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EP2918843A1 - Vakuumpumpen-dämpfer - Google Patents

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Publication number
EP2918843A1
EP2918843A1 EP15157292.2A EP15157292A EP2918843A1 EP 2918843 A1 EP2918843 A1 EP 2918843A1 EP 15157292 A EP15157292 A EP 15157292A EP 2918843 A1 EP2918843 A1 EP 2918843A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
flange
vacuum pump
fastening element
decoupling
damper according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP15157292.2A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP2918843B1 (de
Inventor
Tobias Stoll
Michael Schweighöfer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=52596410&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP2918843(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of EP2918843A1 publication Critical patent/EP2918843A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP2918843B1 publication Critical patent/EP2918843B1/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pump damper for the vacuum-tight connection of a vacuum pump with a recipient. Furthermore, the invention relates to a vacuum pump and a system of a vacuum pump, a recipient and a damper.
  • Vacuum pumps with corresponding dampers are known in principle.
  • DE 10 2004 044 775 A1 relates to a vacuum pump vibration damper with an elastic damping ring, which is arranged axially between a sealing ring of a vacuum pump and a sealing ring of a vacuum device.
  • the vibration damper also includes a non-elastic sealing sleeve radially inwardly of the sealing rings.
  • dampers are complex. The production is thus associated with high costs. Also, these dampers are relatively prone to failure and maintenance.
  • a vacuum pump damper comprises a first and a second flange, wherein the first flange with the vacuum pump and the second flange with the recipient, in particular directly or indirectly connected or connectable.
  • the vacuum pump may be, for example, a turbo pump.
  • flange includes not only protrusions, but also, for example, whatever shaped end portions of the vacuum pump or the recipient.
  • the first flange can in particular form a part of the vacuum pump.
  • the second flange may form part of the recipient.
  • the flanges can in particular be formed integrally with the vacuum pump or the recipient.
  • the vacuum pump damper is designed as an adapter.
  • the vacuum pump damper may for example form a vibration damping and / or electrically insulating intermediate piece between a vacuum pump and a recipient.
  • the vacuum pump damper in particular on opposite sides each having a conventional standard flange, which can be connected in each case with a conventional standard flange of a vacuum pump and / or a recipient.
  • the standard flanges of the vacuum pump damper and the vacuum pump or the recipient for example, can be screwed together. In this way, conventional vacuum pumps or recipient be retrofitted with the vacuum pump damper according to the invention.
  • Such an adapter may in particular be designed in several parts, wherein a first adapter part may have the first flange and a standard flange for connection to the vacuum pump.
  • the second adapter part may have the second flange and a standard flange for connection to the recipient.
  • the first flange is fixedly connected to the vacuum pump, while the second flange is connectable only indirectly, in particular via a standard flange, with the recipient.
  • the second flange can also be fixedly connected to the recipient, while the first flange can only be connected indirectly, in particular via a standard flange, to the vacuum pump.
  • the vacuum pump damper comprises at least one decoupling member, which is arranged directly between mutually facing flange sides of the first and the second flange.
  • the flanges are thus in particular designed such that without the decoupling member, the two flange sides would lie flat against one another.
  • the flange sides are formed at the intended relative arrangement at least substantially planar and / or oriented parallel to each other.
  • the vacuum pump damper according to the invention further comprises at least one fastening element, with which the first and the second flange are connected or connectable to one another.
  • a plurality, in particular at least four, fastening elements are provided, which are preferably distributed uniformly around the circumference of the flanges.
  • the fastening element ensure the positional fixing between the vacuum pump and the recipient, i. Relative lateral movements can reliably prevent.
  • the flange sides can be made very simple, since lateral relative movements do not have to be prevented by the decoupling element.
  • the fastening element is in particular designed so stable that it can absorb the moments occurring in the event of a crash.
  • a fastener for example, a screw, a bolt or the like can be used.
  • the fastening element and the flanges are designed to pre-stress the decoupling member in a vacuum-tight manner in a non-evacuated mounting state such that the two flanges are mechanically and / or electrically decoupled from one another in an evacuated operating state.
  • no vacuum is contained in the vacuum pump and / or in the recipient.
  • the pressure in this case corresponds in particular to the atmospheric pressure.
  • the vacuum pump and the recipient by the fastener are already connected to each other, in such a way that the decoupling member is acted upon by the two flanges and thus deformed between the two flange sides and thus biased.
  • the vacuum pump and the recipient are thus already at least substantially vacuum-tightly connected to each other already in the assembled state.
  • the decoupling device is further compressed due to the atmospheric pressure.
  • a decoupling between this flange and the fastening element which has already been achieved in the assembled state remains or this decoupling is achieved by the further compression only by connecting the fastening element only to one of the flanges, in particular the second flange is.
  • a conductive, in particular metallic, contact between the flanges is avoided in this way.
  • the two flanges are in contact only via non-metallic components, in particular the decoupling member. The flanges are thus decoupled from each other.
  • the vacuum pump damper according to the invention enables a vacuum-tight connection between a vacuum pump and a recipient in a simple and cost-efficient manner. Furthermore, a decoupling between the vacuum pump and the recipient is made possible in a simple manner. It is particularly advantageous that no complex and multiple-part structures between the vacuum pump and the recipient are required. It has surprisingly been found that it is sufficient to provide a decoupling member between the mutually facing, in particular substantially planar flange sides and a suitable, also relatively simple structure fastening, which ensures either already in the assembled state a vibration-technical and / or electrical decoupling between the flanges or in which such a decoupling automatically sets in the transition to the evacuated operating state.
  • the flange side of the first and / or the second flange is formed exclusively by an at least substantially flat annular surface.
  • the flange side thus comprises in particular no edges or steps.
  • the mutually facing flange sides of the first and second flange are thus preferably oriented parallel to one another and in particular form flat surfaces. The production of the flanges is thereby particularly simple and inexpensive possible.
  • the decoupling element which is designed in particular as an annular element of basically any cross-section, from moving laterally, in particular radially inward, relative to the flange side.
  • Such agents may e.g. be created by an appropriate design of the flange without additional separate components.
  • the flange side may include a survey or stage, which serves to hold the decoupling device holding.
  • only exactly one of the flange sides comprises such means, for example in the form of at least one groove or step, which is designed for receiving and / or lateral abutment of the decoupling member.
  • the other of the flange sides is planar, at least in the region of the decoupling element.
  • the groove may be formed in particular round or edged, for example as Georgiaeckdichtnut.
  • the cross-section of the groove may be at least partially formed by circle segments.
  • a centering effect can be achieved by the groove, whereby the positioning of the flanges or components connected to the flanges, i. the vacuum pump and the recipient, is simplified relative to each other.
  • the groove can hold the decoupling member in a desired position, which in particular can be prevented that the fastener in the operating state makes a metallic contact with the respective flange.
  • the decoupling element can be adapted to the embodiment of the groove.
  • the decoupling member may for example have a round or rectangular cross-section.
  • the fastening element penetrates the flange side of the first and / or the second flange.
  • Both the cross section of the groove and the cross section of the decoupling member are basically arbitrary.
  • the decoupling member is designed as a damper for mechanical vibrations and / or as an electrical insulator. In the evacuated operating condition, therefore, there are no vibration transmissions. Since, in the evacuated operating state, the vacuum pump and the recipient are connected to one another only via non-metallic components, in particular via the decoupling member, the vacuum pump and the recipient are mechanically and electrically decoupled from one another. The vibration level can this can be improved by a factor of about 10 as compared to an arrangement without a vacuum pump damper.
  • vacuum pumps with a vacuum pump damper according to the invention can also be operated in particular for vibration-critical applications such as mass spectrometer systems for which vibrations with frequencies in the range of 500 to 2,000 Hz are particularly critical.
  • the decoupling member comprises at least one elastomer.
  • the elastic material may be, for example, a rubber material.
  • the decoupling element is designed as a shaped element or as an O-ring. This may in particular be a commercially available O-ring, whereby costs can be saved.
  • the decoupling element can be inserted for example in a groove of the flange side of the first and / or the second flange. It is also possible that the decoupling member is fixedly connected to the flange side of the first and / or the second flange.
  • decoupling members which are arranged for example concentric with each other.
  • vacuum pump damper is used for example in so-called split-flow pumps, then several decoupling elements can be pressed between the flange sides.
  • the fastening element in the assembled state, is firmly connected to one, in particular the second, flange and the other, in particular first, flange is movable relative to the fastening element in a connecting direction.
  • the fastening element in particular, a head piece of the fastening element, thus serving, for example, as a stop for one, in particular the first, flange. If now the vacuum pump is put into operation, so this flange moves due to the ambient pressure in a direction of connection relative to the fastener.
  • the fastener can then decouple from this flange or continue to be indirectly in contact with the flange, without causing a separation between this flange and the fastener, but with the mechanical vibration isolation or vibration damping and electrical decoupling in each Case are guaranteed.
  • the two flanges are indirectly in contact with one another in the region of the fastening element, in particular via the fastening element and at least one decoupling element arranged between the fastening element and one of the flanges.
  • the vacuum pump damper may in particular comprise a spacer element, in particular a spacer sleeve.
  • a spacer element in particular a spacer sleeve.
  • the spacer sleeve can be arranged below a head piece of the fastening element, in particular a screw head.
  • a dowel screw can be used as a spacer element.
  • the fastener can only be moved to a certain position in a mounting direction. In this way, even with multiple fasteners always a uniform bias can be achieved. In particular, the pressure on the decoupling member caused by the fasteners is always the same.
  • the fastener can be biased by the use of such a spacer element in particular against rotation. Additional fuses for the fastener can thus be omitted.
  • the behavior of the vibration decoupling can also be influenced by the predefined distance.
  • a decoupling element preferably an elastomer, is provided on the fastening element, which is acted upon by a driving surface of the fastening element.
  • the fastening element may be an O-ring or a shaped element.
  • the driving surface is in this case in particular a lower side of a head piece of the fastening element.
  • the fastening element pretensions the decoupling element assigned to it already in the assembled state. If a vacuum is now generated, one of the flanges moves away from the driving surface relative to the fastening element. Due to the atmospheric pressure in this case can reduce the bias of the decoupling element.
  • non-metallic, in particular rubberized, screws or fittings can be used as fasteners.
  • a separate decoupling element for the fastener is then not required.
  • the fastening element can be decoupled mechanically and / or electrically from the respective flange, both in the non-evacuated mounting state and in the evacuated operating state.
  • the two flanges are in particular only by the decoupling element and the decoupling element, which are preferably designed as elastomers, in contact.
  • the decoupling element in particular with the aid of a recess, a washer and / or a molded part, is held in a position below a head piece of the fastening element, in particular a screw head.
  • a screw head for example, have a collar.
  • the decoupling element is thus chambered to a certain extent. In this way, it is ensured that the decoupling element always remains in a predetermined position, even if, for example, pressure is exerted on the decoupling element by the fastening element.
  • the fastening element in particular below a head piece, preferably a screw head, comprises a non-planar, in particular conical, driving surface.
  • a flange may in this case have a recess or countersink for the driving surface.
  • a portion of the flange, which interacts with the driving surface have a non-planar, in particular conical, counter, counter or complementary surface. The inclination angle of these surfaces may in this case correspond in particular.
  • the invention also relates to a vacuum pump, which is connected to a first flange of a vacuum pump damper according to the invention.
  • the vacuum pump can be connected to the second flange by means of the first flange.
  • the second flange may in this case be formed directly on a recipient or on an adapter part which can be connected to the recipient by means of a standard flange.
  • the invention further relates to a system with a vacuum pump, a recipient and a damper formed according to the invention.
  • Fig. 1 is a sectional view of a vacuum pump damper according to the invention shown. This connects a vacuum pump 10 with a recipient 12.
  • the recipient 12 is a container which is to be evacuated. Both the vacuum pump 10 and the recipient 12 each have an inner space 14, 14 'and a wall 16, 16'.
  • the interior spaces 14, 14 'of the vacuum pump 10 and the recipient 12 are connected to one another via a channel 18.
  • a first flange 20 is disposed at a top end of the vacuum pump 10.
  • the recipient 12 has on its underside a second flange 22.
  • the flanges 20, 22 each comprise both a projecting, projecting region and the end faces of the walls 16, 16 '.
  • the first flange 20 and the second flange 22 each include a flange 24, 24 ', wherein the flange sides 24, 24' are facing each other in accordance with the relative arrangement.
  • the flange sides 24, 24 ' are flat and oriented parallel to each other.
  • an O-ring 26 is provided with a rectangular cross section, which forms a decoupling element.
  • the first flange 20 and the second flange 22 are connected to each other by means of a plurality of fasteners 28 designed as screws.
  • FIG. 2 An enlarged view of a screw 28 comprising section A according to Fig. 1 is in Fig. 2 shown.
  • the screw 28 has a screw head 30 and a shaft 32. Below the screw head 30, a washer 33 is arranged.
  • the screw 28 is screwed to the second flange 22.
  • a spacer sleeve 36 is provided below the screw head 30, to define a fixed distance between the screw head 30 and the second flange 22.
  • the screw 28 is mechanically and electrically decoupled.
  • a further O-ring 34 is provided below the screw head 30 and below the washer 33, which serves as a decoupling element for the screw 28.
  • This decoupling element 34 is in one Recess 35 of the first flange 20 and is held by means of the washer 33 in a desired position.
  • the bottom of the screw head 30 and the washer 33 forms a driving surface 38, which acts on the O-ring 34.
  • the flange side 24 of the first flange 20 has a groove 40 with a rectangular cross-sectional shape.
  • An alternative embodiment shows Fig. 3 , Here, the flange side 24 'of the second flange 22 is provided with a step 44 which laterally retains the O-ring 26 having a rectangular cross section and prevents the O-ring 26 from moving radially inwardly.
  • the respective other flange side 24 '( Fig. 2 ) or 24 ( Fig. 3 ) is executed.
  • the screws 28 are screwed to the second flange 22.
  • the O-rings 26, 34 are biased by the resulting pressure.
  • the screws 28 can be tightened until the spacers 36 become effective.
  • the defined by the spacers 36 minimum distance between the flanges 20, 22 and thus predetermined by the spacers 36 bias of the sealing O-ring 26 are thus already achieved in the assembled state.
  • the O-rings 34 and the O-rings 26 are thus always pressed or biased to a predetermined and predefined degree.
  • the first flange 20 moves in a connecting direction V in the direction of the second flange 22.
  • the screw 28 remains in the original position. Due to the ambient pressure, the O-ring 26 is further compressed. The O-ring 34, however, can relax. In the evacuated operating state, the first flange 20 and the second flange 22 are thus connected to each other only via the O-rings 26, 34, are thereby indirectly in contact and are therefore not completely separated from each other.
  • a mechanical and / or electrical decoupling between a vacuum pump and a recipient is thus made possible in a very simple, cost-effective and reliable manner.

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Vakuumpumpen-Dämpfer zur vakuumdichten Verbindung einer Vakuumpumpe mit einem Rezipienten, mit einem ersten und einem zweiten Flansch, wobei der erste Flansch mit der Vakuumpumpe und der zweite Flansch mit dem Rezipienten verbunden oder verbindbar ist, zumindest einem Entkopplungsorgan, das unmittelbar zwischen einander zugewandten Flanschseiten des ersten und des zweiten Flansches angeordnet ist, und zumindest einem Befestigungselement, insbesondere einer Schraube, mit dem der erste und der zweite Flansch miteinander verbunden oder verbindbar sind, wobei das Befestigungselement und die Flansche dazu ausgebildet sind, in einem nicht evakuierten Montagezustand das Entkopplungsorgan derart vakuumdicht vorzuspannen, dass in einem evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche mechanisch und/oder elektrisch voneinander entkoppelt sind.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Vakuumpumpen-Dämpfer zur vakuumdichten Verbindung einer Vakuumpumpe mit einem Rezipienten. Ferner betrifft die Erfindung eine Vakuumpumpe sowie ein System aus einer Vakuumpumpe, einem Rezipienten und einem Dämpfer.
  • Vakuumpumpen mit entsprechenden Dämpfern sind grundsätzlich bekannt.
  • DE 10 2004 044 775 A1 betrifft einen Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer mit einem elastischen Dämpfungsring, der axial zwischen einem Dichtungsring einer Vakuumpumpe und einem Dichtungsring einer Vakuumvorrichtung angeordnet ist. Der Schwingungsdämpfer umfasst zudem eine nicht-elastische Dichtungshülse radial innenseitig der Dichtungsringe.
  • Ferner ist aus EP 1 270 949 A1 eine Vakuumpumpe mit einem Adapter zur Dämpfung bekannt. Die Dämpfung erfolgt mittels eines elastischen Bauteils sowie eines zylindrischen Balgs.
  • Nachteilig an diesen Dämpfern ist, dass diese komplex aufgebaut sind. Die Herstellung ist somit mit hohen Kosten verbunden. Auch sind diese Dämpfer vergleichsweise störungsanfällig und wartungsintensiv.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, auf einfache und kostengünstige Weise eine, insbesondere schwingungsentkoppelte und gleichzeitig elektrisch entkoppelte, vakuumdichte Verbindung zwischen einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten zu schaffen.
  • Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch Vorrichtungen jeweils mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche.
  • Erfindungsgemäß umfasst ein Vakuumpumpen-Dämpfer einen ersten und einen zweiten Flansch, wobei der erste Flansch mit der Vakuumpumpe und der zweite Flansch mit dem Rezipienten, insbesondere mittelbar oder unmittelbar, verbunden oder verbindbar ist. Bei der Vakuumpumpe kann es sich beispielsweise um eine Turbopumpe handeln.
  • Der Begriff "Flansch" umfasst nicht nur Auskragungen, sondern auch beispielsweise wie auch immer geformte Endabschnitte der Vakuumpumpe bzw. des Rezipienten.
  • Erfindungsgemäß kann der erste Flansch insbesondere einen Teil der Vakuumpumpe bilden. Auch der zweite Flansch kann einen Teil des Rezipienten bilden. Die Flansche können insbesondere einstückig mit der Vakuumpumpe bzw. dem Rezipienten ausgebildet sein.
  • Alternativ ist es jedoch auch möglich, dass der Vakuumpumpen-Dämpfer als Adapter ausgebildet ist. Der Vakuumpumpen-Dämpfer kann beispielsweise ein schwingungsdämpfendes und/oder elektrisch isolierendes Zwischenstück zwischen einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten bilden. Dazu kann der Vakuumpumpen-Dämpfer insbesondere an gegenüberliegenden Seiten jeweils einen herkömmlichen Standard-Flansch aufweisen, welcher jeweils mit einem herkömmlichen Standard-Flansch einer Vakuumpumpe und/oder eines Rezipienten verbunden werden kann. Die Standard-Flansche des Vakuumpumpen-Dämpfers und der Vakuumpumpe bzw. des Rezipienten können beispielsweise miteinander verschraubt werden. Auf diese Weise können auch herkömmliche Vakuumpumpen bzw. Rezipienten mit dem erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Dämpfer nachgerüstet werden.
  • Ein derartiger Adapter kann insbesondere mehrteilig ausgebildet sein, wobei ein erstes Adapterteil den ersten Flansch sowie einen Standard-Flansch zur Verbindung mit der Vakuumpumpe aufweisen kann. Das zweite Adapterteil kann den zweiten Flansch sowie einen Standard-Flansch zur Verbindung mit dem Rezipienten aufweisen.
  • Auch ist es möglich, dass beispielsweise der erste Flansch fest mit der Vakuumpumpe verbunden ist, während der zweite Flansch lediglich mittelbar, insbesondere über einen Standard-Flansch, mit dem Rezipienten verbindbar ist. Ferner kann auch der zweite Flansch fest mit dem Rezipienten verbunden sein, während der erste Flansch lediglich mittelbar, insbesondere über einen Standard-Flansch, mit der Vakuumpumpe verbindbar ist.
  • Der Vakuumpumpen-Dämpfer umfasst erfindungsgemäß zumindest ein Entkopplungsorgan, das unmittelbar zwischen einander zugewandten Flanschseiten des ersten und des zweiten Flansches angeordnet ist.
  • Die Flansche sind also insbesondere derart ausgebildet, dass ohne das Entkopplungsorgan die beiden Flanschseiten flächig aneinander anliegen würden. Vorzugsweise sind die Flanschseiten bei bestimmungsgemäßer Relativanordnung zumindest im Wesentlichen eben ausgebildet und/oder parallel zueinander orientiert.
  • Der erfindungsgemäße Vakuumpumpen-Dämpfer umfasst ferner zumindest ein Befestigungselement, mit dem der erste und der zweite Flansch miteinander verbunden oder verbindbar sind. Vorzugsweise sind mehrere, insbesondere mindestens vier, Befestigungselemente vorgesehen, welche bevorzugt gleichmäßig um den Umfang der Flansche verteilt angeordnet sind. Durch das Befestigungselement wird insbesondere die Lage der Vakuumpumpe und des Rezipienten zueinander festgelegt und eine sichere Befestigung gewährleistet.
  • Von Vorteil ist hier insbesondere, dass das Befestigungselement die Lagefestlegung zwischen Vakuumpumpe und Rezipient sicherstellen, d.h. seitliche Relativbewegungen zuverlässig verhindern kann. Im Bereich des Entkopplungsorgans können daher die Flanschseiten sehr einfach gestaltet sein, da seitliche Relativbewegungen nicht vom Entkopplungsorgan unterbunden werden müssen. Mit anderen Worten erfolgt eine Trennung bzw. Aufteilung der Funktionen "Entkopplung" einerseits und "seitlicher Halt" andererseits.
  • Das Befestigungselement ist insbesondere derart stabil ausgebildet, dass es die bei einem Crashfall auftretenden Momente aufnehmen kann.
  • Als Befestigungselement kann beispielsweise eine Schraube, ein Bolzen oder dergleichen verwendet werden.
  • Das Befestigungselement und die Flansche sind erfindungsgemäß dazu ausgebildet, in einem nicht evakuierten Montagezustand das Entkopplungsorgan derart vakuumdicht vorzuspannen, dass in einem evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche mechanisch und/oder elektrisch voneinander entkoppelt sind.
  • Im nicht evakuierten Montagezustand ist in der Vakuumpumpe und/oder im Rezipienten kein Vakuum enthalten. Der Druck entspricht hierbei insbesondere dem Atmosphärendruck.
  • Im Montagezustand sind die Vakuumpumpe und der Rezipient durch das Befestigungselement bereits miteinander verbunden, und zwar derart, dass das Entkopplungsorgan von den beiden Flanschen beaufschlagt und somit zwischen den beiden Flanschseiten deformiert und folglich vorgespannt wird. Durch das Entkopplungsorgan sind die Vakuumpumpe und der Rezipient somit bereits im Montagezustand zumindest im Wesentlichen vakuumdicht miteinander verbunden.
  • Wird nun im Montagezustand die Vakuumpumpe in Betrieb genommen, so wird das Entkopplungsorgan aufgrund des Atmosphärendrucks weiter komprimiert. Je nach Ausgestaltung des Befestigungselementes und eines der Flansche bleibt eine bereits im Montagezustand gegebene Entkoppelung zwischen diesem Flansch und dem Befestigungselement erhalten oder wird diese Entkopplung durch die weitere Komprimierung erst erzielt, indem das Befestigungselement nur noch mit einem der Flansche, insbesondere dem zweiten Flansch, verbunden ist. Insbesondere wird auf diese Weise ein leitender, insbesondere metallischer, Kontakt zwischen den Flanschen vermieden. Die beiden Flansche stehen lediglich über nicht-metallische Bauteile, insbesondere das Entkopplungsorgan, miteinander in Kontakt. Die Flansche sind somit voneinander entkoppelt.
  • Durch den erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Dämpfer wird auf einfache und kosteneffiziente Weise eine vakuumdichte Verbindung zwischen einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten ermöglicht. Ferner wird auch eine Entkopplung zwischen der Vakuumpumpe und dem Rezipienten auf einfache Weise ermöglicht. Besonders vorteilhaft ist, dass keine komplexen und vielteiligen Strukturen zwischen Vakuumpumpe und Rezipient erforderlich sind. Es hat sich überraschend gezeigt, dass es genügt, ein Entkopplungsorgan zwischen den einander zugewandten, insbesondere im Wesentlichen ebenen Flanschseiten sowie eine geeignete, ebenfalls relativ einfach aufgebaute Befestigung vorzusehen, die entweder bereits im Montagezustand eine schwingungstechnische und/oder elektrische Entkopplung zwischen den Flanschen sicherstellt oder bei der sich eine solche Entkopplung beim Übergang in den evakuierten Betriebszustand automatisch einstellt. Damit ist die Herstellung des erfindungsgemäßen Dämpfers sehr einfach und kostengünstig und kann die vakuumdichte Verbindung zwischen Vakuumpumpe und Rezipient auf sehr einfache und zuverlässige Weise realisiert werden. Weiterbildungen der Erfindung sind auch den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung sowie den beigefügten Zeichnungen zu entnehmen.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Flanschseite des ersten und/oder des zweiten Flansches ausschließlich durch eine zumindest im Wesentlichen ebene Ringfläche gebildet. Die Flanschseite umfasst somit insbesondere keine Kanten oder Stufen. Die einander zugewandten Flanschseiten des ersten und des zweiten Flansches sind somit vorzugsweise parallel zueinander orientiert und bilden insbesondere ebene Flächen. Die Herstellung der Flansche ist hierdurch besonders einfach und kostengünstig möglich.
  • An zumindest einer Flanschseite können grundsätzliche beliebig ausgestaltete Mittel vorgesehen sein, die verhindern, dass sich das insbesondere als ringförmiges Element mit prinzipiell beliebigem Querschnitt ausgebildete Entkopplungsorgan seitlich, insbesondere radial nach innen, relativ zu der Flanschseite bewegt. Derartige Mittel können z.B. durch eine entsprechende Gestaltung der Flanschseite ohne zusätzliche separate Bauteile geschaffen werden. Beispielsweise kann die Flanschseite eine Erhebung oder Stufe umfassen, die zur haltenden Anlage des Entkopplungsorgans dient.
  • Nach einer Ausführungsform umfasst nur genau eine der Flanschseiten derartige Mittel, z.B. in Form wenigstens einer Nut oder Stufe, welche zur Aufnahme und/oder seitlichen Anlage des Entkopplungsorgans ausgebildet ist. Vorzugsweise ist die andere der Flanschseiten zumindest im Bereich des Entkopplungsorgans eben ausgebildet. Die Herstellung der Flanschseiten und somit der Flansche wird auf diese Weise wesentlich vereinfacht, da nur ein Minimum an Strukturen auf den Flanschseiten vorgesehen werden muss.
  • Die Nut kann insbesondere rund oder kantig ausgebildet sein, beispielsweise als Rechteckdichtnut. Alternativ kann der Querschnitt der Nut zumindest teilweise von Kreissegmenten gebildet sein. So kann auch bei einem vergleichsweise geringen Anpressdruck eine große Dichtlänge erreicht werden.
  • Insbesondere kann durch die Nut eine zentrierende Wirkung erzielt werden, wodurch die Positionierung der Flansche bzw. der mit den Flanschen verbundenen Komponenten, d.h. der Vakuumpumpe und des Rezipienten, relativ zueinander vereinfacht wird. So kann die Nut das Entkopplungsorgan in einer gewünschten Position halten, wodurch insbesondere verhindert werden kann, dass das Befestigungselement im Betriebszustand einen metallischen Kontakt zum betreffenden Flansch herstellt.
  • Insbesondere kann das Entkopplungsorgan an die Ausgestaltungsform der Nut angepasst sein. So kann auch das Entkopplungsorgan beispielsweise einen runden oder rechteckigen Querschnitt aufweisen.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform durchdringt das Befestigungselement die Flanschseite des ersten und/oder des zweiten Flansches.
  • Sowohl der Querschnitt der Nut als auch der Querschnitt des Entkopplungsorgans sind grundsätzlich beliebig.
  • Nach einer weiteren Ausführungsform ist das Entkopplungsorgan als Dämpfer für mechanische Schwingungen und/oder als elektrischer Isolator ausgebildet. Im evakuierten Betriebszustand ergeben sich somit keinerlei Schwingungsübertragungen. Da im evakuierten Betriebszustand die Vakuumpumpe und der Rezipient lediglich über nicht-metallische Bauteile, insbesondere über das Entkopplungsorgan, miteinander verbunden sind, sind die Vakuumpumpe und der Rezipient voneinander mechanisch sowie elektrisch entkoppelt. Das Schwingungsniveau kann hierbei um einen Faktor von etwa 10 im Vergleich zu einer Anordnung ohne einen Vakuumpumpen-Dämpfer verbessert werden. Da die Geräuschentwicklung sowie die Resonanzanregungen deutlich reduziert werden, können Vakuumpumpen mit einem erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Dämpfer insbesondere auch bei besonders schwingungskritischen Anwendungen wie beispielsweise Massenspektrometersystemen betrieben werden, für die Schwingungen mit Frequenzen im Bereich von 500 bis 2.000 Hz besonders kritisch sind.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst das Entkopplungsorgan zumindest ein Elastomer. Bei dem elastischen Material kann es sich beispielsweise um ein Gummimaterial handeln. Vorzugsweise ist das Entkopplungsorgan als Formelement oder als O-Ring ausgebildet. Hierbei kann es sich insbesondere um einen handelsüblichen O-Ring handeln, wodurch Kosten gespart werden können.
  • Das Entkopplungsorgan kann beispielsweise in eine Nut der Flanschseite des ersten und/oder des zweiten Flansches eingelegt werden. Auch ist es möglich, dass das Entkopplungsorgan fest mit der Flanschseite des ersten und/oder des zweiten Flansches verbunden ist.
  • Es können auch mehrere Entkopplungsorgane vorgesehen sein, welche beispielsweise konzentrisch zueinander angeordnet sind.
  • Wird der Vakuumpumpen-Dämpfer beispielsweise bei so genannten Splitflow-Pumpen eingesetzt, so können mehrere Entkopplungsorgane zwischen den Flanschseiten verpresst sein.
  • Nach einer weiteren Ausführungsform ist im Montagezustand das Befestigungselement fest mit einem, insbesondere dem zweiten, Flansch verbunden und der andere, insbesondere erste, Flansch ist relativ zu dem Befestigungselement in einer Verbindungsrichtung beweglich. Im Montagezustand kann das Befestigungselement, insbesondere ein Kopfstück des Befestigungselements, somit beispielsweise als Anschlag für einen, insbesondere den ersten, Flansch dienen. Wird nun die Vakuumpumpe in Betrieb genommen, so bewegt sich dieser Flansch aufgrund des Umgebungsdrucks in eine Verbindungsrichtung relativ zum Befestigungselement. Je nach konkreter Ausgestaltung kann das Befestigungselement daraufhin von diesem Flansch entkoppeln oder weiterhin mittelbar mit dem Flansch in Kontakt stehen, ohne dass es zu einer Trennung zwischen diesem Flansch und dem Befestigungselement kommt, wobei aber die mechanische Schwingungsentkoppelung bzw. Vibrationsdämpfung und die elektrische Entkoppelung in jedem Fall gewährleistet sind.
  • Generell kann also gemäß einem Ausführungsbeispiel vorgesehen sein, dass im evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche im Bereich des Befestigungselementes mittelbar miteinander in Kontakt stehen, insbesondere über das Befestigungselement und zumindest ein zwischen dem Befestigungselement und einem der Flansche angeordneten Entkopplungselement.
  • Der Vakuumpumpen-Dämpfer kann insbesondere ein Distanzelement, insbesondere eine Distanzhülse, umfassen. Durch das Distanzelement kann der minimale Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Flansch festgelegt werden.
  • Vorzugsweise kann die Distanzhülse unterhalb eines Kopfstücks des Befestigungselements, insbesondere eines Schraubenkopfes, angeordnet sein. Alternativ kann auch eine Passschraube als Distanzelement eingesetzt werden.
  • Aufgrund des Distanzelements kann das Befestigungselement nur bis zu einer bestimmten Position in eine Befestigungsrichtung bewegt werden. Auf diese Weise kann auch bei mehreren Befestigungselementen stets eine gleichmäßige Vorspannung erreicht werden. Insbesondere ist der durch die Befestigungselemente verursachte Druck auf das Entkopplungsorgan stets derselbe.
  • Das Befestigungselement kann durch den Einsatz eines derartigen Distanzelements insbesondere losdrehsicher vorgespannt werden. Zusätzliche Sicherungen für das Befestigungselement können somit entfallen.
  • Auch kann durch den vordefinierten Abstand das Verhalten der Schwingungsentkopplung beeinflusst werden.
  • Nach einer weiteren Ausführungsform ist am Befestigungselement ein Entkopplungselement, vorzugsweise ein Elastomer, vorgesehen, das von einer Treibfläche des Befestigungselements beaufschlagt ist. Insbesondere kann es sich bei dem Befestigungselement um einen O-Ring oder ein Formelement handeln. Die Treibfläche ist hierbei insbesondere eine Unterseite eines Kopfstücks des Befestigungselements.
  • Mittels der Treibfläche spannt das Befestigungselement das ihm zugeordnete Entkopplungselement bereits im Montagezustand vor. Wird nun ein Vakuum erzeugt, so bewegt sich einer der Flansche relativ zum Befestigungselement von der Treibfläche weg. Aufgrund des Atmosphärendrucks kann sich hierbei die Vorspannung des Entkopplungselements reduzieren.
  • Alternativ können auch nicht-metallische, insbesondere gummierte, Schrauben oder Formstücke als Befestigungselemente verwendet werden. Ein separates Entkopplungselement für das Befestigungselement ist dann nicht erforderlich.
  • Insbesondere kann das Befestigungselement aufgrund des Entkopplungselements sowohl im nicht evakuierten Montagezustand als auch im evakuierten Betriebszustand mechanisch und/oder elektrisch von dem betreffenden Flansch entkoppelt sein.
  • Im evakuierten Betriebszustand stehen die beiden Flansche insbesondere lediglich durch das Entkopplungsorgan und das Entkopplungselement, welche vorzugsweise als Elastomere ausgebildet sind, miteinander in Kontakt.
  • Gemäß einer Weiterbildung ist das Entkopplungselement, insbesondere mit Hilfe einer Aussparung, einer Unterlegscheibe und/oder eines Formteils, in einer Position unterhalb eines Kopfstücks des Befestigungselements, insbesondere eines Schraubenkopfes, gehalten. Auch kann ein Schraubenkopf beispielsweise einen Bund aufweisen. Das Entkopplungselement ist somit gewissermaßen gekammert. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass das Entkopplungselement stets in einer vorgesehenen Position verbleibt, auch wenn beispielsweise Druck auf das Entkopplungselement durch das Befestigungselement ausgeübt wird.
  • Nach einer weiteren Ausführungsform umfasst das Befestigungselement, insbesondere unterhalb eines Kopfstücks, vorzugsweise eines Schraubenkopfes, eine nicht-ebene, insbesondere konische, Treibfläche. Ein Flansch kann hierbei eine Aussparung oder Senkung für die Treibfläche aufweisen. Insbesondere kann ein Abschnitt des Flansches, welcher mit der Treibfläche zusammenwirkt, eine nicht-ebene, insbesondere konische, Konter-, Gegen- oder Komplementärfläche aufweisen. Die Neigungswinkel dieser Flächen können sich hierbei insbesondere entsprechen. Wird nun der betreffende Flansch nach Inbetriebnahme der Vakuumpumpe relativ zum Befestigungselement in eine Verbindungsrichtung bewegt, so erfolgt eine Entkopplung dieses Flansches von dem Befestigungselement. Eine Entkopplung erfolgt also erst im Betriebszustand durch die Aufeinanderzubewegung der beiden Flansche. Ein Entkopplungselement für das Befestigungselement ist hierbei nicht erforderlich, wenngleich ein solches zusätzlich eingesetzt werden kann.
  • Die Erfindung betrifft zudem eine Vakuumpumpe, welche mit einem ersten Flansch eines erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Dämpfers verbunden ist.
  • Die Vakuumpumpe kann mit Hilfe des ersten Flansches mit dem zweiten Flansch verbunden werden. Der zweite Flansch kann hierbei unmittelbar an einem Rezipienten ausgebildet sein oder aber an einem Adapterteil, welches durch einen Standard-Flansch mit dem Rezipienten verbindbar ist.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein System mit einer Vakuumpumpe, einem Rezipienten und einem gemäß der Erfindung ausgebildeten Dämpfer.
  • Die Erfindung wird im Folgenden beispielhaft unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
    • Fig. 1
    eine Schnittansicht einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Dämpfers,
    Fig. 2
    eine vergrößerte Darstellung des Ausschnitts A gemäß Fig. 1, und
    Fig. 3
    eine geschnittene Teilansicht einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Dämpfers.
  • In Fig. 1 ist eine Schnittansicht eines erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Dämpfers dargestellt. Dieser verbindet eine Vakuumpumpe 10 mit einem Rezipienten 12. Bei dem Rezipienten 12 handelt es sich um ein Behältnis, welches evakuiert werden soll. Sowohl die Vakuumpumpe 10 als auch der Rezipient 12 weisen jeweils einen Innenraum 14, 14' sowie eine Wandung 16, 16' auf.
  • Die Innenräume 14, 14' der Vakuumpumpe 10 und des Rezipienten 12 sind über einen Kanal 18 miteinander verbunden.
  • An einem oberen Ende der Vakuumpumpe 10 ist ein erster Flansch 20 angeordnet. Der Rezipient 12 weist an seiner Unterseite einen zweiten Flansch 22 auf.
  • Die Flansche 20, 22 umfassen jeweils sowohl einen vorstehenden, auskragenden Bereich als auch die Stirnflächen der Wandungen 16, 16'.
  • Der erste Flansch 20 sowie der zweite Flansch 22 umfassen jeweils eine Flanschseite 24, 24', wobei die Flanschseiten 24, 24' bei bestimmungsgemäßer Relativanordnung einander zugewandt sind. Die Flanschseiten 24, 24' sind eben und parallel zueinander orientiert. Unmittelbar zwischen den Flanschseiten 24, 24' ist ein O-Ring 26 mit rechteckigem Querschnitt vorgesehen, welcher ein Entkopplungsorgan bildet.
  • Der erste Flansch 20 und der zweite Flansch 22 sind mittels mehrerer als Schrauben 28 ausgebildeter Befestigungselemente miteinander verbunden.
  • Eine vergrößerte Darstellung eines die Schraube 28 umfassenden Abschnitts A gemäß Fig. 1 ist in Fig. 2 dargestellt. Die Schraube 28 weist einen Schraubenkopf 30 sowie einen Schaft 32 auf. Unterhalb des Schraubenkopfes 30 ist eine Unterlegscheibe 33 angeordnet.
  • Die Schraube 28 ist mit dem zweiten Flansch 22 verschraubt. Unterhalb des Schraubenkopfes 30 ist eine Distanzhülse 36 vorgesehen, um einen festen Abstand zwischen dem Schraubenkopf 30 und dem zweiten Flansch 22 zu definieren.
  • Von dem ersten Flansch 20 ist die Schraube 28 mechanisch und elektrisch entkoppelt. Zu diesem Zweck ist unterhalb des Schraubenkopfes 30 bzw. unterhalb der Unterlegscheibe 33 ein weiterer O-Ring 34 vorgesehen, welcher als Entkopplungselement für die Schraube 28 dient. Dieses Entkopplungselement 34 ist in einer Aussparung 35 des ersten Flansches 20 angeordnet und wird mithilfe der Unterlegscheibe 33 in einer gewünschten Position gehalten.
  • Die Unterseite des Schraubenkopfes 30 bzw. der Unterlegscheibe 33 bildet eine Treibfläche 38, welche den O-Ring 34 beaufschlagt.
  • Um den O-Ring 26 stets in der gewünschten Position zu halten, weist die Flanschseite 24 des ersten Flansches 20 eine Nut 40 mit rechteckiger Querschnittsform auf. Eine alternative Ausgestaltung zeigt Fig. 3. Hier ist die Flanschseite 24' des zweiten Flansches 22 mit einer Stufe 44 versehen, die den hier wiederum einen rechteckigen Querschnitt aufweisenden O-Ring 26 seitlich hält und verhindert, dass der O-Ring 26 sich radial nach innen bewegt. Die jeweils andere Flanschseite 24' (Fig. 2) bzw. 24 (Fig. 3) ist eben ausgeführt.
  • Seitliche Relativbewegungen der Flansche 20, 22 senkrecht zu einer Mittelachse 46 werden durch die Schrauben 28 (in Fig. 3 nicht dargestellt) unterbunden. Der O-Ring 26 hat keine derartige Haltefunktion.
  • In einem nicht evakuierten Montagezustand werden die Schrauben 28 am zweiten Flansch 22 festgeschraubt. Dabei werden die O-Ringe 26, 34 durch den entstehenden Druck vorgespannt. Die Schrauben 28 können angezogen werden, bis die Distanzhülsen 36 wirksam werden. Der durch die Distanzhülsen 36 definierte Minimalabstand zwischen den Flanschen 20, 22 und somit die durch die Distanzhülsen 36 vorgegebene Vorspannung des dichtenden O-Rings 26 sind folglich bereits im Montagezustand erreicht.
  • Die O-Ringe 34 sowie die O-Ringe 26 werden somit stets auf ein vorbestimmtes und vordefiniertes Maß eingedrückt bzw. vorgespannt.
  • Wird nun die Vakuumpumpe 10 in Betrieb genommen, so bewegt sich der erste Flansch 20 in eine Verbindungsrichtung V in Richtung des zweiten Flansches 22. Die Schraube 28 verbleibt hierbei in der ursprünglichen Position. Durch den Umgebungsdruck wird der O-Ring 26 weiter zusammengedrückt. Der O-Ring 34 kann sich hingegen entspannen. Im evakuierten Betriebszustand sind der erste Flansch 20 und der zweite Flansch 22 folglich lediglich über die O-Ringe 26, 34 miteinander verbunden, stehen hierdurch mittelbar in Kontakt und sind folglich nicht vollständig voneinander separiert.
  • Da keine metallische Verbindung über die Schraube 28 besteht, sind die beiden Flansche 20, 22 elektrisch voneinander entkoppelt. Ferner ist die Übertragung von Schwingungen zumindest weitgehend unterbunden.
  • Erfindungsgemäß wird somit auf denkbar einfache, kostengünstige und zuverlässige Weise eine mechanische und/oder elektrische Entkopplung zwischen einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten ermöglicht.
    • Bezugszeichenliste
    • 10
    Vakuumpumpe
    12
    Rezipient
    14, 14'
    Innenraum
    16, 16'
    Wandung
    18
    Kanal
    20
    erster Flansch
    22
    zweiter Flansch
    24, 24'
    Flanschseite
    26
    O-Ring, Entkopplungsorgan
    28
    Schraube, Befestigungselement
    30
    Schraubenkopf
    32
    Schaft
    33
    Unterlegscheibe
    34
    O-Ring, Entkopplungselement
    35
    Aussparung
    36
    Distanzhülse
    38
    Treibfläche
    40
    Nut
    42
    Gegenfläche
    44
    Stufe
    46
    Mittelachse
    V
    Verbindungsrichtung

Claims (13)

  1. Vakuumpumpen-Dämpfer zur vakuumdichten Verbindung einer Vakuumpumpe (10) mit einem Rezipienten (12), mit
    einem ersten und einem zweiten Flansch (20, 22),
    wobei der erste Flansch (20) mit der Vakuumpumpe (10) und der zweite Flansch (22) mit dem Rezipienten (12) verbunden oder verbindbar ist, zumindest einem Entkopplungsorgan (26), das unmittelbar zwischen einander zugewandten Flanschseiten (24, 24') des ersten und des zweiten Flansches (20, 22) angeordnet ist, und
    zumindest einem Befestigungselement (28), insbesondere einer Schraube, mit dem der erste und der zweite Flansch (20, 22) miteinander verbunden oder verbindbar sind,
    wobei das Befestigungselement (28) und die Flansche (20, 22) dazu ausgebildet sind, in einem nicht evakuierten Montagezustand das Entkopplungsorgan (26) derart vakuumdicht vorzuspannen, dass in einem evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche (20, 22) mechanisch und/oder elektrisch voneinander entkoppelt sind.
  2. Vakuumpumpen-Dämpfer nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Flanschseite (24, 24') des ersten und/oder des zweiten Flansches (20, 22) ausschließlich durch eine zumindest im Wesentlichen ebene Ringfläche gebildet ist.
  3. Vakuumpumpen-Dämpfer nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    nur genau eine der Flanschseiten (24, 24') eine, insbesondere runde oder kantige, Nut (40) oder Stufe (44) umfasst, welche zur Aufnahme und/oder seitlichen Anlage des Entkopplungsorgans (26) ausgebildet ist, wobei bevorzugt die andere der Flanschseiten (24', 24) zumindest im Bereich des Entkopplungsorgans (26) eben ausgebildet ist.
  4. Vakuumpumpen-Dämpfer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
    das Befestigungselement (28) die Flanschseite (24, 24') des ersten und/oder des zweiten Flansches (20, 22) durchdringt.
  5. Vakuumpumpen-Dämpfer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
    das Entkopplungsorgan (26) als Dämpfer für mechanische Schwingungen und/oder als elektrischer Isolator ausgebildet ist.
  6. Vakuumpumpen-Dämpfer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
    das Entkopplungsorgan (26) zumindest ein, insbesondere als O-Ring ausgebildetes, Elastomer umfasst.
  7. Vakuumpumpen-Dämpfer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
    im Montagezustand das Befestigungselement (28) fest mit einem Flansch (22) verbunden und der andere Flansch (20) relativ zu dem Befestigungselement (28) in einer Verbindungsrichtung (V) beweglich ist.
  8. Vakuumpumpen-Dämpfer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
    im evakuierten Betriebszustand die beiden Flansche (20, 22) im Bereich des Befestigungselementes (28) mittelbar miteinander in Kontakt stehen, insbesondere über das Befestigungselement (28) und zumindest ein zwischen dem Befestigungselement (28) und einem der Flansche (20, 22) angeordneten Entkopplungselement (34).
  9. Vakuumpumpen-Dämpfer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
    am Befestigungselement (28) ein, insbesondere als O-Ring ausgebildetes, Entkopplungselement (34), vorzugsweise ein Elastomer, vorgesehen ist, das von einer Treibfläche (38) des Befestigungselementes (28) beaufschlagt ist.
  10. Vakuumpumpen-Dämpfer nach Anspruch 8 oder 9,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    das Entkopplungselement (34), insbesondere mithilfe einer Aussparung (35), einer Unterlegscheibe (33) und/oder eines Formteils, in einer Position unterhalb eines Kopfstücks des Befestigungselements, insbesondere eines Schraubenkopfes (30), gehalten ist.
  11. Vakuumpumpen-Dämpfer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
    das Befestigungselement (28), insbesondere unterhalb eines Kopfstücks, vorzugsweise eines Schraubenkopfes (30), eine nicht-ebene, insbesondere konische, Treibfläche (38) umfasst.
  12. Vakuumpumpe (10), welche mit einem ersten Flansch (20) eines Vakuumpumpen-Dämpfers nach einem der vorhergehenden Ansprüche verbunden ist.
  13. System mit einer Vakuumpumpe (10), einem Rezipienten (12) und einem Dämpfer nach einem der Ansprüche 1 bis 11.
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