４
Ａ、４Ｂの夫々を有し、そのうちの１つ(４Ａ)は、フィ
ルム浮上部材３の先端(即ち前記隙間)を狙うように、他
(４Ｂ)は、その左右近傍のフィルム端を狙うように向い
ている。ここで、エアー吹出ノズル部材４に複数の噴射
孔を設けた理由は、フィルム剥離動作を確実に行うため
である。エアー吹出ノズル部材４は、１つの流体供給管
から流体が供給されるように構成されている。

【００６６】前記フィルム浮上装置の中央部には、図３
Ａ及び図３Ｆに示すように、上下の固定支持部材７のそ
れぞれに取付けられた固定部材２１に前後移動可能なフ
ィルム端部検出部材取付ブロック２２が設けられ、フィ
ルム端部検出部材位置調整つまみ２３により前後位置を
調整できるようになっている。このそれぞれのフィルム
端部検出部材取付ブロック２２の先端には、フィルム端
部検出部材８の一端が軸支され、その中央部には、フィ
ルム端部検出部材用上下動作部材２４が軸支されてい
る。フィルム端部検出部材上下動作部材２４の一端は、
小型のエアーシリンダを介してフィルム端部検出部材取
付ブロック２２に固定されている。

【００６７】前記フィルム端部検出部材取付ブロック２
２の近傍には、センサー固定部材２５の一端が上下の固
定支持部材７のそれぞれに取付けられている。センサー
固定部材２５の他端には、パネル搬送面の上側にフィル
ム剥離検知センサー２０４、下側にフィルム剥離検知セ
ンサー２０５のそれぞれが固定されている。

【００６８】前記パネル１の積層体の端部を浮上させる
動作及び剥離させる動作についての説明は、特開平１−
２７１３５６号公報に記載されているものと動作原理が
ほとんど同じであるので、ここでは省略する。

【００６９】前記流体吹付装置のエアー吹出しノズル部
材４から噴射されたエアーによって剥離されたパネル搬
送方向先端側の剥離フィルム(カバ−フィルム)は、該エ
アー吹き出しノズル部材４からの流体圧でエアー誘導板
５に押し付けられ、付着するようになっている。

【００７０】又、薄いパネル用ガイドホイール１１は、
薄いパネルのカバーフィルムを剥離する場合に、フィル
ム浮上装置の部分にフィルム浮上部材３やエアー吹き出
しノズル部材４が設置されるためパネル搬送駆動ローラ
を組入れることができないから、薄いパネルの先端が垂
れ下がらないようにガイドするためのものである。特に
薄いパネル用ガイド部材は、幅が広いものに対して有効
に作用する。

【００７１】フィルム搬送装置６は、図２Ａに示すよう
に、主に、パネル１の搬送経路Ａ−Ａの上側に設けられ
た上部フィルム搬送装置と下側に設けられた下部フィル
ム搬送装置とで構成されている。上部フィルム搬送装置
は、固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとで構成
されるフィルム狭持手段を有する第１フィルム搬送装
置、剥離フィルムガイド部材６Ｃ及び第２フィルム搬送
装置６Ｄで構成されている。

【００７２】剥離フィルムは、第１フィルム搬送装置及
び剥離フィルムガイド部材６Ｃで図２Ａに示す矢印Ｍ方
向に誘導され、第２フィルム搬送装置６Ｄに搬送され
る。

【００７３】前記剥離フィルムガイド部材６Ｃは、剥離
フィルムの搬送方向を垂直方向から水平方向に変える
（搬送経路Ａ−Ａと平行でパネル搬送方向Ａと反対方向
に変える）ように構成されている。剥離フィルムガイド
部材６Ｃは、剥離フィルムとの接触面積をできる限り小
さくできるように棒状部材によって構成され、パネル１
の搬送経路Ａ−Ａと交差する方向において複数個設けら
れている。剥離フィルムガイド部材６Ｃは、例えばステ
ンレス鋼線等の導電性材料で構成される。剥離フィルム
ガイド部材６Ｃは、剥離時や搬送時に剥離フィルムに発
生した静電気を放電できるように構成されている。

【００７４】又、剥離フィルムガイド部材６Ｃは、第１
フィルム搬送装置から第２フィルム搬送装置６Ｄに剥離
フィルムを搬送する際に、固定搬送ベルト６Ａのローラ
６Ａａや可動搬送ベルト６Ｂのローラ６Ｂｂに剥離フィ
ルムが巻き込まれることを防止するように構成されてい
る。

【００７５】前記剥離フィルムガイド部材６Ｃの近傍に
は、流体噴出装置１２及びイオン発生装置(除電装置)１
５０が設けられている。流体噴出装置１２は、図２Ａに
示す矢印Ｎ方向に流体を噴出するように構成されてい
る。又、イオン発生装置１５０は、第１フィルム搬送装
置から第２フィルム搬送装置６Ｄに剥離フィルムを搬送
する際に、剥離フィルムが帯びている静電気により、剥
離フィルムが剥離フィルムガイド部材６Ｃにまとわりつ
くのを防止するために静電気の除去を行う。

【００７６】下側フィルム搬送装置は、第１フィルム搬
送装置（固定搬送ベルト６Ａ、可動搬送ベルト６Ｂ）及
び剥離フィルムガイド部材６Ｃで構成される。

【００７７】図２Ａにおいて、２Ｂはパネル押えローラ
であり、このパネル押えローラ２Ｂはパネル搬送用駆動
ローラ２に載置され、自重でパネル１を押える機能を有
し、上方向に取り外れる機構になっている。また、２Ｃ
は上部エアー誘導板５をパネル１に近接（降下）又は離
反（上昇）させるように作用させるための吊り下げ板
（図示していないが、その両端はこれを作動させるエア
ーシリンダに連結されている）であり、その両端は上側
ピンチローラ２Ａの回転軸の押え部材３１７に連結して
いる。

【００７８】又、７は固定支持部材、８はフィルムエッ
ジ検出センサー、９はフィルム浮上部材支持回転軸であ
って、このものは、その両端においてクランク機構に結
合されている。６Ｂａ’、６Ａｂ、６Ｂｂ、６Ｂｃは、
それぞれロ−ラである。

【００７９】なお、上記第１フィルム搬送装置を構成す
る固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂは歯付ゴム
ベルトで構成され、６Ｂｃ以外のローラ６Ａａ、６Ａ
ｂ、６Ｂａ、６Ｂａ’、６Ｂｂの夫々は各々歯付プーリ
で構成され、ベルトの走行を確実なものとするためであ
る。

【００８０】前記第２フィルム搬送装置６Ｄは、エアー
ダクト載置台１０３の上に配置されている。この第２フ
ィルム搬送装置６Ｄは、図１及び図２Ａに示すように、
エアーダクト載置台１０３の上に配置されたエアーダク
ト１０４からなり、前述のように、該エアーダクト１０
４には、カバーフィルム排出ダクト１０５が連結されて
いる。

【００８１】前記エアーダクト１０４は、上面部と一側
面部を一体に形成した蓋部１０４Ａで構成され、蝶番１
０４Ｂで本体部１０４Ｃに開閉自在に取付けられてい
る。

【００８２】又、蓋部１０４Ａの所定位置には、通気孔
１０４Ｄが設けられている。本体部１０４Ｃの通気孔１
０４Ｄに対向した位置にイオン挿入用の送風用フアン１
０９Ａ、１０９Ｂの夫々が設けられている。

【００８３】図４は第１実施例のフィルム剥離方法及び
その実施装置の制御手段を説明するための概略構成説明
図、図５Ａはパネルセンタリング部分の構造を示す図、
図５Ｂは図５Ａに示すＸ−Ｘ線で切った断面図、図５Ｃ
は図５Ａのパネルセンタリングの動作部分を表わした図
である。

【００８４】図４、図５Ａ及び図５Ｃにおいて、主に、
各センサーの構成位置を説明すると、パネル挿入検知セ
ンサー(ＢＬＳ)２０１は、前コンベア１０１におけるパ
ネル１を搬送するパネル搬送経路Ａ−Ａの入口の位置に
設置されている。パネルセンタリング（幅寄せ）ユニッ
ト２０２は、パネル１の進行方向の両側エッジが接触す
るセンタリングピン２０２Ａ、このセンタリングピン２
０２Ａを保持するセンタリング取付部材２０２Ｂ、左右
のセンタリング取付部材２０２Ｂを連動させる連動ラッ
ク２１９、ピニオン２２０及びそれぞれの連動ラック２
１９の動きを案内するバックアップローラ２２１からな
り、更に、前記左右のセンタリングピン取付部材２０２
Ｃが設けられ、幅寄せの動力源としてセンタリング駆動
エアーシリンダ２１８が設置されている。このセンタリ
ング駆動エアーシリング２１８の本体のロッド出入り側
には、パネルセンタリング装置の戻り検知センサー（Ｗ
ＡＲＳ）２１３が取付けられている。又、パネル進行方
向Ａの算端の左右のセンタリングピン２０２Ａの上部に
は、それぞれパネル左側端検知センサー（ＷＡＬＳ−
１）２１０及びパネル右側端検知センサー(ＷＡＬＳ−
２)２１１が固定されている。パネルセンタリング動作
開始位置センサー(ＷＡＰＳ)２０３は、前コンベア１０
１の前方部に取付けられている。

【００８５】前記パネル搬送経路Ａ−Ａの上下には、フ
ィルムがパネル１から完全に剥離されていることを確認
するため、上側のフィルム剥離検知センサー(ＰＦＳ−
１)２０４及び下側のフィルム剥離検知センサー（ＰＦ
Ｓ−２）２０５が設けられている。パネル通り抜け検知
センサー(ＢＥＳ)２０６は、フィルムがパネル１から剥
離されてフィルム搬送経路上にあることを確認するため
に、フィルム剥離装置部の出口近傍に取付けてある。後
コンベア１０２にはフィルム剥離不良パネルが存在して
いることを確認するパネルチェックセンサー(ＢＣＳ)２
０８が設けられている。

【００８６】図において、８はフィルムエッジ検出セン
サー(ＦＥＳ−１)、２１２はパネルストッパである。

【００８７】前記前コンベア１０１は複数のパネル搬送
用駆動ローラ２からなっており、各パネル搬送用駆動ロ
ーラ２にはパネル進行方向Ａに向って右端に駆動用歯付
きプーリ２１７(図５Ａ参照)が設けられている。この駆
動用歯付プーリ２１７の群には搬送ローラ駆動用ベルト
(図示せず)が掛けられている。前コンベア１０１の下部
には前コンベア駆動モータ２１４が取付けられていて、
この前コンベア駆動モータ２１４の軸端の歯車には前記
搬送ローラ駆動用ベルトが掛けられている。前コンベア
駆動モータ２１４の下方には、剥離フィルム排出用ガイ
ド２０９が設けられている。

【００８８】前記後コンベア１０２は複数のパネル搬送
用駆動ローラ２からなっており、各パネル搬送用駆動ロ
ーラ２にはパネル進行方向Ａに向って左端に駆動用歯付
きプーリ(図示せず)が設けられている。この駆動用歯付
プーリの群には搬送ローラ駆動用ベルト(図４参照)が掛
けられている。後コンベア１０２の下部には後コンベア
駆動モータ２１６が取付けられていて、この後コンベア
駆動モータ２１６の軸端の歯車には前記搬送ローラ駆動
用ベルトが掛けられている。そして、この搬送ローラ駆
動用ベルトを押えるために複数のバックアップローラ２
０７が設けられている。また、剥離フィルム排出用ベル
トの駆動のためのフィルム搬送ベルト駆動モータ２１５
は、フィルム剥離装置部の後方直近の後コンベア１０２
の入口部下方に取付けられている。後コンベア１０２の
部入口の下方には、剥離不良パネル選別収容装置２１２
Ａが設けられている。なお、剥離不良パネル選別搬送装
置(板状体搬送選別収容装置)については、特開昭６３−
１５４５７７号公報に記載されている。

【００８９】表１は第１実施例のシーケンサーの入力端
子の一覧表であり、表２は当該シーケンサーの出力端子
の一覧表である。

【００９０】図６、図７、図８Ａ、図８Ｂ、図９、図１
０Ａ乃至図１０Ｃ及び図１１は、第１実施例のフィルム
剥離装置のプログラマブルコントローラ(又はシーケン
サー)のためのプログラムである。

【００９１】第１実施例のプログラムにおいて、Ｙ〇〇
〇〇はシーケンサーのビット共用内部出力番号、Ｙ〇〇
〇はシーケンサーの外部機器への出力番号、Ｒ〇〇〇は
シーケンサーのビット・ワード内部出力番号、Ｘ〇〇〇
はシーケンサーの外部機器からの入力端子番号、ＴＤ〇
〇はシーケンサーの内部の遅延タイマー、ＣＵ〇〇はシ
ーケンサーの内部のカウンターである。

【００９２】又、図中の右欄の〈〉内の数字は回路番
号であり、〈〉の下の数字はタイマー又はカウンター
の設定値である。タイマーの場合、“．１Ｓ５”は０.
１sec×５＝０.５secを表わし、カウンターの場合は最
大カウントアップ数を表わす。

【００９３】そして、図６に示す回路番号〈００１８〉
〜〈００２３〉はパネル挿入からフィルムエッジの検出
までの制御進行プロセスであり、図７に示す回路番号
〈００２４〉〜〈００２９〉は、フィルム剥離からパネ
ル送り出しまでの制御進行プロセスである。

【００９４】図８Ａ及び図８Ｂに示す回路番号〈００４
４〉〜〈００８０〉は、制御ステップ用各種タイマー、
カウンターの設定である。

【００９５】図９に示す回路番号〈００９８〉〜〈０１
１９〉は、進行エラー制御プロセスであり、図１０Ａ、
図１０Ｂ及び図１０Ｃに示す回路番号〈０１２２〉〜
〈０１３２〉、〈０１３６〉〜〈０１３９〉及び〈０１
４１〉〜〈０１５１〉は、主にシーケンサーの出力端子
制御プロセスである。

【００９６】図１１に示す回路番号〈０１８４〉〜〈０
２０２〉は、イマジナリーセンサーの稼動時間制御(Ｉm
aginary Senser Control）プロセスである。

【００９７】図１２は、第１実施例のフィルム剥離方法
及びその実施装置の制御動作を説明するためのタイムチ
ャートである。

【００９８】図１２において、●印はモーターの場合は
電力供給(ＯＮ)状態を示し、センサーの場合は反応があ
る時(ＯＮ)の状態を示し、エアーシリンダの場合は順方
向に動作開始していることを示している。

【００９９】又、〇印はモータの場合は電力供給がない
時(ＯＦＦ)の状態を示し、センサーの場合は反応が消え
ている時(ＯＦＦ)の状態を示し、エアーシリンダの場合
は逆方向に動作開始していることを示している。

【０１００】次に、第１実施例のフィルム剥離方法及び
その実施装置の制御動作について説明する。

【０１０１】操作パネル１０７のスタート(Start）スイ
ッチが押されて「ＯＮ」になると、装置は自動運転の待
期状態になる。シーケンサー(Ｐrogrammable Ｌogic Ｃ
ontroller：ＰＬＣ)の内部出力リレーＲ１、Ｒ１５は共
に「ＯＮ」になる。但し装置全体はまだ動き出さない。

【０１０２】前コンベア１０１の入口に前工程からパネ
ル１が挿入されると、入口部にあるパネル挿入検知セン
サー(光電センサ−“ＢＬＳ”)２０１が反応して「Ｏ
Ｎ」になり、前コンベア１０１の進行方向の奥にあるパ
ネルストッパ２１２が立上る。

【０１０３】さらに０.１秒(ＴＤ２０)後、前コンベア
駆動モータ２１４が始動する。

【０１０４】前コンベア１０１上のパネル１が前進して
パネルセンタリング動作開始位置センサー(光電センサ
ー“ＷＡＰＳ”)２０３が反応して「ＯＮ」になると、
パネル１のパネルセンタリングユニット２０２が動作を
開始して、前コンベア１０１の幅方向の中心にパネル１
の中心を合せる（ユニットを動かすエアーシリンダ２１
８に圧縮空気を送る電磁バルブが開く）。

【０１０５】パネル１は前コンベア１０１を進行してい
って、起立しているパネルストッパ２１２に突き当り、
パネル１の先端が傾いていれば、進行方向に直角になる
よう補正される。

【０１０６】パネルセンタリングユニット２０２が作動
してパネル１を両横から挟むと、その押し棹(センタリ
ング取付部材)２０２Ｂに設けてあるパネル左側端検知
センサー（光電センサー“ＷＡＬＳ−１”）２１０とパ
ネル右側端検知センサー（光電センサー“ＷＡＬＳ−
２”）２１１が共に反応（センサーの光軸をパネル１の
両側端で遮え切るので反応する）し、それを契機にパネ
ルセンタリングユニットの動作は反転して、パネル押し
棹(センタリング取付部材)２０２Ｂはコンベアの両側へ
戻る方向に動く。

【０１０７】パネルストッパ２１２が倒れ落ちると、パ
ネル１は、再び前方へ運ばれる。なお、前コンベア駆動
モータ２１４は、始動以来、一貫して動き続けている。

【０１０８】パネルセンタリングユニット２０２がコン
ベアの両側へ戻ったことを確認するパネルセンタリング
(幅寄せ)ユニットの戻り検知センサー（“ＷＡＲＳ”：
センタリングユニットを駆動するエアーシリンダ２１８
のピストンの位置で反応する近接センサー）２１３が反
応すると、動作制御のプログラムは次々と進行する。こ
の戻り検知センサー２１３がパネルセンタリングユニッ
トを駆動するアクチュエータ(駆動モータ)の位置で反応
する磁気センサーである場合には、パネルセンタリング
ユニットの動作終了を非接触で検出することができる。

【０１０９】後コンベア１０２に前に処理したパネル１
が滞っていたり、フィルムコンベアに前に処理した剥離
フィルムが運びだされないで残っていたりしないかどう
かをチェックし、問題が無ければ、制御プログラムのス
テップはさらに前に進む。

【０１１０】制御プログラムのステップがＹ３１１２に
なった時から、シーケンサー内蔵の遅延タイマー“ＴＤ
２９”を始動させる。

【０１１１】ＴＤ２９タイマーの設定値(通常は例えば
１．６〜２．０秒に設定)に達したならば、前コンベア
駆動モータ２１４は低速度運転に切り替る。

【０１１２】又、同じタイミングでパネル１に貼り付け
られているレジストフィルムの前縁端を検出するフィル
ムエッジ検出センサー８（静電容量反応型センサー“Ｆ
ＥＳ”）の触針をパネル１のパネル搬送経路Ａ−Ａに向
って降す（パネル１の下面側に設けてある触針は引き上
げられる）。

【０１１３】低速運転になっているコンベアでパネル１
が前進し、上下から閉じ合っているフィルムエッジ検出
センサー８の触針にパネル１の銅箔面が触れると、フィ
ルムエッジ検出センサー８が「ＯＮ」の状態に反応す
る。

【０１１４】更に、パネル１が前進すると銅箔面に貼付
されているレジストフィルムの表面にフィルムエッジ検
出センサー８の触針の先が触れ、フィルムエッジ検出セ
ンサー８は「ＯＦＦ」の状態に反応する。即ち、フィル
ムエッジ検出センサー８として静電容量反応型センサー
を用いて、導電体に触れると、パネル１が持っている静
電容量を感知して反応し、絶縁物や空気に触れると、静
電容量を感知できないため反応が消えることを利用して
いる。

【０１１５】制御プログラムのステップはＹ３２００代
へと進む。

【０１１６】エアー吹出しノズル４は、フィルム端部に
斜めに向う位置にセットされ、エアー誘導板５はパネル
１に接近した位置にセットされる。

【０１１７】（前項の動作開始後０.１秒遅れて第１項
の動作開始）続いて、フィルムスクラッチャーヘッド
(フィルム浮上部材３のヘッド)の先端部の空気式振動が
開始され、パネル１の上下面のフィルム面に押し当てら
れると同時に、フィルムエッジ検出センサー８の触針は
パネル１から離される。

【０１１８】続いてフィルムスクラッチャーヘッドをフ
ィルムの先端部方向（パネル１の進行方向と同じ方向）
へ所定距離だけ押し返すように、しかもパネル１の進行
速度より速い速度で動かせるエアーシリンダが作動する
ので、フィルムの端の密着が緩められる。

【０１１９】（前項の動作開始後０．１秒遅れて本項動
作開始）続いて、密着が緩められたフィルムの端部に向
っているエアー吹出しノズル部材４から一定の時間圧縮
空気が吹き出して、フィルムをパネル１から舞い上らせ
る。

【０１２０】（前項の動作開始後０．１秒遅れて本項の
動作開始）エアー吹出しノズル４から噴出したエアーに
よって舞い上ったフィルムはエアー誘導板５にへばりつ
き、そのフィルムの光沢平面によって、フィルム剥離検
知センサー（エアー誘導板５に対しては垂直に光を発し
ている光電センサ−“ＰＦＳ−１”）２０４及びフィル
ム剥離検知センサー(光電センサ−“ＰＦＳ−２”)２０
５から発した光がはね返され、フィルム剥離検知センサ
ー２０４及び２０５は「ＯＮ」に反応する。この反応に
よってパネル１の上下面のレジストカバーフィルムがエ
アー誘導板５に沿った位置に立ち上ったことが判定され
る。

【０１２１】その後、フィルムスクラッチャーヘッド
(フィルム浮上部材３のヘッド)は、パネル１から離れる
方向に動くと共にその先端部の空気式振動は停止し、さ
らにパネル１の進行と逆の方向に引き戻される。

【０１２２】フィルムが舞い上った時点から０．１秒
(ＴＤ３６)後に、フィルム挟持ベルトの一方６Ｂが他方
のベルト６Ａの方へ向って動き２本のベルトで、舞い上
ってエアー誘導板５にたたきつれられているレジストの
カバーフィルムを挟み込む。

【０１２３】すると、エアー誘導板５と、エアー吹き出
しノズル４は、パネル１の表面から離れ、所定の位置に
戻る。

【０１２４】前コンベア駆動モータ２１４は再び高速に
戻る。

【０１２５】フィルム搬送ベルト駆動モータ２１５が始
動する。

【０１２６】後コンベア駆動モータ２１６が始動し、剥
離フィルムを系外へ送り出すためのフィルム誘導エアー
が流体噴出装置１２から一斉に吹き出す。

【０１２７】この時、前コンベア１０１、後コンベア１
０２、第１フィルム搬送装置の固定ベルト６Ａ及び可動
搬送ベルト６Ｂの速度がほぼ同速になるように、前コン
ベア駆動モータ２１４、フィルム搬送ベルト駆動モータ
２１５、後コンベア搬送駆動モータ２１６の夫々の回転
速度は調節されている。

【０１２８】レジストのカバーフィルムがめくり取られ
ながらパネル１が前コンベア１０１から後コンベア１０
２へと移って行き、パネル１の後端が後コンベア１０２
の最初の部分の上方に設けられているパネル通り抜け検
知センサー２０６（光電センサ−“ＢＥＳ”）の位置を
通過し、該センサーが「ＯＦＦ」に反応すると、前コン
ベア駆動モータ２１４は稼動を停止する。

【０１２９】又、フィルム搬送ベルト駆動モータ２１５
は、パネル通り抜け検知センサー２０６が「ＯＦＦ」に
反応した後０．６秒(ＴＤ４１)で稼動を停止する。

【０１３０】更に、後コンベア駆動モータ２１６は、パ
ネル通り抜け検知センサー２０６が「ＯＦＦ」に反応し
た後２５秒で稼動を停止する。

【０１３１】但し、前コンベア１０１に次のパネル１が
挿入され、パネル挿入検知センサー２０１が「ＯＮ」に
反応すると、これら稼動停止用のタイマーの作動は、キ
ャンセルされて、前コンベア駆動モータ２１４、後コン
ベア駆動モータ２１６の夫々は稼動を続行する。

【０１３２】こうようにして最初の工程に戻って制御プ
ログラムは進行する。

【０１３３】以上の説明からわかるように、第１実施例
によれば、フィルムが貼着されたパネル１を、フィルム
の先端部が剥離される位置に搬送し、前記パネル１の搬
送速度を減速するだけで停止させることなく、前記フィ
ルムの先端部をパネル１から緩め、パネル１と緩められ
たフィルム先端部との間に流体を吹きつけ、その緩めら
れたフィルムを剥離しながら自動的に排出するので、比
較的簡単な構成で、フィルムの剥離能率を向上させるこ
とができる。

【０１３４】又、前記パネル１がフィルムの先端部を剥
離する位置より前の所定位置まで搬送されて来たとき、
パネル１の搬送速度を遅くして前記フィルムの先端部を
パネル１から緩めるので、フィルムの先端部をパネル１
から位置精度よく、確実に緩めることができる。

【０１３５】又、前記パネル１から緩めたフィルムの部
分に流体を吹きつけて、フィルムを剥離する段階からフ
ィルムを剥離しながらフィルムの排出を行う手段に到達
すると、前記流体の吹きつけを停止するので、パネル１
からフィルムの全部を圧縮エアーの吹きつけだけで剥離
している場合より、圧縮エアーの吹きつけの消費量が少
なく、装置の稼動経費を低減できる。

【０１３６】又、前記フィルム剥離方法の制御は、シー
ケンス制御により自動的に行うので、フィルムの剥離能
率をさらに向上させることができる。

【０１３７】又、前記フィルムの先端部を検出し、フィ
ルムをパネル１から緩める段階でパネル１を強制的に搬
送するので、フィルムの先端部をパネル１から更に精度
よく、確実に緩めることができる。

【０１３８】又、フィルムが貼着されたパネル１を搬送
する手段と、前記パネル１の搬送を停止させることな
く、前記フィルムの先端部をパネル１から緩める手段
と、パネル１と緩められたフィルム先端部との間に流体
を吹きつける手段と、その緩められたフィルムを剥離し
ながら剥離フィルムを排出する手段を備えたフィルム剥
離装置において、パネル挿入検知センサー２０１、パネ
ルセンタリング動作開始位置センサー２０３、フィルム
剥離検知センサー２０４、２０５、パネル通り抜け検出
知センサー２０６、フィルムエッジ検出センサー８、パ
ネルチェックセンサー２０８及びパネルセンタリングユ
ニットの戻り検知センサー２１３を設け、各センサーの
出力信号により作動するシーケンス制御手段を具備した
ので、フィルムの剥離を自動的に能率よく行うことがで
きる。

【０１３９】次に、スクラッチャーを移動させることに
よってパネルの減速を不要とした、本発明の第２実施例
を詳細に説明する。

【０１４０】なお、第２実施例の基本的な構成は、パネ
ルストッパが省略され、パネル先端検知センサ１９が付
加されている点を除き、第１実施例の図１〜図５Ｃとほ
ぼ同じであるので、直一機能を有するものは同一符号を
付け、その繰り返しの説明は省略する。

【０１４１】図１３Ａは本発明の第２実施例でるプリン
ト配線用パネルのフィルム剥離装置のパネル搬送速度と
同期動作を行うフィルム密着緩め機構を保持する部分を
側面から見た図、図１３Ｂは図１３Ａに示す矢印Ｙ方向
から見た図、図１４は図１３Ａ及び図１３Ｂの一部を切
り離して示し、かつ中央部のフィルム緩め機構を省いた
斜視図である。

【０１４２】図１３Ａ、図１３Ｂ及び図１４に示すよう
に、フィルム剥離装置本体１００における左右の本体フ
レーム３００の上方には、ガイドレール３０３が固定さ
れている。ガイドレール３０３には摺動ブロック３０４
が摺動自在に取付けてあり、摺動ブロック３０４には保
持部材３０５の一端が固定されていて、この保持部材３
０５の他端は摺動部側板３０６に固定されている。左右
の摺動部側板３０６には、それぞれ上下２つの貫通縦長
孔３０６Ａが設けてあり、その２つの貫通縦長孔３０６
Ａには、浮上部材支持回転軸９の両端が貫通して、貫通
縦長孔３０６Ａの範囲で上下動作可能に取付けられてい
る。更に、摺動部側板３０６には、結合部材３１３が固
定されており、結合部材３１３の下部には、連結棒３１
０の一端が取付けられた連結部材３１１を軸支した固定
板３１２が固定されている。連結棒３１０の他端には、
連結部材３０９が取付られていて、連結部材３０９には
クランク状部材３０７が取付られている。該クランク状
部材３０７は、ワンウェイベアリング３０８を介して、
前コンベアフレーム３０１を貫通したパネル搬送用駆動
ローラ２の軸２Ｄに取付けられている。尚、ワンウェイ
ベアリング３０８の代りに例えば電磁クラッチを使用し
てもよい。

【０１４３】図１４において、前コンベアフレーム３０
１の上面には、エアーシリンダ取付板３２０が固定され
ている。エアーシリンダ取付板３２０の一端にはエアー
誘導板５及び上側ピンチローラ２Ａの両者を昇降させる
昇降用エアーシリンダ３２１が取付けられ、他端には吊
下げ板２Ｃ及びローラ押圧板３１７の両者を支持する支
持レバー３１８の下部が軸支され、その軸支部を中心に
回転自在に構成されている。前記昇降用エアーシリンダ
３２１のロッドと支持レバー３１８の一端は、連結部材
３１９に連結されている。エアー誘導板吊下げ板２Ｃの
両端及びローラ押圧板３１７は、前記支持レバー３１８
の端に固定されている。このローラ押圧板３１７の下部
に設けてある逆Ｕ字形状のローラ押圧部３１７Ａには上
側ピンチローラ２Ａの軸が回転自在に取付られている。

【０１４４】前記左右の摺動部側板３０６には、固定支
持部材７の両端が上下に固定された連結アングル３１４
が取付られている。

【０１４５】後コンベアフレーム３０２の上面には、エ
アーシリンダ取付板３１５が固定されていて、浮上部移
動用エアーシリンダ３１６が取付けてあり、その浮上部
移動用エアシリンダ３１６のロッドが結合部材３１３の
一端に固定されている。

【０１４６】前記浮上部材支持回転軸９の両端(左右の
本体フレーム３００の外側)には、上下の浮上部材支持
回転軸９がパネル搬送面に対して接近又は離反動作の同
期を行うために、移動アーム部材３２２が設けられ、移
動アーム部材３２２は、回転アーム部材３２３で連結さ
れている。回転アーム部材３２３の中心には、貫通孔が
設けてあり、その貫通孔により、摺動部側板３０６の中
央部に固定されているシャフト３３７が回転自在に軸支
されるように構成されている（図１４では、離反状態を
示す）。

【０１４７】前記浮上部材支持回転軸９の移動アーム部
材３２２が設けられているところの更に端部(浮上部材
支持回転軸９の最端部)には、連結アーム部材３２６及
び浮部材回転アーム部材３２７が設けられている。

【０１４８】前記本体フレーム３００の中央部の上下に
は貫通孔があり、その貫通孔には剥離フィルムを排出す
るためのフィルム搬送装置にフィルム挟持動作を行わせ
るシャフト３３８が回転自在に設けられている。上側の
シャフト３３８にはアーム部材３３６の一端が固定され
ている。下側のシャフト３３８にはアーム部材３３４の
中央端部が固定されている。このアーム部材３３４の一
端と前記アーム部材３３６の他端は連結部材３３５で連
結されている。また、アーム部材３３４の他端と剥離フ
ィルム挟み動作用エアーシリンダ３３１のロッドに取付
けられている連結部材３２３とは、連結部材３３３を介
して連結されている。剥離フィルム挟み動作用エアーシ
リンダ３３１は、エアーシリンダ取付板３３０に取付け
られ、そのエアーシリンダ取付板３３０は、本体フレー
ム３００の側面下部に固定されている(図１４では、分
離状態を示す)。

【０１４９】更に、図３Ｃに示す如く、固定支持部材７
のエアー吹出しノズル取付板１８の固定されている近傍
には、センサー固定板２０の一端が取付けられていて、
その他端には、パネル阪端検知センサー１９が固定され
ている。

【０１５０】次に、前記フィルム剥離装置の動作につい
て、第２実施例の動作を簡単に表わしたタイムチャート
である図１５を用いて簡単に説明する。

【０１５１】前記フィルム剥離装置は、操作パネル１０
７のスタートスイッチが「ＯＮ」になると自動運転の待機
状態になる。前コンベア１０１の入口に前工程からパネ
ル１が搬送されてきて、挿入されると、入口部に設置さ
れたパネル挿入検知センサー(ＢＬＳ)２０１がパネル１
を検知し、シーケンサー内部のタイマー１が働き、その
タイマー１が設定値に達した時、前コンベア駆動モータ
２１４(Ｍ２)が始動し、前コンベア１０１のパネル搬送
用駆動ローラ２が回転を始め、前コンベア１０１のパネ
ル搬送用駆動ローラ２上をパネル１が搬送される。搬送
されて来たパネル１の先端がパネルセンタリング動作開
始位置センサー２０３(ＷＡＰＳ)に検知されるとセンタ
リング駆動エアーシリンダ２１８が動作し、センタリン
グユニット２０２が搬送されているパネル１のセンタリ
ング(幅寄せ)を開始する。パネル１のセンタリングが行
われ、パネル１の進行方向に対し左右両端がそれぞれパ
ネル左側端検知センサー２１０（ＷＡＬＳ−１）及びパ
ネル右側端検知センサー２１１(ＷＡＬＳ−２)に検知さ
れるとセンタリング動作が停止する。この状態でパネル
１の進行方向の中心は、左右のセンタリングピン２０２
Ａがパネル１の左右両端を挟み停止することで、前コン
ベア１０１上で進行方向の中心に一致する。

【０１５２】パネル左側端検知センサー(ＷＡＬＳ−１)
２１０及びパネル右側端検知センサー(ＷＡＬＳ−２)２
１１の検知信号によりセンタリング動作が反転し、セン
タリング(幅寄せ)ユニット２０２はセンタリングを行う
前の位置(原点位置)へ戻る。前記原点位置は、センタリ
ング駆動エアーシリンダ２１８に取付けてあるパネルセ
ンタリング装置戻り検知センサー(ＷＡＲＳ)２１３が、
センタリング駆動エアーシリンダ２１８のピストン位置
を検知することにより停止する位置である。

【０１５３】センタリングユニット２０２のセンタリン
グ動作及び原点位置への戻り動作中も、パネル１は搬送
されており、前記パネルセンタリング動作開始位置セン
サー２０３の検知信号によりシーケンサー内部のタイマ
２ーが働き、そのタイマー２が設定値に達した時、上下
のフィルム端部検出部材用上下動作部材２４のピストン
ロッドが、そのエアーシリンダに圧縮空気が送られてパ
ネル搬送経路Ａ−Ａ方向に動く(図３Ｆ)。上下のフィル
ム端部検出部材用上下動作部材２４に押されて、上下の
フィルム端部検出部材（フィルムエッジ検出センサー：
ＦＥＳ−１，ＦＥＳ−２）８の先端部の触針が、パネル
搬送経路Ａ−Ａ方向に動作し、前記触針が交差した状態
(上下の触針は触れ合わない)になる。また、前記タイマ
ー２が設定値に達した時、エアー誘導板５及びピンチロ
ーラ駆動用エアーシリンダ３２１が動作して、上側ピン
チローラ２Ａがパネル１を押圧するとともに、上側のエ
アー誘導板５が降りてパネル１に接近する。

【０１５４】前記上下のフィルム端部検出部材８の先端
部の触針にパネル１の銅泊面が触れると、フィルムエッ
ジ検出センサー８が「ＯＮ」の状態に反応する。さら
に、パネル１が前進すると銅泊面に貼付されているレジ
ストフィルムの表面にフィルムエッジ検出センサー８の
先端部の触針が触れ、フィルムエッジ検出センサー８が
「ＯＦＦ」の状態に反応する。このようにセンサーが
「ＯＮ」から「ＯＦＦ」に変わるところでフィルムエッ
ジを検出することができる。なお、パネル１の銅泊面一
杯にレジストフィルムがラミネートされていると、フィ
ルムエッジ検出センサー８がＯＮに反応しないので、こ
の第２実施例では、パネル先端部検出センサー(ＢＥＤ
Ｓ)１９が前記フィルムエッジ検出センサー８の先端部
の触針先端位置より僅かに後に位置をずらして隣設され
ている。パネルが搬送されている時に、フィルムエッジ
検出センサー８が「ＯＮ」に感知すると、パネル先端部
検出センサー１９がパネルエッジを検出した信号はキャ
ンセルされ、フィルムエッジ検出センサー８が「ＯＮ」
に感知しないうちに、パネル先端部検出センサー１９が
パネル先端を検知した時は、その検出信号が利用される
ように制御されている。パネル１に貼付されているレジ
ストフィルムのエッジ又はパネルの先端が検出される
と、その検出信号によりシーケンサー内部タイマー３が
働き、そのタイマー３が設定値(例えば０〜０．１秒)に
達した時、フィルムエッジ検出センサー８は、パネル搬
送経路Ａ−Ａから離反し原点位置に戻る。さらに、フィ
ルム浮上用部材(フィルムスクラッチャ)３の先端部の空
気式振動が開始され、浮上部材上下駆動エアーシリンダ
３２５が動作することにより、フィルム浮上用部材３の
先端は、振動をしながらパネル１の上下面のフィルム面
に押し当てられる。押し当て時間はシーケンサーの内部
タイマー４及び内部タイマー７で設定される。このと
き、浮上部移動用エアーシリンダ３１６が働き、摺動ブ
ロック３０４に保持されたフィルム浮上装置全体がパネ
ル進行方向に移動を始める。フィルム浮上装置全体は、
連結棒３１０、連結部材３０９、３１１、クランク状部
材３０７、ワンウェイベアリング３０８を介して前コン
ベア１０１のパネル搬送用駆動ローラ２の駆動軸と連結
されているので、パネル進行と同じ方向へ移動する時
は、ワンウェイベアリング３０８がラッチされてパネル
１の搬送速度に同期して動くことになる。この装置の移
動が停止したり、逆方向の時、ワンウェイベアリング３
０８はラッチされないので、前コンベア１０１の速度は
変わらない。

【０１５５】前記フィルム浮上装置が、パネル搬送速度
と同期しながら動き始めると、シーケンサーの内部タイ
マ４ーが働き、その設定値に達した時、浮上部材スイン
グ駆動用エアーシリンダ３２９が動作し、フィルム浮上
部材３の先端が振動しながらパネル進行方向にスイング
を行い、フィルムの端の密着が緩められる。同時に密着
が緩められたフィルムの端部に向っているエアー吹き出
しノズル部材４から、一定の時間(シーケンサーの内部
タイマー８が設定した時間)圧縮空気が吹き出して、フ
ィルムを舞い上らせる。エアー吹き出しノズル４から噴
出したエアーにより舞い上ったフィルムは、エアーの流
れによってエアー誘導板５にへばりつくと、上側のフィ
ルム剥離検知センサー(ＰＦＳ−１)２０４及び下側のフ
ィルム剥離検知センサー(ＰＦＳ−２)２０５がフィルム
の光沢平面によって、フィルムがエアー誘導板５に沿っ
た位置に立ち上ったことを検知する。フィルム浮上部材
３は、パネル１から離れる方向に動くと共に、その先端
部の空気式振動は停止し、フィルム浮上装置全体が、パ
ネル１の進行方向とは逆の方向に押し返されて初期位置
に戻る。

【０１５６】フィルムが舞い上って上下のフィルム剥離
検知センサー２０４、２０５が反応した時点からフィル
ム搬送ベルト駆動モータ２１５が稼働し、さらにフィル
ムが舞い上った時点からシーケンサーの内部タイマー５
が働き、設定値に達した時、第１フィルム搬送装置の可
動搬送ベルト６Ｂが固定搬送ベルト６Ａの方へ向って動
き、２本のベルトで舞い上ってエアー誘導板５にたたき
つけられているレジストのカバーフィルムを挟み込んで
搬送する。

【０１５７】エアー誘導板５と上側ピンチローラ２Ａ
は、パネル１の表面から離れ、動作前の原点位置に戻
る。後コンベア駆動モータ２１６が始動し、剥離フィル
ムを系外へ送り出すためのフィルム誘導エアーが流体噴
出装置１２から一斉に吹き出す。

【０１５８】レジストのカバーフィルムがめくり取られ
たパネル１が、前コンベア１０１から後コンベア１０２
へと移って行き、パネル１の後端がパネル通り抜け検知
センサー(ＢＥＳ)２０６の位置を通過し、該センサー２
０６が「ＯＦＦ」に反応したとき、シーケンサーの内部
タイマ６ーが働き、そのタイマー６が設定値に達した
時、前コンベア駆動モータ２１４は稼働を停止する。

【０１５９】さらに、後コンベア駆動モータ２１６は、
パネル通り抜け検知センサー２０６が「ＯＦＦ」に反応
した後、所定の時間後に稼働を停止する。但し、前コン
ベア１０２に次のパネル１が挿入され、パネル挿入検知
センサー２０１が「ＯＮ」に反応すると、これらの稼働
停止用タイマの動作は、キャンセルされ、モータ２１
４、２１６の夫々は稼働を続行する。

【０１６０】このようにして、最初の工程に戻って制御
プログラムは進行する。

【０１６１】なお、第２実施例では、フィルム浮上装置
がパネル進行と同じ方向に移動する機構として、クラン
ク状部材３０７を使用しているが、ラックギヤ及びピニ
オンギヤ機構を使用してもよい。

【０１６２】以上の説明からわかるように、第２実施例
によれば、フィルムが貼着されたパネル１を、フィルム
先端部が剥離される位置に搬送し、前記パネル１の搬送
速度に同期した速度で、パネルの搬送速度を実質的に変
えることなく、前記フィルムの先端部をパネル１から緩
め、パネル１と緩められたフィルム先端部との間に流体
を吹きつけ、その緩められたフィルムを剥離しながら自
動的に排出するので、フィルムの剥離能率を一層向上さ
せることができる。

【０１６３】また、パネル挿入検知センサー２０１、パ
ネルセンタリング動作開始位置センサー２０３、フィル
ム剥離検知センサー２０４，２０５、パネル通り抜け検
知センサー２０６、フィルムエッジ検出センサー８、パ
ネル先端部検出センサー１９、パネル左側端検出センサ
ー２１０、パネル右側端検出センサー２１１、パネルチ
ェックセンサー２０８及びパネルセンタリングユニット
の戻り検知センサー２１３を設け、この各センサーの出
力信号により動作するシーケンス制御手段を具備し、パ
ネル１をフィルムの先端部が剥離される位置に搬送し、
前記パネル１の搬送速度に同期した速度で、パネル１の
搬送速度を実質的に変えることなく、前記フィルムの先
端部をパネル１から緩め、パネル１と緩められたフィル
ム先端部との間に流体を吹きつけ、その緩められたフィ
ルムを剥離しながら排出するので、フィルムの剥離を自
動的に行って、その能率を向上させることができる。

【０１６４】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能
であることは言うまでもない。

【０１６５】例えば、パネル片面のフィルムのみを剥離
するのに使用できる。

【０１６６】

【表１】

【０１６７】

【表２】

【０１６８】

【発明の効果】本発明の第１方法によれば、フィルムが
粘着されたパネルを、フィルムの先端部が剥離される位
置に搬送し、前記パネルの搬送を停止することなく、前
記フィルムの先端部をパネルから緩め、パネルと緩めら
れたフィルム先端部との間の隙間に流体を吹きつけ、そ
の緩められたフィルムを剥離しながら排出することがで
きるので、フィルムの剥離作業能率を向上させることが
できる。

【０１６９】又、本発明の第１装置によれば、パネル搬
送手段、パネルセンタリング動作開始位置センサー、パ
ネルセンタリングユニット、パネル減速手段、フィルム
エッジ検出センサー、フィルム緩め手段、流体吹きつけ
手段、フィルム剥離検知センサー及びフィルム挾持手段
を設け、フィルムが粘着されたパネルを、フィルムの先
端部が剥離される位置に搬送し、前記パネルの搬送を停
止させることなく、前記フィルムの先端部をパネルから
緩め、パネルと緩められたフィルムを剥離しながら排出
できるので、フィルムの剥離を自動的に能率良く行うこ
とができる。

【０１７０】又、本発明の第２方法によれば、フィルム
が粘着されたパネルを、フィルムの先端部が剥離される
位置に搬送し、前記パネルの搬送速度に同期した速度で
フィルム密着緩め機構を移動させながら、パネルの搬送
速度を実質的に変えることなく、前記フィルムの先端部
をパネルから緩め、パネルと緩められたフィルム先端部
間に流体を吹きつけ、その緩められたフィルムを剥離し
ながら排出できるので、フィルムの剥離作業効率を一層
向上させることができる。

【０１７１】又、本発明の第２装置によれば、パネル搬
送用駆動ローラを含むパネル搬送手段、パネルセンタリ
ング動作開始位置センサー、パネルセンタリングユニッ
ト、パネル先端位置検知センサー、フィルム緩め手段、
流体吹きつけ手段、前記フィルム緩め手段及び流体吹き
つけ手段が配設されたパネルの進行方向に移動可能な支
持枠、前記パネルの搬送速度がフィルム緩め中に実質的
に変化しないように該支持枠をパネル搬送用駆動ローラ
の回転に同期して一定時間の間移動する手段、フィルム
剥離検知センサー及びフィルム排出手段を設け、パネル
をフィルムの先端部が剥離される位置に搬送し、前記パ
ネルの搬送速度に同期した速度で支持枠を移動しなが
ら、パネルの搬送速度を実質的に変えることなく、前記
フィルムの先端部をパネルから緩め、パネルと緩められ
たフィルム先端部の間に流体を吹きつけ、その緩められ
たフィルムを剥離しながら排出することができるので、
フィルムの剥離能率を一層向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例であるプリント配線用パネ
ルのフィルム剥離装置の概略構成を示す斜視図。

【図２Ａ】図１のエア式フィルム搬送ボックス周辺のフ
ィルム剥離機構の細部を示す図。

【図２Ｂ】図２Ａの上側ピンチローラ周辺を拡大して示
す部分分解図。

【図２Ｃ】図２Ａの上側ピンチローラ駆動用ギヤを示す
図。

【図３Ａ】パネル進行方向の後方から見たフィルム緩め
機構部分の図。

【図３Ｂ】図３Ａに示す矢印Ｌ方向から見た側面図。

【図３Ｃ】図３Ｂの斜視図。

【図３Ｄ】流体吹付装置の斜視図。

【図３Ｅ】図３Ｄの平面図。

【図３Ｆ】フィルム端部検出機構の斜視図。

【図４】第１実施例のフィルム剥離方法及びその制御手
段を説明するための概略構成説明図。

【図５Ａ】パネルセンタリング部分の構造を示す図。

【図５Ｂ】図５Ａに示すＸ−Ｘ線で切った断面図。

【図５Ｃ】図５Ａのパネルセンタリングの動作部分を表
した図。

【図６】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラマブ
ルコントローラのためのプログラム。

【図７】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラマブ
ルコントローラのためのプログラム。

【図８Ａ】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラマ
ブルコントローラのためのプログラム。

【図８Ｂ】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラマ
ブルコントローラのためのプログラム。

【図９】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラマブ
ルコントローラのためのプログラム。

【図１０Ａ】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラ
マブルコントローラのためのプログラム。

【図１０Ｂ】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラ
マブルコントローラのためのプログラム。

【図１０Ｃ】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラ
マブルコントローラのためのプログラム。

【図１１】第１実施例のフィルム剥離装置のプログラマ
ブルコントローラのためのプログラム。

【図１２】第１実施例の制御を説明するためのタイムチ
ャート。

【図１３Ａ】本発明の第２実施例であるプリント配線用
パネルのフィルム剥離装置のパネル搬送速度と同期動作
を行うフィルム密着緩め機構を保持する部分を側面から
見た図。

【図１３Ｂ】図１３Ａに示す矢印Ｙ方向から見た図。

【図１４】図１３Ａ及び図１３Ｂの一部を切り離して示
し、且つ、中央部のフィルム緩め機構を省いた斜視図。

【図１５】第２実施例の動作を簡単に表したタイムチャ
ート。

【符号の説明】

１…パネル、２…搬送用駆動ローラ、２Ａ…上側ピンチ
ローラ、３…フィルム浮上部材、４…エアー吹出しノズ
ル、４Ａ，４Ｂ…エアー噴射孔、５…エアー誘導板、６
…フィルム搬送装置、６Ａ…固定搬送ベルト、６Ｂ…可
動搬送ベルト、６Ｃ…剥離フィルムガイド部材、８…フ
ィルム端部検出センサー、１１…薄いパネル用ガイドホ
イール、１２…流体噴射装置、１５０，１１０…イオン
発生装置、１００…フィルム剥離装置本体、１０１…前
コンベア、１０２…後コンベア、１０４…エアーダク
ト、１０５…剥離フィルム排出ダクト、１０６…剥離フ
ィルム収容器、２０１…パネル挿入検知センサー、２０
２…パネルセンタリングユニット、２０３…パネルセン
タリング動作開始位置センサー、２０４，２０５…フィ
ルム剥離検知センサー、２０６…パネル通り抜け検知セ
ンサー、２０８…パネルチェックセンサー、２１０…パ
ネル左側端検知センサー、２１１…パネル右側端検知セ
ンサー、２１３……パネルセンタリングユニット戻り検
知センサー、３０４…摺動ブロック、３０７…クランク
状部材、３０８…ワンウェイベアリング、３０９，３１
１…連結部材、３１０…連結棒、４０１，４０２…ギ
ヤ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者福田一夫東京都中央区銀座四丁目11番２号ソマール株式会社内 (56)参考文献特開平１−271356（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−9122（ＪＰ，Ａ) 実開昭61−191353（ＪＰ，Ｕ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】パネルに貼着されたフィルムを剥離する
方法であって、フィルムが貼着されたパネルをフィルム
の先端部が剥離される位置に搬送するステップと、前記
パネルの搬送速度とフィルム緩め手段との相対移動速度
を近づけて、パネルの搬送を停止することなく、前記フ
ィルムの先端部をパネルから緩めるステップと、パネル
と緩められたフィルム先端部との間の隙間に流体を吹き
つけるステップと、その緩められたフィルムを剥離しな
がら排出するステップとを含むことを特徴とするフィル
ム剥離方法。
【請求項２】請求項１において、更に、前記フィルム
の先端部をパネルから緩めるステップより前に、パネル
搬送手段上の所定位置で前記パネルの搬送を一時的に停
止して、パネルの傾き補正とセンタリングを行うステッ
プを含むことを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項３】請求項１において、前記パネルがフィル
ムの先端部を剥離する位置より前の所定位置まで搬送さ
れて来たとき、パネルの搬送速度を遅くして前記フィル
ムの先端部をパネルから緩めることを特徴とするフィル
ム剥離方法。
【請求項４】請求項３において、前記フィルムを剥離
しながらフィルムの排出を行う際に、前記遅くしたパネ
ルの搬送速度を元の速度に戻すことを特徴とするフィル
ム剥離方法。
【請求項５】請求項１において、更に、前記フィルム
の先端がパネルから緩めるべき所定位置に到達したこと
を検出して、流体を吹きつける手段をフィルム端部に斜
めに向う位置にセットし、流体誘導板をパネルに接近し
た位置にセットするステップを含むことを特徴とするフ
ィルム剥離方法。
【請求項６】請求項５において、前記流体誘導板のパ
ネル表面からの高さを所定範囲に維持することを特徴と
するフィルム剥離方法。
【請求項７】請求項６において、前記流体誘導板の高
さを上側ピンチローラの高さと連動して変化させること
を特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項８】請求項１において、前記フィルムの先端
部をパネルから緩めるステップを、フィルムスクラッチ
ャーの円錐状先端をフィルム表面に当接させつつ軸方向
に振動させて、フィルムに振動エネルギーを与えること
によって行うことを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項９】請求項８において、前記フィルムスクラッ
チャーをフィルム表面と当接させつつ、パネルの進行方
向へ所定距離だけパネルと相対移動させることを特徴と
するフィルム剥離方法。
【請求項１０】請求項１において、前記フィルムの先
端部をパネルから緩める際に、パネルを強制的に搬送す
ることを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項１１】請求項１０において、下側のパネル搬
送用駆動ローラの回転と同期して回転駆動される上側ピ
ンチローラを用いて、パネルを強制的に搬送することを
特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項１２】請求項１１において、前記上側ピンチ
ローラをモジュール比の大きなギヤを用いて、下側のパ
ネル搬送用駆動ローラにより回転駆動することを特徴と
するフィルム剥離方法。
【請求項１３】請求項１において、前記流体を吹きつ
けるステップの実施時期は、前記フィルムの先端部をパ
ネルから緩めるステップと同時であることを特徴とする
フィルム剥離方法。
【請求項１４】請求項１において、前記流体の吹きつ
けを、前記パネルの搬送手段とフィルムの先端部緩め手
段との間に該フィルム先端部緩め手段に近接配置した流
体吹き出しノズルを用いて行うことを特徴とするフィル
ム剥離方法。
【請求項１５】請求項８において、前記流体の吹きつ
けを、前記隙間のフィルムスクラッチャー接触部を狙う
向きの流体噴射孔と、その近傍のフィルム端を狙う向き
の流体噴射孔とを備えた流体吹き出しノズルを用いて行
うことを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項１６】請求項１において、更に、前記流体の
吹きつけによってパネルから剥離されたパネル搬送方向
先端側のフィルムを、前記流体圧で流体誘導板に付着さ
せるステップを含むことを特徴とするフィルム剥離方
法。
【請求項１７】請求項１６において、更に、前記フィ
ルムの剥離された先端部が流体誘導板に付着したことを
検出して、フィルム先端部の緩め動作を停止させるステ
ップを含むことを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項１８】請求項１において、前記パネルとの密
着を緩めた部分に流体を吹きつけてフィルムを剥離する
ステップから、フィルムを剥離しながらフィルムの排出
を行うステップに到達すると、前記流体の吹きつけを停
止することを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項１９】請求項１において、前記緩められたフ
ィルムを挾持し、且つ剥離しながら排出することを特徴
とするフィルム剥離方法。
【請求項２０】請求項１において、前記剥離フィルム
の排出経路でフィルムの静電気を除去することを特徴と
するフィルム剥離方法。
【請求項２１】フィルムが粘着されたパネルを搬送す
るパネル搬送手段と、該パネル搬送手段上をパネルが前
進して、フィルム剥離位置より前の所定位置に到達した
ことを検知するパネルセンタリング動作開始位置センサ
ーと、該パネルセンタリング動作開始位置センサーの出
力により動作を開始して、前記パネルを搬送手段の中心
線部に移動させるパネルセンタリングユニットと、該パ
ネルセンタリングユニットの動作終了後に、パネルの搬
送速度を遅くするパネル減速手段と、フィルム剥離位置
で、パネルに粘着されたフィルムの前縁端を検出するフ
ィルムエッジ検出センサーと、該フィルムエッジ検出セ
ンサーの出力により動作を開始して、前記パネルの搬送
を停止することなく、前記フィルムの先端部をパネルか
ら緩めるフィルム緩め手段と、該フィルム緩め手段によ
り密着が緩められたフィルム先端部とパネルとの間の隙
間に流体を吹きつけてフィルムをめくる流体吹き付け手
段と、該めくられたフィルムが、フィルム排出経路上に
立ち上がったことを検知するフィルム剥離検知センサー
と、該フィルム剥離検知センサーの出力により、前記遅
くしたパネルの搬送速度を元の速度に戻す手段と、前記
めくられたフィルムをつまんでパネルから引き剥がしな
がら排出するフィルム挾持手段とを具備したことを特徴
とするフィルム剥離装置。
【請求項２２】請求項２１において、更に、前記パネ
ル搬送手段の入口にパネルが挿入されたことを検知し
て、パネルの搬送を開始するためのパネル挿入検知セン
サーを含むことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２３】請求項２１において、更に、前記パネ
ルの後端がフィルム剥離位置を完全に通過したことを検
知して、パネルやフィルムの搬送を停止するためのパネ
ル通り抜け検知センサーを含むことを特徴とするフィル
ム剥離装置。
【請求項２４】請求項２１において、更に、パネルの
先端が垂れ下がらないようにガイドするパネル用ガイド
手段を具備したことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２５】請求項２１において、更に、前記フィ
ルム挾持手段を通り抜けたフィルムを誘導する剥離フィ
ルムガイド部材と、該剥離フィルムガイド部材で誘導さ
れたフィルムを排出する流体ダクトを具備したことを特
徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２６】請求項２１において、前記フィルム挾
持手段が、固定搬送ベルト及び可動搬送ベルトで構成さ
れることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２７】請求項２５において、前記剥離フィル
ムガイド部材が棒状の導電性材料で構成されていること
を特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２８】請求項２５において、前記剥離フィル
ムガイド部材と流体ダクトの少なくともいずれか一方に
近接して、剥離フィルムの静電気を除去するためのイオ
ン発生装置を具備したことを特徴とするフィルム剥離装
置。
【請求項２９】請求項２１において、前記パネルセン
タリングユニットの動作終了を検知するための戻り検知
センサーを含み、該センサーが、パネルセンタリングユ
ニットを駆動するアクチュエータの位置で反応する磁気
センサーであることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３０】請求項２１において、前記フィルムエ
ッジ検出センサーが静電容量反応型センサーであること
を特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３１】パネルに粘着されたフィルムを剥離す
る方法であって、フィルムが粘着されたパネルを、フィ
ルムの先端部が剥離される位置の近傍に搬送するステッ
プと、パネルの移動とフィルム緩め手段の移動とを同期
させるステップと、前記パネルの搬送速度を実質的に変
えることなく、前記フィルム先端部をパネルから緩める
ステップと、パネルと緩められたフィルム先端部の隙間
に流体を吹きつけるステップと、その緩められたフィル
ムを剥離しながら排出するステップとを含むことを特徴
とするフィルム剥離方法。
【請求項３２】請求項３１において、前記フィルム緩
め手段の移動速度がパネルの移動速度の約半分以上であ
ることを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項３３】請求項３１において、前記フィルムの
先端部をパネルから緩める際に、パネルを強制的に搬送
することを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項３４】フィルムが粘着されたパネルを搬送す
るためのパネル搬送用駆動ローラを含むパネル搬送手段
と、該パネル搬送手段上のパネルが前進してフィルム剥
離位置より前の所定位置に到達したことを検知するパネ
ルセンタリング動作開始位置センサーと、該パネルセン
タリング動作開始位置センサーの出力により動作を開始
して、前記パネルを搬送手段の中心線部に移動させるパ
ネルセンタリングユニットと、フィルム剥離位置でパネ
ルの先端位置を検知するパネル先端位置検知センサー
と、該パネル先端位置検知センサーの出力により動作を
開始して、前記フィルムの先端部をパネルから緩めるフ
ィルム緩め手段と、該フィルム緩め手段により密着が緩
められたフィルム先端部とパネルとの間の隙間に流体を
吹きつけてフィルムをめくる流体吹き付け手段と、前記
フィルム緩め手段及び流体吹き付け手段が配設されたパ
ネルの進行方向に移動可能な支持枠と、前記パネルの搬
送速度がフィルム緩め中に実質的に変化しないように、
前記支持枠をパネル搬送用駆動ローラの回転に同期して
一定時間の間移動する手段と、前記めくられたフィルム
がフィルム排出経路上に立ち上がったことを検知するフ
ィルム剥離検知センサーと、前記めくられたフィルムを
つまんでパネルから引き剥がしながら排出するフィルム
排出手段とを具備したことを特徴とするフィルム剥離装
置。
【請求項３５】請求項３４において、前記パネル搬送
手段が、更に、パネルを押圧搬送する上側ピンチローラ
を含み、前記パネル先端位置検知センサーからの信号に
より前記上側ピンチローラを駆動させてパネルを押圧
し、その押圧を所定時間後に解除する機構を設けたこと
を特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３６】請求項３４において、前記支持枠移動
手段がパネル搬送用駆動ローラの回転と同期して駆動さ
れるクランク機構を含むことを特徴とするフィルム剥離
装置。
【請求項３７】請求項３６において、前記クランク機
構が、一端が前記支持枠に連結されたクランク状部材
と、該クランク状部材の動きと前記パネル搬送用駆動ロ
ーラの回転をフィルムの緩め動作中のみ同期させるため
のワンウェイクラッチ機構とを含むことを特徴とするフ
ィルム剥離装置。
【請求項３８】請求項３４において、前記フィルムエ
ッジ検出センサーの近傍にパネル先端部検出センサーが
並設されていることを特徴とするフィルム剥離装置。