CN114930242A - 遮光板、照相机单元、电子仪器以及遮光板的制造方法 - Google Patents

Abstract

具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是表面的相反侧的面；以及孔，其将表面与背面之间贯通。孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口处与第1孔部分连接。第1孔部分从背面的背面开口向中央开口延伸，具有从背面朝向表面而前端缩小的形状。第2孔部分从表面的表面开口向中央开口延伸，具有从表面朝向背面而前端缩小的形状。表面开口的大小大于背面开口的大小。中央开口的真圆度小于或等于3μm。

Description

遮光板、照相机单元、电子仪器以及遮光板的制造方法

技术领域

本发明涉及遮光板、具有遮光板的照相机单元、具有照相机单元的电子仪器以及遮光板的制造方法。

背景技术

智能手机等电子仪器所具有的照相机单元具有作为针对外部光的光圈而起作用的遮光板。能够容易地对具有规定形状的遮光板进行成型，因此大多使用树脂制的遮光板(例如参照专利文献1)。然而，树脂制的遮光板具有透光性，因此不仅是用于使外部光通过的孔，在划分出孔的部分也会使得外部光透过。这样，基于树脂制的遮光板的遮光并不充分，因此开始使用具有较高的遮光性的金属制的遮光板(例如参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开2010-8786号公报

专利文献2：国际公开第2016/060198号

发明内容

但是，由于加工的难易度较低，另外每单位时间能够制造较多的产品，因此在制造金属制的遮光板时采用利用模具对金属板进行冲切的冲切加工。在利用冲切加工的金属板的加工中，在利用模具对金属板进行冲切时，为了抑制金属板产生变形、应变并由此确保产品的尺寸的精度，需要沿与金属板的表面相正交的方向对金属板进行冲切。由此，对于金属板在与金属板的表面相正交的剖面中形成具有相对于金属板的表面垂直地延伸的侧面的孔。

在将具有这种孔的遮光板搭载于照相机单元的情况下，从与遮光板的表面之间形成锐角的方向射入至遮光板的外部光在划分出孔的侧面被反射，结果有时会从孔通过。有时从孔通过的光由照相机单元所具有的拍摄元件接受，有时在拍摄元件拍摄所得的图像中产生重影以及光斑等过剩的光的映入。这样，关于金属制的遮光板，遮光板是金属制的，因而产生新的问题。

本发明的目的在于提供能够抑制因从孔透过的光引起的过剩的光的映入的遮光板、照相机单元、电子仪器以及遮光板的制造方法。

用于解决上述问题的遮光板是金属制的遮光板。具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是所述表面的相反侧的面；以及孔，其将所述表面与所述背面之间贯通。所述孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口处与所述第1孔部分连接。所述第1孔部分从所述背面的背面开口向所述中央开口延伸，具有从所述背面朝向所述表面而前端缩小的形状。所述第2孔部分从所述表面的表面开口向所述中央开口延伸，具有从所述表面朝向所述背面而前端缩小的形状。所述表面开口的大小大于所述背面开口的大小。所述中央开口的真圆度小于或等于3μm。

用于解决上述问题的遮光板的制造方法包含如下步骤：在金属箔的表面和背面配置抗蚀剂层；通过所述抗蚀剂层的曝光和显影而由所述抗蚀剂层形成抗蚀剂掩模；以及通过利用所述抗蚀剂掩模的所述金属箔的蚀刻而形成将所述表面与所述背面之间贯通的孔。形成所述孔的步骤包含如下步骤：形成第1孔部分，该第1孔部分从位于所述背面的背面开口朝向所述表面延伸，具有从所述背面朝向所述表面而前端缩小的形状；形成第2孔部分，该第2孔部分位于所述表面，从大于所述背面开口的表面开口朝向所述背面延伸，具有从所述表面朝向所述背面而前端缩小的形状；通过将第2孔部分与所述第1孔部分连接而形成具有小于或等于3μm的真圆度的圆形的中央开口；以及在所述第1孔部分以及所述第2孔部分中的、先形成的孔内填充有保护该孔部分的保护部的状态下，形成与所述先形成的孔部分不同的孔部分。

根据上述遮光板以及遮光板的制造方法，第2孔部分具有从表面朝向背面而前端缩小的形状，因此从表面的斜上方射入至孔的光容易在划分出第2孔部分的侧面朝向遮光板的表面反射。与此相对，第1孔部分具有从中央开口朝向背面而前端扩大的形状，因此从第2孔部分射入至第1孔部分的光中的、在划分出第1孔部分的侧面反射的光受到限制。这样，根据第1孔部分以及第2孔部分，能够降低在孔的侧面被反射的光的光量。

另一方面，中央开口的真圆度小于或等于3μm，因此能够抑制射入至孔的光的通路即中央开口的畸变，由此，在中央开口的周缘的一部分，能够抑制从第2孔部分朝向第1孔部分透过的光的光量过剩。

基于这种理由，根据上述遮光板以及遮光板的制造方法，能够抑制因从孔通过的光引起的过剩的光的映入。

附图说明

图1是表示一个实施方式的遮光板的构造的俯视图。

图2是表示图1所示的遮光板的构造的剖面图。

图3是用于对图1所示的遮光板所具有的中央开口的真圆度进行说明的示意图。

图4是放大表示图2所示的剖面图的一部分的局部放大剖面图。

图5是用于对图1所示的遮光板的作用进行说明的作用图。

图6是用于对图1所示的遮光板的作用进行说明的作用图。

图7是用于对图1所示的遮光板的作用进行说明的作用图。

图8是用于对遮光板的制造方法进行说明的工序图。

图9是用于对遮光板的制造方法进行说明的工序图。

图10是用于对遮光板的制造方法进行说明的工序图。

图11是用于对遮光板的制造方法进行说明的工序图。

图12是用于对遮光板的制造方法进行说明的工序图。

图13是用于对遮光板的制造方法进行说明的工序图。

图14是示意性地表示照相机单元的构造的结构图。

具体实施方式

参照图1至图14对遮光板、照相机单元、电子仪器以及遮光板的制造方法的一个实施方式进行说明。下面，按顺序对遮光板、遮光板的制造方法、照相机单元以及实施例进行说明。

[遮光板]

参照图1至图7对遮光板进行说明。

如图1所示，金属制的遮光板10具有表面10F、背面10R以及孔10H。表面10F是位于光的入射侧的面。背面10R是表面10F的相反侧的面。孔10H将表面10F与背面10R之间贯通。遮光板10例如是不锈钢制的，但也可以由除了不锈钢以外的金属形成。此外，关于遮光板10，表面10F、背面10R以及划分出孔10H的侧面由未图示的防反射膜覆盖。防反射膜具有比形成遮光板10的金属更低的反射率，并且具有吸收向防反射膜照射的光的一部分的功能。另外，即使遮光板10由防反射膜覆盖，也无法完全消除遮光板10处的光的反射。

遮光板10具有与遮光板10覆盖的透镜的形状相应的圆形。孔10H具有与孔10H相对的透镜的形状相应的圆形。

图2表示遮光板10的与表面10F相正交的剖面处的遮光板10的构造。

如图2所示，孔10H具有第1孔部分10H1以及第2孔部分10H2。第1孔部分10H1的背面开口H1R位于背面10R。第1孔部分10H1具有从背面10R朝向表面10F而前端缩小的形状。换言之，第1孔部分10H1具有从表面10F朝向背面10R而前端增大的形状。第2孔部分10H2的表面开口H2F位于表面10F。从与表面10F相对的视角观察，表面开口H2F大于背面开口H1R，背面开口H1R位于表面开口H2F内。第2孔部分10H2具有从表面10F朝向背面10R而前端缩小的形状，与第1孔部分10H1连接。在第1孔部分10H1的开口中，背面开口H1R的相反侧的开口为具有圆形的中央开口HC。

在本实施方式中，在沿着与表面10F相正交的平面的剖面中，划分出第2孔部分10H2的侧面为弧状，并且划分出第2孔部分10H2的侧面的曲率中心位于遮光板10外。另外，划分出第1孔部分10H1的侧面为弧状，划分出第1孔部分10H1的侧面的曲率中心位于遮光板10外。

关于遮光板10，第1孔部分10H1的直径为第1直径DH，第2孔部分10H2的直径为第2直径DH2。第1直径DH1为根据搭载遮光板10的照相机单元而设定的值。在遮光板10例如搭载于智能手机的照相机单元的情况下，第1直径DH1可以大于或等于0.4mm而小于或等于1.0mm。另外，在遮光板10例如搭载于车载照相机的情况下，第1直径DH1可以大于或等于2.0mm而小于或等于7.0mm。第1直径DH1相对于第2直径DH2的百分比((DH1/DH2)×100)例如可以大于或等于80％而小于或等于99％。

在遮光板10搭载于在智能手机、平板型个人计算机以及笔记本型个人计算机的前表面设置的照相机单元的情况下，照相机单元大多以近距离对被拍体进行拍摄。因此，视场角增大，但在透镜将被拍体的焦点连结这一点上，遮光板10无需较大的内径。另外，由于配置照相机单元的空间的限制，还难以增大遮光板10的外径。因此，第1直径DH1相对于第2直径DH2的百分比可以大于或等于80％而小于或等于90％。

与此相对，在遮光板10搭载于车载照相机的情况下，车载照相机大多以中距离至远距离对被拍体进行拍摄。因此，视场角减小，但配置照相机单元的空间的限制较小，因此照相机单元所具有的透镜的直径增大。由此，为了使相对于透镜较大的范围的光汇聚，关于遮光板10，第1直径DH1相对于第2直径DH2的百分比可以大于或等于90％而小于或等于99％。

另外，在遮光板10搭载于在智能手机的背面设置的照相机单元的情况下，被拍体的拍摄从近距离到达远距离。因此，为了应对视场角增大的情况，第1直径DH1相对于第2直径DH2的百分比可以大于或等于80％而小于或等于90％，为了应对视场角减小的情况，第1直径DH1相对于第2直径DH2的百分比可以大于或等于90％而小于或等于99％。

遮光板10的厚度T例如可以大于或等于10μm而小于或等于100μm。在遮光板10的厚度T大于或等于10μm的情况下，能够抑制用于形成遮光板10的金属箔的翘曲对遮光板10的形状造成影响。另外，在遮光板10的厚度T小于或等于100μm的情况下，能够抑制形成孔10H时的蚀刻精度降低。

图3示意性地表示从与遮光板10的表面10F相对的视角观察的中央开口HC的形状。

从与遮光板10的表面10F相对的视角观察，遮光板10所具有的中央开口HC具有圆形。在本实施方式中，遮光板10所具有的孔10H通过对用于形成遮光板10的金属箔的湿蚀刻而形成。此时，对于金属箔而形成第1孔部分10H1，然后形成第2孔部分10H2，由此，将第2孔部分10H2与第1孔部分10H1连接而形成中央开口HC。通过这种工序形成的中央开口HC与通过金属箔的冲切加工形成的孔相比，中央开口HC所具有的真圆度容易增大。

JIS B 0621-1984的“几何偏差的定义及表示”中规定了真圆度。如该标准的“5.3真圆度”记载的那样，真圆度是指由“在由两个同心的几何圆夹着圆形体(C)时同心的两个圆的间隔最小的情况下的、两个圆的半径之差(f)”表示的值。

即，如图3所示，相对于中央开口HC而设定具有同一中心CC的第1圆C1和第2圆C2。第1圆C1是位于划分出中央开口HC的区域内、且与中央开口HC相切的真圆。另一方面，第2圆C2是位于划分出中央开口HC的区域外、且与中央开口HC相切的真圆。第1圆C1以及第2圆C2设定为第1圆C1与第2圆C2的间隔最小。这样的第1圆C1的半径R1与第2圆C2的半径R2之差(f)为真圆度。关于遮光板10，中央开口HC的真圆度而小于或等于3μm。

图4放大表示图2所示的遮光板10的剖面构造的一部分。

如图4所示，在景深(field being set)深度为0.4μm的拍摄条件下，在使得焦点对准中央开口HC的边缘的状态下，在沿中央开口HC的径向对中央开口HC的边缘进行拍摄时，焦点对准的遮光板10的厚度方向上的遮光板10的最大宽度为最大宽度WM。即，最大宽度WM是相对于中央开口HC的边缘沿与遮光板10的厚度方向相正交的方向离开了与景深深度DF相同的距离的位置处的遮光板10的厚度。最大宽度WM小于或等于2.5μm。另外，最大宽度WM可以大于或等于0.5μm。并且，最大宽度WM可以大于1.0μm。

关于遮光板10，焦点对准的遮光板的最大宽度小于或等于2.5μm，从而使得在中央开口HC的附近划分出孔10H的侧面的面积减小，由此，能够降低在中央开口HC的附近划分出孔10H的侧面被反射的光的光量。其结果，能够降低以从孔10H透过的方式在划分出的孔的侧面、即孔侧面被反射的光的光量。另外，焦点对准的遮光板的最大宽度大于1.0μm而能够抑制中央开口HC附近的变形。由此，能够抑制通过中央开口HC从遮光板10透过的光的光量因遮光板10的变形而变动。

图5表示本实施方式的遮光板10的剖面构造。另外，图6表示从与遮光板10的表面10F相对的视角观察的遮光板10的平面构造。另一方面，图7表示在与表面相正交的剖面中孔侧面沿与表面相正交的方向延伸的例子的剖面构造。此外，在图5及图7中，为了便于图示，缩小相对于遮光板的厚度的第1直径。

如图5所示，相对于遮光板10从与表面10F相正交的方向射入的光，从形成于表面10F的表面开口H2F进入孔10H。而且，通过孔10H的光从形成于背面10R的背面开口H1R射出而到达透镜LN。另一方面，关于遮光板10，第2孔部分10H2具有从表面10F朝向背面10R而前端缩小的形状，因此从表面10F的斜上方射入至孔10H的光容易在划分出第2孔部分10H2的侧面处朝向遮光板10的表面10F而反射。

另外，从表面10F的斜上方射入至第2孔部分10H2的光，在具有使得曲率中心位于遮光板10外的弧状的侧面被反射。因此，反射光中具有最高的亮度的正反射光沿着从具有弧状的侧面朝向遮光板10的表面10F的方向反射。因而，能够进一步抑制以从孔10H透过的方式在划分出孔10H的侧面被反射的光的光量。

另一方面，第1孔部分10H1具有从中央开口HC朝向背面10R而前端扩大的形状，因此从第2孔部分10H2射入至第1孔部分10H1的光中的、在划分出第1孔部分10H1的侧面被反射的光受到限制。进而，关于遮光板10，划分出第1孔部分10H1的侧面具有曲率中心位于遮光板10外的弧状。因此，与划分出第1孔部分10H1的侧面具有直线状的情况相比，能够降低从表面10F的斜上方射入至孔的光中的、由在背面开口H1R的附近划分出孔10H的侧面反射的光的光量。由此，能够进一步降低以从孔10H透过的方式在划分出孔10H的侧面被反射的光的光量。

遮光板10的形成孔10H的第1孔部分10H1以及第2孔部分10H2具有这种形状，因此能够抑制以从孔10H透过的方式在划分出孔10H的侧面反射的光的光量。其结果，能够抑制因从孔10H透过的光引起的过剩的光的映入。

如图6所示，在遮光板10所具有的孔10H，光从孔10H的整个周缘朝向孔10H入射。在孔10H的整个周向上，为了抑制向孔10H入射的光的偏差，优选射入至孔10H的光的通路即中央开口HC的形状与真圆之间的偏差较小。关于这一点，中央开口HC的真圆度而小于或等于3μm，因此能够抑制射入至孔10H的光的通路即中央开口HC的畸变，由此，能够抑制在中央开口HC的周向的一部分从第2孔部分10H2朝向第1孔部分10H1透过的光的光量过剩。由此也能够抑制因从孔10H通过的光引起的过剩的光的映入。

如图7所示，与相对于遮光板10从与表面10F相正交的方向入射的光相同，相对于遮光板100从与表面100F相正交的方向射入的光从形成于表面100F的开口进入孔100H内。而且，从孔100H通过的光从形成于背面100R的开口射出而到达透镜LN。与此相对，从表面100F的斜上方射入至表面100F的光的一部分从形成于表面100F的开口向孔100H内射入、且在划分出孔100H的侧面反射。射入至侧面的光的大部分向正反射的方向反射，因此射入至侧面的光从侧面朝向透镜LN反射。由此，意料之外的光通过透镜LN而射入至拍摄元件。

[遮光板的制造方法]

参照图8至图13对遮光板10的制造方法进行说明。图8至图13分别表示遮光板10的制造过程中的特定工序的金属箔的剖面构造。此外，在图8至图13中，为了便于图示，与实际的遮光板10相比缩小了第2直径DH2相对于金属箔的厚度的比，并且与实际的遮光板10相比缩小了第1直径DH1相对于金属箔的厚度的比。另外，在图8至图13中，为了便于图示，与实际的遮光板10相比缩小了第1直径DH1相对于第2直径DH2的比。另外，在图8至图13中，为了便于说明，在制造遮光板10的工序中，仅示出了与遮光板10所具有的孔10H的形成相关的工序。

遮光板10的制造方法包含如下步骤：配置抗蚀剂层；形成抗蚀剂掩模；以及形成孔。在配置抗蚀剂层的步骤中，在金属箔的表面及背面配置抗蚀剂层。在形成抗蚀剂掩模的步骤中，通过抗蚀剂层的曝光和显影而由抗蚀剂层形成抗蚀剂掩模。在形成孔的步骤中，通过利用抗蚀剂掩模的金属箔的蚀刻而形成在表面与所述背面之间贯通的孔。下面，参照附图对遮光板10的制造方法进行更详细的说明。

如图8所示，在形成遮光板10时，首先，准备用于形成遮光板10的金属箔10M。金属箔10M例如为不锈钢的箔，如上所述，也可以是由除了不锈钢以外的金属形成的金属箔。金属箔10M的厚度大于或等于10μm而小于或等于100μm。在金属箔10M的厚度大于或等于10μm的情况下，能够抑制金属箔10M的翘曲对遮光板10的形状造成影响。另外，在金属箔10M的厚度小于或等于100μm的情况下，能够抑制形成孔10H时的蚀刻的精度降低。金属箔10M的厚度与由金属箔10M制造的遮光板10的厚度大致相同。

而且，在金属箔10M的表面10MF及背面10MR配置抗蚀剂层。金属箔10M的表面10MF相当于遮光板10的表面10F，并且金属箔10M的背面10MR相当于遮光板10的背面10R。在金属箔10M的表面10MF配置表面抗蚀剂层RF，并且在金属箔10M的背面10MR配置背面抗蚀剂层RR。此外，在表面10MF以及背面10MR这两者可以作为抗蚀剂层RF、RR而粘贴干膜抗蚀剂。或者，可以在表面10MF以及背面10MR这两者利用用于形成抗蚀剂层RF、RR的涂液而形成抗蚀剂层RF、RR。抗蚀剂层RF、RR可以由负型的抗蚀剂形成，也可以由正型的抗蚀剂形成。

如图9所示，通过抗蚀剂层RF、RR的曝光和显影而由抗蚀剂层形成抗蚀剂掩模。更详细而言，通过表面抗蚀剂层RF的曝光以及显影而由表面抗蚀剂层RF形成表面掩模RMF。另外，通过背面抗蚀剂层RR的曝光以及显影而由背面抗蚀剂层RR形成背面掩模RMR。表面掩模RMF具有用于在金属箔10M形成第2孔部分的掩模孔RMFh。背面掩模RMR具有用于在金属箔10M形成第1孔部分的掩模孔RMRh。

如图10所示，利用形成于背面10MR的背面掩模RMR，在金属箔10M形成第1孔部分MH1，该第1孔部分MH1在背面10MR具有背面开口，并且具有从背面10MR朝向表面10MF而前端缩小的形状。第1孔部分MH1相当于遮光板10所具有的第1孔部分10H1。此时，利用能够对金属箔10M进行蚀刻的蚀刻液对金属箔10M进行蚀刻。此外，在对金属箔10M进行蚀刻之前，利用具有相对于蚀刻液的耐性的表面保护膜PMF将表面掩模RMF覆盖。表面保护膜PMF可以填埋表面掩模RMF的掩模孔RMFh，也可以仅将掩模孔RMFh覆盖。利用表面保护膜PMF将表面掩模RMF覆盖而抑制金属箔10M的表面10MF与金属箔10M的背面10MR同时被蚀刻。

此外，在通过背面10MR的蚀刻而形成第1孔部分MH1的情况下，形成具有大于遮光板10的上述背面10R与中央开口HC之间的距离D(参照图4)的深度的第1孔部分MH1。

如图11所示，在形成第1孔部分MH1之后，利用形成于表面10MF的表面掩模RMF，在金属箔10M形成第2孔部分MH2，该第2孔部分MH2在表面10MF具有表面开口，并且具有从表面10MF朝向背面10MR而前端缩小的形状。由此，将第2孔部分MH2与第1孔部分MH1连接而形成中央开口MHC。第2孔部分MH2相当于遮光板10所具有的第2孔部分10H2。另外，中央开口MHC相当于遮光板10所具有的中央开口HC。

此时，与形成第1孔部分MH1时相同地，利用能够对金属箔10M进行蚀刻的蚀刻液对金属箔10M进行蚀刻。此外，在对金属箔10M进行蚀刻之前，从金属箔10M的背面10MR将背面掩模RMR去除。而且，在对金属箔10M进行蚀刻之前，利用具有相对于蚀刻液的耐性的背面保护膜PMR将金属箔10M的背面10MR覆盖，并且将第1孔部分MH1内填埋。背面保护膜PMR是保护部的一个例子。利用背面保护膜PMR将金属箔10M的背面10MR覆盖，由此能够抑制金属箔10M的背面10MR与金属箔10M的表面10MF的同时被蚀刻。

关于第2孔部分MH2的蚀刻，在利用背面保护膜PMR将第1孔部分MH1填埋的状态下，对金属箔10M的表面10MF进行蚀刻。因此，在表面10MF的蚀刻到达背面保护膜PMR之后，对于金属箔10M的蚀刻液的供给由背面保护膜PMR控制。由此，即使在金属箔10M的厚度处于大于或等于10μm而小于或等于100μm的较大范围的情况下，也能够提高第2孔部分MH2的剖面形状的精度。与此相对，在第1孔部分MH1内未由背面保护膜PMR填埋的情况下，如果将第1孔部分MH1和第2孔部分MH2连接而使得金属箔10M贯通，则蚀刻液通过第1孔部分MH1和第2孔部分MH2的连接部而朝向金属箔10M的背面10MR泄漏。其结果，第1孔部分MH1的形状、以及第2孔部分MH2的形状的精度会降低。

这样，通过本实施方式的遮光板10的制造方法形成孔10H包含下面的事项。

(A)形成第1孔部分MH1，该第1孔部分MH1在金属箔10M的背面10MR具有背面开口，并具有从背面10MR朝向表面10MF而前端缩小的形状。

(B)形成第2孔部分MH2，该第2孔部分MH2在表面10MF具有大于背面开口的表面开口，并具有从表面10MF朝向背面10MR而前端缩小的形状。

(C)通过第1孔部分MH1以及第2孔部分MH2的形成而形成圆形的中央开口MHC，该圆形的中央开口MHC是第1孔部分MH1所具有的开口中的与背面开口相反侧的开口，具有小于或等于3μm的真圆度。

(D)在第1孔部分MH1以及第2孔部分MH2中的、先形成的孔部分内填充了保护该孔的保护部的状态下，形成与先形成的孔部分不同的孔部分。

本实施方式的遮光板10的制造方法是能够形成具有能够抑制因从孔10H透过的光引起的过剩的光的映入的形状的孔10H的制造方法。在该制造方法中，按顺序形成第1孔部分10H1(MH1)和第2孔部分10H2(MH2)，因此与通过金属箔10M的冲切一次性地形成孔的情况相比，产生射入至孔10H的光的通路即中央开口HC(MHC)的真圆度难以控制的特有的新问题。

关于这一点，如上述制造方法那样，因包含上述(D)而能够解决这种问题，能够形成具有小于或等于3μm的真圆度的中央开口HC(MHC)。

并且，当在金属箔10M形成第2孔部分MH2时，在与表面10MF相正交的剖面中，优选以使得第2孔部分MH2与金属箔10M的厚度方向上的第1孔部分MH1的中央部附近连接的方式形成第2孔部分MH2。优选地，第2孔部分MH2在与表面10MF相正交的剖面中，在相对于金属箔10M的厚度方向上的第1孔部分MH1的中央部处于±1μm以内的位置处与第1孔部分MH1连接。

与此相对，如图12所示，在与表面10MF相正交的剖面中，在第2孔部分MH2在第1孔部分MH1的背面开口处与第1孔部分MH1连接的情况下，金属箔10M的厚度在背面开口的附近非常薄。因此，在第2孔部分MH2与第1孔部分MH1连接时，背面开口的附近被过度蚀刻，在背面开口的周向上，金属箔10M被蚀刻的程度产生波动。其结果，上述遮光板10的最大宽度WM减小，另一方面，真圆度容易增大。

另一方面，如图13所示，在与表面10MF相正交的剖面中，在第2孔部分MH2在第1孔部分MH1的底部附近与第1孔部分MH1连接的情况下，遮光板10的最大宽度WM增大，因此能够抑制金属箔10M在背面开口的附近被过度蚀刻、或者产生蚀刻的波动。由此，真圆度减小，另一方面，遮光板10的最大宽度WM容易增大。

与此相对，根据参照图11此前说明的方法，能够抑制中央开口HC的真圆度增大、以及遮光板10的最大宽度WM增大这两者。由此，能够抑制因从孔10H通过的光引起的过剩的光的映入、即重影以及光斑。

此外，在形成第1孔部分MH1和第2孔部分MH2之后，从表面10MF将表面掩模RMF去除，并且从背面10MR将背面保护膜PMR去除。另外，在从金属箔10M将表面掩模RMF以及背面保护膜PMR去除之后，形成将表面10MF、背面10MR、以及划分出第1孔部分MH1以及第2孔部分MH2的侧面覆盖的防反射膜。如上所述，防反射膜具有低于金属箔10M的反射率，并且具有对射入至防反射膜的光的一部分进行吸收的功能。

防反射膜例如是具有黑色的覆膜。可以利用溅射法以及蒸镀法等成膜方法在金属箔10M形成防反射膜。或者，可以使金属箔10M接触用于形成防反射膜的液体而在金属箔10M形成防反射膜。

在上述遮光板10的制造方法中，在形成背面保护膜PMR之前，可以不将背面掩模RMR去除。在该情况下，只要形成将背面掩模RMR覆盖、且填充至第1孔部分MH1内的背面保护膜PMR即可。另外，背面保护膜PMR只要在通过表面10MF的蚀刻而形成第2孔部分MH2之后，与背面掩模RMR一起从背面10MR去除即可。

[照相机单元]

参照图14对照相机单元进行说明。此外，图14示意性地表示照相机单元的结构。

如图14所示，照相机单元20具有上述的遮光板10、透镜21以及拍摄元件22。遮光板10在背面10R与透镜21相对的状态下相对于透镜21而位于光的入射侧。与遮光板10的表面10F与透镜21相对的情况相比，从中央开口HC通过以后在孔10H的侧面被反射而能够限制射入至透镜21的光。

遮光板10所具有的中央开口HC的直径可以是小于或等于透镜21的有效直径的大小。由此，能够抑制从中央开口通过的光向比透镜的有效直径更靠外侧的部分射入。因此，能够抑制意料之外的光射入至拍摄元件。

拍摄元件22可以是CCD图像传感器或者CMOS图像传感器。在照相机单元20中，1个遮光板10、以及在通过遮光板10的光的光轴上与该遮光板10相邻的1个透镜21形成1个透镜单元。照相机单元20可以具有多个透镜单元。

这种照相机单元20搭载于各种电子仪器。电子仪器具有上述照相机单元20、以及对照相机单元20进行支撑的壳体。电子仪器例如可以是智能手机、平板型个人计算机以及笔记本型个人计算机等。

[实施例]

参照表1对遮光板的实施例以及对比例进行说明。

准备具有25μm的厚度的不锈钢板。而且，利用卷对卷(roll-to-roll)法针对不锈钢板形成多个第2孔部分，并形成与各第2孔部分连接的第1孔部分。即，在形成第1孔部分之后，形成第2孔部分。由此，在不锈钢板形成多个具有孔的遮光板的前体，该孔具有：背面开口，其具有493μm的直径；表面开口，其具有680μm的直径；以及中央开口，其具有490μm的直径。

此外，从与遮光板的表面相对的视角观察，各遮光板的前体通过遮光板的周向上的一部分而与不锈钢板的非蚀刻区域连接。另外，设定于不锈钢板的虚拟的正方格子的格点以存在各遮光板的中央开口的方式，在不锈钢板形成有多个遮光板的前体。

在实施例1至实施例3、对比例1以及对比例2的遮光板的制造时，将形成第1孔部分时的不锈钢板的输送速度设定为互不相同的值。具体而言，将制造实施例的遮光板时的输送速度设定为高于对比例的制造遮光板时的输送速度的速度。在实施例1至实施例3中，实施例1的输送速度设定为最低的速度，并且实施例3的输送速度设定为最高的速度。另外，对比例1的输送速度设定为低于对比例2的输送速度的速度。

另一方面，在制造对比例3的遮光板时，准备了具有25μm的厚度的不锈钢板。而且，通过冲切加工而形成多个具有490μm的直径的遮光板。

[评价方法]

关于在不锈钢板形成的多个遮光板的前体，针对15列且15行的遮光板的前体而对真圆度进行了计算。对于真圆度的计算，使用激光测长机(NEXIV VMZ-R6555、“(株)ニコン”制)、以及搭载于该装置的测定软件。

另外，关于在不锈钢板形成的多个遮光板的前体，针对15列且15行的遮光板的前体利用共聚焦激光显微镜(VK-X1000Series、“(株)キーエンス”制)而对最大宽度WM进行了测定。此时，将50倍的对物透镜安装于共聚焦激光显微镜。另外，从与孔侧面相对的方向在焦点与中央开口的边缘对准的状态下利用共聚焦激光显微镜观察侧面，由此对最大宽度WM进行了测定。关于共聚焦激光显微镜，根据对物透镜所具有的倍率，焦点对准的范围、即景深深度不同。另外，焦点在景深深度内对准，因此根据相对于中央开口的边缘的位置而遮光板的厚度方向上的最大宽度不同。因此，实际上焦点对准的位置的遮光板的厚度具有规定的幅度。50倍的对物透镜的景深深度为0.4μm。因此，景深深度为0.4μm，在焦点与中央开口的边缘对准的状态下，将遮光板的厚度方向上的遮光板的宽度的最大值定义为最大宽度。即，相对于中央开口的边缘以景深深度而离开的位置处的遮光板的厚度为遮光板的最大宽度WM。

[评价结果]

关于实施例1至实施例3的遮光板、以及对比例1至对比例3的遮光板，下面的表1中示出了真圆度的测定结果、以及最大宽度的测定结果。此外，表1所示的真圆度以及最大宽度为各实施例以及各对比例中设为测定对象的225个遮光板的前体的最大值。

关于实施例1至实施例3的遮光板、以及对比例1至对比例3的遮光板，制作了具有最大的真圆度的遮光板的照相机单元。而且，关于利用照相机单元拍摄的图像，确认到是否产生了过剩的光的映入、即重影以及光斑。

[表1]

如表1所示，确认到实施例1的真圆度的最大值为2.6μm，实施例2的真圆度的最大值为2.1μm，实施例3的真圆度的最大值为2.5μm。另外，确认到对比例1的真圆度的最大值为4.0μm，对比例2的真圆度的最大值为3.9μm。

另外，确认到实施例1的最大宽度的最大值为1.5μm，实施例2的最大宽度的最大值为2.0μm，实施例3的最大宽度的最大值为2.5μm。另外，确认到对比例1的最大宽度的最大值为0.5μm，对比例2的最大宽度的最大值为1.0μm。

此外，关于对比例3的遮光板，如上所述，不是通过金属箔的蚀刻而形成的遮光板，因此未进行真圆度以及最大宽度的评价。

确认了利用具有各遮光板的照相机单元拍摄到的图像，关于利用具有实施例1至实施例3的遮光板的照相机单元拍摄到的图像并未确认到重影以及光斑。

与此相对，关于利用具有对比例1至对比例3的遮光板的照相机单元拍摄到的图像，确认到重影以及光斑。关于对比例1至对比例3中的、对比例1以及对比例2的遮光板，根据遮光板所具有的真圆度超过3μm，从而可以认为，过剩的光从孔的周向上的一部分透过，因此产生了重影以及光斑。另一方面，关于对比例3的遮光板，根据在与遮光板的表面相正交的剖面中，划分出孔的侧面与表面相正交，从而可以认为，以从孔通过的方式被反射的光过剩，因此产生了重影以及光斑。

如以上说明，根据遮光板、照相机单元、电子仪器以及遮光板的制造方法的一个实施方式，能够获得下面记载的效果。

(1)第2孔部分10H2具有从表面10F朝向背面10R而前端缩小的形状，因此从表面10F的斜上方射入至孔的光容易在划分出第2孔部分10H2的侧面朝向遮光板10的表面10F反射。与此相对，第1孔部分10H1具有从中央开口HC朝向背面10R而前端扩大的的形状，因此能够限制从第2孔部分10H2射入至第1孔部分10H1的光中的、在划分出第1孔部分10H1的侧面反射的光。这样，根据第1孔部分10H1以及第2孔部分10H2，能够降低在孔10H的侧面被反射的光的光量。

(2)中央开口HC的真圆度小于或等于3μm，因此能够抑制射入至孔10H的光的通路即中央开口HC的畸变，由此，能够抑制在中央开口HC的周向上的一部分从第2孔部分10H2朝向第1孔部分10H1透过的光的光量过剩。

(3)焦点对准的遮光板10的最大宽度WM小于或等于2.5μm，从而能够减小在中央开口HC的附近划分出孔10H的侧面的面积，由此能够降低在中央开口HC的附近划分出孔10H的侧面被反射的光的光量。其结果，能够降低以从孔10H透过的方式在划分出孔10H的侧面被反射的光的光量。

(4)焦点对准的遮光板10的最大宽度WM大于1.0μm，从而能够抑制中央开口HC附近的变形。由此，能够抑制通过中央开口HC而从遮光板10透过的光的光量因遮光板10的变形而变动。

(5)遮光板10的厚度大于或等于10μm，从而能够抑制用于形成遮光板10的金属箔10M的翘曲对遮光板10的形状造成影响。遮光板10的厚度小于或等于100μm，从而能够抑制用于形成孔10H的蚀刻的精度降低。

(6)与遮光板10的表面10F与透镜21相对的情况相比，通过中央开口HC以后在孔10H的侧面反射而能够限制向透镜21射入的光。

(7)能够抑制从中央开口HC通过的光向比透镜21的有效直径更靠外侧的部分射入。因此，能够抑制意料之外的光射入至拍摄元件22。

此外，能够以下面的方式对上述实施方式进行变更实施。

[遮光板的制造方法]

·在制造遮光板10时，在通过金属箔10M的蚀刻而形成第2孔部分10H2之后，可以形成为使得第1孔部分10H1与第2孔部分10H2连接。在该情况下，在对比第1孔部分10H1先形成的第2孔部分10H2进行保护的表面保护膜PMF填充至第2孔部分10H2内的状态下，只要使得第1孔部分10H1形成为与第2孔部分10H2连接即可。在该情况下，通过孔10H具有第1孔部分10H1以及第2孔部分10H2，并且中央开口HC的真圆度小于或等于3μm，从而也能够获得基于上述(1)的效果。

[金属箔]

·用于形成遮光板10的金属箔10M并不局限于不锈钢箔，例如可以是铁-镍系合金制的金属箔，也可以是铁-镍-钴系合金制的金属箔。铁-镍系合金例如可以是殷钢，另外，铁-镍-钴系合金例如可以是超级殷钢。即，遮光板10可以是铁-镍系合金制的、或者是铁-镍-钴系合金制的。另外，遮光板10可以是殷钢制的、或者是超级殷钢制的。

金属箔10M由铁-镍系合金或者铁-镍-钴系合金形成而能够获得下面的效果。

(8)能够抑制与外部气温的变化相伴的遮光板10的变形，由此，能够抑制与外部气温的变化相伴的外部光的入射量的变化。因而，能够抑制与外部光的入射量相伴的变化的重影、光斑的产生。

·用于形成遮光板10的金属箔10M可以具有小于10μm的厚度，另外，也可以具有超过100μm的厚度。即，遮光板10可以具有小于10μm的厚度，也可以具有超过100μm的厚度。在该情况下，通过孔10H具有第1孔部分10H1以及第2孔部分10H2，并且中央开口HC的真圆度小于或等于3μm，从而也能够获得基于上述(1)的效果。

[遮光板]

·遮光板10的最大宽度WM可以小于0.5μm，也可以超过2.5μm。在该情况下，通过孔10H具有第1孔部分10H1以及第2孔部分10H2，并且中央开口HC的真圆度小于或等于3μm，从而也能够获得基于上述(1)的效果。

Claims (10)

1.一种遮光板，其是金属制的，其中，

所述遮光板具有：

表面，其位于光的入射侧；

背面，其是所述表面的相反侧的面；以及

孔，其将所述表面与所述背面之间贯通，

所述孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口处与所述第1孔部分连接，

所述第1孔部分从所述背面的背面开口向所述中央开口延伸，具有从所述背面朝向所述表面而前端缩小的形状，

所述第2孔部分从所述表面的表面开口向所述中央开口延伸，具有从所述表面朝向所述背面而前端缩小的形状，

所述表面开口的大小大于所述背面开口的大小，

所述中央开口的真圆度小于或等于3μm。

2.根据权利要求1所述的遮光板，其中，

在景深深度为0.4μm的拍摄条件下，在使得焦点与所述中央开口的边缘对准的状态下沿所述中央开口的径向对所述中央开口的边缘进行拍摄时，焦点对准的所述遮光板的厚度方向上的所述遮光板的最大宽度小于或等于2.5μm。

3.根据权利要求2所述的遮光板，其中，

所述遮光板的所述最大宽度大于1.0μm。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的遮光板，其中，

所述遮光板具有大于或等于10μm而小于或等于100μm的厚度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的遮光板，其中，

所述遮光板是铁-镍系合金制的、或者是铁-镍-钴系合金制的。

6.根据权利要求5所述的遮光板，其中，

所述遮光板是殷钢制的、或者是超级殷钢制的。

7.一种照相机单元，其中，

所述照相机单元具有：

权利要求1至6中任一项所述的遮光板；以及

透镜，

所述遮光板在所述背面与所述透镜相对的状态下，相对于所述透镜位于光的入射侧。

8.根据权利要求7所述的遮光板，其中，

所述遮光板的所述中央开口的直径小于或等于所述透镜的有效直径。

9.一种电子仪器，其中，

所述电子仪器具有：

权利要求7或8所述的照相机单元；以及

壳体，其对所述照相机单元进行支撑。

10.一种遮光板的制造方法，其中，

所述遮光板的制造方法包含如下步骤：

在金属箔的表面和背面配置抗蚀剂层；

通过所述抗蚀剂层的曝光和显影而由所述抗蚀剂层形成抗蚀剂掩模；以及

通过利用所述抗蚀剂掩模的所述金属箔的蚀刻而形成将所述表面与所述背面之间贯通的孔，

形成所述孔的步骤包含如下步骤：

形成第1孔部分，该第1孔部分从位于所述背面的背面开口朝向所述表面延伸，具有从所述背面朝向所述表面而前端缩小的形状；

形成第2孔部分，该第2孔部分位于所述表面，从大于所述背面开口的大小的表面开口朝向所述背面延伸，具有从所述表面朝向所述背面而前端缩小的形状；

通过将第2孔部分与所述第1孔部分连接而在所述第1孔部分与所述第2孔部分的连接部形成具有小于或等于3μm的真圆度的圆形的中央开口；以及

在所述第1孔部分以及所述第2孔部分中的、先形成的孔部分内填充有保护该孔部分的保护部的状态下，形成与所述先形成的孔部分不同的孔部分。

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