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Capteurs Chimiques Et Biochimiques: Nicole Jaffrezic-Renault, Claude MARTELET, Paul Clechet
Capteurs Chimiques Et Biochimiques: Nicole Jaffrezic-Renault, Claude MARTELET, Paul Clechet
Capteurs Chimiques Et Biochimiques: Nicole Jaffrezic-Renault, Claude MARTELET, Paul Clechet
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(surveillance, régulation). En revanche, il est clair que pour l’analyse des mélan-
ges l’utilisation d’un système multicapteur est nécessaire, chacun d’eux étant le
plus sélectif possible à une espèce.
Il est certain que tout cela ne constitue que des considérations très générales
sur ces deux types de systèmes de détection et que certains d’entre eux sont par-
fois difficiles à classer dans l’une de ces deux catégories. Les capteurs chimiques
commercialisés sont présentés dans la première partie de ce chapitre, les cap-
teurs biochimiques commercialisés sont présentés dans la troisième partie.
Ces dernières années, le domaine des capteurs a connu un renouveau tout à
fait remarquable. Celui-ci est le résultat de trois facteurs principaux qui ont à la
fois vivement animé la recherche dans ce secteur et fortement incité le dévelop-
pement de capteurs de type nouveau. Le premier de ces facteurs est le besoin
très vif en capteurs fiables qu’entraîne la croissante sévérité des normes dans
tous les domaines touchant à la chimie et la biochimie (environnement, alimen-
tation, pharmacie, sécurité domestique et industrielle, monitoring médical...). Le
second est lié à la généralisation de l’automatisation dans le génie des procédés
qui elle aussi requiert, à l’origine de la chaîne, des sondes de qualité. Le troi-
sième est l’intrusion récente et en force des méthodes de microfabrication de
l’électronique dans la technologie de réalisation des capteurs. Ce dernier point
est sans doute le plus notable car il donne accès au domaine des fabrications
collectives avec les avantages qui lui sont liés de bas coût (les capteurs jetables
deviennent envisageables), de gain en fiabilité et d’adaptation aux microcircuits,
pour l’instant hybrides mais certainement bientôt monolithiques. De nombreux
procédés de microfabrication tridimensionnelle (par exemple la technologie
LIGA) sont venus ensuite compléter les méthodes planaires. Tout cela a naturel-
lement orienté la conception des capteurs vers la miniaturisation à l’échelle
micro/millimétrique en suivant pour cela deux voies différentes qui sont présen-
tées dans la seconde partie de ce chapitre :
— celle de la simple diminution en taille de capteurs macroscopiques, c’est-à-
dire de taille centimétrique, ayant déjà fait leur preuve. C’est par exemple le cas
du microcapteur d’humidité développé par la société Coreci ou celui du micro-
capteur SnO2 mis au point par la société Microsens. Cette école est aussi parfai-
tement illustrée par les travaux de l’Institut de Microtechnologie de Neuchâtel ;
— celui de la fonctionnalisation de microdispositifs capables de traduire les
modifications chimiques subies par l’élément de reconnaissance, le récepteur,
en un signal qui en dernier ressort est toujours électrique. Les dispositifs utilisés
s’appellent des transducteurs, ce peut être un transistor à effet de champ (Field
Effect Transistor FET), un dispositif piézoélectrique, une fibre optique...
De tels microcapteurs, associés à des microprocesseurs, deviennent capables
de réagir à une sollicitation chimique en commandant des actionneurs, donc de
devenir « intelligents ».
Deux points particuliers sont encore à relever dans ce panorama sur les micro-
capteurs.
■ Le premier concerne leur utilisation en réseaux afin de pallier leur manque
fréquent de sélectivité. En effet, les espèces moléculaires et ioniques chimiques
ne diffèrent pas suffisamment les unes des autres pour que l’on puisse espérer
généraliser facilement la réalisation de capteurs sélectifs. Ce n’est pas le cas
pour les espèces biochimiques pour lesquelles les interactions sont parfaite-
ment sélectives. Afin de combler cette déficience, il a été proposé d’utiliser des
réseaux constitués de capteurs qui diffèrent dans leur réponse individuelle aux
composants des mélanges à examiner. L’analyse matricielle des signaux émis
par ces capteurs permet alors de remonter à l’information exacte ou à une repré-
sentation matricielle d’un mélange complexe. Cette dernière description est en
particulier adaptée à l’analyse des odeurs (nez électronique).
■ Le deuxième est celui de la miniaturisation des instruments d‘analyse pour
les amener dans le domaine centimétrique ou décimétrique. Cette nouvelle voie
a été initiée, vers la fin des années 70, par la réalisation à Stanford, d’un micro-
chromatographe comportant une colonne capillaire de 1,50 m gravée dans une
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o RT a Ox ■ Électrodes de référence
E = E + 2,3 -------- lg ------------ (2)
nF a Red Bien qu’elles ne constituent pas à elles seules un capteur, elles
o sont utilisées à chaque fois que l’on mesure ou que l’on impose un
avec E (V) potentiel normal du couple Ox/Red,
potentiel en solution.
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Ce sont des électrodes rédox correspondant à un système rédox L’électrode de référence à l’argent-chlorure d’argent est consti-
réversible et rapide, dont le potentiel reste invariable quelle que soit tuée par un fil d’argent recouvert de chlorure d’argent plongeant
la composition ionique de la solution dans laquelle elles sont plon- dans une solution d’ions chlorures. Le système électrochimique
gées. réversible correspondant est le suivant :
Par convention, dans l’eau, l’echelle des potentiels est rapportée à
AgCl + e– « Ag + Cl– (6)
l’électrode normale à hydrogène prise comme origine. Celle-ci est
constituée d’une électrode inattaquable (platine, palladium, etc.) en auquel correspond la loi de Nernst :
équilibre thermodynamique avec le système électrochimique :
o RT 1
E = E + 2,3 -------- lg --------- (7)
H+ + e– « 1/2 H2 (3) F a –
Cl
En pratique, on opère en milieu acide fort concentré (1M) et sous avec Eo potentiel normal du couple AgCl/Ag.
pression constante d’hydrogène réalisée par un barbotage constant
de ce gaz autour d’une lame de platine platiné. Le dispositif le plus Cette électrode est facile à miniaturiser, son potentiel est de
simple a été décrit par Hildebrand et représenté sur la figure 2 [28]. 199 mV à 25 oC, par rapport à une électrode normale à hydrogène,
lorsque le fil d’argent chloruré est plongé dans une solution de chlo-
rure de potassium saturé.
Les principales électrodes de référence utilisées dans l’eau et
dans les solvants moléculaires sont présentées dans [28]. Les condi-
tions de conservation et d’entretien des électrodes de référence sont
décrites dans [9].
■ Électrodes spécifiques
Les électrodes spécifiques existantes mettent en jeu des équili-
bres électrochimiques aux interfaces entre des électrolytes liquides
et des membranes constituées de matériaux conducteurs ioniques
(électrolytes solides, polymères conducteurs ioniques, membranes
liquides). La nature de l’ion échangé est déterminée par la composi-
tion du matériau constituant la membrane.
Comme seuls les transferts d’ions sont possibles à ces interfaces,
l’interférence d’équilibres rédox (en particulier de l’oxygène dis-
sous) est exclue.
Dans l’électrode spécifique, la membrane ionique est en équilibre
avec des solutions électrolytiques de compositions différentes dont
l’une est inconnue (solution 1) et l’autre connue (solution 2). Suppo-
sons que seuls les ions A puissent être échangés à travers les inter-
faces membrane/solution représentées sur la figure 2, il en résulte
qu’à l’équilibre les potentiels électrochimiques m÷ A de ces ions ont la
même valeur des deux côtés de la membrane ( m÷ A 1 et m÷ A 2 ) et dans
m
la membrane ( m÷ A ) , d’où la relation :
m
m÷ A 1 = m÷ A = m÷ A 2 (8)
Figure 2 – Équilibres électrochimiques des ions A à travers les
interfaces membrane/solution Le potentiel électrochimique peut être décomposé en trois par-
ties, le potentiel chimique standard des ions m0A1, un second terme
dépendant du logarithme de l’activité de l’ion et un terme électros-
tatique zFf1, z étant la charge de l’ion A :
La mise en œuvre d’une telle électrode présentant quelques diffi-
cultés, d’autres électrodes dites de référence sont utilisées couram- 0
m÷ A 1 = m A 1 + RT ln a A 1 + zFf 1 (9)
ment.
L’électrode au calomel est l’électrode de référence de potentiel la À partir des potentiels électrochimiques, il est possible de calculer
plus couramment utilisée. Elle est constituée du mélange intime la différence de potentiel électrique entre l’électrolyte liquide et la
mercure-chlorure mercureux (calomel) baigné par une solution de membrane à l’une des deux interfaces. Cela est appelé différence de
concentration connue et constante (saturée). Le système électrochi- potentiel de Donnan :
mique réversible est :
1 o om RT m
f m1 Ð f 1 = ------ ( m A 1 Ð m A ) + -------- ln ( a A1 ¤ a A 1 ) (10)
Hg2Cl2 + 2e– « 2Hg + 2Cl– (4) zF zF
auquel correspond la relation de Nernst : La différence de potentiel électrique totale f2 – f1 entre les deux
solutions électrolytiques séparées par la membrane est donnée par :
o RT 1
E = E + 2,3 -------- lg -----------
- (5) RT
2 F a2 – f 2 Ð f 1 = -------- ln ( a A 1 ¤ a A 2 ) + D f as (11)
Cl
zF
avec Eo potentiel normal du couple Hg2Cl2/Hg, Le premier terme de l’équation précédente dépend du rapport des
a – activité de l’ion Cl–. activités de l’ion dans les deux solutions électrolytiques ; le second
Cl
Lorsque l’électrode est remplie avec une solution saturée de chlo- terme Dfas décrit une asymétrie possible à l’intérieur de la mem-
rure de potassium, le potentiel de l’électrode est de 244 mV à 25 oC, brane due à la différence des compositions chimiques.
par rapport à une électrode normale à hydrogène.
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teur du palier de diffusion, qui est proportionnelle à la concentration ■ Différents types de capteurs
de l’espèce réduite ou oxydée à l’électrode indicatrice. Un étalon- Les cellules de conductimétrie de laboratoire sont constituées
nage préalable en un point est effectué, dans les mêmes conditions. d‘un corps en verre portant deux plaques ou deux anneaux de pla-
Les valeurs de courant mesurées sont extrêmement variables : elles tine platiné (figure 5). L’emploi de platine « platiné » (c’est-à-dire de
dépendent notamment de la quantité d’espèces électroactives, de la platine lisse sur lequel a été effectué par électrolyse un dépôt de
surface de l’élctrode indicatrice... Elles sont généralement compri- dendrites de platine formant une surface développée poreuse) a
ses entre quelques picoampères et quelques dizaines de milliam- pour but d’éviter les phénomènes de polarisation électrolytique qui
pères. se produiraient sur une surface régulière. On les utilise en labora-
■ Types de capteurs toire pour le suivi de réactions chimiques (neutralisations, précipita-
tions...).
Ces capteurs permettent de mesurer des espèces oxydables ou
réductibles en solution, la sélectivité n’est liée qu’à la valeur de EA.
Les principales électrodes indicatrices utilisées sont : l’électrode à
goutte de mercure, les électrodes métalliques inattaquables (pla-
tine, or...), les électrodes en carbone vitreux ou en graphite. L’élec-
trode à goutte de mercure est constituée d’un capillaire relié à un
réservoir de mercure. La structure des électrodes de platine, or, car-
bone vitreux est généralement semblable à celle des électrodes
rédox (cf. figure 1).
Certains capteurs ampérométriques permettent de détecter la
teneur en oxygène dans un liquide ou dans un gaz (cf. § 1.2.4). Les
électrodes enzymatiques présentées dans le paragraphe 3 sont éga-
lement basées sur la détection ampérométrique.
■ Principe
La conductance électrique G d’un corps, inverse de sa résistance,
est proportionnelle à la surface S de la section perpendiculaire à la Figure 5 – Cellule de conductimétrie de laboratoire
direction du courant et inversement proportionnelle à sa longueur
, :
gS Les cellules de conductimétrie industrielles sont de formes et de
G = -------- (16) dimensions variées : cellules à électrodes annulaires concentriques,
,
à électrodes colinéaires, à électrodes planes parallèles. Elles sont
avec G conductance (S), généralement en acier inoxydable ou en carbone. Dans les milieux
g conductance spécifique ou conductivité, très agressifs, on est amené à utiliser des cellules ayant des électro-
caractéristique du corps ; elle est exprimée en des en or, platine ou palladium. Selon le type d’utilisation, on
siemens par centimètre lorsque la surface est emploie des cellules à circulation, des cellules vissables sur canali-
donnée en cm2 et la longueur en cm. sation, des cellules plongeantes pour mesures sur cuves.
La mesure de la conductance d’une solution électrolytique s’effec- Les principaux fabricants d’électrodes sont présentés sur le
tue en immergeant dans la solution une cellule de mesure compor- tableau 1.
tant deux électrodes dont la surface S et la distance , sont
déterminées par étalonnage dans une solution de conductivité con-
nue. En première approximation, pour des solutions de concentra-
tion faible, la conductivité est proportionnelle à la concentration de Tableau 1 – Principaux fabricants de capteurs d’espèces
l’électrolyte. Ces capteurs conductimétriques détectent toutes les ioniques
espèces ioniques présentes dans la solution, leur utilisation
demande de bien connaître la composition ionique des solutions Fabricant Types d’électrodes
puisqu’ils n’ont aucune sélectivité intrinsèque.
Orion Référence
La mesure de conductance ne peut être effectuée en courant con- Verre
tinu, car il se produirait alors une polarisation des électrodes et une À membrane
électrolyse entraînant une variation de résistance. Il est donc indis-
pensable de réaliser la mesure en courant alternatif de fréquence Solea-Tacussel Référence
suffisamment élevée pour éliminer ces effets perturbateurs. Pour les (Radiometer Analytical) Verre
solutions faiblement conductrices, dont la conductivité est infé- À membrane
Métalliques (redox)
rieure à quelques microsiemens, on emploie de préférence des fré-
quences de mesure faibles : 50 Hz par exemple. Pour les solutions Ingold Référence
fortement conductrices, dont la conductivité est supérieure à quel- Verre
ques millisiemens, des fréquences plus élevées sont employées : Métalliques (redox)
10 kHz. Pour les solutions de conductivité moyenne, on utilise des Schott Référence
fréquences comprises entre 102 et 103 Hz. La conductivité d’un élec- Verre
trolyte dépend de sa température ; lorsqu’on désire comparer, par Métalliques (redox)
mesure directe, les valeurs de conductivité de différentes solutions,
Prolabo Référence
en vue de déterminer leurs concentrations, il faut effectuer toutes Verre
les mesures à la même température. Métalliques (redox)
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■ Capteurs à oxydes métalliques semiconducteurs (SnO2, ZnO) l’espèce gazeuse. La réponse de ce type de capteur en présence de
Dans un semiconducteur de type N, la conduction est assurée par quelques ppm de vapeur de benzène et d’alcool éthylique est pré-
les électrons libres situés dans la bande de conduction. Leur concen- sentée sur la figure 8. Le choix judicieux de la température de fonc-
tration est faible (1015 à 1018 cm–3) et peut donc être facilement tionnement du capteur permettra donc de privilégier la sensibilité
modifiée par une influence électrique créant un champ de drainage vis à vis d’un gaz. La zone de réponse du capteur dépend de certains
[7]. Si, pour de tels matériaux, des espèces chimiques dotées de pro- prétraitements de la surface du matériau semiconducteur [7]. Il en
priétés de donneur ou d’accepteur d’électrons sont adsorbées en résulte qu’une détection sélective est obtenue dans certains cas. Ce
surface (H ou O– par exemple), cela induit, de façon électrostatique, capteur peut être utilisé dans un grand nombre d’applications étant
une modification de la distribution des électrons sous la surface et donné sa grande sensibilité de détection et le grand nombre de gaz
donc de leur conductivité superficielle. Pour un matériau de type N, détectables (solvants, H2S, SO2, alcanes, CO...). Le temps de
une adsorption de donneur d’électrons (H par exemple) augmente la réponse du capteur est compris entre quelques secondes et quel-
conductivité superficielle. ques minutes. Le principal inconvénient concerne la nécessité de
réétalonnage fréquent du capteur. C’est un capteur peu coûteux. Les
Les matériaux utilisés, SnO2 et ZnO, sont des réfractaires chimi- principaux fabricants sont présentés dans le tableau 2.
quement stables, semiconducteurs de type N. Ces matériaux sont
faits de grains frittés. La conduction est donc pelliculaire et intergra- ■ Capteurs à couches minces semiconductrices
nulaire, seule la surface des grains ayant sa conductivité modifiée Les propriétés semiconductrices de couches minces de phtalocya-
par l’adsorption des gaz. Dans ZnO, les lacunes d’oxygène (sub-stœ- nine ont été utilisées pour la détection de gaz tels que NOx , SO2 , O3
chiométrie) sont des donneurs d’électrons, de même que dans et les halogènes. Ces couches minces fonctionnent à basse tempé-
SnO2. rature (150 oC), sont insensibles aux hydrocarbures, peuvent être
La chimie des gaz réducteurs au contact de la surface chauffée est préparées avec une bonne pureté par des techniques de dépôt sous
d’une grande complexité. À la surface de SnO2, les réactions avec le vide. Des capteurs à base de phtalocyanine de cuivre sont dévelop-
méthane sont les suivantes : pés par la société ETR GmbH.
à faible concentration CH4 (gaz) ® CH3 (adsorbé) + H (adsorbé) (17)
Le principe de ce capteur à base de SnO2 (type « Figaro ») est pré-
senté sur la figure 7. La réponse de capteur en conductance G est
proportionnelle à P rb, Pr étant la pression partielle du gaz réducteur ;
elle dépend de la température de fonctionnement et de la nature de
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2. Microcapteurs chimiques
2.1 Microtechnologies
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2.3.1 Capteurs intégrés de type ChemFET (ISFET, Qf charges fixes dans l’isolant,
GasFET, ENFET) Ci capacité de l’isolant,
QS charges en surface du semiconducteur,
Le capteur ISFET (Ion Sensitive Field Effect Transistor) est issu du
yb différence entre le niveau de Fermi du silicium
MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) qui est
dopé et son niveau intrinsèque.
l’élément le plus important des circuits intégrés. C’est Bergveld qui,
en 1970, a montré la sensibilité d’un MOSFET sans grille métallique Le capteur de gaz de type GasFET est basé sur la variation du tra-
aux ions H+, lorsque l’isolant silice est directement en contact avec vail de sortie du métal de grille en contact avec un gaz. C’est le prin-
la solution. cipe de fonctionnement du capteur d’hydrogène mis au point par
Lundström [7] dont le métal de grille est le palladium. Ce capteur est
■ Principes de fonctionnement commercialisé par la société suédoise Sensistor AB en tant que
● MOSFET détecteur de fuites d’hydrogène sur des installations industrielles.
On rappelle ici la structure, le principe de fonctionnement du tran- ● ISFET [6]
sistor MOSFET (figure 17). Dans un substrat silicium de dopage P La figure 18 représente la structure d’un ISFET. La métallisation
(cas d’un MOSFET canal N) sont implantées deux zones de dopage du MOSFET est remplacée par une membrane chimiquement sensi-
N formant le drain et la source et auxquelles sont appliquées des ble, en contact avec la solution à étudier. La tension de seuil VT
électrodes métalliques. La zone centrale située entre drain et source devient dans ce cas une fonction des caractéristiques chimiques de
est le canal ; une fine couche isolante (SiO2) surmonte le canal et la la solution :
métallisation qu’elle porte constitue l’électrode grille (gate) qui est
l’électrode de contrôle de la conductivité du canal. VT = VT0 + y0 (24)
où VT0 ne dépend que des caractéristiques du composant ISFET et
y0 est la différence de potentiel entre la membrane sensible et la
solution électrolytique.
Figure 17 – Coupe schématique du transistor type MOSFET Figure 18 – Vue schématique d’un ISFET
Cette structure est normalement bloquée : aucun courant ne peut Étant donné l’équilibre qui existe entre l’ion à doser en solution et
traverser le canal entre source et drain car, quelle que soit la diffé- sa forme chimique dans la membrane sensible, y0 est fonction de
rence de potentiel appliquée à ces deux zones, au moins l’une des l’activité de l’ion à doser. La figure 19 présente la variation de ID
jonctions P–N est polarisée en inverse. L’application entre grille et dans le cas d’un ISFET pH à membrane alumine.
source d’une tension VG positive tend à repousser les trous majori-
taires et à attirer, dans la zone située sous la grille, des électrons por- ■ Techniques mises en œuvre
teurs minoritaires du substrat P. Lorsque VG > VT, (VT tension de ● Fabrication de l’ISFET
seuil), la densité d’électrons devient supérieure à la densité des
Le procédé de fabrication des ISFET peut être divisé en deux par-
trous et un canal de type N se forme, assurant la continuité entre
ties. La première concerne la fabrication des composants dans la
drain et source : la circulation d’un courant ID entre source et drain
tranche de silicium (typiquement 50 à 75 mm de diamètre) par la
devient possible. Le courant ID est fonction des tensions VG et VD
technologie microélectronique. Les principales étapes de fabrication
(entre drain et source) : pour VD < VG – VT, on est en régime linéaire
sont les suivantes : réalisation du caisson d’isolement, implantation
et pour VD > VG – VT, on est en régime de saturation.
des zones de source et de drain, formation de l’oxyde de grille, pri-
● GasFET ses de contact drain, source, substrat.
L’expression de la tension de seuil VT en fonction des différentes La seconde partie du procédé de fabrication concerne les étapes
caractéristiques des matériaux constituant le composant est la situées après que la tranche de silicium ait été découpée en compo-
suivante : sants individuels ; il s’agit du dépôt de la membrane sensible, du
VT = (WS)m – (WS)sc + Qf/Ci + QS/Ci – 2yb (23) montage de l’ISFET sur le support, des connexions électriques, de
l’encapsulation du capteur.
avec (WS)m énergie de sortie du métal, ● Circuit de mesure de l’ISFET
(WS)sc énergie de sortie du semiconducteur,
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une longueur d’onde qui peut être celle de la lumière excitatrice partir d’échantillons régulièrement prélevés par des cathéters pla-
(absorption) ou qui peut être différente (fluorescence, phosphores- cés sur le patient.
cence). Ce type de capteur est appelé opt(r)ode.
L’optrode pour la détection de pH est constituée ainsi : un indica-
teur de pH est immobilisé au bout des fibres, il entre dans l’équilibre
acido-basique suivant :
3.2 Biosélectivité
HA « H+ + A– (28)
Dans la nature, il existe un grand nombre de biomolécules douées
dans lequel soit l’espèce HA, soit l’espèce A– peuvent être détectées de fonction de reconnaissance ; ce sont d’ailleurs elles qui permet-
optiquement (exemple : l’anion p-nitrophénolate absorbe à tent la survie d’une espèce en assurant les fonctions vitales d’un
404 nm). Ce type de capteur a en général une dynamique de deux organisme telles que métaboliser (grâce aux enzymes par exemple),
unités de pH, ce qui limite son application. Il est sensible à certaines se reproduire (grâce aux informations génétiques contenues dans
interférences (force ionique) mais a l’avantage de ne pas nécessiter l’ADN), traiter l’information et communiquer (grâce aux neurotrans-
d’optrode de référence comme pour une détection électrochimique. metteurs, hormones et récepteurs), se protéger (grâce aux mécanis-
Un capteur optique de type Severinghaus a été développé pour le mes de défense immunitaires, dans le système végétal ce sont sans
dosage du CO2 dissous et de nombreux capteurs enzymatiques uti- doute les lectines qui jouent ce rôle en neutralisant bactéries et
lisant des phénomènes de fluorescence ont été développés mais ne champignons). Ces mécanismes impliquent la présence de deux
sont pas encore commercialisés. molécules complémentaires, le tableau 4 donne quelques exemples
Sur la figure 21b, le matériau spécifique constitue la gaine de la de ligands et de substances liées correspondantes, la reconnais-
fibre ; il s’agit en général d’un polymère ayant des propriétés sance ou, plutôt, le regroupement des parties complémentaires, qui
d’absorption spécifique pour le gaz à détecter. Le gaz absorbé modi- implique parfois une modification de conformation, est assuré par
fie l’indice optique du matériau spécifique et la puissance lumineuse des interactions de type électrostatique (Van der Walls ou liaisons
transmise par la fibre. Cette configuration se prête bien à l’intégra- hydrogène).
tion dans un système interférentiel soit par un montage avec fibres,
soit par intégration sur verre ou silicium (interféromètre de Mach-
Zehnder). Ce système différentiel permet de s’affranchir de nom-
breuses interférences dont la température. Le matériau spécifique Tableau 4 – Principales catégories de biomolécules douées
servant de gaine optique doit être choisi avec certaines propriétés de propriétés de reconnaissance
optiques (transparence, indice optique dans une certaine gamme) et
des propriétés de reconnaissance moléculaire (matériaux pour la Ligand Substances liées
chromatographie en phase gazeuse). De nombreux systèmes sont
en cours d’étude en particulier pour la détection des hydrocarbures, Immunoglobulines Grande variété de molécules de
toutes tailles (antigènes, toxines,
des hydrocarbures halogénés et pour la détection de biomolécules haptènes...)
de types antigènes.
Enzymes Substrats, gamme très large,
inhibiteurs
Lectines, ou autres protéines Oligosaccharides
3. Biocapteurs spécifiques
Récepteurs Hormones, toxines,
neurotransmetteurs, drogues
Le développement des biocapteurs contrairement à celui des cap- Protéine A IgG, IgM, IgA
teurs chimiques est un phénomène récent et qui, durant ces quinze Protéines de transport Ions, substances diverses
dernières années, a suscité de très nombreux espoirs d’application
ADN acide desoxyribonucléique Ig Immunoglobulines
en particulier pour les biotechnologies et le biomédical. Récem-
ment, une revue « Biosensors & Bioelectronics » a vu le jour et a été ARN acide ribonucléique
suivie par les congrès réguliers Biosensors. Si l’intense activité de
recherche n’induit que peu de réalisations commerciales, c’est que
les contraintes de la fonctionnalisation d’un transducteur par une Malgré la spécificité des interactions biologiques, il peut arriver
biomolécule spécifique sont sévères : que la biomolécule reconnaisse une espèce différente de celle de
— adaptation à la biomolécule de reconnaissance ; l’analyte, c’est par exemple le cas de l’inhibition de la biocatalyse
— adaptation au transducteur ; par des « toxiques » à très faible dose, cela peut être mis à profit
— adaptation au milieu à tester ; pour une détection même à des niveaux traces, mais le suivi en con-
— adaptation à un procédé industriel de fabrication. tinu n’est pas possible, l’activité du capteur devant être restaurée
Dans ce qui suit, nous ne traiterons que des dispositifs incluant avant chaque incubation.
une biomolécule de reconnaissance, bien que certains capteurs chi- Si un tel couple est choisi pour la conception d’un biocapteur, ce
miques dont le principe a été décrit précédemment tels que capteurs sont les caractéristiques de l’interaction ligand-substance reconnue
pH, O2 , CO2 et quelques électrodes sélectives (Ca2+, Na+, K+) puis- qui vont conditionner sa réversibilité, sa sélectivité et sa sensibilité.
sent être utilisés in vivo et, à ce titre, mériter l’appellation de biocap- Suivant la nature de la substance à doser, un ligand sera immobilisé
teurs. sur un transducteur approprié.
Sur ce sujet (électrodes intravasculaires ou tissulaires) voir par
exemple [31]. Des appareils spécifiques adaptés à l’application clini-
que sont d’ailleurs commercialisés, ainsi le système GEM-6, Mallinc-
krodt Sensor Systems, permet l’analyse dans un flux sanguin à
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k1 k2
L + S « LS ® P + L (31)
k –1
Parfois, la rencontre des biomolécules « partenaires » s’accompa- tables processus de transduction biologique ; l’exemple le plus
gne d’une modification de la conformation pouvant induire de véri- direct est celui de l’ouverture-fermeture des canaux ioniques res-
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ponsable de la perméation ionique membranaire induite par l’inte- au point d’immunocapteurs. Elles sont également applicables à
raction entre effecteur et protéine réceptrice. n’importe quel type de transducteur, sauf dans le cas d’un procédé
Les techniques d’immobilisation du biorécepteur sur le transduc- de fixation covalent qui implique la présence de sites superficiels
teur sont rassemblées sur le tableau 6. La plupart d’entre elles ont réactifs. Une revue de ces divers procédés d’immobilisation peut
été développées pour l’immobilisation d’enzymes sur électrodes être consultée dans [32].
ampérométriques ou potentiométriques mais elles sont applicables
à d’autres protéines, telles que les immunoglobulines pour la mise
Dans certains cas, la molécule active peut être, elle-même, incluse catalase permet d’éviter une concentration trop importante de
dans un organisme vivant entier [33]. Cette solution présente de peroxyde d’hydrogène dommageable pour la glucose oxydase.
nombreux avantages, en particulier une cellule intacte ou un mor-
ceau de tissu vivant ne nécessitent ni purification ni extraction coû-
teuses, de plus la stabilité et l’activité de ces enzymes « internes »
sont plus grandes que celles des homologues purifiés ce qui con-
duira à une électrode enzymatique plus sensible, de grande durée
de vie ; enfin, la présence intrinsèque de cofacteurs ou de systèmes
multi-enzymatiques peut simplifier la conception de l’électrode et
éviter l’emploi de multicouches.
Certains fournisseurs de réactifs ou produits chimiques proposent
des membranes préactivées (membranes Pal), dans ce cas, le cou-
plage s’effectue seulement au moment de l’utilisation ou même des
protocoles de fixation d’immunoespèces (Pierce).
La fonctionnalisation du transducteur constitue l’étape clé dans la
mise au point d’un biocapteur et doit être considérée en fonction de
l’application envisagée et surtout de la nature du milieu testé (visco-
sité, aggressivité vis-à-vis de la biomolécule de reconnaissance,
possibilité d’inhibition, possibilité de dépôts (globules rouges,
fibrine dans le cas du sang), exigences de stérilité, possibilité
Figure 22 – Système YSI pour la réalisation d’une membrane
d’interférences...). Un exemple optimisé de membrane enzymati-
enzymatique pour électrode à glucose
que, adopté par Yellow Springs Instruments Co. est donné dans la
figure 22. Ici l’enzyme, préalablement immobilisée selon le procédé
de réticulation, est prise en sandwich entre deux membranes ; celle
de polycarbonate, tout en étant perméable au glucose, empêche la D’autres techniques d’incorporation de l’espèce active ont été
diffusion des espèces de grande masse moléculaire comme les pro- proposées, en particulier pour les électrodes enzymatiques, par
téines, tandis que celle d’acétate de cellulose constitue une barrière exemple par inclusion dans des membranes conductrices électropo-
vis-à-vis de possibles interférents. Cette dernière, perméable aux lymérisées formées directement à la surface de l’électrode ou par
molécules de la taille de celle du peroxyde d’hydrogène, permettra mélange dans une pâte carbone. Ce dernier procédé permet, outre
à H2O2 d’atteindre l’électrode sensible de platine. Ici la présence de une fabrication aisée, de s’affranchir de solutions internes ; de plus,
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Pt
Urée Baxter Biostat
+ – (34)
H 2 O 2 ® O 2 + 2H + 2e Antigènes, toxines Biacore BIACore
tandis que la détection d’oxygène s’opère en mesurant le courant Affinity Sensors IAsys
cathodique sur des électrodes, le plus souvent dérivées des électro-
des de Clark, en platine ou or et polarisées à –0,7 V par rapport à une
référence Ag/AgCl. En fait, contrairement aux capteurs chimiques où le même cap-
De plus en plus, l’utilisation de médiateurs permet de s’affranchir teur (électrode pour la mesure du pH par exemple) peut satisfaire à
des interférences dues aux réactions d’oxydoréduction possibles une grande diversité d’applications, hormis certaines exigences
aux potentiels où se produisent les réactions précédentes. Ces espè- spécifiques, telles que robustesse, ou certaines contraintes, telles
ces, comme le ferrocène et ses dérivés, peuvent remplacer l’oxy- que nettoyage périodique, le biocapteur devrait être conçu pour une
gène de la réaction [34] et permettent de travailler à un potentiel application et un cahier des charges spécifiques. Ainsi, le contrôle
plus bas que celui nécessaire à la détection du peroxyde d’hydro- des eaux peut se satisfaire, pour la détection des pesticides, d’un
gène (souvent inférieur à 200 mV par rapport à l’électrode au calo- simple système d’alerte alors que le suivi hospitalier d’un diabéti-
mel saturé). que exige la connaissance précise, au cours du temps, de la concen-
On peut s’étonner, compte tenu du dynamisme de la recherche, tration en glucose dans le sang du patient. De plus, les biocapteurs
du très faible nombre de biocapteurs effectivement commercialisés. subissent la concurrence de systèmes d’analyse, parfois classés à
Les principaux fabricants de biocapteurs et les types d’appareils tort, par les fabricants eux-mêmes, dans la même catégorie, et adap-
proposés sont présentés dans le tableau 7. Cela est dû, d’une part, à tés à une situation parfois très pointue comme, par exemple, la
la difficulté de satisfaire aux exigences de la fonctionnalisation, à quantification de la pourriture grise des raisins (appareil Raisytis de
l’aide de biomolécules, des transducteurs existants et, d’autre part, Seres permettant la mesure de l’activité de la laccase). Enfin l’utilisa-
aux contraintes d’utilisation. Le premier point a conduit à ne retenir teur n’est pas toujours prêt à accepter les limitations inhérentes à la
que les électrodes enzymatiques basées sur les oxydases. Le stabilité, la durée de vie et la conservation de l’élément incorporant
deuxième point est lié à la diversité des domaines d’application et les bioespèces actives.
des gammes de concentration rencontrés ; ainsi, pour ne prendre Le développement commercial des biocapteurs est étroitement lié
qu’un seul exemple, les électrodes enzymatiques permettant le à celui des biotechnologies qui n’ont pas encore envisagé d’intégrer
dosage du glucose et du lactate sont bien adaptées au dosage de cette nouvelle génération de capteurs, de coût encore élevé vu leur
ces espèces dans le plasma, les milieux de culture cellulaire ou de diffusion récente et restreinte, et qui nécessitent un personnel spé-
fermentation synthétiques, mais, en revanche, il est pratiquement cialement formé pour la mise en œuvre et l’interprétation des don-
impossible d’envisager leur emploi dans des mélasses, liqueur nées fournies par ces instruments. Une analyse de ces problèmes
corn-steep etc. De même, s’il est possible de doser le lactate dans le ainsi que quelques exemples d’applications dans des bioprocess
sang total, la détermination du glucose dans ce milieu s’avère industriels sont donnés dans [34]. Actuellement le nombre de bio-
impossible. capteurs disponibles sur le marché est extrêmement réduit ; hormis
quelques réalisations japonaises permettant la détermination de la
DBO (demande biochimique en oxygène), toutes les électrodes
enzymatiques opérationnelles sont destinées au dosage du D-glu-
cose ou du L-lactate. Dans le monde, on compte moins d’une ving-
taine de sociétés fabriquant ou distribuant des biocapteurs,
concentrées au Japon et aux États-Unis. En Allemagne, en Grande-
Bretagne et en France, l’activité dans ce domaine est encore faible.
Certains constructeurs n’ont d’ailleurs gardé dans cette activité que
la maintenance et la fourniture de membranes pour des appareils
commercialisés par le passé ; c’est le cas, par exemple, de Solea-
Tacussel (Gluco-processeur), de Seres (Enzymat). Pour un marché
aussi mouvant, nous donnerons, à titre d’exemple représentatif, les
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■ Capteurs à glucose, saccharose, lactose, lactate et éthanol ■ Capteur à glucose dans le sang
Il s’agit d’électrodes ampérométriques dans lesquelles le conduc- Le dernier exemple que nous citerons est celui des nombreux pro-
teur électronique – une pâte de graphite —, l’enzyme et un média- totypes proposés pour la détection du glucose dans le sang, l’acti-
teur sont combinés en un mélange homogène. La surface du vité intense dans ce secteur est motivée par un marché potentiel
capteur est renouvelable par polissage et le capteur ne nécessite pas considérable (celui du suivi des diabétiques) et une grande stabilité
de membrane semi-perméable. Cinq substrats peuvent être dosés, de l’enzyme concernée (la glucose oxydase). Ainsi, des systèmes
suivant la nature de l’enzyme, avec les plages de linéarité suivantes : miniaturisés sous un format stylo ou carte de crédit, basés sur des
— glucose : 0,2 à 3,5 g · L–1 ; électrodes ampérométriques enzymatiques avec médiateurs chimi-
— saccharose : 0,5 à 6 g · L–1 ; ques, tel le ferrocène, ont été commercialisés. Le capteur portable
— lactose : 0,5 à 6 g · L–1 ; de poche à glucose Exatech, développé à Cranfield, utilise des élec-
— lactate : 0,05 à 2 g · L–1 ; trodes jetables sur substrat carbone. L’utilisateur diabétique obtient
— éthanol : 0,015 à 2,4 g · L–1. directement l’affichage, sur un écran à cristaux liquides, de la teneur
en glucose d’une goutte de sang déposée 30 s plus tôt (figure 23).
La mesure est rapide et les effets de matrice et d’interférence sont
pratiquement éliminés grâce à la double sélectivité de l’enzyme ; de
plus, la surface d’électrode régénérable garantit une très bonne
reproductibilité. Elles constituent sans doute les premières électro-
des enzymatiques adaptées à un usage industriel pour le contrôle
d’aliments, de boissons, de produits pharmaceutiques et de procé-
dés biotechnologiques.
■ Biocapteur à DBO
Comme nous l’avons déjà signalé, à l’étranger, les Japonais sont
parmi les plus inventifs. Leur savoir-faire dans le domaine des cap-
teurs bactériens a conduit l’équipe du Professeur Karube à la mise
au point d’un biocapteur à DBO, commercialisé par la firme Nissin
Electric Co., et dont la fiabilité a été reconnue puisqu’il fait l’objet
d’une norme (Japanese Industrial Standard : Apparatus for the esti-
mation of biochemical oxygen demand with microbial sensor,
No JISK 3602). Il est basé sur l’altération, par une pollution organi-
que, du niveau respiratoire des cellules mesuré sur une électrode à
oxygène dissous. La compétence de l’équipe inventrice en matière
de bactéries thermophiles lui a permis récemment d’envisager
l’extension de la gamme d’utilisation en température jusqu’à 50 oC,
ce qui présente un intérêt particulier pour les eaux usées industriel- Figure 23 – Électrode de poche Exatech pour le dosage du glucose
les.
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CAPTEURS CHIMIQUES ET BIOCHIMIQUES __________________________________________________________________________________________________
Références bibliographiques
[1] GOPEL (W.), HESSE (J.) et ZEMEL (J.N.). – Éd. [13] TRAN MINH CANH. – Les biocapteurs, princi- [24] TERRY (S.C.), HERMAN (J.H.) et ANGELL
Sensors, a Comprehensive Survey, V.C.H. pes, construction et applications, Masson, (J.B.). – A Gas Chromatographic Air Analyser
Vol. 1-6, 1991. 1991. Fabrication on a Silicon Wafer. IEEE Trans.
[2] Chemical Sensor Technology, Vol. 1, [14] TURNER (A.P.F.), KARUBE (I.) et WILSON Electron. Devices, Vol. ED-26, 12 (1979)
SEIYAMA (T.). - Éd., 1988 ; Vol. 2, SEIYAMA (G.S.). – Biosensors. Fundamental and Appli- p. 1880-1886.
(T.). - Éd., 1989 ; Vol. 3, YAMAZOE (N.). - Éd. cations. Oxford Science Pub. 1987. [25] MANZ (A.), HARRISON (J.J.), VERPOORTE
1991. Vol. 4, YAMAUCHI (S.), 1992. Kodansha [15] SZE (S.M.). – Semiconductor Devices, Physics (E.M.J.), FETTINGER (J.C.), PAULUS (A.),
LTD. Elsevier. and Technology. J. Wiley, 1985. LUDI (H.) et WIDMER (H.M.). – Planar Chip
[3] MURRAY (R.), DESSY (R.E.), HEINEMAN Technology for miniaturization and Investiga-
[16] PETERSEN (K.E.). – Silicon as Mechanical
(W.H.), JANATA (J.) et SEITZ (W.R.). – Chemi- tion of Separation techniques into Monitoring
Devices. Proc. IEEE, Vol. 70, 1982 p. 420-457.
cal Sensors and Microinstrumentation, ACS Systems. Capillary Electrophoresis on a Chip.
[17] KO (W.H.) et SUMITO (J.T.). – Semiconductor J. Chromatog. 593 (1992) p. 253-258.
Symp. Series no 403. Am. Chem. Soc.
Integrated Circuit Technology and Microma-
Washington, 1989. [26] MANZ (A.), PETTINGER (J.C.), VERPOORTE
chining. In ref. 1, vol. 1, p. 107-160.
[4] JANATA (J.). – Principles of Chemical Sen- (E.), LUDI (H.), WIDMER (H.M.) et HARRISON
[18] ANGELL (J.), TERRY (S.) et BARTH (O.). – Les (D.J.). – Micromachining of monocrystalline
sors, Plenum Press, 1989.
dispositifs micromécaniques en silicium, Silicon and Glass for Chemical Analysis Sys-
[5] JONES (B.). – Éd., Current Advances in Sen- Pour la science, juin 1983, p. 78-90. tems. A Look into the Next Century’s Techno-
sors, Adam Hilger, 1987.
[19] HARMENING (M.), BACHER (N.), BLEY (P.), logy or Just a Fashionable Craze ?, Trends in
[6] BERGVELD (P.) et SIBBALD (A.). – Analytical ELKOLI (A.), KALB (H.), KOWANZ (B.), MENZ Anal. Chem. 10 (1991) p. 144-149.
and Biomedical Applications of Ion-Selective (W.), MICHEL (A.) et MOHR (J.). – Molding of [27] VAN DER SCHOOT (B.H.), JEANNERET (S.),
Field-Effect Transistors, 1988. Threedimensional Microstructures by the VAN DEN BERG (A.) et de ROOIJ (N.F.). – A
[7] MADOU (M.J.) et MORISSON (S.R.). – Chemi- LIGA process, Proc. Micro Electro Mechanical Silicon Integrated Miniature Chemical Analy-
cal Sensing with Solid State Devices. Acad. Systems’ 92, Travemunde, 4-7 feb. 1992. sis System. Sensors and Actuators B6 (1992)
Press, 1989. [20] PERMUY (A.). – Capteurs à semiconducteurs p. 57-6.
[8] WOLFBEIS (O.S.). – Éd., Fiber Optic Chemical E 2310, 12-1990. Traité Électronique Techni- [28] DURAND (G.). – Potentiométrie. Traité Ana-
sensors and Biosensors. Vol. 1 et 2, CRC ques de l’Ingénieur. lyse et Caractérisation. P 2115 (4-83).
Press, 1991. [21] GERNET (S.), KOUDELKA (M.) et de ROOIJ [29] WIEMHÖFER (H.D.) et CAMMAN (K.). – Speci-
[9] ASCH (G.) et coll. – Les capteurs en instru- (N.F.). – Fabrication and Characterization of a fic Features of Electrochemical Sensors in
mentation industrielle, Dunod, 1991. Planar Electrochemical Cell and its Applica- ref. 1, vol. 2, p. 160-189.
[10] TURNER (A.P.F.). – Advances in Biosensors, tion as a Glucose Sensor. Sensors and Actua-
[30] LOGOTHETIS (F.H.). – Automotive oxygen
Éd. Vol. 1, 1991 ; Vol. 2, 1992. JAI Press LTD. tors, 18 (1989) p. 59-70.
sensors dans ref. 2, vol. 3, p. 89-104.
[11] BLUM (L.) et COULET (P.R.). – Éd. Biosensors, [22] CLECHET (P.) et JAFFREZIC-RENAULT (N.). –
[31] VADGAMA (P.) et DESAI (M.A.). – In-vivo bio-
Principles and Applications, M. Dekker, 1991. Silica, Surface Sensitization and Chemical
sensors. chap. 13, p. 303-329 dans [10].
Sensors, Adv. Mat. 2 (1990) p. 293-298.
[12] BUERK (D.G.). – Biosensors, Theory and [32] BARKER (S.A.). – Immobilisation of the biolo-
Applications. Technomic Pub. Co. 1993. [23] GARDNER (J.W.) et BARTLETT (P.N.). – Éd.,
gical component. Chap. 6, p. 85-99 dans [10].
Sensors and Sensory Systems for an Electro-
nic Nose. Nato ASI Series, Series E, vol. 212.
Kluwer Acad. Pub. 1992.
Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie est strictement interdite.
PE 360 - R 420 - 20 © Techniques de l’Ingénieur, traité Analyse et Caractérisation, Mesures et Contrôle
__________________________________________________________________________________________________ CAPTEURS CHIMIQUES ET BIOCHIMIQUES
[33] KUBO (I.), SODE (K.) et KARUBE (I.). – Whole- [35] LEWIS (B.). – Clin. Chem., 38, (1992), 2093. [38] KRESS-ROGERS (E.). – Instrumentation and
organism based biosensors and microbiosen- [36] PERMUY (A.). – Capteurs à semiconducteurs sensors for the food Industry. Chemosensors,
sors p. 1-30 dans [10] Vol. 1. E 2310 (12-1990). Traité Électronique Techni- Biosensors and Immunosensors. Chap. 17,
[34] SCHEPER (T.H.) et REARDON (K.F.). – dans : ques de l’Ingénieur. 1993, p. 581-669.
Sensors, A comprehensive survey, Éd. [37] PERMUY (A.). – Capteurs microélectroniques
GÖPEL (W.), HESSE (J.), ZEMEL (J.N.), Vol. 3, E 2315 (3-1993). Traité Électronique Techni-
Chemical and Biochemical Sensors, Part II, ques de l’Ingénieur.
Sensors in Biotechnology, Chap. 22, 1025-
1042.
Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie est strictement interdite.
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