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DE69121503T2 - Halbleiterspeicheranordnung mit einer rauscharmen Abfühlstruktur - Google Patents

Halbleiterspeicheranordnung mit einer rauscharmen Abfühlstruktur

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Publication number
DE69121503T2
DE69121503T2 DE69121503T DE69121503T DE69121503T2 DE 69121503 T2 DE69121503 T2 DE 69121503T2 DE 69121503 T DE69121503 T DE 69121503T DE 69121503 T DE69121503 T DE 69121503T DE 69121503 T2 DE69121503 T2 DE 69121503T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
bit line
line pairs
sense amplifiers
memory device
semiconductor memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69121503T
Other languages
English (en)
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DE69121503D1 (de
Inventor
Toshio Komuro
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Electronics Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
Publication of DE69121503D1 publication Critical patent/DE69121503D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69121503T2 publication Critical patent/DE69121503T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/18Bit line organisation; Bit line lay-out
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/06Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Description

    Feld der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Halbleiterspeicheranordnung und insbesondere eine Halbleiterspeicheranordnung, die eine Mehrzahl Bitleitungspaare und eine Mehrzahl Leseverstärker enthält, um jeweils Spannungsdifferenzen in jedem Paar der Bitleitungen zu verstärken, wie sie im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegeben und in der US-A-4 807 194 offenbart ist.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Eine Halbleiterspeicheranordnung enthält einen Speicherzellen-Array mit mehreren in Form eines Arrays angeordneten Speicherzellen, mehreren mit den jeweiligen Speicherzellen verbundenen Bitleitungen und mehreren in ähnlicher Weise mit den Speicherzellen verbunden Wortleitungen. Jede dieser Anzahl Bitleitungen des Speicherzellen-Arrays umfaßt ein Bitleitungspaar, an das eine bestimmte Spannung komplementär angelegt wird, und für jedes Bitleitungspaar ist ein Leseverstärker vorgesehen. Zum Zeitpunkt des Lese- oder Schreibvorgangs oder zum Zeitpunkt des Auffrischvorgangs werden die Leseverstärker entsprechend Leseverstärker-Aktivierungssignalen aktiviert, um die Spannungsdifferenz zwischen den Bitleitungen eines jeden Bitleitungspaars verstärken.
  • Durch die in den letzten Jahren erreichten hohen Integrationsdichte der Halbleiterspeichervorrichtungen ist jedoch der Abstand zwischen den Bitleitungen extrem eng geworden, und im Ergebnis steigt die Streukapazität zwischen diesen an, wodurch verschiedene Probleme verursacht werden. Genauer gesagt, verzögert sich, wenn die Spannungsdifferenz zwischen einem der Bitleitungspaare kleiner als ein vorgegebener Wert ist, aufgrund der Fluktuation der Eigenschaften eines Transistors oder eines kapazitiven Elementes der Speicherzelle, der Anstieg der Ausgabe des Leseverstärkers, der mit dem entsprechenden Bitleitungspaar verbunden ist, im Vergleich mit anderen Leseverstärkern (die Ausgabe eines Leseverstärkers steigt schneller wenn die Spannungsdifferenz zwischen den Bitleitungen des Paares ansteigt). Wenn andererseits die an das dem fraglichen Bitleitungspaar benachbarte Bitleitungspaar angelegte Spannungsdifferenz größer als ein vorgegebener Wert ist, tritt keine Verzögerung des mit dem letzten Bitleitungspaar verbundenen Leseverstärkers auf. Doch aufgrund der Streukapazität zwischen den Bitleitungspaaren tritt ein Übersprechen zwischen den Ausgabespannungen der beiden Bitleitungspaare in Abhängigkeit der Leseverstärker-Aktivierungssignale auf, wodurch unerwünschte Fehler beim Auslesevorgang auftreten.
  • KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG Aufgabe der Erfindung
  • Eine Aufgabe der Erfindung ist es, eine Halbleiterspeichervorrichtung zu schaffen, die das Übersprechen zwischen Bitleitungspaaren verringern kann.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die erfindungsgemäße Halbleiterspeichervorrichtung, wie sie im Anspruch 1 definiert ist, enthält einen Speicherzellen- Array, mit einer Anzahl Speicherzellen in Form eines Arrays, eine Anzahl Bitleitungspaare und eine Anzahl Wortleitungen, die jeweils mit den Speicherzellen verbunden sind, Leseverstärker, die für jedes der Bitleitungspaare vorgesehen sind und die die Spannungsdifferenz zwischen zwei Bitleitungen eines Paares in Abhängigkeit von einem Aktivierungssignal verstärken, und Übertragungsgates, die die Bitleitungspaare in zumindest zwei Gruppen entsprechend einem Steuerungssignal unterteilen, und wobei die mit zwei benachbarten Bitleitungspaaren verbundenen Leseverstärker asymmetrisch in bezug auf die Übertragungsgates angeordnet sind.
  • Die Halbleiterspeichervorrichtung enthält vorzugsweise eine Energieversorgungsleitung, die eine konstante Spannung zuführt, und ein Verbindungmittel, das die Verbindung zwischen den Bitleitungspaaren und der Energieversorgungsleitung in Abhängigkeit von einem Vorladungssignal steuert.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die genannten Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden unter Bezug auf die folgende detaillierte Beschreibung der Erfindung in Zusammenhang mit den beiliegenden Zeichnungen deutlicher, in denen zeigt:
  • Fig. 1 ein Schaltdiagramm, das eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halbleiterspeichervorrichtung zeigt;
  • Fig. 2 eine Signalverlaufstafel, um den Betrieb der in Fig. 1 gezeigten Halbleiterspeichervorrichtung zu erläutern;
  • Fig. 3 ein Schaltdiagramm, dasß die zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halbleiterspeichervorrichtung zeigt;
  • Fig. 4 eine Signalverlaufstafel, um den Betrieb der in Fig. 3 gezeigten Halbleiterspeichervorrichtung zu erläutern;
  • Fig. 5 ein Schaltdiagramm, das die dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halbleiterspeichervorrichtung zeigt;
  • Fig. 6 eine Signalverlaufstafel, um den Betrieb der in Fig. 5 gezeigten Halbleiterspeichervorrichtung zu erörtern;
  • Fig. 7 ein Schaltdiagramm, das die vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halbleiterspeichervorrichtung zeigt;
  • Fig. 8 und 9 Signalverlaufstafeln, um den Betrieb der in Fig. 7 gezeigten Halbleiterspeichervorrichtung zu erläutern.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • In Fig. 1 umfaßt ein Speicherzellen-Array dieser Ausführungsform mehrere Speicherzellen MC, die jeweils einen N- Kanal-Transistor und ein Kondensatorelement enthalten und die in Form eines Arrays in Zeilen und Spalten angeordnet sind (mit anderen Worten, es umfaßt Ein-Transistor-ein-Kondensator-Typ-Zellen MC, die in Form eines Arrays angeordnet sind). Die Bitleitungen sind in Paaren gruppiert (nämlich BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ...), die jeweils einzeln mit einem Leseverstärker SA (nämlich SA1, SA2, ...) verbunden sind. Um zu verhindern, daß mit benachbarten Bitleitungspaaren verbundene Leseverstärker nebeneinander angeordnet sind, sind sie in einem Bereich entlang einer Seite parallel zu einer Wortleitung des Speicherzellen-Arrays (nämlich in dem Bereich B1 in Fig. 1) und in einem Bereich entlang der Seite, die achsensymmetrisch zur ersten Seite (nämlich dem Bereich B2 in Fig. 1) ist, angeordnet. Genauer gesagt, sind die Leseverstärker SA1, SA3, ..., Sam, die jeweils mit dem Bitleitungspaar BL1a/BL1b, dem Bitleitungspaar BL3a/BL3b - nicht benachbart dem ersten Paar - und BLma/BLmb verbunden sind, in dem Bereich B1 an der oberen Seite der Figur angeordnet, während die Leseverstärker SA2, SA4, die jeweils mit dem Bitleitungspaaren BL2a/BL2b bzw. BL4a/BL4b verbunden sind, im Bereich B2 auf der unteren Seite der Figur angeordnet sind.
  • Die Leseverstärker SA1 bis SAm werden mit den Leseverstärker-Aktivierungssignalen φS aktiviert, um die Spannungsdifferenz zwischen den Bitleitungen eines Paars, etwa zwischen BL1a und BL2b, zu verstärken.
  • Die Bitleitungen (BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb) sind jeweils in ihrer Mitte mit dem Source-/Drainanschluß der Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q2a/Q2b, ... und Qma/Qmb verbunden, die in Abhängigkeit von einem Steuerungssignal φC, das an die Gateanschlüsse angelegt wird, AN-/AUS-gesteuert werden. Der Speicherzellen-Array ist durch diese Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b bis Qma/Qmb in die Bereiche A1 und A2 unterteilt.
  • Die Wortleitungen dieser Ausführungsform umfassen die in dem Bereich A1 angeordneten Wortleitungen W1-1, W1-2, W1-n und die in dem Bereich A2 angeordneten Wortleitungen W2-1, W2-2, ... W2-n (in dieser Ausführungsform ist die Anzahl der im Bereich A1 angeordneten Wortleitungen gleich derjenigen im Bereich A2).
  • Vorladungstransistoren QP1a/QP1b, QP2a/QP2b, ... QPma/QPmb sind zwischen den Bitleitungspaaren BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ... BLma/BLmb und einer auf einer vorgegebenen Spannung VH gehaltenen Energieversorgungsleitung VHL vorgesehen und werden durch Vorladungssignale φP AN-/AUS-gesteuert.
  • In den Fig. 1 und 2 gehen, wenn ein Vorladungssignal φP von einem hohen in einen niedrigen Pegel verschoben wird, alle diese Vorladungstransistoren QP1a/QP1b, QP2a/QP2b, ..., QPma/QPmb in den AUS-Zustand über, um alle Bitleitungen von den Energieversorgungsleitungen elektrisch abzutrennen.
  • Ein Zeilendekoder (nicht gezeigt) wählt eine Wortleitung (beschrieben wird der Fall, in dem die Wortleitung W1-1 ausgewählt wird) aus, um deren Spannung auf einen hohen Pegel zu verschieben. Die in der Speicherzelle MC, die mit der ausgewählten Wortleitung W1-1 verbunden ist, gespeicherten Daten werden jeweils durch die Spannungen der jeweiligen Bitleitungen (siehe den Zeitpunkt t21 in Fig. 2) repräsentiert. Wenn z.B. Daten mit niedrigem Pegel in der mit den Bitleitungen BL1a und der Wortleitung W1-1 verbundenen Speicherzelle gespeichert sind, wird die Spannung der Bitleitung BL1a leicht niedriger als die Spannung VH, aber wenn Daten mit hohem Pegel in derselben Speicherzelle gespeichert sind, wird im Gegenzug die Spannung der Bitleitung BL1a etwas höher als die Spannung VH. (Fig. 2 zeigt den Fall, in dem Daten mit niedrigem Pegel gespeichert sind).
  • Wenn im Anschluß das Steuerungssignal φC vom hohen in den niedrigen Pegel übergeht, gelangen alle Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q2a/Q2b, ..., Qma/Qmb in den AUS-Zustand, um so elektrisch alle Bitleitungen in solche im Bereich A1 und solche im Bereich A2 elektrisch zu unterteilen. Genauer gesagt, werden die Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb in solche unterteilt, die elektrisch mit den Leseverstärkern SA1 bis SAm verbunden sind, und solche, die elektrisch von den vorgenannten Leseverstärkern getrennt sind. Da die mit benachbarten Bitleitungspaaren verbundenen Leseverstärker, wie oben genannt, jeweils entlang der beiden asymmetrischen Seiten bzw. in den Bereichen B1 und B2 in Fig. 1 in zwei verschiedenen Bereichen angeordnet sind, ist das Bitleitungspaar benachbart einem elektrisch mit einem Leseverstärker verbundenen Bitleitungspaar elektrisch von diesem mit dem Bitleitungspaar benachbart dem ersten Bitleitungspaar verbundenen Leseverstärker abgetrennt. Genauer gesagt, wenn das Steuerungssignal φC von einem hohen in einen niedrigen Pegel verschoben wird, wird der Leseverstärker SA2 mit dem Bitleitungspaar BL2a/BL2b verbunden, aber die Leseverstärker SA1 und SA3 werden elektrisch durch die Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b und Q3a/Q3b von den Bitleitungspaaren BL1a, BL1b, BL3a und BL3b benachbart den oben genannten Bitleitungsabschnitten im Bereich A2 abgetrennt.
  • Da das Leseverstärker-Aktivierungssignal φS in einen hohen Pegel verschoben wird (zum Zeitpunkt t22 in Fig. 2), werden alle Leseverstärker SA1, SA2, SA3, ..., SAm aktiviert, um die Spannungsdifferenz zwischen den Bitleitungen eines jeden Paares BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb zu verstärken. Da zu diesem Zeitpunkt diese Bitleitungspaare durch die Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q2a/Q2b, ..., Qma/Qmb in zwei Gruppen unterteilt sind, wird nur die Ausgabespannung der Hälfte der direkt mit den Leseverstärkern verbundenen Bitleitungspaare durch die Leseverstärker verstärkt. Da Bitleitungspaare benachbart dem elektrisch mit einem Leseverstärker verbundenen Bitleitungspaar elektrisch von dem Leseverstärker abgetrennt sind, wird, unmittelbar nachdem das Aktivierungssignal φS in einen hohen Pegel verschoben wurde, dieser Leseverstärker nicht durch ein Übersprechen von benachbarten Bitleitungspaaren beeinflußt.
  • Auch wenn z.B. die Spannungsdifferenz zwischen den Bitleitungen in dem Paar BL2a/BL2b im Bereich A2 durch den Leseverstärker SA2 verstärkt wird, werden jene zwischen den Leitungen der Paare BL1a/BL1b und BL3a/BL3b - benachbart dem Paar im selben Bereich A2 - nicht verstärkt, um dadurch den Einfluß von Übersprechen zu vermeiden (siehe BL1(A2) und BL2(A1) in Fig. 2).
  • Nachdem die Spannungsdifferenz in dem Bitleitungspaar BL2a/BL2b durch den Leseverstärker SA2 voll verstärkt wurde und das Steuerungssignal φC einen hohen Pegel erreicht hat (zum Zeitpunkt t23 in Fig. 2), werden alle Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b bis Qma/Qmb AN-geschaltet, und die Bitleitungen BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb, die in zwei Gruppen in den Bereichen A1 und A2 unterteilt wurden, werden erneut zur Verstärkung der Spannungsdifferenz in allen Bitleitungspaaren geschaltet.
  • Da die Spannungen der anderen Hälfte der Bitleitungspaare, die vorhergehend nicht durch die Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b bis Qma/Qmb verbunden waren, bis zu diesem Moment nicht verstärkt wurden (nämlich BL1(A2), BL2(A1) usw.), werden die Spannungen der Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb entweder jeweils von Vcc um 1/4 Vcc abfallen oder um 1/4 Vcc vom Massepegel ansteigen, unmittelbar nachdem die Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b bis Qma/Qmb AN-geschaltet wurden, dann aber kurzfristig auf die Pegel Vcc bzw. Masse (GND) mittels der Leseverstärker SA1 bis SAm zurückkehren. Anschließend werden Daten mit einem neuen Pegel, der durch die Leseverstärker SA1 bis SAm verstärkt wurde, in den Speicherzellen MC gespeichert.
  • Wenn dann die Spannung der ausgewählten Wortleitung (W1-1, wie oben erwähnt) einen niedrigen Pegel erreicht, wird die Verbindung zwischen den Bitleitungen und den Speicherzellen MC unterbrochen. Wenn das Leseverstärker-Aktivierungssignal φS niedrig wird, werden alle Leseverstärker inaktiviert. Wenn das Vorladungssignal φP hochgeht, werden die Vorladungstransistoren QP1a/QP1b bis QPma/QPmb AN-geschaltet, um alle Bitleitungen mit der Energieversorgungsleitung VHL zu verbinden und um ihre Potentiale auf das feste Potential VH zu verschieben.
  • Die zweite Ausführungsform der Erfindung in Fig. 3 unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform nur dahingehend, daß das Steuerungssignal φC der ersten Ausführungsform durch die Steuerungssignale φ1 und φ2, das Vorladungssignal φP durch die Vorladungssignale φP1 und φP2 und das Leseverstärker-Aktivierungssignal φS durch die Leseverstärkersignale φS1 und φS2 ersetzt wurden. Das Steuerungssignal φC1 wird den Gateelektroden der Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q3a/Q3b, ... der Bitleitungspaare zugeführt, die mit den Leseverstärkern SA1, SA3, ..., SAm verbunden sind, welche im Bereich B1 angeordnet sind. Das Steuerungssignal φC2 wird den Gateanschlüssen der Übertragungsgatetransistoren Q2a/Q2b und Q4a/Q4b der Bitleitungspaare zugeführt, die mit den im Bereich B2 angeordneten Leseverstärkern SA2, SA4, ... verbunden sind. In ähnlicher Weise wird das Leseverstärker-Aktivierungssignal φS1 den Leseverstärkern SA1, SA3 im Bereich B1 zugeführt, während das Signal φS2 die Aktivierung der Leseverstärker SA2, SA4, ... im Bereich B2 steuert. Das Vorladungssignal φP1 wird den Vorladungstransistoren QP2a/QP2b, QP4a/QP4b, ... zugeführt, die mit den Leseverstärkern SA1, SA3, ..., SAm im Bereich B1 verbunden sind, während das Signal φP2 den Vorladungstransistoren QP1a/QP1b, QP3a/QP3b, ... zugeführt wird, die mit den Leseverstärkern SA2, SA4, ... im Bereich B1 verbunden sind. Außer den Modifikationen bezüglich der ersten Ausführungsform, die ein Anlegen der drei Signalgruppen φC1/φC2, φP1/φP2 und φS1/φS2 ermöglichen, ist die zweite Ausführungsform mit der ersten Ausführungsform identisch, und eine detaillierte Beschreibung wird weggelassen.
  • Unter Bezug auf die Fig. 4 wird der Fall beschrieben, in dem eine Wortleitung W1-1 im Bereich A1 ausgewählt wurde.
  • Das beruhend auf den Daten in dem Zeilendecoder erzeugte Steuerungssignal φP1 wird, wenn die Wortleitung W1-1 ausgewählt wurde, in einem niedrigen Pegel verschoben, und die Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q3a/Q3b, ... der Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb, die mit den jeweiligen Leseverstärkern SA1, SA3, ..., SAm im Bereich B1 verbunden sind, werden AUS-geschaltet. Da das Vorladungssignal φP1 in einen niedrigen Pegel verschoben wird, werden die jeweils mit den Leseverstärkern SA2, SA4, ... im Bereich B2 verbundenen Bitleitungspaare BL2a/BL2b, BL4a/BL4b, ... elektrisch von den Energieversorgungsleitungen VHL getrennt. In diesem Zustand wird das Vorladungssignal φP2 auf einem hohen Pegel gehalten.
  • In diesem Zustand werden von den Bitleitungspaaren BL1a/BL1b, BL3a/BL3b, ... nur jene im Bereich A1 jeweils mit den Leseverstärkern SA1, SA3, ..., SAm über die Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q3a/Q3b, ... verbunden und sind von der Energiezufuhrleitung VHL getrennt.
  • Dann wird die Wortleitung W1-1 durch einen Zeilendekoder (nicht gezeigt) ausgewählt und ihre Spannung geht hoch (siehe den Zeitpunkt t41 in Fig. 4). Die in der mit der ausgewählten Wortleitung W1-1 verbundenen Speicherzelle MC gespeicherten Daten spiegeln sich in jeder Spannungsdifferenz der Bitleitungspaare. Da nur die in dem Bereich A1 angeordneten Bitleitungspaare der Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb mit den Leseverstärkern SA1, SA3, ... und SAm über die Übertragungsgatetransistoren verbunden sind, wird die Länge der Bitleitungen im wesentlichen halbiert. Dies macht die Spannungsdifferenz jedes Bitleitungspaares doppelt so groß wie beim Stand der Technik und halbiert ebenso das Laden/Entladen jeder Bitleitung. Da jene Bitleitungspaare im Bereich A2 mit der Energiezufuhrleitung VHL verbunden sind, werden sie auf dem Spannungspegel VH gehalten (siehe BL1(A1) und BL1(A2) in Fig. 4).
  • Die Spannungsdifferenzen der mit den Leseverstärkern SA2, SA4 im Bereich B2 verbundenen Bitleitungspaare BL2a/BL2b, BL4a/BL4b, ... spiegeln, wie bei der ersten Ausführungsform (BL2(A1) und BL2(A2) in Fig. 4), die in den Speicherzellen gespeicherten Daten wider.
  • Wenn das Steuerungssignal φC2 von einem hohen in einen niedrigen Pegel verschoben wird, schalten die Übertragungsgatetransistoren Q2a/Q2b, Q4a/Q4b, ... der Bitleitungspaare BL2a/BL2b, BL4a/BL4b, ... auf AUS. In diesem Zustand sind alle Bitleitungen in die Bereiche A1 und A2 unterteilt, und im wesentlichen wird derselbe Zustand wie bei der ersten Ausführungsform erhalten, mit der Ausnahme, daß die Spannungen der Bitleitungen in den Paaren BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb, die im Bereich A2 sind, auf VH gehalten werden. Auf diese Art kann ein Teil der Bitleitungspaare, die benachbart dem Teil der Bitleitungspaare sind, die mit den Leseverstärkern verbunden sind, von diesen mit den benachbarten Bitleitungspaaren verbundenen Leseverstärkern getrennt werden.
  • Wenn die Leseverstärker-Aktivierungssignale φS1 und φS2 in einen hohen Pegel verschoben werden (zum Zeitpunkt t42 in Fig. 4), werden alle Leseverstärker aktiviert, um die Spannungsdifferenzen jener Hälfte der Bitleitungspaare zu verstärken, mit denen sie jeweils verbunden sind. Da die Ausgabespannungsdifferenz der Bitleitungspaare, die einander benachbart sind, nicht durch die mit den anderen benachbarten Bitleitungspaaren verbundenen Leseverstärker verstärkt werden, kann aufgrund des oben genannten Betriebs der Übertragungsgatetransistoren ein Übersprechen von benachbarten Bitleitungspaaren verhindert werden.
  • Nachdem die Spannungsdifferenzen der Bitleitungspaare durch die Leseverstärker SA1 bis SAm voll verstärkt wurden, erreicht das Steuerungssignal φC2 einen hohen Pegel, während die Übertragungsgatetransistoren Q2a/Q2b, Q4a/Q4b, ... AN- geschaltet werden, um so die Spannungsdifferenz der Bitleitungspaare (BL2(A1) und BL2(A2) in Fig. 4) zu verstärken. Da das Steuerungssignal φC1 andererseits auf einem niedrigen Pegel verbleibt, wird die Spannung jenes Teils der Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL3a/BL3b, ... - nämlich jener Bitleitungspaare im Bereich A2 - auf VH gehalten (BLa(A2) in Fig. 4).
  • Anschließend werden die durch die Leseverstärker verstärkten Daten mit einem neuen Pegel in den Speicherzellen MC gespeichert. Dann wird die Spannung der ausgewählten Wortleitung (in diesem Fall die Wortleitung W1-1) niedrig, wobei die Verbindung zwischen den Bitleitungen und den Speicherzellen MC unterbrochen wird, und, wenn die Leseverstärker-Aktivierungssignale φS1 und φS2 in einen niedrigen Pegel verschoben werden, werden alle Leseverstärker inaktiviert. Wenn darüber hinaus das Vorladungssignal φP1 und das Steuerungssignal φC1 jeweils hoch werden, werden die Spannungen aller Bitleitungen auf den festen Pegel VH verschoben.
  • Entsprechend dieser Ausführungsform wird, bevor die Spannung der Wortleitungen in einen hohen Pegel in Abhängigkeit von ihrer Auswahl verschoben wird, die Länge jedes Bitleitungspaares im wesentlichen aufgrund der Wirkung der Übertragungsgatetransistoren halbiert, wie es oben erwähnt wurde, wobei die Spannungsdifferenz zum Zeitpunkt des Datenauslesens aus den Speicherzellen doppelt so hoch wie beim Stand der Technik wird, während das Laden/Entladen jedes Bitleitungspaares ein halb wird. Dies verringert den Energieverbrauch des Speicherzellen-Arrays insgesamt um 25%.
  • Die Beschreibung des Betriebs, bei dem die Wortleitung W1-1 ausgewählt ist, ist auf den Fall anwendbar, in dem irgendeine der Wortleitungen, wie etwa W2-1, W2-2 im Bereich A2, ausgewählt wurde, indem das Vorladungssignal φP1 durch φP2, das Steuerungssignal φC1 durch φC2 und das Bitleitungspaar BL1 durch BL2 ersetzt wird. Ansonsten ist der Grundbetrieb identisch.
  • Obwohl die Beschreibung unter der Annahme erfolgt, daß die Leseverstärker-Aktivierungssignale φS1 und φS2 denselben Signalverlauf haben, können sie sich voneinander unterscheiden. Es ist möglich, den Unterschied der Anstiegszeit eines Leseverstärkers zu verringern, indem zuerst das Signal φS2 eingegeben wird, da die Spannungsdifferenz des Bitleitungspaares, das mit dem durch das Signal φS1 aktivierten Leseverstärker verbunden ist, etwa doppelt so hoch ist wie die Spannungsdifferenz des mit dem durch das Signal φS2 aktivierten Leseverstärker verbundenen Bitleitungspaares. Durch diese Technik kann, da die Zeit zum Laden/Entladen beim Verstärken der Ausgabe der Bitleitungspaare durch die Leseverstärker durch 2 geteilt wird, verhindert werden, daß der Spitzenstrom des Speicherzellen-Arrays ansteigt.
  • In Fig. 5 ist die dritte Ausführungsform der Erfindung identisch mit der ersten Ausführungsform, mit der Ausnahme, daß das Vorladungssignal φP der ersten Ausführungsform sagt, ist die dritte Ausführungsform identisch mit der ersten Ausführungsform in bezug auf die Bauweise, mit der Ausnahme, daß das Vorladungssignal φP11 zur Steuerung der Aktivierung der Vorladungstransistoren QP1a, QP2a, QP3a, ... verwendet wird, die eine der Bitleitungen BL1a, BL2a, BL3a, ..., BLma der Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb mit der Energieversorgungsleitung VHL verbindet, während das Vorladungssignal φP12 zur Steuerung der Aktivierung der Vorladungstransistoren QP1b, QP2b, QP3b, ... verwendet wird, die die anderen Bitleitungen BL1b, BL2b, BL3b, ... mit der Energieversorgungsleitung VHL verbindet. Deshalb wird eine detaillierte Beschreibung weggelassen.
  • Nun wird unter Bezug auf Fig. 6 der Fall beschrieben, in dem die Wortleitung W1-1 im Bereich A1 ausgewählt wird.
  • Wenn die Wortleitung W1-1 ausgewählt wird, wird das beruhend auf den Daten in Zeilendecodern (nicht gezeigt) erzeugte Vorladungssignal φP11 von hoch auf niedrig umgeschaltet, und die Vorladungstransistoren QP1a, QP2a, QP3a, ... werden AUS-geschaltet. Dies trennt eine der Bitleitungen BL1a, BL2a, BL3a, ... BLma in jedem Paar elektrisch von der Energieversorgungsleitung VHL.
  • Wenn die Wortleitung W1-1 ausgewählt ist, wird ihr Potential auf einen hohen Pegel verschoben. Die Daten, die in der mit der ausgewählten Wortleitung W1-1 verbundenen Speicherzelle MC gespeichert sind, spiegeln sich in der Spannung in einer der Bitleitungen BL1a, BL2a, BL3a, BLma eines jeden Paares (zum Zeitpunkt 61 in Fig. 6) wider.
  • Wenn das Steuerungssignal φC von einem hohen auf einen niedrigen Pegel verschoben wird, werden alle Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q2a/Q2b, ... AUS-geschaltet und alle Bitleitungspaare werden in den Teil im Bereich A1 und den Teil im Bereich A2 unterteilt.
  • Dann wird das Leseverstärker-Aktivierungssignal φS in einen hohen Pegel verschoben, und alle Leseverstärker SA1, SA2, SA3, ..., SAm werden aktiviert, um die Spannungsdifferenzen der jeweils mit den Leseverstärkern verbundenen Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb zu verstärken. Da die Bitleitungspaare durch die Übertragungsgatetransistoren Q1a/Q1b, Q2a/Q2b, ... in zwei Gruppen unterteilt sind, verstärken die Leseverstärker SA1 bis SAm die Spannungsdifferenzen für eine Hälfte der Bitleitungspaare.
  • Aus dem von den Leseverstärkern getrennten Teil der Bitleitungspaare werden die Bitleitungen BL1b, BL2b, BL3b, ... auf der Energieversorgungsspannung VH gehalten. In diesem Zustand ist das Vorladungssignal φ12 in einem hohen Pegel, wobei die Vorladungstransistoren QP1b, QP2b, QP3b aktiviert werden, so daß die Konstantspannung VH über diese Transistoren dem Teil der Bitleitungen BL2b, BL4b des Bereichs A1 und dem Teil der Bitleitungen BL1b und BL3b im Bereich A2 jeweils zugeführt werden kann. Deshalb wird, unmittelbar nachdem das Leseverstärker-Aktivierungssignal φS nach oben verschoben wurde, eine der Bitleitungen eines jeden Paares benachbart dem mit den Leseverstärkern verbundenen Teil der Bitleitungspaare - nämlich der Bitleitungen BL1b, BL2b, BL3b, ... - auf der konstanten Spannung VH gehalten, um den Nachteil des Übersprechens zu vermeiden.
  • Nachdem die Spannungsdifferenzen der Bitleitungspaare durch die Leseverstärker SA1 bis SAm voll verstärkt wurden, wird das Vorladungssignal φP12 auf einen niedrigen Pegel verschoben, und alle Bitleitungen werden von der Energiezufuhrleitung VHL getrennt, wobei das Steuerungssignal φC in einen hohen Pegel verschoben wird und die Bitleitungen BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb, die abgetrennt waren, elektrisch erneut zur Verstärkungs der Spannungsdifferenzen aller Bitleitungspaare durch die Leseverstärker SA1 bis SAm verbunden werden.
  • Der anschließende Betrieb ist identisch mit dem in bezug auf Fig. 1 beschriebenen, mit der Ausnahme, daß die Vorladungssignale φP11 und φP12 auf einen hohen Pegel mit derselben Zeitsteuerung verschoben werden wie das Vorladungssignal φP in der ersten Ausführungsform, und eine detaillierte Beschreibung wird weggelassen.
  • In Fig. 7 wird die vierte Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Während der Speicherzellen-Array der vorgenannten ersten bis dritten Ausführungsformen in zwei Bereiche A1 und A2 unterteilt war, ist der Speicherzellen-Array dieser Ausführungsform in drei Bereiche A1, A2 und A3 unterteilt, wobei jedes Bitleitungspaar mit zwei Übertragungsgates versehen ist, die jeweils zur Unterteilung des Speicherzellen-Arrays verwendet werden. Diese Ausführungsform enthält Übertragungsgatetransistoren Q11a, Q11b, Q12a, Q12b, Q13a, Q13b, ..., die den Speicherzellen-Array in die Bereiche A1 und A3 unterteilen, und die Übertragungsgatetransistoren Q21a, Q21b, Q22a, Q22b, Q23a, Q23b, ..., die den Speicherzelle-Array in die Bereiche A3 und A2 unterteilen. Diese Transistoren werden mit den Steuerungssignalen φC1, φC2, φC3 und φC4 in bezug auf ihren Betrieb gesteuert und ihnen werden die Vorladungssignale φPC1 bis φPC4 zugeführt. Außer dieser Modifikation ist diese Ausführungsform identisch mit der ersten Ausführungsform, und eine detaillierte Beschreibung der Schaltungsbauweise wird deshalb weggelassen.
  • Beispielhaft wird der Fall betrachtet, in dem die Wortleitung W1-1 im Bereich A1 ausgewählt ist, wobei der Betrieb der Ausführungsform unter Bezug auf Fig. 8 beschrieben wird. Das Vorladungssignal φP wird zunächst von einem hohen auf einen niedrigen Pegel verschoben, und alle Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb werden von der Energieversorgungsleitung VHL getrennt.
  • Da die Wortleitung W1-1 ausgewählt wurde, wird das beruhend auf den Daten des Leitungs-Decoders (nicht gezeigt) erzeugte Steuerungssignal φC1 von einem hohen auf einen niedrigen Pegel verschoben, um die Übertragungsgatetransistoren Q11a/Q11b, Q13a/Q13b, ... AUS-zuschalten. Dies führt dazu, daß nur der Teil der Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL3a/BL3b, ..., die im Bereich A1 angeordnet sind - oder ein Drittel der Gesamtheit - elektrisch mit den Leseverstärkern verbunden sind, während der Rest, der in den Bereichen A2 und A3 ist - oder zwei Drittel der Gesamtheit - von den Leseverstärkern abgetrennt ist.
  • Anschließend wird die Wortleitung W1-1 ausgewählt, und ihre Spannung auf einen hohen Pegel verschoben. In diesem Zustand spiegeln sich die in der mit der ausgewählten Wortleitung W1-1 verbundenen Speicherzelle MC gespeicherte Daten in den Spannungsdifferenzen der Bitleitungspaare jeweils wider, wobei aber die Spannungen der von den Leseverstärkern durch die Übertragungsgatetransistoren Q11a/Q11b, Q13a/Q13b, ... abgetrennten Bitleitungspaare auf VH gehalten werden (BL1(A2, A3) in Fig. 8).
  • Dann wird das Steuerungssignal φC4 auf einen niedrigen Pegel verschoben, die Übertragungsgatetransistoren Q22a/Q22b, Q24a/Q24b, ... werden AUS-geschaltet, und ein Drittel der Bitleitungspaare BL2a/BL2b, BL4a/BL4b, ... - oder jene im Bereich A2 - werden mit den Leseverstärkern SA1, SA4, ... verbunden, während der Rest - oder zwei Drittel - von den Leseverstärkern abgetrennt werden.
  • Zu diesem Zeitpunkt wird die effektive Länge jedes Bitleitungspaares aufgrund der Übertragungsgatetransistoren Q11a/Q11b, Q13a/Q13b, ... und Q22a/Q22b, Q24a/Q24b, ... gedrittelt. Dann wird in diesem Zustand das Leseverstärker- Aktivierungssignal φS auf den hohen Pegel verschoben, um alle Leseverstärker SA1 bis SAm zu aktivieren, so daß die Spannungsdifferenz von dem Drittel der Bitleitungspaare mit der effektiven Länge verstärkt wird.
  • Dann wird das Steuerungssignal φC4 auf einen hohen Pegel verschoben, und die Übertragungsgatetransistoren Q22a/Q22b, Q24a/Q24b, ... werden AN-geschaltet. Dies führt dazu, daß die Ausgabe der Bitleitungspaare im Bereich A1 und A3 - nämlich zwei Drittel der Bitleitungspaare BL2a/BL2b, BL4a/BL4b, ... - verstärkt werden. Die Spannung der Bitleitungspaare wird auf ein Drittel Vcc verschoben, geht aber schnell wieder auf den Spannungspegel Vcc oder auf Masse (GND) (BL2(A2, A3) und BL2(A1) in Fig. 8) zurück.
  • Da das Steuerungssignal φC1 in einem niedrigen Pegel verbleibt, wird der Teil der Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL3a/BL3b, ... in den Bereichen A2 und A3 auf der Spannung von VH gehalten, während der Teil im Bereich A1 auf derselben Spannung unverändert gehalten wird (BL1(A1) und BL1(A2, A3) in Fig. 8).
  • Der weitere Betrieb ist identisch dem Betrieb, der im Zusammenhang mit der ersten Ausführungsform in Fig. 2 beschrieben wurde, mit der Ausnahme, daß das Steuerungssignal φC1 synchron mit dem Abfall des Leseverstärker-Aktivierungssignals φS ansteigt, und eine detaillierte Beschreibung wird deshalb weggelassen (bei dem oben genannten Betrieb verbleiben die Steuerungssignale φC2 und φC3 auf einem hohen Pegel).
  • Die oben gegebene Beschreibung dieser Ausführungsformen ist auf den Fall anwendbar, daß die Wortleitungen W2-1, ..., W2-n ausgewählt werden. In diesem Fall wird das Steuerungssignal φC1 durch φC3 und das Steuerungssignal φC4 durch φC2 jeweils ersetzt.
  • Der Betrieb dieser Ausführungsform wird nun unter Bezug auf Fig. 9 für den Fall beschrieben, in dem die Wortleitung W3- 1 im Bereich A3 ausgewählt wird. Das Vorladungssignal φP wird auf einen niedrigen Pegel verschoben, und alle Bitleitungspaare BL1a/BL1b, BL2a/BL2b, ..., BLma/BLmb werden von der Energieversorgungsleitung VHL getrennt.
  • Da die Wortleitung W3-1 ausgewählt wurde, werden die Steuerungssignale φC2 und φC3 von einem hohen auf niedrigen Pegel verschoben, und die Übertragungsgatetransistoren Q12a/Q12b, Q14a/Q14b, ..., Q21a/Q21b, Q23a/Q23b, ... werden AUS-geschaltet. Deshalb werden von den Bitleitungspaaren BL1a/BL1b, BL3a/BL3b, ... nur jene in den Bereichen A1 und A3 mit den Leseverstärkern verbunden, während von den Bitleitungspaaren BL2a/BL2b, BL4a/BL4b, ... jene in den Bereichen A2 und A3 mit den Verbindungsleitungn verbunden werden, und der Rest der Bitleitungspaarteile - oder ein Drittel davon - abgetrennt wird.
  • Dann wird die Wortleitung W3-1 ausgewählt, und ihre Spannung wird hoch. Die in der mit der ausgewählten Wortleitung W3-1 verbundenen Speicherzelle MC gespeicherten Daten, spiegeln sich in der Spannungsdifferenz zwischen den Bitleitungspaaren wider, deren effektive Länge zwei Drittel beträgt. Die Spannung des verbleibenden Drittels der Bitleitungspaare wird auf dem Pegel von VH gehalten (siehe BL1(A2) in Fig. 8).
  • Dann wird das Leseverstärker-Aktivierungssignal φS auf den hohen Pegel verschoben, und alle Leseverstärker SA1 bis SAm werden aktiviert, so daß die Spannungsdifferenz von den Bitleitungspaaren, deren effektive Länge auf zwei Drittel verringert wurde, durch die mit ihnen verbundenen Leseverstärker verstärkt wird.
  • Der anschließende Betrieb ist identisch mit jenem der ersten Ausführungsform, der in bezug auf Fig. 2 beschrieben wurde, mit der Ausnahme, daß das Steuerungssignal φC2 gleichzeitig mit dem Abfall der Leseverstärker-Aktivierung φS ansteigt, und eine detaillierte Beschreibung wird deshalb weggelassen.
  • Wie in den vorangehenden Ausführungen beschrieben wurde, kann diese Ausführungsform ein Übersprechen zwischen benachbarten Bitleitungspaaren verhindern, das ansonsten, unmittelbar nachdem das Leseverstärker-Aktivierungssignal auf einen hohen Pegel verschoben wurde, auftritt.
  • Ähnlich der dritten Ausführungsform kann diese Ausführungsform den gleichen Effekt wie die dritte Ausführungsform haben, indem verschiedene Signale für jedes der Bitleitungspaare gegeben werden.
  • Obwohl die Erfindung unter Bezug auf bestimmte Ausführungsformen beschrieben wurde, ist diese Beschreibung nicht in einem begrenzenden Sinne zu verstehen. Verschiedene Abänderungen der unter Bezug auf die Beschreibung der Erfindung offenbarten Ausführungsformen sind für den Fachmann offensichtlich. Es ist deshalb davon auszugehen, daß die beiliegenden Ansprüche den Rahmen der Erfindung abdecken.

Claims (5)

1. Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Speicherzellfeld mit einer Anzahl von Speicherzellen (MC), die in Reihen- und Spaltenrichtung in Form eines Feldes angeordnet sind, mehreren Bitleitungspaaren (BL1a, BL1b, ...) zum Verbinden dieser Speicherzellen in der Einheit einer Spalte und Wortleitungen (WL1-1, ...) zum Verbinden dieser Speicherzellen in der Einheit einer Reihe, Leseverstärkern (SA1, ...), die jeweils mit jeder der Bitleitungspaare an ihrem einen Ende verbunden sind und operativ Potentialdifferenzen zwischen den Bitleitungen jedes Paares verstärken, wobei die Leseverstärker an einem Ende der Bitleitungspaare für die Bitleitungspaare, die zu ungeraden Spalten gehören angeordnet sind und am anderen Ende der Bitleitungspaare für die Bitleitungspaare, die zu geraden Spalten gehören, angeordnet sind, gekennzeichnet durch Übertragungstormittel (Q1a, Q1b, ...), die die mehreren Bitleitungen jeweils in zumindest zwei Teile (A1, A2) entsprechend Steuersignalen (φc) unterteilen.
2. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1 mit weiterhin Versorgungsquellenleitungen (VHL), die ein konstantes Potential liefern, und Verbindungsmitteln (QP1, ...), die die Verbindung der mehreren Bitleitungspaare (BL1a, BL1b, ...) mit den Versorgungsquellenleitungen in Abhängigkeit von einem Vorladesignal (φp) steuern.
3. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Übertragungstormittel (Q1a, Q1b, ...) eine Anzahl von ersten Übertragungstormitteln aufweisen, die den ungeraden Bitleitungspaaren entsprechen, und eine Anzahl zweiter Übertragungtormittel, die den geraden Begleitungspaaren entsprechen, wobei das Steuersignal (φc) erste und zweite Steuersignale aufweist, die mit den ersten und zweiten Übertragungstormitteln verbindbar sind.
4. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Verbindungsmittel (QP1a, QP1b, ...) erste Verbindungsmittel aufweisen, die jeweils mit den ungeraden Bitleitungspaaren verbunden sind, und zweite Verbindungsmittel, die jeweils mit den geraden Bitleitungspaaren verbunden sind, und wobei die Vorladesignale (φp) den ersten bzw. den zweiten Verbindungsmitteln zugeführt werden.
5. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Übertragungstormittel (Q1a, Q1b, ...) die Anzahl von Bitleitungspaaren in drei oder mehr Teile (A1, A2, A3) unterteilen und wobei die Steuersignale (φc) zwei oder mehr entsprechende Steuersignale aufweisen.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3358030B2 (ja) * 1993-01-22 2002-12-16 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 半導体メモリ装置及びその初期化方法
JP3397404B2 (ja) * 1993-08-09 2003-04-14 株式会社日立製作所 半導体記憶装置
US5499218A (en) * 1995-01-31 1996-03-12 Goldstar Electron Co., Ltd. Method for driving bit line selecting signals
JP3268158B2 (ja) * 1995-03-31 2002-03-25 株式会社東芝 半導体装置およびその製造方法
KR100489355B1 (ko) * 1997-11-20 2005-08-17 주식회사 하이닉스반도체 노이즈감소를위한메모리소자
JP3415420B2 (ja) * 1997-12-01 2003-06-09 株式会社東芝 半導体集積回路装置
US5999477A (en) * 1998-06-23 1999-12-07 Vanguard International Semiconductor Corporation Distributed array activation arrangement
KR100335267B1 (ko) * 1998-06-29 2002-09-25 주식회사 하이닉스반도체 센싱전류의소모를줄이는반도체메모리장치
JP4050839B2 (ja) 1999-01-29 2008-02-20 松下電器産業株式会社 半導体記憶装置
JP3348432B2 (ja) * 1999-09-14 2002-11-20 日本電気株式会社 半導体装置および半導体記憶装置
KR100516695B1 (ko) * 1999-12-30 2005-09-22 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리 소자의 로오 액티브 방법
FR2881564B1 (fr) * 2005-02-02 2007-06-01 St Microelectronics Sa Circuit integre de memoire, en particulier de memoire sram et procede de fabrication correspondant
CN102170292B (zh) * 2011-01-31 2014-05-07 华为技术有限公司 一种数据处理方法、数据处理系统以及相关设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5942399B2 (ja) * 1979-12-21 1984-10-15 株式会社日立製作所 メモリ装置
US4287576A (en) * 1980-03-26 1981-09-01 International Business Machines Corporation Sense amplifying system for memories with small cells
JPS57208691A (en) * 1981-06-15 1982-12-21 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor memory
DE3267974D1 (en) * 1982-03-17 1986-01-30 Itt Ind Gmbh Deutsche Electrically erasable memory matrix (eeprom)
US4807194A (en) * 1986-04-24 1989-02-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Seimiconductor memory device having sub bit lines
JPS6363196A (ja) * 1986-09-02 1988-03-19 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置
US4807195A (en) * 1987-05-18 1989-02-21 International Business Machines Corporation Apparatus and method for providing a dual sense amplifier with divided bit line isolation
JPS6413290A (en) * 1987-07-07 1989-01-18 Oki Electric Ind Co Ltd Semiconductor memory
JP2712128B2 (ja) * 1988-10-11 1998-02-10 株式会社日立製作所 半導体記憶装置
KR910009444B1 (ko) * 1988-12-20 1991-11-16 삼성전자 주식회사 반도체 메모리 장치
JPH02302986A (ja) * 1989-05-16 1990-12-14 Mitsubishi Electric Corp ダイナミック型半導体記憶装置

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Publication number Publication date
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KR950014243B1 (ko) 1995-11-23

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