CN221522772U - 真空镀膜机的抽气机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用真空镀膜机技术领域，提供了一种真空镀膜机的抽气机构，包括：管体和滑柱，所述滑柱滑动连接所述管体，所述管体内部设有第一挡板和第二挡板，所述滑柱滑动连接所述第一挡板，所述滑柱对应所述第一挡板设有间隔布置的球形凸起，两个球形凸起的间距大于所述第一挡板的厚度，所述滑柱滑动连接所述第二挡板，所述第二挡板上设有若干通气部，所述通气部用于单向连通所述第二挡板的两侧空间。借此，本实用新型利用二个挡板，增加了一个真空缓冲腔，实现二次密封，使得真空密封效果更好，同时通风部的动作更迅速，可以实现快速密封，进一步降低了真空泄漏的风险。

Description

真空镀膜机的抽气机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，特别涉及一种真空镀膜机的抽气机构。

背景技术

真空镀膜机需要其抽气机构用来抽出内侧空气，形成真空状态，从而进行镀膜工作，真空的环境可以保证镀膜的质量。镀膜室进行抽气真空操作完成后，无法快速封闭排气口，排气口密封性不足容易出现漏气现象，影响设备的使用效果，而且镀膜使会产生一些细小颗粒，被真空泵吸入后会导致真空泵损坏。

综上可知，现有技术在实际使用上显然存在不便与缺陷，所以有必要加以改进。

实用新型内容

针对上述的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的抽气机构，本实用新型利用二个挡板，增加了一个真空缓冲腔，实现二次密封，使得真空密封效果更好，同时通风部的动作更迅速，可以实现快速密封，进一步降低了真空泄漏的风险。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种真空镀膜机的抽气机构，包括：管体和滑柱，所述滑柱滑动连接所述管体，所述管体内部设有第一挡板和第二挡板，所述滑柱滑动连接所述第一挡板，所述滑柱对应所述第一挡板设有间隔布置的球形凸起，两个球形凸起的间距大于所述第一挡板的厚度，所述滑柱滑动连接所述第二挡板，所述第二挡板上设有若干通气部，所述通气部用于单向连通所述第二挡板的两侧空间。

根据本实用新型的真空镀膜机的抽气机构，所述滑柱的对应所述第二挡板设有辅助板，所述辅助板直径大于所述滑柱的直径。

根据本实用新型的真空镀膜机的抽气机构，所述滑柱弹性连接所述管体。

根据本实用新型的真空镀膜机的抽气机构，所述通气部包括：柔性吸盘，所述柔性吸盘固定连接所述第二挡板，所述柔性吸盘的四周设有若干通孔，所述柔性吸盘能够覆盖其四周的所述通孔。

根据本实用新型的真空镀膜机的抽气机构，所述柔性吸盘为硅胶材质。

根据本实用新型的真空镀膜机的抽气机构，所述通气部包括：若干鸭嘴阀，所述鸭嘴阀用于控制气流的单向流动。

本实用新型包括：管体和滑柱，所述滑柱滑动连接所述管体，所述管体内部设有第一挡板和第二挡板，所述滑柱滑动连接所述第一挡板，所述滑柱对应所述第一挡板设有间隔布置的球形凸起，两个球形凸起的间距大于所述第一挡板的厚度，所述滑柱滑动连接所述第二挡板，所述第二挡板上设有若干通气部，所述通气部用于单向连通所述第二挡板的两侧空间；本实用新型利用二个挡板，增加了一个真空缓冲腔，实现二次密封，使得真空密封效果更好，同时通风部的动作更迅速，可以实现快速密封，进一步降低了真空泄漏的风险。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；图2是本实用新型的立体剖面结构示意图；图3是本实用新型管体的剖视结构示意图；图4是本实用新型滑柱的结构示意图；图5是图2中A细节的放大结构示意图；在图中，1-管体，11-第一挡板，111-第一滑孔，12-第二挡板，121-第二滑孔，123--通孔，2-滑柱，21-第一球形凸起，22-第二球形凸起，23-辅助板，3-柔性吸盘。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参见图1至图5，本实用新型提供了一种真空镀膜机的抽气机构。该真空镀膜机的抽气机构包括：管体1和滑柱2，所述滑柱2滑动连接所述管体1，所述管体1内部设有第一挡板11和第二挡板12，所述滑柱2滑动连接所述第一挡板11，所述滑柱2对应所述第一挡板11设有间隔布置的球状凸起：第一球状凸起21和第二球状凸起22，两个球状凸起的间距大于所述第一挡板11的厚度，所述滑柱2滑动连接所述第二挡板12，所述第二挡板12上设有若干通气部，所述通气部用于单向连通所述第二挡板12的两侧空间。第一挡板11和第二挡板12对应所述滑柱2设有第一滑孔111及第二滑孔121，两个球状凸起之间的滑柱2为锥体结构，当第二球状凸起22脱离与第一挡板11的接触时，锥体结构与第一滑孔111之间的间隙连通第一挡板11的两侧空间。当连接外部真空泵时，通气部打开，连通第二挡板12的两侧，滑柱2的两端压力不同，滑柱2向第二挡板12的方向移动，将第一挡板11及第二挡板12的两侧空间均连通，实现空气的抽取。当真空泵关机时，通气部关闭，滑柱2在两端的压力差的作用下，第二球状凸起22抵接在第一挡板11上，将第一挡板11两侧的空间进行封堵隔离，第一挡板11与第二挡板12之间的空间为缓冲腔。该机构竖直安装使用，滑柱2自身的重力辅助滑柱2下移。第一滑孔111内部设有若干通槽，保证端部的球状凸起抵接在第一滑孔111上时，第一挡板11两侧的空间依然能够连通。为了后续描述方便，以图2为参照，附图的左侧方向为管体1的下方，附图的右侧方向为管体1的上方，管体1的上方连接真空泵。

进一步的，所述滑柱2的对应所述第二挡板12设有辅助板23，所述辅助板23直径大于所述滑柱2的直径。辅助板23能够增加滑柱2两端的压力差，使得滑柱2的移动更迅速。

作为本实用新型的一优选实施例，所述通气部包括：柔性吸盘3，所述柔性吸盘3固定连接所述第二挡板12，所述柔性吸盘3的四周设有若干通孔123，所述柔性吸盘3能够覆盖其四周的所述通孔123。柔性吸盘3位于第二挡板12的外侧，保证真空泵吸气时，柔性挡板能够将通孔123打开，实现第二挡板12两侧的空间连通。当真空泵关机时，柔性吸盘3依靠自身的弹力及真空室内的负压，迅速吸附在通孔123上，将通孔123覆盖，实现缓冲腔的封堵。

进一步的，所述柔性吸盘3为硅胶材质，弹性优良，永久变形小，可提供10至90A硬度，硬度的大小可根据实际需要进行确定。柔性吸盘对压力的变化相比与滑柱要更加灵敏，能够实现快速吸合和打开通孔123。

作为本实用新型的另一优选实施例，所述通气部包括：若干鸭嘴阀，所述鸭嘴阀用于控制气流的单向流动。第二挡板12上设有若干通孔123，鸭嘴阀安装在通孔123内。当真空泵吸气时，鸭嘴阀打开，实现空气的抽取，当真空泵关闭，缓冲腔的压力小于外界大气压，鸭嘴阀闭合，实现缓冲腔的封闭。缓冲腔封闭后，滑柱2两侧的压力差使得滑柱2下移，将第一挡板11的两侧空间封堵。鸭嘴阀对压力的变化相比与滑柱要更加灵敏，能够实现快速吸合和打开通孔123。鸭嘴阀为现有技术，在说明书附图中并未画出。

进一步的，所述滑柱2弹性连接所述管体1。滑柱2与第二挡板12之间设有弹簧，使得滑柱2的移动更迅速。

本真空镀膜机的抽气机构在安装时，优先选择竖直安装，当需要抽气时，真空泵开启，第二挡板12的上方为负压，通气部打开，滑柱2克服自身重力及弹簧的弹力，向上移动，第一挡板11、第二挡板12两侧的空间连通，实现抽气。当真空泵关机时，第二挡板12上方的压力变为常压，第二挡板12下方空间的压力为负压，通孔123在柔性吸盘3会鸭嘴阀的作用下首先封闭。滑柱2在重力、弹簧及两端压力差的作用下，将第一滑孔111封闭。第一挡板11两侧的空间均封闭并保持负压，使得真空密封效果更好，漏气风险降低。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具备特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机的抽气机构，其特征在于，包括：管体和滑柱，所述滑柱滑动连接所述管体，所述管体内部设有第一挡板和第二挡板，所述滑柱滑动连接所述第一挡板，所述滑柱对应所述第一挡板设有间隔布置的球形凸起，两个球形凸起的间距大于所述第一挡板的厚度，所述滑柱滑动连接所述第二挡板，所述第二挡板上设有若干通气部，所述通气部用于单向连通所述第二挡板的两侧空间。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的抽气机构，其特征在于，所述滑柱的对应所述第二挡板设有辅助板，所述辅助板直径大于所述滑柱的直径。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的抽气机构，其特征在于，所述滑柱弹性连接所述管体。

4.根据权利要求1-3任一项所述的真空镀膜机的抽气机构，其特征在于，所述通气部包括：柔性吸盘，所述柔性吸盘固定连接所述第二挡板，所述柔性吸盘的四周设有若干通孔，所述柔性吸盘能够覆盖其四周的所述通孔。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的抽气机构，其特征在于，所述柔性吸盘为硅胶材质。

6.根据权利要求1-3任一项所述的真空镀膜机的抽气机构，其特征在于，所述通气部包括：若干鸭嘴阀，所述鸭嘴阀用于控制气流的单向流动。