CN104553364B - 一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造及LED制造技术领域，尤其涉及一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备；本发明的非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备，包括机架，还包括大理石底板、传输工作台、扫描工作台、检测头支架、激光检测头、大理石横梁、载料台、传输机械臂、定心机构、激光打印装置、设置于所述激光打印装置的下侧的打印工作台、第一升降机、第二升降机和第三升降机；检测设备是全自动设备：自动上料、检测，并根据检测结果，对合格的衬底片送至打印区域，由激光控制系统控制激光头完成打标；本发明提高了生产效率，减少了对衬底片的污染。

Description

一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备

技术领域

本发明涉及半导体制造及LED制造技术领域，尤其涉及一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备。

背景技术

现有技术上，目前检测类设备，主要集中于手动及半自动。对LED或IC制造过程的衬底片进行非接触的表面参数检测：TTV，LTV，BOW，THK及Warp等参数。采用的检测技术包括无接触光学传感器及采用牛顿环技术来实现。主要是国外产品。激光打标设备，对衬底片定位后，通过软件设置打标内容，通过激光器在衬底片上打印出编号、产品名称等信息。国内有此类设备的生产。检测设备目前只分为手动和半自动两种。并且没有自动分选功能。在实际使用过程中，容易对检测衬底片造成污染，效率低等问题。激光打标设备，由于所采用的激光头及软件处理等原因，目前存在问题是占地面积大，效率低。并且故障率高。以上两种设备，检测完毕，将合格的衬底片由激光打标设备来进行名称、编号等信息。

发明内容

本发明的目的是提供一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备，解决传统的设备容易污染被检测的衬底片、检测效率低、检测设备占用空间较大和故障较高的问题。

本发明为解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备，包括机架，还包括设置于所述机架的上端的一侧的大理石底板、设置于所述机架的上端的另一侧的传输工作台、设置于所述大理石底板的上端的扫描工作台、设置于所述扫描工作台的上端的检测头支架、设置于所述检测头支架上的激光检测头、设置于所述大理石底板的上端且处于所述扫描工作台的上侧的大理石横梁、设置于所述扫描工作台的上端且处于所述大理石横梁和所述传输工作台之间的载料台、设置于所述传输工作台的上端的传输机械臂、设置于所述机架的上端且处于所述传输工作台的靠近所述传输机械臂的一端的定心机构、设置于所述机架的上端且处于所述传输工作台的远离所述定心机构的一端的激光打印装置、设置于所述激光打印装置的下侧的打印工作台、设置于所述机架的上端且处于所述传输工作台的远离所述载料台的一侧的第一升降机、第二升降机和第三升降机。

其中，所述第一升降机、所述第二升降机和所述第三升降机的结构一致；所述第二升降机处于所述第一升降机和所述第三升降机的中间；所述第二升降机用于放置待检测的衬底片和放置不合格的衬底片；所述第一升降机和所述第三升降机用于放置打标完毕的的衬底片。

其中，所述激光打印装置包括支撑部件和穿设于所述支撑部件的上部的打标部件；所述打标部件处于所述打印工作台的正上方。

其中，所述传输机械臂包括安装部件、设置于所述安装部件的上端的第一取料臂和设置于所述安装部件的上端的第二取料臂；所述安装部件旋设于所述传输工作台的上端，所述第一取料臂和所述第二取料臂所成夹角为θ；所述θ≧100°，且θ≦150°。

其中，将待检测的衬底片连同片盒放置在所述第二升降机上；

所述传输机械臂在所述传输工作台上移动，所述传输机械臂将所述待检测的衬底片移动到所述定心机构；

所述定心机构将移动过来的所述待检测的衬底片进行定心；

所述传输机械臂在所述传输工作台上移动，将定心好的所述待检测的衬底片移动到所述载料台；

所述扫描工作台按照预设的程序进行移动，所述激光检测头对所述待检测的衬底片进行检测，并判断所述待检测的衬底片是否合格；

若所述待检测的衬底片不合格，所述传输机械臂将经过检测不合格的所述衬底片直接放回所述第二升降机上；

若所述待检测的衬底片合格，所述传输机械臂将经过检测合格的所述衬底片传输到所述激光打印装置进行打标；

所述传输机械臂将打标后的所述衬底片传输到所述第一升降机和所述第三升降机。

其中，所述激光检测头对所述待检测的衬底片的表面进行检测，并将检测收集到的数据传输到计算机，所述计算机按照预设的算法对传输进来的数据进行处理；

对所述待检测的衬底片检测的数据包括TTV、LTV、BOW、Warp和THK；

所述待检测的衬底片检测的数据被存储于数据库内。

本发明的优点在于：

本发明的非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备，包括机架，还包括设置于所述机架的上端的一侧的大理石底板、设置于所述机架的上端的另一侧的传输工作台、设置于所述大理石底板的上端的扫描工作台、设置于所述扫描工作台的上端的检测头支架、设置于所述检测头支架上的激光检测头、设置于所述大理石底板的上端且处于所述扫描工作台的上侧的大理石横梁、设置于所述扫描工作台的上端且处于所述大理石横梁和所述传输工作台之间的载料台、设置于所述传输工作台的上端的传输机械臂、设置于所述机架的上端且处于所述传输工作台的靠近所述传输机械臂的一端的定心机构、设置于所述机架的上端且处于所述传输工作台的远离所述定心机构的一端的激光打印装置、设置于所述激光打印装置的下侧的打印工作台、设置于所述机架的上端且处于所述传输工作台的远离所述载料台的一侧的第一升降机、第二升降机和第三升降机；本发明中，检测设备是全自动设备：自动上料、检测，并根据检测结果，对合格的衬底片送至打印区域，由激光控制系统控制激光头完成打标；最后将打标完成的衬底片送到设定的片盒里；本发明提高了生产效率，减少了对衬底片的污染。

附图说明

图1是本发明的非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备的俯视图。

图2是本发明的非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备的主视图。

图3是本发明的非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备的对衬底片进行检测的流程图。

1-大理石底板；2-扫描工作台；3-激光检测头；4-大理石横梁；5-载料台；6-激光打印装置；7-传输工作台；8-第一升降机；9-第二升降机；10-第三升降机；11-传输机械臂；12-定心机构；13-检测头支架；14-打印工作台；15-机架。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本发明。

结合图1至图3对本发明的非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备进行详细说明。

本发明的非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备，包括机架15，还包括设置于所述机架15的上端的一侧的大理石底板1、设置于所述机架15的上端的另一侧的传输工作台7、设置于所述大理石底板1的上端的扫描工作台2、设置于所述扫描工作台2的上端的检测头支架13、设置于所述检测头支架13上的激光检测头3、设置于所述大理石底板1的上端且处于所述扫描工作台2的上侧的大理石横梁4、设置于所述扫描工作台2的上端且处于所述大理石横梁4和所述传输工作台7之间的载料台5、设置于所述传输工作台7的上端的传输机械臂11、设置于所述机架15的上端且处于所述传输工作台7的靠近所述传输机械臂11的一端的定心机构12、设置于所述机架15的上端且处于所述传输工作台7的远离所述定心机构12的一端的激光打印装置6、设置于所述激光打印装置6的下侧的打印工作台14、设置于所述机架15的上端且处于所述传输工作台7的远离所述载料台5的一侧的第一升降机8、第二升降机9和第三升降机10。通过传输机构将升降机上片盒里的衬底片放置到扫描工作台上的承片台上，然后依照软件设置进行无接触扫描，并将结果通过算法进行相关处理。最终结果显示在屏幕上的同时，保存到相应的数据库里。并对合格的衬底片进行编号或批次号的打标。打标完毕后，再放置到相应片盒里。同时，对衬底片能够3-D显示，方便操作者一目了然，随时了解检测结果。

所述第一升降机8、所述第二升降机9和所述第三升降机10的结构一致；所述第二升降机9处于所述第一升降机8和所述第三升降机10的中间；所述第二升降机9用于放置待检测的衬底片和放置不合格的衬底片；所述第一升降机8和所述第三升降机10用于放置打标完毕的的衬底片。

所述激光打印装置6包括支撑部件和穿设于所述支撑部件的上部的打标部件；所述打标部件处于所述打印工作台14的正上方。

所述传输机械臂11包括安装部件、设置于所述安装部件的上端的第一取料臂和设置于所述安装部件的上端的第二取料臂；所述安装部件旋设于所述传输工作台7的上端，所述第一取料臂和所述第二取料臂所成夹角为θ；所述θ≧100°，且θ≦150°。

将待检测的衬底片连同片盒放置在所述第二升降机9上；

所述传输机械臂11在所述传输工作台7上移动，所述传输机械臂11将所述待检测的衬底片移动到所述定心机构12；

所述定心机构12将移动过来的所述待检测的衬底片进行定心；

所述传输机械臂11在所述传输工作台7上移动，将定心好的所述待检测的衬底片移动到所述载料台5；

所述扫描工作台2按照预设的程序进行移动，所述激光检测头3对所述待检测的衬底片进行检测，并判断所述待检测的衬底片是否合格；

若所述待检测的衬底片不合格，所述传输机械臂11将经过检测不合格的所述衬底片直接放回所述第二升降机9上；

若所述待检测的衬底片合格，所述传输机械臂11将经过检测合格的所述衬底片传输到所述激光打印装置6进行打标；

所述传输机械臂11将打标后的所述衬底片传输到所述第一升降机8和所述第三升降机10。

所述激光检测头3对所述待检测的衬底片的表面进行检测，并将检测收集到的数据传输到计算机，所述计算机按照预设的算法对传输进来的数据进行处理；

对所述待检测的衬底片检测的数据包括TTV、LTV、BOW、Warp和THK；

所述待检测的衬底片检测的数据被存储于数据库内。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (2)

1.一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备，包括机架(15)，其特征在于：还包括设置于所述机架(15)的上端的一侧的大理石底板(1)、设置于所述机架(15)的上端的另一侧的传输工作台(7)、设置于所述大理石底板(1)的上端的扫描工作台(2)、设置于所述扫描工作台(2)的上端的检测头支架(13)、设置于所述检测头支架(13)上的激光检测头(3)、设置于所述大理石底板(1)的上端且处于所述扫描工作台(2)的上侧的大理石横梁(4)、设置于所述扫描工作台(2)的上端且处于所述大理石横梁(4)和所述传输工作台(7)之间的载料台(5)、设置于所述传输工作台(7)的上端的传输机械臂(11)、设置于所述机架(15)的上端且处于所述传输工作台(7)的靠近所述传输机械臂(11)的一端的定心机构(12)、设置于所述机架(15)的上端且处于所述传输工作台(7)的远离所述定心机构(12)的一端的激光打印装置(6)、设置于所述激光打印装置(6)的下侧的打印工作台(14)、设置于所述机架(15)的上端且处于所述传输工作台(7)的远离所述载料台(5)的一侧的第一升降机(8)、第二升降机(9)和第三升降机(10)；

所述第一升降机(8)、所述第二升降机(9)和所述第三升降机(10)的结构一致；所述第二升降机(9)处于所述第一升降机(8)和所述第三升降机(10)的中间；所述第二升降机(9)用于放置待检测的衬底片和放置不合格的衬底片；所述第一升降机(8)和所述第三升降机(10)用于放置打标完毕的的衬底片；

所述激光打印装置(6)包括支撑部件和穿设于所述支撑部件的上部的打标部件；所述打标部件处于所述打印工作台(14)的正上方；

所述传输机械臂(11)包括安装部件、设置于所述安装部件的上端的第一取料臂和设置于所述安装部件的上端的第二取料臂；所述安装部件旋设于所述传输工作台(7)的上端，所述第一取料臂和所述第二取料臂所成夹角为θ；所述θ≧100°，且θ≦150°；

将待检测的衬底片连同片盒放置在所述第二升降机(9)上；

所述传输机械臂(11)在所述传输工作台(7)上移动，所述传输机械臂(11)将所述待检测的衬底片移动到所述定心机构(12)；

所述定心机构(12)将移动过来的所述待检测的衬底片进行定心；

所述传输机械臂(11)在所述传输工作台(7)上移动，将定心好的所述待检测的衬底片移动到所述载料台(5)；

所述扫描工作台(2)按照预设的程序进行移动，所述激光检测头(3)对所述待检测的衬底片进行检测，并判断所述待检测的衬底片是否合格；

若所述待检测的衬底片不合格，所述传输机械臂(11)将经过检测不合格的所述衬底片直接放回所述第二升降机(9)上；

若所述待检测的衬底片合格，所述传输机械臂(11)将经过检测合格的所述衬底片传输到所述激光打印装置(6)进行打标；

所述传输机械臂(11)将打标后的所述衬底片传输到所述第一升降机(8)和所述第三升降机(10)。

2.根据权利要求1所述的一种非接触全自动衬底片检测分选及激光打标设备，其特征在于：所述激光检测头(3)对所述待检测的衬底片的表面进行检测，并将检测收集到的数据传输到计算机，所述计算机按照预设的算法对传输进来的数据进行处理；

对所述待检测的衬底片检测的数据包括TTV、LTV、BOW、Warp和THK；

所述待检测的衬底片检测的数据被存储于数据库内。