CN212596833U - 光阻喷吐系统 - Google Patents

Abstract

一种光阻喷吐系统，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。所述光阻喷吐系统运行平稳，可靠性高。

Description

光阻喷吐系统

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光阻喷吐系统。

背景技术

光阻涂布工艺，主要是通过泵浦将放置于储存槽中的光阻液吸出至输送管内，并通过位于泵浦上下两端的阀门来控制进出泵浦的光阻液容量，最后再通过输送管送至喷嘴，由喷嘴将光阻液喷吐到芯片表面的中心位置。喷上光阻液的芯片放置在旋转涂布机上，该旋转涂布机会带动芯片旋转，以离心力使光阻液能均匀的涂布芯片表面上。

采用泵浦在泵送光阻液时，系统是否平稳是十分关键的。如果系统出现轻重振动，都可能导致输送过程中，光阻液产生气泡，特别是在光阻泵内部，如果光阻泵的抽取和压送光阻液的过程不平稳，就会产生的气泡，并且气泡会累积，越积越大之后，就影响光阻液流量的准确泵送。

光阻液是一种昂贵的原料，并且，光阻液喷涂量影响芯片的制作，如果流量控制不好，导致芯片制作不良，进一步造成成本的提高。因此，光阻液的喷吐需要精密的系统来执行，以减少误差，避免成本浪费。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种光阻喷吐系统，以更好地实现语音的传送和交互过程。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种光阻喷吐系统，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。

可选的，所述升降螺杆的第一端套接有第一钝管头，所述第一钝管头用于直接推压和松放所述第一内隔膜。

可选的，所述升降螺杆的第一端套接有第一活塞管头，所述第一活塞管头插入第一活塞管筒，所述第一活塞管筒内部具有第一液体，所述第一活塞管筒的筒口与所述第一侧开口连通；通过所述升降螺杆的升降，使所述第一液体进入或流出所述第一外壳内部。

可选的，所述第一光阻泵的所述第一输入口连接有第一输入管，所述第一输入管连接有第一气动阀；所述第一光阻泵的所述第一输出口连接有第一输出管，所述第一输出管连接有第二气动阀。

可选的，所述系统还包括第二光阻泵，所述第二光阻泵具有第二外壳和第二内隔膜，所述第二外壳具有第二输入口、第二输出口和第二侧开口，所述第二内隔膜内衬在所述第二外壳里面，所述第二输入口和所述第二输出口之间以所述第二内隔膜连通；所述升降螺杆的第二端用于通过所述第二侧开口向所述第二内隔膜进行推压和松放操作。

可选的，所述升降螺杆的第二端套接有第二钝管头，所述第二钝管头用于直接推压和松放所述第二内隔膜。

可选的，所述升降螺杆的第二端套接有第二活塞管头，所述第二活塞管头插入第二活塞管筒，所述第二活塞管筒内部具有第二液体，所述第二活塞管筒的筒口与所述第二侧开口连通；通过所述升降螺杆的升降，使所述第二液体进入或流出所述第二外壳内部。

可选的，所述第二光阻泵的所述第二输入口连接有第二输入管，所述第二输入管连接有第三气动阀；所述第二光阻泵的所述第二输出口连接有第二输出管，所述第二输出管连接有第四气动阀。

可选的，所述驱动轮在固定位置转动，所述从动轮在固定位置转动，所述驱动轮和所述从动轮固定于同一水平面。

可选的，所述驱动轮的半径为所述从动轮半径的0.2倍至5倍。

本实用新型技术方案的其中一个方面中，相应光阻喷吐系统采用步进电机带动升降螺杆，步进电机转动十分平稳，转动圈数可以精确控制，转动速度可以精确控制，因此，整个系统运行能够达到平稳、精准和高度，进而使升降螺杆升降的高度和速度能够得到精准的控制，最终能够精确控制光阻液喷吐流量。并且，由于系统运行平稳，能够更好地防止在光阻液喷吐过程中引入气泡。

进一步，在设置了第一光阻泵及相应管路之后，同时设置第二光阻泵及其相应管路，使得对于整个光阻喷吐系统而言，能够利用一个升降螺杆同时为两路光阻喷吐管路提供动力，实现了更加高效的做功利用率。另外，升降螺杆上下同时作用相应的光阻泵能够进一步提高系统的平稳性，使整个系统的稳定性更高，实用性能更好。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的光阻喷吐系统示意图；

图2为图1所示结构沿AA点划线剖切得到的剖面示意图

图3是本实用新型另一实施例提供的另一种光阻喷吐系统示意图；

图4是本实用新型另一实施例提供的另一种光阻喷吐系统示意图；

图5是本实用新型另一实施例提供的另一种光阻喷吐系统示意图。

具体实施方式

本实用新型提供一种运行平稳，且控制精度高的光阻喷吐系统。

为更加清楚的表示，下面结合附图对本实用新型做详细的说明。

本实用新型实施例提供一种光阻喷吐系统，请结合参考图1和图2，图1为光阻喷吐系统整体示意图，图2为图1所示结构沿AA点划线剖切得到的剖面示意图。

如图1和图2所示，光阻喷吐系统包括：

步进电机100，步进电机100具有电机转轴101；

编码器110，编码器110设置在电机转轴101周边；

驱动轮160(如图2)，驱动轮160套设在电机转轴101上；

第一光阻泵(未标注)，第一光阻泵具有第一外壳121和第一内隔膜122，第一外壳121具有第一输入口(未示出)、第一输出口(未示出)和第一侧开口(未示出)，第一内隔膜122内衬在第一外壳121里面，第一输入口和第一输出口之间通过第一内隔膜122连通；

升降螺杆140，升降螺杆140的第一端用于通过上述第一侧开口向第一内隔膜122进行推压和松放操作(本实施例是采用间接方式)；

从动轮170(如图2)，从动轮170套设在升降螺杆140上；

传动带150，驱动轮160通过传动带150带动从动轮170。

需要说明的是，第一外壳121的第一输入口、第一输出口和第一侧开口虽然未示出，但是，从图1的结构可以直接地、毫无疑义地得出，本实施例图1中，第一外壳121的左侧具有第一输入口，并且第一输入口用于与第一输入管131连接，并且，可以通过第一球阀133实现第一输入口与第一输入管131的连接；第一外壳121的右侧具有第一输出口，并且第一输出口用于与第一输出管132连接，并且，可以通过第二球阀134实现第一输出口与第一输出管132的连接。而第一侧开口，则用于接入相应的推压与松放结构，在本实施例中，为第一钝管头141。

由上述可知，第一光阻泵的第一输入口连接有第一输入管131，第一输入管131连接有第一球阀133。第一光阻泵的第一输出口连接有第一输出管132，第一输出管132连接有第二球阀134。并且，本实施例中，第一输入管131的前端用于与装有光阻液的储存槽(未示出)相接，第一输出管132的尾端用于与喷嘴机构(未示出)相接。

如图1所示，球阀是利用内部的球体堵住相应的输入口或输出口。本实施例中，第一球阀133用于控制光阻液是否从所述储存槽流入第一光阻泵，第二球阀134用于控制光阻液是否流向所述喷嘴机构。配合前面内容可知，当第一内隔膜122被推压而导致收缩时，第一球阀133堵住第一输入口以切断光阻液从所述储存槽流入第一光阻泵，第二球阀134打开第一输出口以实现光阻液流向所述喷嘴机构；当第一内隔膜122被松放(松拉)而导致扩张时，第一球阀133打开第一输入口以实现光阻液从所述储存槽流入第一光阻泵，第二球阀134堵住第一输出口以切断光阻液流向所述喷嘴机构。

本实施例中，驱动轮160可以是套设在电机转轴101的下端，这种结构可以结合图1和图2看出。同时，这种结构需要保证，在电机转轴101旋转时，带动驱动轮160旋转。因此，电机转轴101与驱动轮160通常是固定连接的。

需要说明的是，本实施例中，步进电机100可以采用控制器(未示出)进行控制，而编码器110作为相应的监控装置，可以向控制器实现信息的反馈，以更好地实现控制作用。此时可知，编码器110和控制器(未示出)是通信连接的。

本实施例的第一内隔膜122是相应的柔性膜。第一内隔膜122在扩张时，可以将光阻液吸入光阻泵内部，即第一内隔膜122自身内部，第一内隔膜122在收缩时，可以用于将光阻液压出，实现光阻液的喷吐。

本实施例的第一外壳121和第一内隔膜122可以采用同一聚合物材料制作，可以通过不同的尺寸参数和制作过程中的工艺，使得第一外壳121具有相应的刚性性质，而第一内隔膜122具有相应的柔性性质。

本实施例中，第一内隔膜122可以理解为类似于车轮内胎，第一外壳121类似于车轮外胎，但是，第一内隔膜122的前后端口是连接在第一外壳121的前后输出口，此时相当于是两个管套在一起，内部是柔性的管，外部是刚性的管。因此，图1中第一内隔膜122用虚线表示，以显示出相应的空间。这样，第一内隔膜122和第一外壳121之间形成大小可变的空间，为外力对第一内隔膜122的推压和松放提供条件。

本实施例中，第一输入口和第一输出口之间通过第一内隔膜122连通，以确保光阻液只会流过第一内隔膜122内部的空腔，进而保证第一光阻泵的喷吐作用。

本实施例中，为实现第一内隔膜122的扩张和收缩作用，需要外部提供相应的动力作用，而本实施例利用的，是升降螺杆140对第一内隔膜122的推压和松放作用。

需要说明的是，升降螺杆140的第一端可以是直接与第一内隔膜122接触，也可以是间接与第一内隔膜122接触。例如本实施例中，升降螺杆140的一端(图1中所示上端)套接有第一钝管头141，第一钝管头141用于直接推压和松放第一内隔膜122。

第一钝管头141是一个封端的管体，本实施例把第一钝管头141当作是升降螺杆140的头部，用于直接与第一内隔膜122接触，因此，第一钝管头141的封端(即头部)可以是倒角钝化形状，如图1中的虚线显示了它的头部结构。同时，第一钝管头141的设置，还能对第一内隔膜122起到更好的保护作用。

需要说明的是，其它实施例中，也可以不用第一钝管头141，而直接将升降螺杆140的头部制作为倒角钝化形状，直接用于作用在第一内隔膜122。

本实施例中，第一钝管头141可以和第一内隔膜122是粘接在一起的，第一钝管头141和升降螺杆140是固定在一起。此时，当升降螺杆140向下运动以带动第一钝管头141时，第一钝管头141不仅仅是松放第一内隔膜122，而且是一种松拉(下拉)操作。此时，即升降螺杆140间接对第一内隔膜122进行松放(松拉，下拉)。

需要说明的是，本实施例中，驱动轮160在固定位置转动，从动轮170在固定位置转动，驱动轮160和从动轮170固定于同一水平面。例如，可以通过将驱动轮160和从动轮170固定在同一工作台上的方式，使两者保持在同一水平面上，且位置不发生改变，只发生转动。驱动轮160和从动轮170固定于同一水平面，有助于整个系统更加平稳地运行。

需要说明的是，固定在一个工作台上的驱动轮160和从动轮170，可以旋转，但是不影响它们与其它结构的连接，具体的设计可以是多种多样，并不限定本实用新型。

本实用新型中，驱动轮160的半径可以为从动轮170半径的0.2倍至5倍。驱动轮160相比于从动轮170而言，半径越大，则转动过程中，使升降螺杆140上升或下降的速度越快，推拉效率越高，但系统越不容易稳定。相反，如果驱动轮160相比于从动轮170而言，半径越小，则转动过程中，使升降螺杆140上升或下降的速度越慢，推拉效率越低，但系统越运行得越平稳。

本实施例采用第一内隔膜122作为光阻液流动通道的机制，再通过升降螺杆140使第一内隔膜122产生松弛和扩张的形态，实现相应的光阻泵作用。并且本实施例这种结构，能实现更加快速和精确的泵压作用。

本实施例提供的光阻喷吐系统，工作原理是这样的：

第一光阻泵利用其第一内隔膜122受到的推压和松放操作，实现对光阻的吸入和喷吐，而具体的过程中，第一内隔膜122受到的推压和松放操作又是通过升降螺杆140的升降运动实现的，升降螺杆140的升降运动又是通过传动带150、从动轮170、驱动轮160和步进电机100实现的。

具体的光阻喷吐系统的运行过程如下：

步进电机100受的控制信息后，开始转动。步进电机100的电机转轴101带动驱动轮160转动。驱动轮160通过传动带150的传动作用，带动从动轮170转动。从动轮170内部是内螺纹结构，因此，从动轮170在转动过程中，会使其所套接(套设)的升降螺杆140发生上升或下降运动，其中，升降螺杆140上升还是下降，取决于从动轮170的转动方向和从动轮170内螺纹绕向，这其中非常关键的是，升降螺杆140本身并不发生旋转，升降螺杆140可以通过与第一钝管头141固定连接，再使第一钝管头141与侧开口配合(例如第一钝管头141与侧开口有相应的竖直方向上的卡阻结构，未示出。或者侧开口可以制作为多边形开口，第一钝管头141的横截形状为相应的多边形)，以防止第一钝管头141旋转，从而控制升降螺杆140直上直下，不发生旋转。

从控制上讲，本实施例中，可以由前述控制器来控制步进电机100，进而控制升降螺杆140，进而控制第一内隔膜122的扩张，调节输出的光阻液的流量，实现良好的流量管控，从而阻挡多余的光阻液流入喷嘴，以起到更精确的流量控制。

本实施例提供的光阻喷吐系统，由于步进电机100的转动十分平稳，转动圈数可以精确控制，转动速度可以精确控制，因此，整个系统运行能够达到平稳、精准和高度，进而使升降螺杆140升降的高度和速度能够得到精准的控制，最终能够精确控制光阻液喷吐流量。并且，由于系统运行平稳，能够更好地防止在光阻液喷吐过程中引入气泡。

本实用新型另一实施例提供另一种光阻喷吐系统，请结合参考图3。

本实施例的光阻喷吐系统同样包括前述实施例的各个结构，具体包括步进电机100、编码器110、驱动轮160、第一光阻泵(未标注)、升降螺杆140、从动轮170和传动带150。其中，第一光阻泵包括第一外壳121和第一内隔膜122，第一外壳121具有第一输入口(未示出)、第一输出口(未示出)和第一侧开口(未示出)，第一内隔膜122内衬在第一外壳121里面，第一输入口和第一输出口之间通过第一内隔膜122连通。第一输入口连接第一输入管131，第一输出口连接第一输出管132。

上述结构的性质和优点可以参考前述实施例相应内容。

与前述实施例不同的是，本实施例中，没有相应的钝管头，相反，本实施例中，升降螺杆140的第一端套接有第一活塞管头142，第一活塞管头142插入第一活塞管筒143，第一活塞管筒143内部具有第一液体(例如油)，第一活塞管筒143的筒口与第一侧开口连通。

本实施例并非采用钝管头，而是采用相应的活塞结构。具体的，升降螺杆140的第一端套接有第一活塞管头142，第一活塞管头142插入第一活塞管筒143，第一活塞管筒143内部具有第一液体(例如油)，第一活塞管筒143的筒口与第一侧开口连通。

利用这种活塞结构，通过升降螺杆140的升降，可以将第一液体注入或者抽出第一外壳121和第一内隔膜122之间的内部空间，而当第一液体注入所述内部空间时，形成了向第一内隔膜122的推压(挤压作用)；而当第一液体抽出所述内部空间时，由于抽真空作用，会对第一内隔膜122产生松拉作用。因此，第一光阻泵可以实现抽取和压送光阻液的目的。

第一液体进入或流出第一外壳121内部，但第一液体进入的第一外壳121内部，同时是第一内隔膜122的外部，因此第一液体只是用于推压(挤压)和松放第一内隔膜122。

采用本实施例这种结构，能够使得对第一内隔膜122的推压(挤压)和松放(松拉)操作更加的温和平稳，并且，第一液体的流量更好控制，进一步提高了光阻液流量的精确性，提高系统的可靠性能。

本实施例中，第一输入管131连接有第一气动阀135。第一输出管132连接有第二气动阀136。通过在第一光阻泵前后皆设有气动阀，能够进一步精确控制光阻液喷吐量。本实施例中，第一气动阀135和第二气动阀136可以由相应的控制器(可参考前述实施例相应内容)进行操控，以对它们分别进行打开与关闭操作。

本实施例提供的光阻喷吐系统，第一光阻泵抽入光阻液的阶段，第一气动阀135打开而第二气动阀136关闭，第一光阻泵的第一内隔膜122在升降螺杆140下降操作，实现相应的液体(油)从第一内隔膜122和第一外壳121之间被抽出，此时，第一内隔膜122相当于从外部被抽真空，因此，相当于是被松放(松拉)而扩张，这一扩张作用下，就能够使得光阻液从储存槽被第一光阻泵抽取，即从储存槽流入第一内隔膜122内；在第一光阻泵抽取足够的光阻液流量后，立即将第一气动阀135阻断，第二气动阀136打开，再通过升降螺杆140的上升操作，实现在第一内隔膜122和第一外壳121之间注入液体(油)，从而实现对第一内隔膜122的推压，使第一内隔膜122收缩，以输出光阻液通过第二气动阀136，并进一步输出至相应的喷嘴机构，当达到相应的喷吐流量之后，可以立即关闭第二气动阀136。

本实施例中，采用第一气动阀135和第二气动阀136作为相应阀门，既能够阻止多余的光阻液进入第一光阻泵内，又能够防止过多的光阻液输出至相应的喷嘴机构，从而能起到更精确控制流量的作用，避免多余光阻液残留于喷嘴内，造成不必要的成本浪费。

本实用新型另一实施例提供另一种光阻喷吐系统，请结合参考图4。

本实施例的光阻喷吐系统同样包括前述实施例的各个结构，具体包括步进电机100、编码器110、驱动轮160、第一光阻泵(未标注)、升降螺杆140、从动轮170和传动带150。其中，第一光阻泵包括第一外壳121和第一内隔膜122，第一外壳121具有第一输入口(未示出)、第一输出口(未示出)和第一侧开口(未示出)，第一内隔膜122内衬在第一外壳121里面，第一输入口和第一输出口之间通过第一内隔膜122连通。第一输入口连接第一输入管131，第一输出口连接第一输出管132。

上述结构的性质和优点可以参考前述实施例相应内容。

本实施例中，升降螺杆140的第一端(图4中所示上端)套接有第一钝管头141，第一钝管头141用于直接推压和松放第一内隔膜122。

本实施例提供的光阻喷吐系统还包括第二光阻泵(未标注)，第二光阻泵具有第二外壳181和第二内隔膜182，第二外壳181具有第二输入口(未示出)、第二输出口(未示出)和第二侧开口(未示出)，第二内隔膜182内衬在第二外壳181里面，第二输入口和第二输出口之间以第二内隔膜182连通。

同样的，第二外壳181和第二内隔膜182设置为，从这条管路通过的光阻液，只会流过第二内隔膜182内部的空腔管路，而不会在第二光阻泵的第二外壳181与第二内隔膜182之间的空间。

并且，本实施例中，升降螺杆140的第二端用于通过第二侧开口向第二内隔膜182进行推压和松放操作。升降螺杆140的第二端同样能够以直接或间接的方式作用于第二内隔膜182，可以结合参考升降螺杆140的第一端对第一内隔膜122的作用。具体的，升降螺杆140的第二端套接有第二钝管头144，第二钝管头144用于直接推压和松放第二内隔膜182。

本实施例中，在设置了第一光阻泵及相应管路之后，同时设置第二光阻泵及其相应管路，使得对于整个光阻喷吐系统而言，能够利用一个升降螺杆140同时为两路光阻喷吐管路提供动力，实现了更加高效的做功利用率。另外，升降螺杆140上下同时作用相应的光阻泵能够进一步提高系统的平稳性，使整个系统的稳定性更高，实用性能更好。

本实用新型另一实施例提供另一种光阻喷吐系统，请结合参考图5。

本实施例的光阻喷吐系统同样包括前述实施例的各个结构，具体包括步进电机100、编码器110、驱动轮160、第一光阻泵(未标注)、升降螺杆140、从动轮170和传动带150。其中，第一光阻泵包括第一外壳121和第一内隔膜122，第一外壳121具有第一输入口(未示出)、第一输出口(未示出)和第一侧开口(未示出)，第一内隔膜122内衬在第一外壳121里面，第一输入口和第一输出口之间通过第一内隔膜122连通。第一输入口连接第一输入管131，第一输出口连接第一输出管132。

本实施例中，第一输入管131上同时具有第一球阀133和第一气动阀135，第一输入管131上同时具有第二球阀134和第二气动阀136。

本实施例中，同样具有第二光阻泵(未标注)，第二光阻泵具有第二外壳181和第二内隔膜182，第二外壳181具有第二输入口(未示出)、第二输出口(未示出)和第二侧开口(未示出)，第二内隔膜182内衬在第二外壳181里面，第二输入口和第二输出口之间以第二内隔膜182连通。

并且，进一步的，本实施例的升降螺杆140的第二端套接有第二活塞管头145，第二活塞管头145插入第二活塞管筒146，第二活塞管筒146内部具有第二液体，第二活塞管筒146的筒口与第二侧开口连通。

通过升降螺杆140的升降，使第二液体进入或流出第二外壳181内部。

第二光阻泵的第二输入口连接有第二输入管191，第二输入管191连接有第三气动阀195和第三球阀193。第二光阻泵的第二输出口连接有第二输出管192，第二输出管192连接有第四气动阀196和第四球阀194。

在光阻涂布的作业上，芯片上所需要涂布的光阻液量非常少，只需要约0.5亳升。以第二光阻泵为例，第二光阻泵在泵出光阻液时，需要非常精准地控制流量。因此，当要从储存槽(参考前述实施例相应内容)内，取出光阻液时，所述控制器(参考前述实施例相应内容)可以将该第三气动阀195打开而第四气动阀196关闭，第二光阻泵内的第二内隔膜182成松弛状态，以容装光阻液，待通过第三气动阀195的光阻液达到所需要的容量流人第二光阻泵后，控制器会关闭第三气动阀195，而后，控制器开启第四气动阀196并同时推压第二光阻泵内的第二内隔膜182，使得第二光阻泵内的光阻液因扩张而由输送管流出第二光阻泵至该第四气动阀196，再由该第四气动阀196做最后的流量管控，使流至该喷嘴的光阻液能建到最理想的涂布量，最后将光阻液喷吐在芯片(固未示)上，以完成涂布作业。在上述过程中，第三球阀193和第二球阀194会自动地在相应时间进行打开和关闭，可以参考前述实施例相应内容。第三球阀193、第二球阀194、第三气动阀195和第四气动阀196的共同使用，进一步提高了对流量的精准控制。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种光阻喷吐系统，其特征在于，包括：

步进电机，所述步进电机具有电机转轴；

编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；

驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；

第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；

升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；

从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；

传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。

2.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述升降螺杆的第一端套接有第一钝管头，所述第一钝管头用于直接推压和松放所述第一内隔膜。

3.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述升降螺杆的第一端套接有第一活塞管头，所述第一活塞管头插入第一活塞管筒，所述第一活塞管筒内部具有第一液体，所述第一活塞管筒的筒口与所述第一侧开口连通；

通过所述升降螺杆的升降，使所述第一液体进入或流出所述第一外壳内部。

4.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述第一光阻泵的所述第一输入口连接有第一输入管，所述第一输入管连接有第一气动阀；所述第一光阻泵的所述第一输出口连接有第一输出管，所述第一输出管连接有第二气动阀。

5.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，还包括第二光阻泵，所述第二光阻泵具有第二外壳和第二内隔膜，所述第二外壳具有第二输入口、第二输出口和第二侧开口，所述第二内隔膜内衬在所述第二外壳里面，所述第二输入口和所述第二输出口之间以所述第二内隔膜连通；

所述升降螺杆的第二端用于通过所述第二侧开口向所述第二内隔膜进行推压和松放操作。

6.如权利要求5所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述升降螺杆的第二端套接有第二钝管头，所述第二钝管头用于直接推压和松放所述第二内隔膜。

7.如权利要求6所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述升降螺杆的第二端套接有第二活塞管头，所述第二活塞管头插入第二活塞管筒，所述第二活塞管筒内部具有第二液体，所述第二活塞管筒的筒口与所述第二侧开口连通；

通过所述升降螺杆的升降，使所述第二液体进入或流出所述第二外壳内部。

8.如权利要求5、6或7所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述第二光阻泵的所述第二输入口连接有第二输入管，所述第二输入管连接有第三气动阀；所述第二光阻泵的所述第二输出口连接有第二输出管，所述第二输出管连接有第四气动阀。

9.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述驱动轮在固定位置转动，所述从动轮在固定位置转动，所述驱动轮和所述从动轮固定于同一水平面。

10.如权利要求1所述的光阻喷吐系统，其特征在于，所述驱动轮的半径为所述从动轮半径的0.2倍至5倍。

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