DE4240718A1 - Clean pump with impeller in housing part, e.g. for medical instrument - has rotor fitted at one side of impeller with housing part in- between and two passive magnetic bearings for radial support of impeller. - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Reinpumpe nach dem Oberbegriff des Hauptanspruches.

Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf Reinpumpem, die mit einem Flügelrad versehen sind, das an einer vorbestimmten Position in einem Gehäuse durch magnetische Kraft von außer­ halb des Gehäuses gehalten und rotiert wird, und die in Halbleiterherstellungstechnologien und in medizinischen In­ strumenten anwendbar sind.

Eine Zentrifugalpumpe, bei welcher der Druck durch eine Rota­ tionsbewegung von Strömungsmittel in Antwort auf die Rotation eines Flügelrades erhöht wird, wird auf industriellem Gebiet weithin verwendet.

Fig. 1 ist ein vertikaler Schnitt einer Reinpumpe, die in der japanischen Offenlegungsschrift No. 3-29 987 durch den Erfin­ der der vorliegenden Anmeldung vorgeschlagen wurde. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist ein Flügelrad 3 in einem Gehäuse 2 einer Pumpe 1 angeordnet. Das Gehäuse 2 ist aus nichtmagneti­ schen Bauteilen hergestellt, während das Flügelrad 3 ein nichtmagnetisches Bauteil 5, das einen Permanentmagneten 4 hat, der ein passivmagnetisches Lager bildet, und ein Weich­ eisenbauteil 6 aufweist, das einem Rotor eines ak­ tivmagnetischen Lagers entspricht. Der Permanentmagnet 4 ist in Richtung des Umfangs des Flügelrades 3 geteilt, wobei die nebeneinander liegenden Teile mit zueinander gegensätzlichen Polen magnetisiert sind. Ein Rotor 8, der von einer Welle 7 getragen wird, ist außerhalb des Gehäuses 2 angeordnet, damit er der Seite des Permanentmagneten 4 von Flügelrad 3 gegen­ überliegt. Der Rotor 8 wird durch einen Motor (nicht gezeigt) zur Rotation angetrieben. Der Rotor 8 weist die selbe Anzahl von Permanentmagneten 9 auf, wie Permanentmagnete 4 an dem Flügelrad 3 vorhanden sind, so daß sich die Permanentmagnete gegenüberliegen und eine anziehende Kraft ausüben. Ein Elek­ tromagnet 10 ist so befestigt, daß er der Seite mit dem Ei­ senteil 6 des Flügelrad 3 gegenüberliegt, wobei der Elektro­ magnet 10 das Flügelrad 3 in der Mitte des Gehäuses 2 gegen die anziehende Kraft der Permanentmagnete 4 und 9 hält.

In einer solchen Reinpumpe treibt der Permanentmagnet 9, der in dem Rotor 8 eingesetzt ist, das Flügelrad 3 an und unter­ stützt es radial, um eine axiale anziehende Kraft zwischen dem Permanentmagneten 9 und dem Permanentmagneten 4 zu er­ zeugen. Ein Strom wird durch eine Spule des Elektromagneten 10 so geführt, daß das Gleichgewicht zwischen den anziehenden Kräften erhalten bleibt, wodurch das Flügelrad 3 schwebend gehalten wird. Dann, wenn Rotor 8 dreht, bilden die Perma­ nentmagnete 4 und 9 eine magnetische Kopplung, um das Flügel­ rad 3 zu rotieren, wodurch Strömungsmittel aus einer Auslauf­ öffnung (nicht gezeigt) austritt. Weil das Flügelrad 3 von dem Rotor 8 durch das Gehäuse 2 getrennt ist und nicht durch den Elektromagneten 10 kontaminiert wird, bleibt das Strö­ mungsmittel der Pumpe 1 sauber.

Je kleiner die anziehende Kraft der magnetischen Kopplung zwischen den Permanentmagneten 4 und 9 ist, um so kleiner ist der Betrag des Stromflusses durch die Spule des Elektromagne­ ten 10, wodurch weniger Wärme erzeugt und weniger Leistung verbraucht wird. Jedoch ist eine verminderte anziehende Kraft nicht praktisch, weil es die Verminderung der Antriebskraft der magnetischen Kopplung und einer radialen Steifheit mit sich bringt. Um eine erforderliche Antriebskraft und eine ra­ diale Steifheit zu erhöhen, sollte Strom von mehr als einem festen Betrag durch die Spule von Elektromagnet 10 geführt werden, was zu einer Erhöhung der Wärmeerzeugung und des Stromverbrauches führt.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Reinpumpe bereitzu­ stellen, die es erlaubt, den Strom, der von einem steuerbaren Lager verbraucht wird, zu vermindern, die radiale Steifheit zu erhöhen, und die notwendige Antriebskraft zu erhalten.

Diese Aufgabe wird bei einer Reinpumpe nach dem Hauptanspruch gelöst.

Die Erfindung bezieht sich auf eine Reinpumpe, die mit einem ringförmigen Rotatorflügelrad versehen ist, das in einem Gehäuseteil untergebracht ist, und auf einen Rotor, der an einer Seite des Flügelrades vorgesehen ist, wozwischen sich das Gehäuseteil befindet. Der Rotor und das Flügelrad werden radial durch ein passivradialmagnetisches Lager getragen. An der anderen Seite des Flügelrades ist ein aktivmagnetisches Lager vorgesehen, das von einem kombinierten Elektromagneten, der einen Permanentmagneten und einen Elektromagneten auf­ weist, gebildet wird, wobei das aktivmagnetische Lager durch einen Steuerschaltkreis null-leistungsgesteuert ist.

Gemäß der Erfindung erreicht die Null-Leistungssteuerung des kombinierten Elektromagneten daher die notwendige Antriebs­ kraft, erhöht die radiale Steifheit und reduziert den Lei­ stungsverbrauch.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein Permanentmagnet an einem Teil eines Jochs vorgesehen, wobei ein kombinierter Magnet mit einer ersten Spulenwicklung zur Erhöhung der magnetomotorischen Kraft des kombinierten Magne­ ten einschließlich der magnetomotorischen Kraft des Permanentmagneten und einer zweiten Spulenwicklung zur Ver­ minderung der magnetomotorischen Kraft gebildet wird.

Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist eine Vielzahl von Positionssensoren zwischen einer Viel­ zahl von kombinierten Elektromagneten vorgesehen, und die Sensorausgänge werden als erste Rückkopplungssignale an einen Steuerschaltkreis angelegt. Der Steuerschaltkreis umfaßt einen Vergleichsschaltkreis zum Vergleich eines extern ange­ legten Positionssetzungssignales mit den ersten und zweiten Rückkopplungssignalen, eine PID-Steuerschaltung zur Steuerung der Phase und des Verstärkungsfaktors eines Ausgangssignales des Vergleichsschaltkreises, einen integrierenden Schaltkreis zur Integration des Ausgangssignales der PID-Steuerschaltung, der das integrierte Ausgangssignal als ein zweites Rückkopp­ lungssignal auf den Vergleichsschaltkreis gibt, einen ersten Verstärker zur Verstärkung alleine der positiven Signalkompo­ nente, die aus dem Ausgangssignal der PID-Steuerschaltung zum Antrieb der ersten Spule gewonnen wurde, und einen zweiten verstärkenden Schaltkreis zur Verstärkung der rein negativen Signalkomponente des Ausgangssignales der PID-Steuerschaltung zum Antrieb einer zweiten Spule.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfin­ dung ist entweder das Flügelrad oder das Gehäusebauteil so schräg geformt, daß der Freiraum zwischen dem Flügelrad und dem Gehäusebauteil gegen den äußeren Durchmesser des Flügel­ rades vergrößert wird.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den restlichen Unteransprüche.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der bei­ liegenden Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 einen vertikalen Schnitt einer herkömmlichen Reinpumpe;

Fig. 2 einen vertikalen Schnitt einer Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 3 ein Diagramm, das Koordinatenachsen zur Steuerung des in Fig. 2 gezeigten Flügelrades zeigt;

Fig. 4 ein schematisches Diagramm, das einendes in Fig. 2 gezeigten, kombinierten Elektromagneten zeigt;

Fig. 5 einen vertikalen Schnitt entlang der Linie V-V von Fig. 2;

Fig. 6 ein Blockdiagramm eines Steuerschaltkreises für die erste Ausführungsform;

Fig. 7 bin Diagramm, das eine Konfiguration einer Rein­ pumpe zeigt, die zu einer Fehlfunktion führt; und

Fig. 8 einen vertikalen Schnitt einer Reinpumpe, die verbessert wurde, daß sie zu keiner Fehlfunktion führt;

Mit Bezug auf Fig. 2 wird zunächst eine Reinpumpe beschrie­ ben, die mit Ausnahme eines Elektromagneten 20 ähnlich wie die oben beschriebene Reinpumpe von Fig. 1 aufgebaut ist. Der Elektromagnet 20 ist mit einem Permanentmagneten 21 an einem Joch an einer Seite eines U-förmigen Kerns versehen, der aus ferromagnetischem Material hergestellt ist, wobei Spulen 22 und 23, wie in Fig. 4 gezeigt ist, gewickelt sind. Die Spulen sind so angeschlossen, daß sie eine magnetomotorische Kraft eines kombinierten Elektromagneten, die die magnetomotorische Kraft eines Permanentmagneten 21 umfaßt, erhöhen, wenn Strom durch die Spule 22 fließt, und daß sie die magnetomotorische Kraft vermindern, wenn Strom durch die Spule 23 fließt.

Der kombinierte Elektromagnet 20 ist in einer solchen Weise ausgelegt und räumlich unter Abstand von einem Weicheisenbau­ teil 6 angeordnet, daß die resultierende Kraft der Kräfte zur Anziehung des Flügelrades 3 ungefähr gleich der Kraft der Permanentmagneten 4 und 9 zur Anziehung des Flügelrades ist, wenn kein Strom durch die Spule fließt. Positionssensoren S1 -S4 sind zwischen den Elektromagneten 20, wie in Fig. 5 ge­ zeigt ist, angeordnet. Die Positionssensoren S1-S4 tasten die Spalte zwischen dem kombinierten Elektromagneten 20 und dem Weicheisenbauteil 6 ab. Der Sensorausgang wird an einen Steuerschaltkreis 30 (Fig. 6) angelegt, was später be­ schrieben wird, um z, R_x und R_y (Fig. 2) zu steuern, wodurch das Flügelrad 3 ungefähr in der Mitte des Gehäuses 2 gehalten wird.

Fig. 6 ist ein Blockdiagramm eines Steuerschaltkreises gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. Mit Bezug auf Fig. 5 wird die Null-Leistungssteuerung in der Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Aus den Ausgängen der vier Positionssensoren S1, S2, S3 und S4 (Fig. 5) werden die kom­ binierten Elektromagneten für jede Steuerachse gesteuert, wo­ bei (S1+S2+S3+S4) als Rückkkopplungseingang zur z-Ach­ sensteuerung, (S1+S2)-(S3+S4) als Rückkopplungseingang für R_x und (S1+S4)-(S2+S3) als Rückkopplungseingang für R_y dient.

Als Beispiel wird die Steuerung der z-Achse beschrieben. Mit (S1+S2+S3+S4) als Rückkopplungseingang der z-Achse werden ein von außen angelegte Positionssetzungssignal Rz und ein Rück­ kopplungseingang 11 durch einen Vergleicher 31 verglichen und verstärkt, um an der PID-Steuerschaltung 32 angelegt zu wer­ den, wenn es keine Schleife I in dem Steuerschaltkreis 30 (Fig. 6) gibt. Die PID-Steuerschaltung 32 umfaßt einen Indikationsschaltkreis 321, einen Proportionalschaltkreis 322, einen Differentialschaltkreis 323 und einen Additionsschalt­ kreis 324 zur Aufaddition dieser Ausgänge. Dann justiert die PID-Steuerschaltung 32 die Phase und den Verstärkungsfaktor einer Spannung v₁ zur Ausgabe. Die Spannung v₁ wird an einen A-Schaltkreis 33 und an einen B-Schaltkreis 34 angelegt. Der A-Schaltkreis 33 gibt nur positive Signalkomponenten der Spannung v₁ aus, während B-Schaltkreis 34 nur negative Signalkomponenten ausgibt. In anderen Worten, wenn eine posi­ tive Abweichung groß im Vergleich zu einem gesetzten Wert ist, wird ein Ausgang von A-Schaltkreis 33 durch einen Ver­ stärker 35 verstärkt, um in eine Kraft von K₆ umgewandelt zu werden, welche bewirkt, daß die elektromagnetische Kraft des kombinierten Elektromagneten 20 verstärkt wird, wodurch die Masse M des Flügelrades 3 so beeinflußt wird, daß das Flügel­ rad 3 vom kombinierten Elektromagneten 20 angezogen wird.

Auf der anderen Seite wird mit einer negativen Abweichung, die groß in Bezug auf einen gesetzten Wert ist, ein Ausgang des B-Schaltkreises 34 durch einen Verstärker 36 verstärkt, und in eine Kraft umgewandelt, die die elektromagnetische Kraft des kombinierten Elektromagneten 20 vermindert, was dazu führt, daß das Flügelrad 3 sich vom kombinierten Elek­ tromagneten entfernt. Wenn die Spannung v₁ ungefähr gleich Null ist, legt ein C-Schaltkreis 37 einen vorgegeben Strom zur Eliminierung einer neutralen Zone der elektromagnetischen Kraft an die Ausgänge des A-Schaltkreises 33 und B-Schalt­ kreises 34 durch Addierer 38 bzw. 39 an. In anderen Worten, wenn die Spannung v₁ gleich Null ist, während Ströme von gleicher Größe durch die beiden in Fig. 4(a) gezeigten Spulen 22, 23 fließen, bleibt die anziehende Kraft des kombinierten Elektromagneten 20 gleich der anziehenden Kraft von dem Per­ manentmagneten 21 alleine.

Wenn die Schleife I aufgebaut ist, wird eine Spannung v₁ des Ausgangs des Addierers 324 in der PID-Steuerschaltung 32 durch den Integrator 40 integriert, durch den Verstärker 41 um K₅ verstärkt und zu einem gesetzten Wert im Vergleicher 31 addiert. In anderen Worten wird ein anfänglich gesetzter Wert aktualisiert und der Abstand zwischen den kombinierten Elektromagneten 20 und den Flügelrad 3 wird verkürzt, um die anziehende Kraft zwischen den Permanentmagneten 4 und 9 (Fig. 2) mit der anziehenden Kraft des Permanentmagneten 21 auszu­ balancieren. Diese Operation wird als Null-Leistungssteuerung bezeichnet. Dann, wenn die Abweichung positiv oder negativ aufgrund von dynamischen Störung wird, fließt ein Strom, wie oben beschrieben ist durch die Spule 22 oder die Spule 23, um das Flügelrad 3 zu steuern und dadurch seine dynamische Sta­ bilität zu erhalten.

Da eine Positionsänderung des Flügelrades 3 bei Null-Lei­ stungssteuerung innerhalb des Gehäuses 2 fällt, wenn das Flü­ gelrad 3 sich stark bewegt, kommt es in Kontakt mit den inne­ ren Oberflächen des Gehäuses 2. Um einen solchen Kontakt zu vermeiden, enthält der Verstärker 41 einen Begrenzungsschalt­ kreis, um zu verhindern, daß das Flügelrad 3 in Kontakt mit den inneren Oberflächen des Gehäuses 2 kommt. Zusätzlich wird die Zeitkonstante des Integrators 40 so gewählt, daß sie größer als die des Integrators 321 in der PID-Steuerschaltung 32 ist. Weiterhin kann ein Setzwert für die Null- Leistungssteuerung durch Addition verändert werden, wie in Fig. 6 durch gestrichelte Linien angezeigt ist. In anderen Worten, mit einem Addierer 40, der als vorangegangene Stufe zum Integrator 321 vorgesehen ist, wird ein Ausgang des Ver­ gleichers 31 an den Addierer 40 angelegt, worin der Ausgang auf den Ausgang des Verstärkers 41 addiert wird. Das Addi­ tionsausgangssignal wird auf den Integrator 321 gegeben.

Wenn das Flügelrad 3 sich in der Mitte des Gehäuses 2 befin­ det, sollte eine anziehende Kraft eines Kopplungsmagneten zur Rotation und eine anziehende Kraft des kombinierten Elektro­ magneten 20 so abgestimmt werden, daß sie ungefähr gleich sind, wenn kein Strom fließt. Zusätzlich kann eine Kopplung zur Rotation durch ein Rotationsmagnetfeld verwirklicht wer­ den.

Gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform der Erfindung wird ein kombinierter Elektromagnet mit einem Permanentmagne­ ten, der an einem Teil des Jochs eines aktivtypmagnetischen Lagers vorgesehen ist, zur Null-Leistungssteuerung verwendet, und es ist möglich, die notwendige Antriebskraft und erhöhte radiale Steifheit bei Verminderung des Stromverbrauchs zu er­ halten.

Fig. 7 ist ein Diagramm, das eine Konfiguration einer Rein­ pumpe der Erfindung veranschaulicht, die zu einer Fehlfunk­ tion führt. Wenn der Freiraum zwischen dem Flügelrad 3 und dem Gehäuse 2 in radialer Richtung auswärts vom Flügelrad 3 aufgrund eines Herstellungsfehlers sich vergrößert, wird der Ausstoßdruck P₀ der Pumpe 1 hoch. Als Ergebnis wird der Strömungsmitteldruck an einer Stelle, wo ein mittlerer Freiraum kleiner ist, erhöht (Fig. 7) wegen der Festkeilwir­ kung des Strömungsmitteldruckes von der äußeren Umfangsseite.

Der Anstieg des Strömungsmitteldruckes bewirkt eine nach links gerichtete Kraft Ff auf das Flügelrad 3. Obwohl eine nach rechts gerichtete Kraft auf das Flügelrad 3 ausgesetzt wird, um die Kraft durch die anziehenden Kräfte der Perma­ nentmagneten 4 und 9 während der Null-Leistungssteuerung aus­ zugleichen, wird die Keilwirkung des Strömungsmittelsdruckes weiter erhöht, wodurch die nach links gerichtete Kraft Ff verstärkt wird. Als Ergebnis wird das Steuersystem unstabil. Eine Ausführungsform, die solche Fehler eliminiert, wird im Folgenden beschrieben.

Fig. 8 ist eine Schnittansicht des Hauptteiles einer anderen Ausführungsform der Erfindung. Die Ausführungsform von Fig. 8 ist so aufgebaut, daß die rechtsseitigen und linksseitigen Freiräume zwischen den Gehäuse 2 und dem Flügelrad 3 in radi­ aler Richtung einwärts von Flügelrad 3 in Hinsicht auf Verar­ beitungsfehler vergrößert werden. Bei dieser Ausführung wird angenommen, daß der Strömungsmitteldruck auf das Flügelrad 3 wie Ff nach rechts gerichtet wirkt. Zu dieser Zeit bewegt sich das Flügelrad 3 nach links, weil es der Null-Lei­ stungssteuerung ausgesetzt ist. Unter der Null-Leistungssteu­ erung ändert sich der linksseitige Freiraum von groß nach klein, wodurch Ff aufgrund des Strömungsmitteldrucks sich von groß nach klein ändert, um bei einem stabilen Punkt zu hal­ ten. Wenn der rechtsseitige Freiraum größer ist, wird das Flügelrad 3 nicht weiter nach links bewegt.

Während in der Ausführungsform von Fig. 8 beide Seitenflächen des Flügelrades 3, die dem Gehäuse 2 gegenüberliegen, so ge­ formt sind, daß jeder Freiraum zwischen dem Flügelrad 3 und dem Gehäuse 2 gegen die Pumpenauslaßseite (auswärts) schmaler werden, kann eine Seite des Flügelrades 3 auch parallel ste­ hen.

Bei einer Ausführungsform der Erfindung, bei der zumindest einer der Freiräume zwischen dem Flügelrad und dem Pumpenge­ häuse so geformt ist, daß er in der Pumpe nach außen hin schmaler wird, wird Ff, das auf das Flügelrad wirkt, automa­ tisch ausgeglichen, um eine stabile Null-Leistungssteuerung zu erreichen.

Claims (7)

1. Reinpumpe umfaßend ein Gehäusebauteil (2), ein ringför­ miges Flügelrad (3), das in dem Gehäusebauteil rotieren kann, einen rotierbaren Rotor (8), der an einer Seite des Flügelrades mit dem Gehäusebauteil dazwischen ange­ bracht ist, radiale passivmagnetische Lager (4, 9), ei­ nes vorgesehen an einer Seite des Flügelrades und das andere an der einen Seite des Rotors gegenüber dem Flü­ gelrad zur radialen Unterstützung des Flügelrades, und ein aktivmagnetisches Lager mit einem Elektromagneten, um das Flügelrad gegen die Wirkung des passivmagneti­ schen Lagers mittig zu halten, dadurch gekennzeichnet, daß das aktivmagnetische Lager eine Vielzahl von kombinierten Elektromagneten (20) umfaßt, die je einen Permanentmagneten (21), der bezüglich dem Gehäusebau­ teil auf dar anderen Seite des Flügelrades liegt, und je einen Elektromagneten zur Steuerung der Freiheits­ grade des Flügelrades in Rotationsachsenrichtung und um den Schwerpunkt umfassen, und daß eine Steuervorrich­ tung (30) zur Null-Leistungssteuerung des aktivmagneti­ schen Lagers vorgesehen ist.

2. Reinpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuervorrichtungen (3) Vorrichtungen (22, 23) zur Steuerung des Elektromagneten beinhaltet, so daß das Flügelrad ungefähr in der Mitte des Gehäusebauteils durch magnetische Kräfte von dem passivmagnetischen La­ ger und den Permanentmagneten (21), die in dem aktivma­ gnetischen Lager eingeschlossen sind, gehalten wird.

3. Reinpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der kombinierte Elektromagnet ein Joch (20), eine erste Spule (22) zur Erhöhung der elektromotorischen Kraft aus kombinierten Elektromagneten, die die magnetomo­ torischen Kraft des Permanentmagneten einschließt und eine zweite Spule (23) zur Reduzierung der magnetomoto­ rischen Kräfte, die beide um das Joch gewickelt sind, und einen Permanentmagneten (21), der an einem Teil des Jochs vorgesehen ist, aufweist.

4. Reinpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest drei von einer Vielzahl von Positionssensoren (S1-S4) vorgesehen sind, die zwischen der Vielzahl von kombinierten Elektromagneten (20) eingefügt sind, um die jeweiligen Sensorausgänge als erste Rückkopp­ lungssignale an die Steuervorrichtung anzulegen, wobei die Steuervorrichtungen Vergleichsvorrichtungen (31, 40) zum Vergleich eines von außen angelegten Positionssetzungssignals und den ersten Rückkopp­ lungssignalen und einem zweiten Rückkopplungssignal, eine PID-Steuerschaltung (32) zur Steuerung der Phase und des Verstärkungsfaktors eines Ausgangssignals der Vergleichsvorrichtung, eine Integrationsvorrichtung (40) zur Integration des Ausgangssignals der PID- steuerschaltung und zur Anlegung des integrierten Signals als zweites Rückkopplungssignal an die Ver­ gleichsvorrichtungen, eine erste Verstärkervorrichtung (33) zur Verstärkung von nur positiven Signalkomponen­ ten, die dem Ausgangssignal der PID-Steuerschaltung entnommen sind, um die erste Spule anzutreiben, und eine zweite Verstärkervorrichtung (34) zur Verstärkung von nur negativen Signalkomponenten, die dem Ausgangssignal der PID-Steuerschaltung entnommen sind, um die zweite Spule anzutreiben, aufweisen.

5. Reinpumpe nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine Begrenzungsvorrichtung (41) zur Begrenzung des Ausgangssignales der Integrationsvorrichtung.

6. Reinpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Bias-Signal-Additionsvorrichtung (37, 38, 39) zur Addition eines Bias-Signals auf die Ausgangssignale der ersten und zweiten Verstärkungsvorrichtung vorgesehen ist.

7. Reinpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die eine oder die andere Seite des Flügelra­ des schräg geformt ist, so daß ein Freiraum zwischen dem Flügelrad (3) und dem Gehäusebauteil (2) sich zur Pumpenauslaßseite hin verjüngt.