[go: up one dir, main page]

JPH0634352B2 - メモリ・アレイ・デバイス - Google Patents

メモリ・アレイ・デバイス

Info

Publication number
JPH0634352B2
JPH0634352B2 JP63090483A JP9048388A JPH0634352B2 JP H0634352 B2 JPH0634352 B2 JP H0634352B2 JP 63090483 A JP63090483 A JP 63090483A JP 9048388 A JP9048388 A JP 9048388A JP H0634352 B2 JPH0634352 B2 JP H0634352B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bit line
memory
sense amplifier
latch
charge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP63090483A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63293790A (ja
Inventor
ロバート・エドワード・ブツシユ
エンドレ・フイリツプ・トマ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JPS63293790A publication Critical patent/JPS63293790A/ja
Publication of JPH0634352B2 publication Critical patent/JPH0634352B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/18Bit line organisation; Bit line lay-out
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/409Read-write [R-W] circuits 
    • G11C11/4091Sense or sense/refresh amplifiers, or associated sense circuitry, e.g. for coupled bit-line precharging, equalising or isolating
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/409Read-write [R-W] circuits 
    • G11C11/4097Bit-line organisation, e.g. bit-line layout, folded bit lines
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/06Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
    • G11C7/065Differential amplifiers of latching type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Dram (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 A.産業上の利用分野 本発明は、MOS(金属酸化半導体)メモリの動作の改
善に関し、特に、双対センス増幅器構成内で分割ビツト
線分離を使用することに関する。
B.従来技術 半導体技術分野の研究開発により、膨大なメモリ容量と
すぐれた性能特性をもつ半導体メモリが産み出されてき
ている。現在、半導体メモリは、スタチツク・メモリと
ダイナミツク・メモリの2つの類に分けることができ
る。
尚、ここではスタチツク・メモリは当面の課題ではない
のでこれ以上論じない。しかし、米国特許第44020
66号にはスタチツク・メモリの例が記載されており、
これは読取アクセス時間が短い改善されたスタチツク・
メモリを開示する。
第6図は、センス増幅器10が対向配置されたビツト線
50及び51にその両側を接している簡略化された従来
技術のダイナミツク・メモリ・アレイを示すものであ
る。尚、センス増幅器10の実際の回路は当面の関心で
はないのでここでは論じない。第6図に示すような典型
的なダイナミツク・メモリにおいては、デイジタル・デ
ータがメモリ・セルのマトリクス中に記憶され、各々の
メモリ・セルは、論理1または0に対応する電荷を記憶
するためのキヤパシタをもつている。第6図において
は、メモリ・セル100及び110のそれぞれに対して
メモリ・セル・キヤパシタCが図示されている。
メモリ・セル・キヤパスタCは、各メモリ・セリ10
0及び110の分離トランジスタTによつて、対応ビ
ツト線に接続可能である。メモリ・セル100及び11
0のメモリ・セル分離トランジスタTは、それぞれワ
ード線160及び180によつて制御される。
この時点で、典型的なダイナミツク・メモリにおいて
は、各ビツト線に多数のメモリ・セルが接続されている
ことに留意されたい。しかし、説明の便宜のために、ビ
ツト線とメモリ・セルはわずかの個数しか示されていな
い。
メモリ・セル100及び110に加えて、第6図のセン
ス増幅器構成はまた、しばしばダミー・セルとも呼ばれ
る基準セルの使用を必要とする。ダミー・セルは、メモ
リ・セルとは違つて、典型的には、任意のビツト線に1
個しか接続されていない。ダミー・セルは、ビツト線5
0及び51のそれぞれについて参照番号105及び11
5で示されている。ダミー・セル105及び115は、
それぞれワード線170及び190によつて制御され、
メモリ・セルと同様の構成を有する。そして、ダミー・
キヤパシタにたくわえられた電荷は、メモリ・セル・キ
ヤパシタの電荷を比較するための基準電荷として使用さ
れる。
第6図のセンス増幅器構成のセンス動作のためには、2
本のビツト線を使用しなくてはならない。その第1のビ
ツト線は、アドレスされたメモリ・セル中に記憶された
メモリ電荷にアクセスするために使用され。第2のビツ
ト線は、基準電荷にアクセスするために使用される。セ
ンス動作を開始するためには、適切なワード線160ま
たは180に沿つて入来する信号により、アドレスされ
たメモリ・セルの分離トランジスタTがターン・オン
される。分離トランジスタが一たんターン・オンする
と、そのメモリ・セル・キヤパシタ上の電荷が第1のビ
ツト線へ移行することが可能ならしめられる。同様にし
て、ダミー・セル・キヤパシタ上の電荷が第2のビツト
線へ移行することが可能ならしめられる。そして、2つ
のビツト線の間の結果の電圧差がセンス増幅器10によ
つてセンスされ、そのことが、メモリ・セルが論理1ま
たは0のどちらの情報を記憶していたかを示す表示とな
る。
半導体技術及びメモリ・アレイ構成における研究開発に
より、ダイナミツク・メモリ・アレイに多数の改善がな
し遂げられてきた。例えば、米国特許第4375600
号は、漂遊キヤパシタンスによつて減衰されたビツト信
号を、回路ノイズ電圧によつて凌駕されるレベルから増
幅するためのFET回路を採用したセンス増幅器を開示
する。米国特許第4070590号は、電源とビツト線
の間に電力トランジスタAが挿入され、センス増幅器と
各ビツト線の間に分離トランジスタが挿入されてなるセ
ンス回路を開示する。この電力トランジスタは、ほとん
ど電力を消費することなく信号検出を行うことを可能な
らしめ、また、分離トランジスタは、デバイスの高速か
つ高感度検出動作を可能とする。米国特許第43120
47号は、ビツト線対間、各ビツト線及びそれに対応す
る列選択回路間を分離するために、トランジスタに接続
されたダイオードを使用するメモリ・アレイを開示す
る。この改良により、センス増幅器によりセンスするた
めの高い動作速度とよりよい差動信号が得られる。19
83年IEEE国際固体回路会議刊行物、(1983、
IEEE Internetional Sobid-States Circuits Conf
erence Publication)、1983年2月25日、234
及び235ページの“Session XVI:256K DR
AMs”と題する記事には、オン・チップ・エラー・チ
ツク及び訂正(パリテイ)回路としきい値差分補償増幅
器をもつ256K D RAMの構成が開示されてい
る。
第6図のダイナミツク・メモリ・アレイに関連して開発
された1つの改良としては、共有センス増幅器がある。
この共有センス増幅器の技法は、第7図により説明す
る。第7図を第6図と比較すると、センス増幅器10は
同一のままであるが、余分のビツト線250、251、
255及び256が接続されている点で異なる。
ビツト線250、251、255及び256に沿つて、
ワード線260、280、265及び285によつてそ
れぞれメモリ・セル200、210、220及び230
が制御される。同様に、ダミー・セル205、215、
225及び235はそれぞれ、ダミー線270、29
0、275及び295によつて制御される。
ビツト線のセンス増幅器との接続に関しては、各ビツト
線250、251、255及び256を、多重化スイツ
チ296、298、297及び299によつて共通セン
ス増幅器に接続することができる。第7図に示す構成の
センス動作においては、多重化スイツチ296、29
8、297または299のうちの2つが、1つのビツト
線がメモリ・セル・ビツト線として働き、第2のビツト
線がダミー・セル・ビツト線として動作することができ
るように閉じられる。共通センス増幅器構成をもつダイ
ナミツク・メモリについてのより詳しい説明は、上述の
IEEE刊行物の230及び231ページにある。上述
の刊行物の他に、米国特許第4351034号もまた、
上記の構成を折りかえしビツト線の形式で利用するさら
なる改良を有する共有増幅器構成を開示する。
この折りかえしビツト線の改良は、第7図にも図示され
ている。第7図に示す共有センス増幅器構成において
は、初期には、ビツト線対としては、対向し、あるいは
対角線対に対向するビツト線が使用された。例えば、ビ
ツト線250は、ビツト線251またはビツト線256
のどちらかと接続されることになる。しかし、この対向
ビツト線構成は、回路ノイズのために、望ましくないこ
とが分かつた。すなわち、対応対におけるおのおののビ
ツト線が分離されているので、おのおののビツト線が、
他方のビツト線とは異なる回路ノイズにさらされること
になる。このように、おのおののビツト線上のノイズ・
レベルが異なると、それはビツト線対間の差分電圧とし
て誤つてセンスされ、よつて、センス増幅器の感度が実
質的な影響を受けることがある。米国特許第43510
34号は、このノイズの問題を解決する折りかえしビツ
ト線を開示する。
米国特許第4351034号においては、センス増幅器
と同一の側に近接して配置されたビツト線が、ビツト線
対として選択される。こうして例えば第7図において
は、ビツト線250及び255、またはビツト線251
及び256がビツト線対として選択されることになる。
このとき、選択されたビツト線対は近接配置されている
ので、どちらのビツト線も同一のノイズにさらされ、ゆ
えに各線に同一レベルかつ同一波形のノイズが誘導され
る。センス増幅器はビツト線対間の差の電圧のみをセン
スするので、各ビツト線上にあらわれる共通のノイズ
は、センス増幅器10によつて無視されることになる。
このように、折りかえしビツト線構成は、共通モード・
ノイズの拒絶比において優れている。
上述の従来技術は、絶大なメモリ容量と性能特性を達成
しているけれども、ダイナミツク・メモリにおける改良
はたゆむことなく続けられている。最近大きい関心をも
たれているとしては双対センス増幅器構成を使用したダ
イナミツク・メモリ・アレイがある。双対センス増幅器
に関連する最近の従来技術は、IEEE国際固体回路会
議(IEEE International Solid-States Circuits
Conference)刊行物、1983年2月23日、56、5
7ページ及び285、286ページの“Section D−
I:CMOS Memory”と題する記事に述べられてい
る。
従来技術の双対センス増幅器構成は、P−チヤネル・ラ
ツチ300とNチヤネル・ラツチ305からなる双対セ
ンス増幅器を示す第8図を参照して説明する。題8図に
示されている双対センス増幅器構成は、第6図及び第7
図の単一センス増幅器構成とは対照的に、第1半分のセ
ンス増幅器からある距離だけ隔離された第2半分のセン
ス増幅器を利用する。
それらの半分のセンス増幅器の間にはビツト線340及
び345が配置され、ビツト線340及び345の一端
はP−チヤネル・ラツチ300に接続され、ビツト線3
40及び345の他端はN−チヤネル・ラツチ305に
接続されている。そして、ビツト線340と345に沿
つてメモリ・セル310、315、325及び330が
配置され、これらは、それぞれワード線360、37
0、380、390によつて制御される。メモリ・セル
構成は、第1図に関連して説明したのと同一である。
尚、第8図において、ビツト線340及び345に沿う
メモリ・セルの数は便宜上限定してあることに再度留意
されたい。前述の単一センス増幅器技法とは対照的に、
この場合には、ダミー基準セルを設ける必要性がなくな
つている。このため、第8図では、ビツト線340及び
345に沿つてダミー・セルは存在しない。
センス増幅器のための双対ラツチ構成は任意のMOS技
術で設計することができるけれども、この構成はCMO
S(相補的金属酸化半導体)技術で特に良好に実現され
る。このように、好適な実施例においては、双対センス
増幅器の構成にCMOS技術が使用される。
次に、第8図に示す双対センス増幅器メモリの動作につ
いて説明する。センス動作が開始される前に、2つのビ
ツト線が同一電圧レベルにチヤージされることを保証す
るために、ビツト線340及び345がセンス増幅器対
300、305によつて瞬間的に短絡される。アドレス
されたメモリ・セルの状態をセンスするためには、メモ
リ・セル分離トランジスタをターン・オンさせ、以てメ
モリ・セルの電荷を個別のビツト線上に移送するべく、
適切なワード線が付勢される。そして、第1のビツト線
上に移送されたメモリ・セル電荷に加えて、対向ビツト
線上の電荷もまた双対センス増幅器によつて基準電荷と
して使用される。センス動作においては、P−チヤネル
・ラツチ300とN−チヤネル・ラツチ305の両方が
センス・メモリ値の部分的な増幅器を行う。すなわち、
一方のラツチが正電圧側の線を正電源電圧へと引上げ、
他方のラツチが負電圧側の線を負電源電圧側へ引き下げ
る。この結合した効果は、P−チヤネル・ラツチとN−
チヤネル・ラツチによる全幅増幅であつて、2本のビツ
ト線の間に亘る全幅差動電源電圧レベルを与える。尚、
双対センス増幅器構成の出力回路は本発明にとつて重要
ではないので図示しない。この時点で、第8図の双対セ
ンス増幅器構成と、第6図及び第7図に関連して説明し
たセンス増幅器構成との差異を明らかにしておくことは
有用である。第6図及び第7図のデバイスとは対照的
に、第8図のメモリ・アレイは、N−チヤネル・ラツチ
から隔離されたP−チヤネル・ラツチをもつ双対センス
増幅器構成を利用する。このとき、双対センス増幅器の
各半分は、センス動作を完了するために必要な全増幅率
の一部をそれぞれが担わなくてはならないので、双対セ
ンス増幅器の半分は両方とも、所与のビツト線に沿つて
センスされるメモリ値の必要な増幅を行うためにビツト
線に接続されなくてはならない。このため、第8図のビ
ツト線は、第6図及び第7図に示すように単一センス増
幅器構成の側面に接続されるのではなく、センス増幅器
の半分間に配置されている。
第8図に示す双対センス増幅器メモリ構成はメモリ技術
における重要な発展であつたけれども、以下に述べるよ
うに依然として改良の必要性は残つている。
すなわち、上述のように、ダイナミツク・メモリ中のデ
イジタル・データはダイナミツク・メモリ・セル中に記
憶される。そして、特定のメモリ・セルがアドレスされ
るとき、メモリ・セル・キヤパシタCは、分離トラン
ジスタTを介して対応ビツト線に接続される。その結
果、メモリ・セル・キヤパシタとビツト線の間で電荷の
転送が生じ、そのビツト線上の電圧レベルを変更してし
まう。実際のデバイスにおいては、誘導された電圧変動
の大きさは、対応ビツト線に沿うキヤパシタンスに依存
することが分かつている。このビツト線のキヤパシタン
スは、線自体のキヤパシタンスと、そのビツト線に接続
された他のメモリ・セルによるキパヤシタンスに帰する
ことができる。このキヤパシタンスCは、第8図にお
いて、ビツト線340及び345について、それぞれキ
ヤパシタ301及び303として図示されている。
センス動作における電荷の転送の間に、メモリ・セル・
キヤパシタに記憶されたメモリ電荷は先ず、対応ビツト
線に沿つて何らかの電圧変動をひき起こす前に、任意の
ビツト線キヤパシタンスを満たすために使用される。そ
して、ビツト線キヤパシタンスCが大きければ大きい
ほど、ビツト線キヤパシタンスを満たすために使用され
るメモリ電荷の部分も大きくなる。また、ビツト線キヤ
パシタンスを満たすために使用されるメモリ電荷の量が
大きいほど、その線に沿つて誘導される電圧レベルの変
化が小さくなる。このため、ビツト線キヤパシタンスC
を満たし、且つビツト線に沿つてセンスし増幅するこ
とのできる十分な電圧変化をもたらすためには、メモリ
・セル・キヤパシタC内に十分なメモリ電荷がたくわ
えられなくてはならないのである。
しかし、実際の半導体メモリにおけるメモリ・セル・キ
ヤパシタのサイズは限定されているので、このメモリ・
セル・キヤパシタにたくわえることのできるメモリ電荷
の量も限定されている。そして、この限定されたメモリ
電荷は、ビツト線キヤパシタンスCに打ち克ち且つ十
分な電圧変動をもたらすものでなくてはならないので、
ビツト線キヤパシタンスCは、ある最大キヤパシタン
ス値より大きくなくてはならない。ビツト線キヤパシタ
ンスCは、ビツト線の長さとそれに接続されたメモリ
・セルの数によつて決定されるので、ビツト線の長さと
それに接続されるメモリ・セルの数の組合せは、メモリ
・セル・キヤパシタCに課せられる実際上のサイズの
限界によつて限定されるということが導き出される。
そのような限界は、今のところビツト線により多数のメ
モリ・セルを接続することを許容しているけれども、所
与のビツト線とセンス増幅器に接続し得るメモリ・セル
の数が多いほど、貴重な半導体基板領域を一層有効に利
用できるということになる。言いかえると、もしより多
数のメモリ・セルを所与のビツト線及びセンス増幅器に
接続することができるなら、より高いメモリ・アレイ密
度をもつ半導体メモリ・デバイスがより安価に構成され
うるということである。このように、双対センス増幅器
構成を利用するメモリ・デバイス中で所与のビツト線に
より多数のメモリ・セルを接続することを可能ならしめ
るような技法に対する要望が存在する。
C.発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、所与のビツト線に多数のメモリ・セル
を接続することを可能ならしめる方法及び装置を提供す
ることにある。
D.問題点を解決するための手段 より詳しく述べると、本発明は、ビツト線を2つのビツ
ト線セグメントに分割するためのスイツチを使用する。
もしこのスイツチが閉じられているならビツト線セグメ
ントは接続され、すなわちビツト線全体がビツト線全体
のキヤパシタンスにさらされる。もしスイツチが開かれ
ているなら、ビツト線は第1のビツト線セグメント及び
第2のビツト線セグメントに分割され、各々が1/2ず
つのビツト線キヤパシタンスをもつ。センス動作におい
ては、メモリ電荷がビツト線キヤパシタンスの1/2を
満たしさえすればよいように、メモリ・セル・キヤパシ
タ中のメモリ電荷をビツト線に転送すべき時の直前にス
イツチが開かれ、以てより大きい電圧変化が誘導され
る。この電圧変化はセンス増幅器の第1の半分によつて
センスされ前段階増幅される。増幅の完了を可能ならし
めるためにビツト線スイツチを閉じる際には、センス増
幅器の第2の半分の効果が無視し得るものとなるように
センスされたメモリ値が既に部分的に増幅されている。
このように、本発明は、双対センス増幅器構成に使用す
ることのできる分割されたビツト線分離技法を与える。
より詳しく述べると上述の分割ビツト線分離技法を用い
ると、任意の時点でメモリ・セルの1/2を分離するこ
とができるために、所与のビツト線に2倍の数のメモリ
・セルを接続することができるのである。あるいは、ビ
ツト線キヤパシタンスの1/2のみを満たせばよいの
で、より小さいメモリ・セル・キャパンシタンスを使用
することができ、このことはメモリ・アレイ・デバイス
のメモリ容量及びコスト・パーフオーマンスの増大につ
ながる。
E.実施例 本発明の実施例の説明においては、第1図は、第8図に
類似する簡単な回路図である。特に、センス増幅器の第
1の半分400は、センス増幅器の第2の半分から隔離
配置されている。その第1の半分400はP−チヤネル
・ラツチとして示され、第2の半分405はN−チヤネ
ル・ラツチとして示されている。
上述の従来技術と同様に、各センス動作の間に2本のビ
ツト線を使用しなくてはならない。また、説明を簡易化
するために、P−チヤネル・ラツチ400とN−チヤネ
ル・ラツチ405の間に配置されたビツト線を上方及び
下方ビット線を呼ぶことにする。さらに、以下の説明
が、本発明がビツト線のセグメントへの分割を行うこと
を示すにつれて、これらのセグメントは、上方、下方、
左方及び右方ビツト線セグメントと呼ぶことにする。
第1図に示す回路は、本発明の分割ビツト線分離を与え
るために、スイツチ406及び407が組み込まれてい
るという点で従来技術とは異なる。より詳しく述べる
と、スイツチ406は、上方ビツト線を上左方ビツト線
セグメント440と上右方ビツト線セグメント450に
分割するために組み込まれている。同様に、スイツチ4
07は、下方ビツト線を、下左方ビツト線セグメント4
45と下右方ビツト線セグメント455に分割するため
に組み込まれている。
スイツチ406が開かれている時は、上左方ビツト線セ
グメント440に接続されたビツト線の長さとメモリ・
セルが、上右方ビツト線セグメント450に接続された
ビツト線の長さのメモリ・セルから分離されうる。
好適な実施例においては、スイツチ406はビツト線の
中央に組みこまれ、したがつて、ビツト線の各半分が互
いに分離されうる。スイツチ406が開かれている時
は、上左方ビツト線セグメントに関連するキヤパシタン
スは、上方ビツト線全体に関連するビツト線キヤパシタ
ンスの約半分である。なお上記説明は、上左方ビツト線
セグメントに就いてのみ述べているが、それと同様の事
は、上右方、上左方、下右方ビツト線セグメント45
0、445及び455の夫々についても同様に当てはま
る。
さて、本発明の分割ビツト線技法の動作について説明す
る。今、メモリ・セル410に記憶されているメモリ値
にアクセスすることが要望されていると仮定する。する
と、センス動作が開始される前に、上下のビツト線が瞬
間的にセンス増幅器対400、405によつて短絡さ
れ、両ビツト線が同一の電圧レベルにあることが保障さ
れる。この短絡動作の後、上左方ビツト線セグメント4
40上右方ビツト線450から分離するためにスイツチ
406が開かれる。次にメモリ・セル410に接続され
たワード線460が付勢されて、これにより分離トラン
ジスタTがターン・オンされる。分離トランジスタT
が一たんターン・オンされると、メモリ・セル・キヤ
パシタC中のメモリ電荷が上左方ビツト線セグメント
440に移行することが可能ならしめられる。
上述のように、メモリ電荷がビツト線の方へ移送された
とき、メモリ電荷の一部は、その線に関連するキヤパシ
タンスを満たすために使用される。このとき、スイツチ
406は予め開かれているので、上左方ビツト線440
に関連するキヤパシタンスは上右方ビツト線セグメント
450に関連する線キヤパシタンスからは有効に分離さ
れる。このため、上左方ビツト線セグメント440に関
連するセグメント440は、第1図のキヤパシタ401
で示すように、通常の上方ビツト線キヤパシタンスの半
分である。このように、本発明においてメモリ電荷が分
割ビツト線に転送されたとき、そのビツト線セグメント
に関連するキヤパシタンスを満たすためにきわめてわず
かのメモリ電荷しか必要とせず、よつてビツト線セグメ
ントに沿う電圧を変更するためにより多くの電荷が利用
可能となる。
メモリ電荷は、上左方ビツト線セグメント440に転送
されるので、P−チヤネル・ラツチ400が、上左方ビ
ツト線セグメント440に沿うメモリ値をセンスしてそ
れを部分的に増幅する。このとき、メモリ電荷の転送が
電圧の変化をもたらすためにより有効に利用されるの
で、P−チヤネル・ラツチが適切な状態にラツチされ、
このラツチ動作がより迅速に行なわれることがより確か
に保証される。上左方ビツト線セグメント440に沿う
メモリ電荷値がP−チヤネル・ラツチによつて一たん部
分的に増幅されると、その線に沿うメモリ電荷は、ビツ
ト線キヤパシタンスのあと半分は最早考慮されない程度
に十分な電圧レベルとなる。こうして、メモリ電荷値が
一たんブーストされると、上左方ビツト線セグメント4
40を上右方ビツト線セグメント450と効果的に再結
合するためにスイツチ406が閉じられる。一たん再接
続されると、上左方ビツト線セグメント440に沿うメ
モリ電荷値が上右方ビツト線セグメント450に移行す
ることが可能ならしめられる。こうしてメモリ電荷値が
N−チヤネル・ラツチ構成405に加えられ、N−チヤ
ネル・ラツチ構成405の動作は、下方ビツト線(44
5及び455)に沿つて、上方ビツト線に沿つてP−チ
ヤネル・ラツチ400によつてもたらされた電圧変化と
相補的な電圧変化をもたらすようなものである。
このように、本発明は、増幅処理を、前段増幅段階と、
それに続く相補増幅段階に分割する。この結果を達成す
るために、先ず、双対センス増幅器メモリ・アレイを2
つの部分に分割するべくビツト線スイツチが使用され
る。次に、メモリ電荷値がアクセスされ、第1の半分の
メモリ・アレイ部中の第1のビツト線に沿つて前段増幅
される。次にビツト線スイツチが閉じられてこれにより
メモリ・アレイ半部分が再結合され、第2のメモリ・ア
レイ半部分が第2のビツト線に沿う相補的な増幅を行う
ことを可能をならしめられる。
尚、P−チヤネル・ラツチ400は下方ビツト線に沿う
増幅動作専用ではなく、N−チヤネル・ラツチ405も
上方ビツト線に沿う増幅動作専用ではないということに
注意されたい。例えば、上記の例でメモリ・セル410
に論理1が記憶されているものとすると、P−チヤネル
・ラツチは上方ビツト線に沿う前段増幅を行い、N−チ
ヤネル・ラツチは下方ビツト線に沿う相補的な増幅を行
うことになる。そうではなくて、もし論理0電荷がメモ
リ・セル410に記憶されているなら、P−チヤネル・
ラツチ400は、下方ビツト線に沿い増幅を行い、N−
チヤネル・ラツチ405は上方ビツト線に沿い増幅を行
うことになる。
さらにまた、上方または下方のビツト線に沿い増幅を行
い得るのみならず、P−チヤネル及びN−チヤネル・ラ
ツチは増幅段に関して交換可能であることに注意された
い。上述の例において、アクセスされたメモリが左半分
のメモリ・アレイにあつたがゆえにP−チヤネル・ラツ
チが前段増幅を行い、次にN−チヤネル・ラツチが相補
増幅を行つたのであつた。しかし、もしアクセスされた
メモリ・セルがメモリ・セル・アレイの右半分にあつた
ならラツチの増幅動作は交換され、N−チヤネル・ラツ
チが前段増幅を行い、P−チヤネル・ラツチが相補増幅
動作を行うことになる。
このように、P−チヤネル・ラツチとN−チヤネル・ラ
ツチの動作はアドレスされたメモリ・セルが左半分のビ
ツト線セグメントにあるかまたは右半分のビツト線セグ
メントにあるかによつて影響されない。第1図及び第8
図に示すような双対センス増幅器構成の使用の際の唯一
の制約は、上下ビツト線に亘つて、全幅供給電圧レベル
に等しい電圧差をもたらすために、メモリ電荷値がP−
チヤネル・ラツチとN−チヤネル・ラツチの両方による
増幅を受けなくてはならない、ということである。
上述のことは、下左方ビツト線セグメント445及び下
右方ビツト線セグメント455に接続されたメモリ・セ
ルにアクセスするためのセンス動作についても同様にあ
てはまる。
本発明の分割ビツト線技法の利用の結果として、センス
増幅器対の間に接続された所与のビツト線により多くの
メモリ・セルを接続することができる。より詳しく述べ
ると、ビツト線の中央にビツト線スイツチを接続してな
る好適な実施例においては、所与のビツト線及びセンス
増幅器に従来の約2倍の数のメモリ・セルを接続するこ
とが可能である。
第2図においては、P−チヤネル・ラツチ400とN−
チヤネル・ラツチ405の回路がより詳細に図示されて
いる。
P−チヤネル・ラツチ400において、トランジスタT
1、T2、T3及びT4は、好適な実施例では、P−チヤネ
ルCMOS構成である。P−チヤネル・ラツチ400に
おいて、トランジスタTは、上左方ビツト線セグメン
ト440と下左方ビツト線セグメント445に亘つて接
続されている。トランジスタT3のゲートは、トランジ
スタT3が線PREPに沿つて入来する信号によりター
ン・オンされるときに、上左方ビツト線セグメント44
0と下左方ビツト線セグメント445に短絡されるよう
に外部端子PREPに接続されている。この動作は、上
左方ビツト線セグメント440と下左方ビツト線セグメ
ント445が同一電圧レベルにあることを保証するため
に、センス動作の前に使用される。また、やはり上左方
ビツト線セグメント440と下左方ビツト線セグメント
445の間にはトランジスタT1及びT2が交差結合配置
に接続されている。T1及びT2の残りの端子は、ノード
505に接続され、ノード505にはまたトランジスタ
4の第1の端子が接続されている。トランジスタT4
ゲート端子は、外部端子PSETに接続されている。ト
ランジスタT4の残りの端子は、正電源に接続され、こ
れにより、トランジスタT4が線PSETに沿つて入来
する信号によりオンにゲートされるとき、トランジスタ
1及びT2がオンにバイアスされ、以てトランジスタT
1及びT2が、上左方または下左方ビツト線セグメント4
40または445に沿つてセンスされたメモリ電荷値に
応答しそれを増幅することができる。
N−チヤネル・ラツチ405も同様の構成を有する。す
なわち、トランジスタT7と、交差結合ラツチ配置T5
びT6がそれぞれ上右方及び下右方ビツト線セグメント
450及び455に接続されている。トランジスタT5
及びT6の残りの端子はノード510に接続されてい
る。ノード510にはまた、トランジスたT8の第1の
端子が接続されている。トランジスタT8のゲート端子
は外部端子NSETに接続され、トランジスタT8の残
りの端子は、負の電源に接続されている。N−チヤネル
・ラツチ405の動作はP−チヤネル・ラツチ400と
同様である。
次に第3図を参照すると、第2図の回路が図示されてお
り、そこでは、ビツト線スイツチが、マルチプレクサ
A 550及びマルチプレクサ B 560として実施
されている。マルチプレクサ A 550は、上方ビツ
ト線に接続され、マルチプレクサ B 560は、下方
ビツト線に接続されている。マルチプレクサ550の好
適な構成においては、トランジスタT10はP型CMOS
構成であり、対向接続されたトランジスタT11はN型C
MOS構成である。マルチプレクサ560の好適な構成
においては、トランジスタT12はN−チヤネルCMOS
構成であり、トランジスタT13はP−チヤネルCMOS
構成である。マルチプレクサ550のトランジスタT10
のゲート端子と、マルチプレクサ560のトランジスタ
13のゲート端子は、外部端子MUXPに接続されてい
る。マルチプレクサ550のトランジスタT11のゲート
端子と、マルチプレクサ560のトランジスタT11のゲ
ート端子と、マルチプレクサ560のトランジスタT12
のゲート端子は、外部端子MUXNに接続されている。
第3図の好適な実施例の動作を第4Aないし第4K図の
タイミング・チヤートを参照して説明する。
第4G図及び第4H図に示されているように、時間T=
0で、端子PSET及びNSETに加えられる波形は、
トランジスタT4及びT8をターン・オフさせるようなも
のである。すると、トランジスタT4及びT8は最早電流
源としては動作しないので、トランジスタT1及びT2
有する交差結合ラツチと、トランジスタT5及びT6を有
する交差結合ラツチが、有効にターン・オフされる。こ
うして、センス増幅器対400及び405が、上下のビ
ツト線に沿ういかなる電荷値をもセンスあるいは増幅す
ることが有効に防止される。時間T=0からT=2まで
は、MUXN及びMUXP端子に印加される波形は、第
4I図及び第4J図に示すように、トランジスタT10
11、T12及びT13を導通させるようなものである。ト
ランジスタT10及びT11が導通すると、上方ビツト線全
体が導通するように上方ビツト線セグメント440及び
450が有効に接続される。同様にトランジスタT12
びT13が導通すると、下方ビツト線セグメント445及
び455が有効に接続されて下方ビツト線を形成する。
時間T=1とT=2の間で、第4E図と第4F図に示す
ような波形がPREPとPREN端子に加えられる。こ
れは、上方ビツト線を下方ビツト線に有効に短絡させる
働きを行う。これにより、2つのビツト線は互いに電荷
を転送し、第4A図及び第4D図の時間T=1及びT=
2間で示すように、上下のビツト線は同一電圧レベルに
移行する。このことは、センス動作が行なわれる前に、
ビツト線セグメントが同一電圧レベルにあることを保証
する。
時間T=3では、端子、MUXN及びMUXPに加えら
れる波形は、ビツト線スイツチ(マルチプレクサ550
及びマルチプレクサ560)が有効に開かれるようにす
るものであつて、これにより、上左方ビツト線セグメン
トと下左方ビツト線セグメントが、それぞれ上右方ビツ
ト線セグメントと、下右方ビツト線セグメントから分離
される。こうして各ビツト線セグメントは今や、1/2
のビツト線長と1/2のビツト線メモリ・セルしか含ま
ず、そして1/2のビツト線キヤパシタンスしか呈さな
いのである。
この好適な実施例の説明において、メモリ・セル410
の内容がセンスされることになつていると仮定する。こ
のため、第4K図では、メモリ・セル410の分離トラ
ンジスタTがターン・オンされるようにワード線46
0に波形が加えられる。また、時間T=4では、第4G
図に示すように、PSET端子(第3図参照)に加えら
れる波形は、トランジスタT4がオンにゲートされるよ
うなものである。トランジスタT4がターン・オンされ
ていると、トランジスタT1及びT2を含む交差結合ラツ
チが有効にアクティベートされ、上左方ビツト線セグメ
ント440または下左方ビツト線セグメント445に沿
つてセンスされた何らかのメモリ電荷値を増幅する。
第4K図に示すように、メモリ・セル410の分離トラ
ンジスタTがオンにゲートされているときは、メモリ
・セル・キヤパシタCと上左方ビット線セグメント4
40の間で電荷の転送が行なわれる。その電荷の転送が
行なわれると、トランジスタT1及びT2を含む交差結合
ラツチが、メモリ電荷値をセンスして増幅する。
第3図の好適な実施例の動作の説明において、メモリ・
セル410のメモリ・セル・キヤパシタCには高論理
値が記憶されていると仮定されていた。このため、この
例では、前段増幅段階は、上左方ビツト線セグメント4
40に対する高論理メモリ値の転送と、上左方ビツト線
セグメント440に沿うブーストを伴つて行なわれる。
第4A図は、上左方ビツト線セグメントに沿う電圧が、
時間T=4とT=5の間に高電圧値まで移行することを
示す。尚、時間T=4とT=5の間では、第4B図ない
し第4D図に示すように上右方、下左方、下右方ビツト
線セグメントは依然として中間電圧レベルにあることに
注意されたい。
時間T=6で、端子MUXN及びMUXPに加えられる
波形は(第4I図及び第4J図にそれぞれ示すよう
に)、左右のビツト線セグメントを再結合させるために
上方ビツト線スイツチ550と下方ビツト線スイツチ5
60が閉じられるようなものである。このとき、上左方
ビツト線セグメント440は上右方ビツト線セグメント
450に再結合されているので、上右方ビツト線セグメ
ントは、第4C図の時間T=6で示すように、高論理電
圧値に移行する。尚、再結合された下左方及び下右方ビ
ツト線セグメントは、第4B図及び第4D図の時間T=
6から見てとれるように、依然として中間電圧レベルの
とどまつていることに注意されたい。
時間T=9では、端子NSETに加えられる波形(第4
H図参照)は、トランジスタT8をターン・オンさせ、
以つてトランジスタT5及びT6を含む交差結合ラツチが
上右方ビツト線及び下右方ビツト線に沿つてセンスされ
たメモリ電荷値をブーストすべく有効にアクテイベート
されるようにするものである。トランジスタT6の交差
結合のゲートに、上方ビツト線に沿いあらわれる高電圧
値が供給されている場合、トランジスタT6がターン・
オンされて下方ビツト線は相補低論理電圧値に引き下げ
る。このことは、下方ビツト線セグメントに沿う電圧波
形が、第4B図及び第4D図において時間T=9及びT
=10の間に示すように低レベルに引き下げられてい
る、ということにより示される。
このように、第3図の好適な実施例で使用される双対セ
ンス増幅器構成が2段階増幅動作を行うことが見てとれ
よう。より詳しく述べると、前段増幅においては、トラ
ンジスタT1及びT2を含む交差結合ラツチが、上左方ビ
ツト線セグメントに沿うメモリ電荷値をセンスし、上方
ビツト線に沿つてブーストされた高電圧レベルを与えた
のである。相補増幅段においては、トランジスタT5
びT6を含む交差結合ラツチが、相補低論理電圧値に、
下方ビツト線のブーストを行なつた。
上方マルチプレクサ・スイツチ550と、下方マルチプ
レクサ・スイツチ560の好適な実施例の使用の際に
は、第3図に示すメモリ・アレイのメモリ・セル・キヤ
パシタCを小さくすることができる。というのは、メ
モリ・セルの電荷は、ビツト線キヤパシタンスの1/2
のみを満たせばよいからである。あるいは、そのこと
は、よりたくさんのメモリ・セルを所与のビツト線に接
続できるということである。このように、第3図の好適
な実施例においては、双対センス増幅器構成の間に配置
された所与のビツト線に沿つてより多数のメモリ・セル
を接続するということが可能ならしめられる。
第5図を参照すると、従来技術に関連して前に説明した
共通センス増幅器/折りかえしビツト線技法をさらに利
用した好適な実施例が示されている。第5図には、P−
チヤネル・ラツチ800と、N−チヤネル・ラツチ80
5から構成される双対センス増幅器が示されている。こ
の双対センス増幅器構成には、上方ビツト線セグメント
820、825、830及び835と、下方ビツト線セ
グメント840、845、850及び855が接続され
ている。これらの8本のビツト線セグメントの各々は、
上方または下方ビツト線の1/4をあらわす。
ビツト線セグメント820、840、825及び845
は、マルチプレクサ・スイツチMS1、MS2、MS3
びMS4によつてそれぞれP−チヤネル・ラツチ800
に接続可能であるように図示されている。このマルチプ
レクサ配置は、共通双対センス増幅器の1/2をあらわ
す破線860内に示されている。ビツト線セグメント8
30、850、835及び855は、マルチプレクサ・
スイツチMS5、MS6、MS7及びMS8によつてそれぞ
れN−チヤネル・ラツチ805に接続可能であるように
図示されている。このマルチプレクサ配置は、共通双対
センス増幅器の残りの1/2をあらわす破線865内に
示されている。
上方及び下方のビツト線セグメント825及び845
は、それぞれ、上方及び下方のビツト線スイツチ810
及び815により上方及び下方のビツト線セグメント8
30及び850に接続可能であり、スイツチ810及び
815は、本発明の分割ビツト線分離を与える。
尚、もしマルチプレクサ・スイツチMS3、MS4、MS
5及びMS6が閉じられているなら、P−チヤネル・ラツ
チ800と、N−チヤネル・ラツチ805と、ビツト数
セグメント825、830、845及び850と、上方
及び下方ビツト線スイツチ810及び815からなる組
合せが、第1図に関連して前に説明した回路をあらわす
ことになる。
第5図においては、ビツト線セグメント820、840
と、ビツト線セグメント835、855によつてそれぞ
れ、P−チヤネル・ラツチ800とN−チヤネル・ラツ
チ805がさらに共有されていることが見てとれる。こ
うして、本発明により、共有されたセンス増幅器技法が
達成されている。
第5図において折りかえしビツト線技法が、次のような
ビツト線セグメント対、すなわち820と840、82
5と845、830と850、835と850を決定す
ることによつて達成される。
さて、第5図の共通センス増幅器/折りかえしビツト線
構成の動作を示す例として、ビツト線セグメント対82
0及び840によるセンス動作について説明する。
センス動作が開始される前に、上方ビツト線セグメント
と下方ビツト線セグメントを接続するためにマルチプレ
クサMS1〜MS8が閉じられる。それらが一たん閉じら
れると、上方ビツト線は下方ビツト線に対して短絡され
て、すべてのビツト線セグメントが同一電圧レベルにあ
ることが保証される。上方ビツト線セグメント820に
沿うメモリ値をセンスするために、ビツト線セグメント
対820、840とP−チヤネル・ラツチ800を回路
の他の部分から分離するべくマルチプレクサ・スイッチ
MS3及びMS4が開かれる。上方ビツト線セグメント8
20に沿う適当なメモリ・セル(図示しない)は、一た
ん分離されると、メモリ電荷を線に転送するためにアド
レスされる。このとき、第5図の実施例においては、メ
モリ電荷は、全ビツト線キヤパシタンスの1/4を満た
しさえすればよいということに留意されたい。P−チヤ
ネル・ラツチ800はメモリ電荷をセンスし、必要な前
段増幅を行う。メモリ電荷は、一たんセンスされると前
段増幅され、残余のビット線キヤパシタンスは最早関与
しなくなる。こうして、電荷をN−チヤネル・ラツチに
転送し供給するためにマルチプレクサ・スイツチM
3、MS4と、上方及び下方ヒツト線スイツチ810、
815が閉じられる。増幅されたメモリ電荷がN−チヤ
ネル・ラツチ805に供給されると、相補増幅という第
2段階が行なわれる。こうして、センスされたメモリ電
荷値が、上下のビツト線に亘つて電源全幅差動電圧まで
増幅される。第5図の構成により、所与のビツト線に沿
つて従来より約4倍の数のメモリ・セルを接続すること
ができる。
F.発明の効果 以上のように、本発明によれば、分割ビツト線セグメン
ト構成を実現したことにより、各セル・キヤパシタが打
ち克たねばならないビツト線キヤパシタンスが減少し、
以てセルを小型化して集積度を向上できるとともに、所
与のビツト線により多数のメモリ・セルを接続すること
ができるという顕著な効果が与えられる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る分割ビツト線セグメント構成を
採用したダイナミツク・メモリの概要回路ブロツク図、 第2図は、第1図の構成をより詳細に示す実施例の回路
図、 第3図は、第2図の構成をより詳細に示す実施例の回路
図、 第4A図ないし第4K図は、第3図の回路のさまざまな
部分の信号波形のタイミング図、 第5図は、本発明のさらに他の実施例の回路ブロツク
図、 第6図ないし第8図は、従来技術を示す図である。 400、405……センス増幅器ラツチ、440、44
5、450、455……ビツト線セグメント、406、
407……スイツチ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ワード線によって制御されるMOSトラン
    ジスタとキヤパシタとよりなる複数のメモリ・セルを夫
    々有する1対のビツト線と、 上記1対のビツト線に第1の位置において接続されたP
    −チヤネル・ラツチと、 上記1対のビツト線に、上記第1の位置とは離隔した第
    2の位置において接続されたN−チャネル・ラツチと、 上記第1及び第2の位置の間のほぼ中間位置において各
    上記ビツト線に挿入され、開状態で各上記ビツト線を2
    つのセグメントに分離し、閉状態で各上記ビツト線の2
    つのセグメントを相互接続するスイツチ手段とを有し、 上記スイツチ手段は、センス増幅動作の前に開にされ、
    上記P−チヤネル・ラツチ及びN−チャネル・ラツチの
    うち、読取られるべきメモリ・セルが接続されたビツト
    線セグメントに接続された一方のラツチが、上記スイツ
    チ手段が開状態にある間に前段増幅を行ない、この前段
    増幅の後に上記スイツチ手段が閉にされ、上記スイツチ
    手段が閉状態にある間に他方のラツチが相補増幅動作を
    行なうことを特徴とするメモリ・アレイ・デバイス。
JP63090483A 1987-05-18 1988-04-14 メモリ・アレイ・デバイス Expired - Lifetime JPH0634352B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/050,361 US4807195A (en) 1987-05-18 1987-05-18 Apparatus and method for providing a dual sense amplifier with divided bit line isolation
US50361 1987-05-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63293790A JPS63293790A (ja) 1988-11-30
JPH0634352B2 true JPH0634352B2 (ja) 1994-05-02

Family

ID=21964819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63090483A Expired - Lifetime JPH0634352B2 (ja) 1987-05-18 1988-04-14 メモリ・アレイ・デバイス

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4807195A (ja)
EP (1) EP0291706B1 (ja)
JP (1) JPH0634352B2 (ja)
DE (1) DE3882278T2 (ja)

Families Citing this family (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0230960B1 (en) * 1986-01-20 1992-05-13 Nec Corporation Microcomputer having a highspeed operation mode and a low-speed operation mode
JPH0632232B2 (ja) * 1987-07-01 1994-04-27 日本電気株式会社 行デコ−ダ
EP0479170B1 (en) * 1990-09-29 1996-08-21 Nec Corporation Semiconductor memory device having low-noise sense structure
US5715189A (en) * 1993-04-13 1998-02-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor memory device having hierarchical bit line arrangement
US5502683A (en) * 1993-04-20 1996-03-26 International Business Machines Corporation Dual ported memory with word line access control
JPH0757464A (ja) * 1993-08-10 1995-03-03 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体記憶回路
JPH07111083A (ja) * 1993-08-20 1995-04-25 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
JP3672946B2 (ja) * 1993-11-30 2005-07-20 株式会社ルネサステクノロジ 半導体記憶装置
JP2783271B2 (ja) * 1995-01-30 1998-08-06 日本電気株式会社 半導体記憶装置
US5745422A (en) * 1996-11-12 1998-04-28 International Business Machines Corporation Cross-coupled bitline segments for generalized data propagation
US5880988A (en) * 1997-07-11 1999-03-09 International Business Machines Corporation Reference potential for sensing data in electronic storage element
US5875141A (en) * 1997-08-14 1999-02-23 Micron Technology, Inc. Circuit and method for a memory device with P-channel isolation gates
US5862089A (en) * 1997-08-14 1999-01-19 Micron Technology, Inc. Method and memory device for dynamic cell plate sensing with ac equilibrate
KR100261217B1 (ko) * 1997-11-21 2000-07-01 윤종용 반도체 메모리장치의 셀 어레이 제어장치
KR100335267B1 (ko) 1998-06-29 2002-09-25 주식회사 하이닉스반도체 센싱전류의소모를줄이는반도체메모리장치
DE10015278B4 (de) 2000-03-28 2004-09-23 Infineon Technologies Ag Halbleiterspeicher mit einem Speicherzellenfeld
US7184290B1 (en) * 2000-06-28 2007-02-27 Marvell International Ltd. Logic process DRAM
DE10301856B4 (de) * 2003-01-17 2005-04-21 Infineon Technologies Ag Integrierter Speicher mit Trennschaltungen an Bitleitungs-Verkreuzungsstellen
US7133321B2 (en) * 2003-10-09 2006-11-07 Micron Technology, Inc. Sense amplifier circuit
US7606066B2 (en) 2005-09-07 2009-10-20 Innovative Silicon Isi Sa Memory cell and memory cell array having an electrically floating body transistor, and methods of operating same
US7492632B2 (en) * 2006-04-07 2009-02-17 Innovative Silicon Isi Sa Memory array having a programmable word length, and method of operating same
US7933142B2 (en) * 2006-05-02 2011-04-26 Micron Technology, Inc. Semiconductor memory cell and array using punch-through to program and read same
US8069377B2 (en) * 2006-06-26 2011-11-29 Micron Technology, Inc. Integrated circuit having memory array including ECC and column redundancy and method of operating the same
US7542340B2 (en) 2006-07-11 2009-06-02 Innovative Silicon Isi Sa Integrated circuit including memory array having a segmented bit line architecture and method of controlling and/or operating same
KR101277402B1 (ko) 2007-01-26 2013-06-20 마이크론 테크놀로지, 인코포레이티드 게이트형 바디 영역으로부터 격리되는 소스/드레인 영역을 포함하는 플로팅-바디 dram 트랜지스터
US8518774B2 (en) * 2007-03-29 2013-08-27 Micron Technology, Inc. Manufacturing process for zero-capacitor random access memory circuits
US8064274B2 (en) 2007-05-30 2011-11-22 Micron Technology, Inc. Integrated circuit having voltage generation circuitry for memory cell array, and method of operating and/or controlling same
US8085594B2 (en) 2007-06-01 2011-12-27 Micron Technology, Inc. Reading technique for memory cell with electrically floating body transistor
US8194487B2 (en) 2007-09-17 2012-06-05 Micron Technology, Inc. Refreshing data of memory cells with electrically floating body transistors
US8536628B2 (en) 2007-11-29 2013-09-17 Micron Technology, Inc. Integrated circuit having memory cell array including barriers, and method of manufacturing same
US8349662B2 (en) * 2007-12-11 2013-01-08 Micron Technology, Inc. Integrated circuit having memory cell array, and method of manufacturing same
US8773933B2 (en) 2012-03-16 2014-07-08 Micron Technology, Inc. Techniques for accessing memory cells
US8014195B2 (en) 2008-02-06 2011-09-06 Micron Technology, Inc. Single transistor memory cell
US8189376B2 (en) * 2008-02-08 2012-05-29 Micron Technology, Inc. Integrated circuit having memory cells including gate material having high work function, and method of manufacturing same
US7957206B2 (en) * 2008-04-04 2011-06-07 Micron Technology, Inc. Read circuitry for an integrated circuit having memory cells and/or a memory cell array, and method of operating same
US7947543B2 (en) * 2008-09-25 2011-05-24 Micron Technology, Inc. Recessed gate silicon-on-insulator floating body device with self-aligned lateral isolation
US7933140B2 (en) 2008-10-02 2011-04-26 Micron Technology, Inc. Techniques for reducing a voltage swing
US8050072B2 (en) 2008-10-08 2011-11-01 Seagate Technology Llc Dual stage sensing for non-volatile memory
US7924630B2 (en) * 2008-10-15 2011-04-12 Micron Technology, Inc. Techniques for simultaneously driving a plurality of source lines
US8223574B2 (en) * 2008-11-05 2012-07-17 Micron Technology, Inc. Techniques for block refreshing a semiconductor memory device
US8213226B2 (en) 2008-12-05 2012-07-03 Micron Technology, Inc. Vertical transistor memory cell and array
US8319294B2 (en) * 2009-02-18 2012-11-27 Micron Technology, Inc. Techniques for providing a source line plane
WO2010102106A2 (en) 2009-03-04 2010-09-10 Innovative Silicon Isi Sa Techniques for forming a contact to a buried diffusion layer in a semiconductor memory device
KR20120006516A (ko) 2009-03-31 2012-01-18 마이크론 테크놀로지, 인크. 반도체 메모리 디바이스를 제공하기 위한 기술들
US8139418B2 (en) 2009-04-27 2012-03-20 Micron Technology, Inc. Techniques for controlling a direct injection semiconductor memory device
US8508994B2 (en) 2009-04-30 2013-08-13 Micron Technology, Inc. Semiconductor device with floating gate and electrically floating body
US8498157B2 (en) 2009-05-22 2013-07-30 Micron Technology, Inc. Techniques for providing a direct injection semiconductor memory device
US8537610B2 (en) 2009-07-10 2013-09-17 Micron Technology, Inc. Techniques for providing a semiconductor memory device
US9076543B2 (en) * 2009-07-27 2015-07-07 Micron Technology, Inc. Techniques for providing a direct injection semiconductor memory device
US8199595B2 (en) * 2009-09-04 2012-06-12 Micron Technology, Inc. Techniques for sensing a semiconductor memory device
US8174881B2 (en) 2009-11-24 2012-05-08 Micron Technology, Inc. Techniques for reducing disturbance in a semiconductor device
US8310893B2 (en) * 2009-12-16 2012-11-13 Micron Technology, Inc. Techniques for reducing impact of array disturbs in a semiconductor memory device
US8416636B2 (en) * 2010-02-12 2013-04-09 Micron Technology, Inc. Techniques for controlling a semiconductor memory device
US8411513B2 (en) * 2010-03-04 2013-04-02 Micron Technology, Inc. Techniques for providing a semiconductor memory device having hierarchical bit lines
US8576631B2 (en) * 2010-03-04 2013-11-05 Micron Technology, Inc. Techniques for sensing a semiconductor memory device
US8369177B2 (en) * 2010-03-05 2013-02-05 Micron Technology, Inc. Techniques for reading from and/or writing to a semiconductor memory device
WO2011115893A2 (en) 2010-03-15 2011-09-22 Micron Technology, Inc. Techniques for providing a semiconductor memory device
US8411524B2 (en) 2010-05-06 2013-04-02 Micron Technology, Inc. Techniques for refreshing a semiconductor memory device
US8531878B2 (en) 2011-05-17 2013-09-10 Micron Technology, Inc. Techniques for providing a semiconductor memory device
US9559216B2 (en) 2011-06-06 2017-01-31 Micron Technology, Inc. Semiconductor memory device and method for biasing same
US8958256B2 (en) * 2012-04-10 2015-02-17 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for improved memory operation times
KR20210147132A (ko) 2020-05-27 2021-12-07 삼성전자주식회사 메모리 장치 및 메모리 장치를 포함하는 메모리 모듈

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2634089C3 (de) * 1975-08-11 1988-09-08 Nippon Telegraph And Telephone Corp., Tokio/Tokyo Schaltungsanordnung zum Erfassen schwacher Signale
JPS5931155B2 (ja) * 1979-10-11 1984-07-31 インターナシヨナルビジネス マシーンズ コーポレーシヨン 感知増幅回路
JPS5942399B2 (ja) * 1979-12-21 1984-10-15 株式会社日立製作所 メモリ装置
JPS595989B2 (ja) * 1980-02-16 1984-02-08 富士通株式会社 スタティック型ランダムアクセスメモリ
US4287576A (en) * 1980-03-26 1981-09-01 International Business Machines Corporation Sense amplifying system for memories with small cells
US4312047A (en) * 1980-05-29 1982-01-19 Motorola, Inc. Memory array having improved isolation between sense lines
US4351034A (en) * 1980-10-10 1982-09-21 Inmos Corporation Folded bit line-shared sense amplifiers
DE3101802A1 (de) * 1981-01-21 1982-08-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Monolithisch integrierter halbleiterspeicher
JPS57186289A (en) * 1981-05-13 1982-11-16 Hitachi Ltd Semiconductor memory
JPS6098597A (ja) * 1983-11-01 1985-06-01 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置
JPS60234297A (ja) * 1984-05-07 1985-11-20 Hitachi Ltd ダイナミツク型ram
EP0180054A3 (en) * 1984-10-31 1988-05-11 Texas Instruments Incorporated Dual ended adaptive folded bitline scheme
US4730280A (en) * 1984-11-20 1988-03-08 Fujitsu Limited Semiconductor memory device having sense amplifiers with different driving abilities
JPS61142591A (ja) * 1984-12-13 1986-06-30 Toshiba Corp 半導体記憶装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63293790A (ja) 1988-11-30
US4807195A (en) 1989-02-21
EP0291706B1 (en) 1993-07-14
EP0291706A3 (en) 1991-01-16
EP0291706A2 (en) 1988-11-23
DE3882278T2 (de) 1994-02-17
DE3882278D1 (de) 1993-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0634352B2 (ja) メモリ・アレイ・デバイス
US4716320A (en) CMOS sense amplifier with isolated sensing nodes
US5315555A (en) Sense amplifier for performing a high-speed sensing operation
US5293563A (en) Multi-level memory cell with increased read-out margin
KR900006191B1 (ko) 반도체 기억장치
US4069475A (en) MOS Dynamic random access memory having an improved sense and restore circuit
US4533843A (en) High performance dynamic sense amplifier with voltage boost for row address lines
US4375600A (en) Sense amplifier for integrated memory array
JPH0518198B2 (ja)
US4748349A (en) High performance dynamic sense amplifier with voltage boost for row address lines
US4543500A (en) High performance dynamic sense amplifier voltage boost for row address lines
US4653029A (en) MOS amplifier and semiconductor memory using the same
KR950006334B1 (ko) 반도체 기억장치
WO1999030325A1 (fr) Memoire a semiconducteurs, dispositif a semiconducteurs et appareil electronique utilisant ledit dispositif a semiconducteurs
US4069474A (en) MOS Dynamic random access memory having an improved sensing circuit
US5528545A (en) Semiconductor memory device
JPH0462437B2 (ja)
US5329479A (en) Dynamic semiconductor memories
US4370575A (en) High performance dynamic sense amplifier with active loads
JP2666184B2 (ja) 集積可能な評価回路
JPH07169261A (ja) 半導体記憶装置
JPH03296989A (ja) ダイナミック型センスアンプ
JPS5925311B2 (ja) 感知増幅器
JPH0697393A (ja) 2ポートramセル
JPS5935114B2 (ja) 増巾回路